JP2021055586A - 真空ポンプ及び真空ポンプの付属ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】装置側の稼働スケジュールとの調整が必要無く、現場にパソコンを持ち込めないときでも組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更を簡単に行うことの可能な真空ポンプ及び真空ポンプの付属ユニットを提供する。【解決手段】オプション機器２０の組込ソフト等記憶部１１には、磁気軸受制御部３、モータ駆動制御部５、及び保護機能処理部７に現在保存されているソフトウェアを更新するための新しいバージョンのソフトウェアやモジュールが保存されている。また、設定パラメータ９に現在保存されている設定値や警告値等のパラメータについての更新用の新規のパラメータも保存されている。組込ソフト等記憶部１１から読み込んだアプリケーションプログラムやパラメータは、ユーザーインターフェース処理部１５により組込ソフト更新処理部１７に送られ、この組込ソフト更新処理部１７により各種プログラムやデータの更新が行われる。【選択図】図３

Description

本発明は真空ポンプ及び真空ポンプの付属ユニットに係わり、特に装置側の稼働スケジュールとの調整が必要無く、現場にパソコンを持ち込めないときでも組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更を簡単に行うことの可能な真空ポンプ及び真空ポンプの付属ユニットに関する。

近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、きわめて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。

そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
また、半導体の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。

このターボ分子ポンプは、ポンプ本体とそのポンプ本体を制御する制御装置とからなる。そして、従来、この制御装置に対しホストコンピュータを接続し、この制御装置に内蔵された通信インターフェースを介してポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うためのソフトウェアを、予め制御装置内の記憶媒体に記憶保持したシステムが開示されている（特許文献１を参照）。
特開２０１０−２７０５９９号公報

ところで、ターボ分子ポンプは、設置後にも機能の追加や不具合対応、仕様の変更等のため組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更を行う場合がある。この場合、図７に示すように、制御装置２００に対しパソコン２１を通信ケーブル２０１で接続してこれらの処理が行われている。あるいは、この制御装置２００に対しポンプ本体１００の監視制御を遠隔で操作するためのオプション機器２０が接続されている場合には、このオプション機器２０に対しパソコン２１を接続してこれらの処理が行われることもある。

そして、これらの処理を行う際には基本的にはサービス拠点に戻入して作業をする必要があり、一旦ターボ分子ポンプ１０の稼働を停止する必要がある。この場合、真空チャンバ等の装置からポンプ本体１００を取り外すことになるため一旦真空システムを分離や解体し、真空状態を解消（大気解放）することになる。

その後、ポンプ本体１００を再び接続した後にもガス漏れが無いかをチェックする必要もあり作業が煩雑となる。
このため、顧客了解の下にポンプ本体１００を取り外すことなく現地対応で実施することもある。

しかし、この場合であっても真空システムは分離や解体しないが一旦ポンプを停止する必要はあり、装置の稼働スケジュールとの調整が必要となっていた。従って、装置側のメンテナンスにおいて、装置を停止する等のタイミングに合わせて作業員が現地に行って機能追加等のバージョンアップを実行する必要があった。

また、最近はセキュリティ上の問題から現場にパソコンを持ち込めない場合も増えてきており、このような状況においても組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更が的確に行えるシステムが望まれている。

本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、装置側の稼働スケジュールとの調整が必要無く、現場にパソコンを持ち込めないときでも組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更を簡単に行うことの可能な真空ポンプ及び真空ポンプの付属ユニットを提供することを目的とする。

このため本発明（請求項１）は真空ポンプの発明であって、ポンプ本体と、該ポンプ本体に対する制御と監視を行うためのアプリケーションと、該アプリケーションの動作時に利用される設定パラメータが保存された制御装置と、前記アプリケーションに対するアップグレード用のアップグレードアプリケーション、及び前記設定パラメータに対するアップグレード用のアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部とを備え、前記ポンプ本体が起動されたときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータが前記記憶部から読まれ、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータが更新されることを特徴とする。

アップグレードアプリケーション、及びアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部を備えた。そして、ポンプ本体が起動されたときに、アップグレードアプリケーション又はアップグレード設定パラメータを記憶部から読み、制御装置に保存されているアプリケーション又は設定パラメータを更新する。
アップグレードアプリケーションプログラムやアップグレード設定パラメータは予め記憶部に対しインストールしておけばよく、これらのアプリケーションプログラムやパラメータは次回のポンプ起動時に読まれて自動的に更新される。そして、この更新後にポンプの起動が継続される。このため、ポンプ停止のために装置側のメンテナンスのスケジュールと調整を取る等の必要は無くなる。作業員はこのスケジュールには関係なく任意のときに作業を行える。
また、アプリケーションプログラムやパラメータの更新の際に、真空システムを分離や解体することも無くなる。

また、本発明（請求項２）は真空ポンプの発明であって、前記記憶部は、前記ポンプ本体に対する前記制御及び前記監視の少なくとも一つを前記制御装置を介して行うことが可能な付属ユニット内に設けられることを特徴とする。

付属ユニットには、アップグレードアプリケーションやアップグレード設定パラメータを記憶する記憶部を備えた。
このことにより、制御装置内にアプリケーションプログラムやパラメータを更新する記憶装置を特別に備えることなくアプリケーションプログラムやパラメータの更新が可能である。外部設備である付属ユニットが取り付けられればよいので、既存設備等についても適用が可能である。

また、本発明（請求項３）は真空ポンプの発明であって、前記記憶部に対し前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータを通信手段を介して外部よりインストールし保存する保存手段を備えて構成した。

アップグレードアプリケーションは、現在、制御装置内に入っているアプリケーションプログラムの全体であってもよいし、バージョンアップに必要なモジュールだけをインストールしてもよい。即ち、これらの更新用のアプリケーションプログラムやパラメータは、制御装置内で使われるものであり、付属ユニット自身では使われないプログラムやパラメータである。

更に、本発明（請求項４）は真空ポンプの発明であって、前記制御装置若しくは前記付属ユニットには、アップグレード開始要求用の手動ボタンと、該手動ボタンが押されたときに前記アップグレードの可否を問い合わせる問い合わせ手段とを備え、該問い合わせ手段での問い合わせの結果、アップグレードが可能なときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータが前記記憶部から読まれ、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータが更新されることを特徴とする。

問い合わせ手段を設けたことにより、再起動の必要がない場合には、電源を切らずに１回のアップグレード処理で複数個の設定値を一気に変えられる等できる。

更に、本発明（請求項５）は真空ポンプの発明であって、前記ポンプ本体には、回転体を磁気浮上させる磁気軸受と、前記回転体を回転駆動するモータとを備え、前記制御装置には、前記磁気軸受を制御する磁気軸受制御部と、前記モータを駆動制御するモータ駆動制御部と、前記磁気軸受制御部における前記磁気軸受の制御、及び前記モータ駆動制御部における前記モータの駆動制御を監視する保護機能処理部とを備えて構成した。

更に、本発明（請求項６）は、ポンプ本体と、該ポンプ本体に対する制御と監視を行うためのアプリケーションと、該アプリケーションの動作時に利用される設定パラメータが保存された制御装置とを備え、前記制御及び前記監視の少なくとも一つを前記制御装置を介して行う真空ポンプにおける付属ユニットであって、前記アプリケーションに対するアップグレード用のアップグレードアプリケーション、及び前記設定パラメータに対するアップグレード用のアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部を備え、前記ポンプ本体が起動されたときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータを前記記憶部から読み、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータを更新することを特徴とする。

以上説明したように本発明（請求項１）によれば、アップグレードアプリケーション、及びアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部を備えて構成したので、ポンプ本体が起動されたときに、アップグレードアプリケーション又はアップグレード設定パラメータが記憶部から読まれ、制御装置に保存されているアプリケーション又は設定パラメータが更新される。
アップグレードアプリケーションプログラムやアップグレード設定パラメータは予め記憶部に対しインストールしておけばよく、これらのアプリケーションプログラムやパラメータは次回のポンプ起動時に読まれて自動的に更新される。そして、この更新後にポンプの起動が継続される。このため、ポンプ停止のために装置側のメンテナンスのスケジュールと調整を取る等の必要は無くなる。

本発明の実施形態であるターボ分子ポンプの構成図 全体外観図 全体システム構成図 事前準備としての更新用の新バージョンのアプリケーションプログラムやパラメータのオプション機器へのインストール アップグレード処理の方法（その１） アップグレード処理の方法（その２） 従来行われている組込ソフトウェアのバージョンアップや設定データの変更方法を説明する図

以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態であるターボ分子ポンプの構成図を図１に、全体外観図を図２に、全体システム構成図を図３に示す。
図１及び図２において、ターボ分子ポンプ１０は制御装置２００がポンプ本体１００と一体で記載されているが、ポンプ本体１００と制御装置２００とは別体であっても本実施形態の適用は可能である。

図１において、ポンプ本体１００の円筒状の外筒１２７の上端には吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。

上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石が、ロータ軸１１３の径方向の座標軸であって互いに直交するＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７はロータ軸１１３の径方向変位を検出し、制御装置２００に送るように構成されている。

図３に示す制御装置２００の磁気軸受制御部３においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。

また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、磁気軸受制御部３によりロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために図示しない軸方向センサが備えられ、その軸方向変位信号が制御装置２００の磁気軸受制御部３に送られるように構成されている。

そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき磁気軸受制御部３のＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂは、磁力により金属ディスク１１１をそれぞれ上方と下方とに吸引する。
このように、制御装置２００の磁気軸受制御部３においては、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。

モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、モータ駆動制御部５によって制御されている。
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。

また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。

固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。

ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には円筒部１０２ｄが垂下されている。この円筒部１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプのポンプ本体１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。

かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触又は衝突する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導や輻射などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子等による伝導により固定翼１２３側に伝達される。

固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触又は衝突する際に生ずる摩擦熱などを外筒１２７やネジ付きスペーサ１３１へと伝達する。
ネジ付きスペーサ１３１に移送されてきた排気ガスは、ネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。

また、吸気口１０１から吸引されたガスがモータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７などで構成される電装部側に侵入することのないよう、電装部は周囲をステータコラム１２２で覆われ、この電装部内はパージガスにて所定圧に保たれている。
図２の全体外観図に示すように、ターボ分子ポンプ１０に対して、通信ケーブル２０１を介してポンプ本体１００の監視制御を遠隔で操作するためのオプション機器２０が接続されている。オプション機器２０は付属ユニットに相当する。

図２では、ターボ分子ポンプ１０はポンプ本体１００と制御装置２００とが組み合わされた一体型ではあるが、制御装置２００には操作パネルや表示画面は無い。数個のＬＥＤと端子とが存在するだけである。ポンプの運転状態や回転数の表示、スタート停止等の操作ボタンはオプション機器２０側に配設されている。

図３の全体システム構成図において、磁気軸受制御部３における磁気軸受１０４、１０５、１０６の運転状況と、モータ駆動制御部５におけるモータ１２１の運転状況とが保護機能処理部７に送られるようになっている。そして、この保護機能処理部７ではポンプの運転に必要な設定パラメータ９を読み、この設定パラメータ９に基づき磁気軸受１０４、１０５、１０６の運転状況とモータ１２１の運転状況とが設定された範囲となるように管理される。また、設定パラメータ９には警告値も含まれ、保護機能処理部７では磁気軸受１０４、１０５、１０６の運転状況若しくはモータ１２１の運転状況が警告値を超えたときには警報若しくは停止等の処理が行われる。

オプション機器２０には、ポンプ本体１００の監視制御を遠隔で操作するための機能以外に、組込ソフト等記憶部１１とユーザーインターフェース処理部１３が配設されている。但し、ポンプ本体１００の監視制御を遠隔で操作するための機能ブロック図については図中省略している。組込ソフト等記憶部１１には、磁気軸受制御部３、モータ駆動制御部５、及び保護機能処理部７に現在保存されているソフトウェアを更新するための新しいバージョンのソフトウェアやモジュールが保存されている。また、この組込ソフト等記憶部１１には、同様に、設定パラメータ９に現在保存されている設定値や警告値等のパラメータについての更新用の新規のパラメータも保存されている。

オプション機器２０におけるユーザーインターフェース処理部１３は、シリアル通信１４を介して制御装置２００内のユーザーインターフェース処理部１５と接続されている。そして、ユーザーインターフェース処理部１３が、組込ソフト等記憶部１１から読み込んだアプリケーションプログラムやパラメータは、ユーザーインターフェース処理部１５により組込ソフト更新処理部１７に送られ、この組込ソフト更新処理部１７により各種プログラムやパラメータの更新が行われるようになっている。

次に、本実施形態の作用について説明する。
まず、事前準備として、図４に示すように、例えばターボ分子ポンプ１０の稼働中に、
パソコン２１を既設のオプション機器２０に対しシリアル通信２３を介して接続し、オプション機器２０の組込ソフト等記憶部１１に対し、磁気軸受制御部３、モータ駆動制御部５、及び保護機能処理部７に現在保存されているソフトウェアに対する更新用の新バージョンのアプリケーションプログラム（アップグレードアプリケーションに相当）やパラメータ（アップグレード設定パラメータに相当）をインストールする。
更新用のアプリケーションプログラムは、現在、制御装置２００内に入っているアプリケーションプログラムの全体であってもよいし、バージョンアップに必要なモジュールだけをインストールしてもよい。また、更新用のアプリケーションプログラムやパラメータが予めインストールされたオプション機器２０自体をオフライン中に交換するようにしてもよい。即ち、これらの更新用のアプリケーションプログラムやパラメータは、制御装置２００内で使われるものであり、オプション機器自身では使われないプログラムやパラメータである。

図５のステップ１（図中Ｓ１と示す。以下同様）において、オプション機器２０よりそれまで停止をしていたターボ分子ポンプ１０に対し起動指令が送られる。ステップ２で、このターボ分子ポンプ１０への起動指令が検出され、組込ソフト等記憶部１１にデータが存在する場合には、ステップ３に進み、アップグレード処理が行われる。このアップグレード処理は、起動指令が検出されたタイミングで、オプション機器２０のユーザーインターフェース処理部１３が、組込ソフト等記憶部１１から事前に保存されているアプリケーションプログラムやパラメータを読み込む。そして、読み込まれたアプリケーションプログラムやパラメータはシリアル通信１４を介して制御装置２００内のユーザーインターフェース処理部１５に送信される。

そして、ユーザーインターフェース処理部１５で受信されたアプリケーションプログラムは、このユーザーインターフェース処理部１５により組込ソフト更新処理部１７に対し送られる。
組込ソフト更新処理部１７は、アプリケーションプログラムの種類に応じて、磁気軸受制御部３、モータ駆動制御部５、及び保護機能処理部７に対してそれぞれ組込ソフトウェアの更新を行う。

一方、ユーザーインターフェース処理部１５で受信されたパラメータは、設定パラメータ９に送られ、ここに保存されている設定値や警報値等のパラメータが更新される。
その後は、ステップ４に進み、更新されたアプリケーションプログラムやパラメータに基づきポンプの起動運転が開始される。なお、ステップ２で組込ソフト等記憶部１１にデータが存在しない場合には、アップグレード処理は行わずに通常通りポンプを起動する。
このことにより、制御装置２００内にアプリケーションプログラムやパラメータを更新する記憶装置を特別に備えることなくアプリケーションプログラムやパラメータの更新が可能である。外部設備である組込ソフト等記憶部１１を備えるオプション機器２０が取り付けられればよいので、既存設備等についても適用が可能である。

アプリケーションプログラムやパラメータは予めオプション機器２０に対しインストールしておけばよく、これらのアプリケーションプログラムやパラメータは次回のポンプ起動時に読まれて自動的に更新される。そして、この更新後にポンプの起動が継続される。このため、ポンプ停止のために装置側のメンテナンスのスケジュールと調整を取る等の必要は無くなる。作業員はこのスケジュールには関係なく任意のときに作業を行える。
また、アプリケーションプログラムやパラメータの更新の際に、真空システムを分離や解体することも無くなる。

なお、ポンプの再起動を必要としない軽微なプログラムモジュールの変更や一部のパラメータの設定等の場合におけるアップグレード処理について説明する。この場合には、オプション機器２０に対し図示しないアップグレード開始要求用の手動ボタンを設け、組み込みソフトウェアのアップグレードはポンプの電源は切らないでこの手動ボタンにより行うことができる。

このときの処理を図６に基づき説明する。図６のステップ５において、例えばポンプの稼働中にオプション機器２０の手動ボタンを押す。
ステップ６ではアップグレードが可能か否かオプション機器２０のユーザーインターフェース処理部１３は制御装置２００のユーザーインターフェース処理部１５に対し問い合わせを行う。そして、この問い合わせの結果、アップグレードが可能という信号がユーザーインターフェース処理部１５から届いた場合にはステップ７に進み、必要なアプリケーションプログラムやパラメータの更新が行われる。このときの更新処理の方法はステップ３のときの説明と同様である。その後はステップ８でこの更新されたアプリケーションプログラムやパラメータで処理が継続される。一方、ステップ６で、アップグレードは不可という信号がユーザーインターフェース処理部１５から届いた場合には、ステップ８に進み、アップグレード処理は行われない。
このことにより、再起動の必要がないので電源を切らずに１回のアップグレード処理により例えば、複数個の設定値を一気に変えられる。

なお、手動ボタンは必ずしもオプション機器２０に配設する必要はなく、制御装置２００側に設けるようにしてもよい。また、例えば温度管理用に更にユニットを別途配設しているような場合には、そのユニット側に設けるようにしてもよい。
但し、アップグレードの際にポンプの再起動が必要な場合には、ポンプの停止しているときに可能という信号をユーザーインターフェース処理部１５からユーザーインターフェース処理部１３に対し送信するようにしてもよい。
このオプション機器２０からの手動によるボタン操作は、例えば、ターボ分子ポンプ１０が装置内部に配置され、容易に電源のＯＮ／ＯＦＦができない場合に有効である。
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が当該改変されたものにも及ぶことは当然である。

３ 磁気軸受制御部
５ モータ駆動制御部
７ 保護機能処理部
９ 設定パラメータ
１０ ターボ分子ポンプ
１１ 組込ソフト等記憶部
１３、１５ ユーザーインターフェース処理部
１４、２３ シリアル通信
１７ 組込ソフト更新処理部
２０ オプション機器
２１ パソコン
１００ ポンプ本体
１０３ 回転体
１０４ 上側径方向電磁石
１０５ 下側径方向電磁石
１０６Ａ、１０６Ｂ 軸方向電磁石
１０７ 上側径方向センサ
１０８ 下側径方向センサ
１２１ モータ
２００ 制御装置
２０１ 通信ケーブル

Claims (6)

1. ポンプ本体と、
   該ポンプ本体に対する制御と監視を行うためのアプリケーションと、該アプリケーションの動作時に利用される設定パラメータが保存された制御装置と、
   前記アプリケーションに対するアップグレード用のアップグレードアプリケーション、及び前記設定パラメータに対するアップグレード用のアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部とを備え、
   前記ポンプ本体が起動されたときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータが前記記憶部から読まれ、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータが更新されることを特徴とする真空ポンプ。
2. 前記記憶部は、
   前記ポンプ本体に対する前記制御及び前記監視の少なくとも一つを前記制御装置を介して行うことが可能な付属ユニット内に設けられることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
3. 前記記憶部に対し前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータを通信手段を介して外部よりインストールし保存する保存手段を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の真空ポンプ。
4. 前記制御装置若しくは前記付属ユニットには、アップグレード開始要求用の手動ボタンと、
   該手動ボタンが押されたときに前記アップグレードの可否を問い合わせる問い合わせ手段とを備え、
   該問い合わせ手段での問い合わせの結果、アップグレードが可能なときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータが前記記憶部から読まれ、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータが更新されることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の真空ポンプ。
5. 前記ポンプ本体には、
   回転体を磁気浮上させる磁気軸受と、
   前記回転体を回転駆動するモータとを備え、
   前記制御装置には、
   前記磁気軸受を制御する磁気軸受制御部と、
   前記モータを駆動制御するモータ駆動制御部と、
   前記磁気軸受制御部における前記磁気軸受の制御、及び前記モータ駆動制御部における前記モータの駆動制御を監視する保護機能処理部とを備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
6. ポンプ本体と、
   該ポンプ本体に対する制御と監視を行うためのアプリケーションと、該アプリケーションの動作時に利用される設定パラメータが保存された制御装置とを備え、
   前記制御及び前記監視の少なくとも一つを前記制御装置を介して行う真空ポンプにおける付属ユニットであって、
   前記アプリケーションに対するアップグレード用のアップグレードアプリケーション、及び前記設定パラメータに対するアップグレード用のアップグレード設定パラメータの少なくとも一つを記憶する記憶部を備え、
   前記ポンプ本体が起動されたときに、前記アップグレードアプリケーション又は前記アップグレード設定パラメータを前記記憶部から読み、前記制御装置に保存されている前記アプリケーション又は前記設定パラメータを更新することを特徴とする付属ユニット。

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