JP2004078329A

JP2004078329A - メンテナンス用アプリケーション及び該メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置

Info

Publication number: JP2004078329A
Application number: JP2002234363A
Authority: JP
Inventors: Hideo Fukami; 深美　英夫
Original assignee: BOC Edwards Technologies Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2002-08-12
Filing date: 2002-08-12
Publication date: 2004-03-11

Abstract

【課題】真空ポンプのメンテナンスの際に、作業者の誤操作による真空ポンプの破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能なメンテナンス用アプリケーション及び該メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置を提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置のメンテナンス作業は、ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置にメンテナンス装置を接続して行われる。そして、このメンテナンス作業のうち、パラメータ情報の検索結果や、パラメータ情報の入力結果がデータ化され、このデータ化されたデータは、メンテナンス装置内に記録される。メンテナンス装置内に記録されたデータは、その後暗号化された後、メンテナンス装置やその外部に保存される。この保存された命令は、以降のメンテナンス作業を行う者に利用され、作業者はこれを再生することで、メンテナンス作業が行われる。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はメンテナンス用アプリケーション及び該メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置に関わり、特に真空ポンプのメンテナンスの際に、作業者の誤操作による真空ポンプの破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能なメンテナンス用アプリケーション及び該メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
【０００４】
また、半導体の製造工程では、様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
このターボ分子ポンプは、プロセスガスを吸引排気するターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポンプ本体を制御する制御装置とから構成されている。
ターボ分子ポンプ本体の縦断面図を図６に示す。
【０００５】
図６において、ターボ分子ポンプ本体１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
【０００６】
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【０００７】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７は回転体１０３の径方向変位を検出し、その信号を図示せぬ制御装置に送るように構成されている。
【０００８】
制御装置においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
【０００９】
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
【００１０】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置が、上側の径方向位置と同様に、制御装置において調整されている。
【００１１】
さらに、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置に送られるように構成されている。
【００１２】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置のＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
【００１３】
このように、制御装置では、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持する。
【００１４】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。これら各磁極は、制御装置のＰＷＭ制御機能を有するモータ制御回路を介した駆動回路から出力された動力信号により、モータ１２１を回転駆動するよう制御されている。
【００１５】
また、モータ１２１には、図示しない回転数センサ及びモータ温度センサが取り付けられており、これらの回転数センサ及びモータ温度センサの検出信号を受けて、制御装置においてロータ軸１１３の回転が制御されている。
【００１６】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００１７】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００１８】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
【００１９】
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。
【００２０】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００２１】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
【００２２】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ本体１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。また、ベース部１２９はターボ分子ポンプ本体１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【００２３】
さらに、ベース部１２９には、コネクタ１６０が配設されており、このコネクタ１６０は、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間の信号線の出口になっている。
【００２４】
かかる構成において、ロータ軸１１３がモータ１２１により駆動されて回転翼１０２と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
【００２５】
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子などによる伝導により固定翼１２３側に伝達される。
【００２６】
固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触する際に生ずる摩擦熱などを外部へと伝達する。
ベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、ネジ付きスペーサ１３１のネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。
【００２７】
なお、上記では、ネジ付きスペーサ１３１は回転翼１０２ｄの外周に配設し、ネジ付きスペーサ１３１の内周面にネジ溝１３１ａが刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に回転翼１０２ｄの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。
【００２８】
また、吸気口１０１から吸引されたガスがモータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７などで構成される電装部側に侵入することのないよう、電装部は周囲をステータコラム１２２で覆われ、この電装部内はパージガスにて所定圧に保たれている。
【００２９】
このため、ベース部１２９には図示しない配管が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。導入されたパージガスは、保護ベアリング１２０とロータ軸１１３間、モータ１２１のロータとステータ間、ステータコラム１２２と回転翼１０２間の隙間を通じて排気口１３３へ送出される。
【００３０】
ところで、プロセスガスは、反応性を高めるため高温の状態でチャンバに導入されることがある。そして、これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体となり排気系に生成物を析出する場合がある。
そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ本体１００内で低温となって固体状となり、ターボ分子ポンプ本体１００内部に付着して堆積する。
【００３１】
例えば、Ａｌエッチング装置にプロセスガスとしてＳｉＣｌ_４が使用された場合、低真空（７６０［ｔｏｒｒ］〜１０^−２［ｔｏｒｒ］）かつ、低温（約２０［℃］）のとき、固体生成物（例えばＡｌＣｌ_３）が析出し、ターボ分子ポンプ本体１００内部に付着堆積することが蒸気圧曲線からわかる。
【００３２】
ターボ分子ポンプ本体１００内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ本体１００の性能を低下させる原因となる。
【００３３】
ここに、前述した生成物は排気口付近の温度が低い部分、特に回転翼１０２及びネジ付きスペーサ１３１付近で凝固、付着しやすい状況にあった。この問題を解決するために、従来はベース部１２９等の外周に図示しないヒータや環状の水冷管１４９を巻着させ、かつ例えばベース部１２９に図示しない温度センサ（例えばサーミスタ）を埋め込み、この温度センサの信号に基づきベース部１２９の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つようにヒータの加熱や水冷管１４９による冷却の制御（以下ＴＭＳという。ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ　Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
【００３４】
また、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間は、個々に調整された固有のパラメータ情報に基づいた制御を要する。
代表的なパラメータ情報として、制御装置内のアンプが、ターボ分子ポンプ本体１００の上側径方向、下側径方向、軸方向の各回転軸位置センサ１０７、１０８、１０９の検出信号を受けて、各電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂを励磁する際のゲイン等の情報がある。
【００３５】
また、他のパラメータ情報として、モータ１２１の駆動のため、その回転数センサ及びモータ温度センサの検出信号を受けて、モータ１２１の回転／停止を制御するための情報や、ＴＭＳ温度センサの検出信号を受けて、ターボ分子ポンプ本体１００の水冷管１４９の水を供給又は遮断するための情報等がある。
【００３６】
このようなパラメータ情報は、一つのターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置について、上述のパラメータを含め１００〜２００種類ほど存在しており、これらのパラメータ情報は、ターボ分子ポンプ本体１００や制御装置内に格納されている。
【００３７】
例えば、ターボ分子ポンプ本体１００は、その本体内に電子回路部１４１を備えており、この電子回路部１４１は、パラメータ情報を記憶するためのＥＥＰ−ＲＯＭ等の不揮発性の半導体メモリや、ターボ分子ポンプ本体１００の機種を特定するためのＩＤ抵抗や、これらのアクセスのための半導体素子等の電子部品、それら実装用の基板１４３等から構成されている。
【００３８】
この電子回路部１４１は、ターボ分子ポンプ本体１００の下部を構成するベース部１２９の中央付近の軸方向センサ１０９の下部に収容され、気密性の底蓋１４５によって閉じられている。
【００３９】
また、制御装置は、内部に図示しない半導体メモリを備えており、その半導体メモリには、ターボ分子ポンプ本体１００に保存したパラメータ情報と同じパラメータ情報が保存されている。ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置のどちらかだけに半導体メモリが配設されていると、ターボ分子ポンプ本体１００や制御装置が故障等により交換された場合に、交換したターボ分子ポンプ本体１００あるいは制御装置の正常な識別ができなくなってしまうからである。
【００４０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置は、その工場出荷の際や、ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置の故障等による交換の際に、メンテナンス作業が行われる。
【００４１】
例えば、工場出荷の際のメンテナンス作業は、次のように行われる。
まず、メンテナンスの作業者は、ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置に、メンテナンス装置を接続する。このメンテナンス装置は、例えば、作業者が、メンテナンス作業のために所持するＰＣ等である。
【００４２】
そして、作業者は、メンテナンス装置に予めインストールされたメンテナンス用アプリケーションを立ち上げ、このアプリケーション上でメンテナンス作業を開始する。
【００４３】
その後、作業者は、メンテナンス装置内のディスクやネットワーク上のデータサーバーのディスク等に保存された初期パラメータ情報を読み出す。この初期パラメータ情報は、いわゆるパラメータ情報のデフォルト値であり、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置が動作する上で必要最低限のパラメータ情報である。
【００４４】
そして、この読み出した初期パラメータ情報に対して、作業者は、個々のターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置毎に、変更すべきパラメータ情報（例えば、ターボ分子ポンプ本体１００等のシリアル番号や前述した制御装置内のアンプのゲイン情報等である。）のみの更新を行う。この更新作業は、全て作業者の手作業により行われており、上述した通り１００〜２００種類程度のパラメータ情報の中から変更すべきパラメータ情報を過不足なく検索し、正しいパラメータ情報を入力する必要がある。
【００４５】
そして、作業者は、変更すべき内容を入力したパラメータ情報をターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置内に送信する。
【００４６】
また、ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置の故障等による交換の際のメンテナンス作業は、次のように行われる。
作業者は、工場出荷の際の作業と同様に、ターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置にメンテナンス装置を接続し、メンテナンス用アプリケーションを立ち上げる。
【００４７】
そして、例えば、ターボ分子ポンプ本体１００が故障した場合は、制御装置に保存されているパラメータ情報を読み出し、新しいターボ分子ポンプ本体１００に、制御装置と同じパラメータ情報が保存されていることを確認する。また、制御装置が故障した場合も、同様にしてパラメータ情報の確認を行う。この確認作業は、多種類のパラメータ情報の中から確認すべきパラメータ情報を検索し、それらをメンテナンス装置のディスプレイ上等で比較することで行われる。
【００４８】
このように、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置のメンテナンス作業は、多種類のパラメータ情報の中から更新や確認に必要なパラメータ情報を過不足なく検索し、かつそれらに正確な値を入力等する必要がある。
【００４９】
そのため、作業者が熟練者でない場合、メンテナンス作業に要する時間が長くなったり、その作業時間の見積もりが困難である場合が多く、メンテナンス作業の計画が立て難くなるおそれがあった。
【００５０】
また、そのような作業者が、パラメータの更新作業の際等に、変更すべきパラメータ情報を全て変更していなかったり、あるいはパラメータ情報に誤った値を入力してしまった場合、このようなパラメータ情報をそのままターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に送信してしまうと、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置の破壊につながるおそれがあった。
【００５１】
さらに、複数台のターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に対して、故障等によるメンテナンス作業を行う場合等において、パラメータ情報の比較を必要とするパラメータ情報の種類が、個々のターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置毎にそれほど変わらない場合がある。このような場合にまで、通常の手順に従ってメンテナンス作業を行うことは作業時間の無駄であり、かかる場合のメンテナンス作業時間の短縮が望まれていた。
【００５２】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたものであり、真空ポンプのメンテナンスの際に、作業者の誤操作による真空ポンプの破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能なメンテナンス用アプリケーション及び該メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置を提供することを目的とする。
【００５３】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、メンテナンス用アプリケーションに関し、メンテナンス対象設備の運転のために必要なパラメータ情報の更新及び／又は確認をするメンテナンス作業のうち、前記パラメータ情報の検索結果及び／又は前記パラメータ情報の入力結果をデータ化するデータ化手段と、該データ化手段でデータ化されたデータが記録される記録手段と、該記録手段で記録されたデータを再生することで、前記メンテナンス作業が行われる再生手段とを備えて構成した。
【００５４】
パラメータ情報の検索をしたり、パラメータ情報の入力をしたりするメンテナンス作業において、このメンテナンス作業のうち、パラメータ情報の検索結果や、パラメータ情報の入力結果が、データ化手段によりデータ化される。この際、メンテナンス作業における手順の命令やその時間等はデータ化されない。そして、このデータ化されたデータは、記録手段により記録される。この記録されたデータは、以降のメンテナンス作業を行う者に利用され、作業者はこのデータを再生することで、メンテナンス作業が行われる。
このことにより、メンテナンス対象設備のメンテナンスの際に、作業者の誤操作によるメンテナンス対象設備の破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能である。
【００５５】
また、本発明は、メンテナンス用アプリケーションに関し、前記記録手段で記録されたデータを暗号化する暗号化手段と、該暗号化手段で暗号化されたデータを保存する保存手段と、該保存手段で保存されたデータを復号化する復号化手段とを備えて構成した。
【００５６】
記録手段により記録されたデータは暗号化される。
このことにより、記録されたデータに対し、改ざん防止や漏洩防止を行うことができる。
【００５７】
さらに、本発明は、メンテナンス用アプリケーションに関し、前記記録を開始する記録開始手段と、前記記録を解除する記録解除手段とを備え、前記記録手段における記録は、前記記録開始手段において記録が開始されてから前記記録解除手段において記録が解除されるまでの間に、前記データ化手段でデータ化されたデータを繰り返し記録可能であることを特徴とする。
【００５８】
記録手段におけるデータの記録では、記録開始手段において記録が開始されてから記録解除手段において記録が解除されるまでの間に行ったメンテナンス作業の結果が連続的に記録される。
このことにより、メンテナンスの作業内容別に、一連のデータを記録することができる。
【００５９】
さらに、本発明は、メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置に関し、請求項１、２又は３記載のメンテナンス用アプリケーションがインストールされたメンテナンス装置であって、該メンテナンス装置は、外部装置よりプロセスガスを吸引する真空ポンプ本体及び／又は該真空ポンプ本体を制御する制御装置に接続されることを特徴とする。
【００６０】
メンテナンス用アプリケーションは、真空ポンプや制御装置のメンテナンス作業に用いられる。
このことにより、多種類のパラメータ情報を有する真空ポンプ本体や制御装置のメンテナンス作業において、作業者の誤操作による真空ポンプ本体及び制御装置の破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能である。
【００６１】
さらに、本発明は、メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置に関し、前記記録手段で記録されたデータは、前記メンテナンス装置の外部に保存及び／又は複製可能であることを特徴とする。
【００６２】
記録手段で記録されたデータは、メンテナンス装置外にも保存される。
このことにより、これ以降、同じメンテナンス作業を行う作業者は、例えばフレキシブルディスクやＭＯディスク等に保存して、持ち運びすることが可能となる。
【００６３】
さらに、本発明は、メンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置に関し、前記確認は、前記真空ポンプ本体のパラメータ情報と前記制御装置のパラメータ情報とが一致しているか否かであることを特徴とする。
【００６４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
ターボ分子ポンプ本体や制御装置には、従来と同様に、メンテナンス装置が接続されている。このメンテナンス装置には、本発明の実施形態であるメンテナンス用アプリケーションがインストールされている。なお、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置は、従来と同様の構成となっている。
【００６５】
かかる構成において、メンテナンス用アプリケーションを用いた場合のメンテナンス手順は、以下の通りとなる。このメンテナンス手順を示したフローチャートを図１に示す。
図１において、作業者２００ａ、２００ｂは、それぞれ別のメンテナンス作業者である。
【００６６】
作業者２００ｂは、作業者２００ａよりも熟練した作業者であり、メンテナンス運用前もしくはメンテナンス運用初回に、後述する再生用データの作成を行う者である。また、作業者２００ａは、メンテナンスの繰り返し運用時に、作業者２００ｂが作成した再生用データを利用して、メンテナンス作業を行う者である。
【００６７】
まず、作業者２００ｂが行う作業について説明する。
作業者２００ｂは、ステップ１０（図中Ｓ１０と示す。以下同様）において、記録開始設定を行う。このステップ１０の作業手順を示したフローチャートを図２に示す。
【００６８】
図２において、ステップ１１は、作業者２００ｂの操作を待っている状態である。
そして、作業者２００ｂは、ステップ１２において、記録開始設定のためのウィンドウの立ち上げ操作を行う。このウィンドウの立ち上げ操作は、メンテナンス用アプリケーション上で解釈される。
【００６９】
その後、ステップ１３において、メンテナンス用アプリケーション上には、記録開始設定のためのウィンドウが起動される。そして、作業者２００ｂは、記録開始設定用のウィンドウ上で、例えば、記録開始ボタンを押したりすることで、後述する送信データの記録の開始設定が行われる。
なお、記録開始設定が行われると、記録開始設定のためのウィンドウが閉じられ、再び作業者２００ｂの操作待ち状態となる。
【００７０】
次に、作業者２００ｂは、ステップ２０において、データ記録を行う。このステップ２０の作業手順を示したフローチャートを図３に示す。
図３において、ステップ１１、ステップ１２は、図２と同様であり、メンテナンス用アプリケーション上には、データ記録用のウィンドウが起動される。
【００７１】
その後、ステップ２１において、作業者２００ｂは、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に対して、実際にメンテナンス作業を行う。このとき、メンテナンス用アプリケーション上では、作業者２００ｂがターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に対して行ったメンテナンス作業がデータ化される（以下、このデータを送信データという。）。
【００７２】
なお、この送信データは、作業者２００ｂが行ったメンテナンス作業が全てデータ化される訳ではなく、メンテナンス作業のうち、メンテナンスの繰り返し運用を行う作業者２００ａにとって必要な結果のみがデータ化される。
【００７３】
例えば、工場出荷の際のメンテナンス作業であれば、従来と同様に、作業者２００ｂは、多種類のパラメータ情報の中から更新に必要なパラメータ情報を検索し、それらに新しいパラメータ値を入力するが、その作業のうち、作業者２００ｂにより変更が行われたパラメータ情報を示す結果、すなわち「パラメータ情報の検索結果」や、そのパラメータ情報に入力した値を示す結果、すなわち「パラメータ情報の入力結果」がデータ化される。
【００７４】
また、故障等におけるメンテナンス作業でも、従来と同様に、作業者２００ｂは、多種類のパラメータ情報の中から確認に必要なパラメータ情報を検索して、これらの一致を確認するが、この作業のうち、確認が行われたパラメータ情報を示す結果、すなわち「パラメータ情報の検索結果」がデータ化される。
従って、メンテナンス作業における手順の命令やその時間等はデータ化されない。
【００７５】
そして、ステップ２２では、送信データに対して、ステップ１０において記録開始設定が行われているか否かにより、ステップ２３に送るかどうかの振り分けが行われる。
【００７６】
すなわち、記録開始設定が行われている場合には、ステップ２３において、送信データが、メンテナンス装置内の補助記憶装置等に記録されるとともに、この送信データが、ステップ２４でターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に送信される。
【００７７】
一方、記録開始設定が行われていない場合には、送信データは、（記録されることなく）直接ステップ２４に送られ、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に送信される。
【００７８】
その後、ステップ２５では、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置への送信完了を待ちつつ、データ記録用のウィンドウが立ち下げられる。そして、ステップ２６で送信の完了を確認すると、ステップ２７ではアプリケーション上の表示が更新され、再び作業者２００ｂの操作待ち状態となる。
【００７９】
なお、この送信データの記録は、後述するステップ３０が行われるまで、繰り返し行うことが可能である。従って、ステップ２３で記録される送信データは、通常、メンテナンス作業の内容に対応した複数の送信データの集合となる。
【００８０】
次に、作業者２００ｂはデータ記録を終了する際に、ステップ３０で記録解除設定を行う。
この記録解除設定は、ステップ１０である記録開始設定と同様な手順により行われる。すなわち、図示しないが、メンテナンス用アプリケーション上には、作業者２００ｂにより記録解除設定用のウィンドウが起動され、このウィンドウ上で記録解除の設定が行われる。
【００８１】
次に、作業者２００ｂは、ステップ４０において、データ変換を行う。このステップ４０の作業手順を示したフローチャートを図４に示す。
図４において、ステップ１１、ステップ１２は、図２と同様であり、メンテナンス用アプリケーション上には、データ変換用のウィンドウが起動される。
【００８２】
ステップ４１では、作業者２００ｂによって、ステップ２０で記録した送信データがメンテナンス用アプリケーション上に読み込まれる。
また、ステップ４２では、メンテナンス用アプリケーション上に読み込んだ送信データに対し、改ざん防止や漏洩防止を目的としたデータの暗号化が行われる。
【００８３】
なお、上述したように、送信データは作業内容毎に集合化されているので、データの暗号化は、作業内容毎にまとめて行われる。
その後、暗号化されたデータは、ステップ４３で、メンテナンス装置内のディスク等に記録される（以下、このデータを再生用データという。）。
【００８４】
また、この再生用データは、作業者２００ｂのメンテナンス装置以外の記憶装置内（例えば、他の作業者のメンテナンス装置のディスクやネットワーク上のサーバーのディスク等）にも記録もしくは複製される。
【００８５】
このようにして、作業者２００ｂは、メンテナンス運用前やメンテナンス運用初回に再生用データの作成を行い、これ以降、同じメンテナンス作業を行う作業者２００ａが、再生用データを参照あるいは取得可能なようにする。
【００８６】
次に、作業者２００ａが行う作業について説明する。
作業者２００ａは、上述したように、作業者２００ｂが作成した再生用データを利用してメンテナンス作業を行う者である。
【００８７】
そこで、作業者２００ａは、ステップ５０において、データ再生を行う。このステップ５０の作業手順を示したフローチャートを図５に示す。
図５において、ステップ１１、ステップ１２は、図２と同様であり、メンテナンス用アプリケーション上には、データ再生用のウィンドウが起動される。
【００８８】
そして、ステップ５１では、作業者２００ａにより、自身のメンテナンス装置やネットワーク上のサーバー内に記録された再生用データがメンテナンス用アプリケーション上に読み込まれる。
【００８９】
また、ステップ５２では、メンテナンス用アプリケーション上に読み込んだ再生用データに対し、暗号化の解除（復号化）を行い、データの抽出が行われる。そして、この抽出されたデータは、ステップ５３において、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置へ送信するための処理が行われる。
【００９０】
なお、再生用データは、作業内容別に集合化された送信データを暗号化したものであるが、ステップ５２では、個々の送信データ毎に暗号化が解除されるため、ステップ５４では、例えば、作業内容に含まれる全ての送信データの暗号化が解除されるまで、繰り返される。
【００９１】
このようにして、再生用データから抽出されたデータは、メンテナンス装置からターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置へ送られる（以下、このデータを再送信データという。）。
【００９２】
この再送信データは、送信データそのものであるため、作業者２００ａは、作業者２００ｂがターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置に対して行ったメンテナンス作業を利用しながら、メンテナンス作業を行うことができる。
従って、作業者２００ａがメンテナンス作業を行う際に必要な作業は、以下の通りとなる。
【００９３】
例えば、工場出荷の際のメンテナンス作業では、ステップ３０においてデータ化された「パラメータ情報の検索結果」を示すデータを再生し、この再生によって、変更すべきパラメータ情報が検索されたときに、作業者２００ａは、そのパラメータ情報の値を正確に入力すれば良い。
【００９４】
また、繰り返し同じ値のパラメータ情報を入力するようなメンテナンス作業を行う場合にも、「パラメータ情報の入力結果」を示すデータを再生するだけで、作業者２００ａのメンテナンス作業は終了する。
【００９５】
さらに、故障等によるメンテナンス作業でも、作業者２００ａは、ステップ３０でデータ化された「パラメータ情報の検索結果」を示す再生用データを再生し、確認すべきパラメータ情報が検索されたときに、パラメータ情報の一致の確認を行えば、メンテナンス作業は終了する。
【００９６】
このようにして、作業者２００ａは、メンテナンスの繰り返し運用時に、作業者２００ｂの作成した再生用データを利用して、メンテナンス作業を行うことができる。
【００９７】
以上により、作業者２００ａが熟練者でない場合であっても、事前に熟練した作業者２００ｂが行ったメンテナンス作業を利用しながらメンテナンス作業を行うことができるため、作業者２００ａのメンテナンス作業に要する時間を短縮することができ、作業時間の見積もりを容易にすることができる。
【００９８】
また、作業者２００ａは、再生用データとして、作業者２００ｂが行ったパラメータ情報の検索結果やそのパラメータ入力値を利用することができるため、メンテナンス作業を正確かつ確実に行うことが可能である。
【００９９】
さらに、個々のターボ分子ポンプ本体１００又は制御装置毎にそれほど作業内容が変わらないメンテナンス作業を行う場合にも、作業者２００ａは、再生用データを再生するのみで大部分の作業が終了してしまうため、かかる場合のメンテナンス作業時間を短縮することができる。
【０１００】
従って、ターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置のメンテナンスの際に、作業者２００ａの誤操作によるターボ分子ポンプ本体１００及び制御装置の破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能である。
【０１０１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、メンテナンス作業のうちの必要な部分をデータ化してこれを記録し、かつこの記録されたデータを再生してメンテナンス作業を行えるように構成したので、真空ポンプのメンテナンスの際に、作業者の誤操作による真空ポンプの破壊を防ぎつつ、その作業時間を短縮することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】フローチャート（メンテナンス手順）
【図２】フローチャート（記録開始設定）
【図３】フローチャート（データ記録）
【図４】フローチャート（データ変換）
【図５】フローチャート（データ再生）
【図６】ターボ分子ポンプ本体の縦断面図
【符号の説明】
１００　ターボ分子ポンプ本体
１０２　回転翼
１０３　回転体
１０４　上側径方向電磁石
１０５　下側径方向電磁石
１０６Ａ、１０６Ｂ　軸方向電磁石
１０７　上側径方向センサ
１０８　下側径方向センサ
１０９　軸方向センサ
１１３　ロータ軸
１２１　モータ
１２９　ベース部
１４１　電子回路部
２００ａ、２００ｂ　作業者

Claims

メンテナンス対象設備の運転のために必要なパラメータ情報の更新及び／又は確認をするメンテナンス作業のうち、前記パラメータ情報の検索結果及び／又は前記パラメータ情報の入力結果をデータ化するデータ化手段と、
該データ化手段でデータ化されたデータが記録される記録手段と、
該記録手段で記録されたデータを再生することで、前記メンテナンス作業が行われる再生手段とを備えたことを特徴とするメンテナンス用アプリケーション。
前記記録手段で記録されたデータを暗号化する暗号化手段と、
該暗号化手段で暗号化されたデータを保存する保存手段と、
該保存手段で保存されたデータを復号化する復号化手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のメンテナンス用アプリケーション。
前記記録を開始する記録開始手段と、
前記記録を解除する記録解除手段とを備え、
前記記録手段における記録は、前記記録開始手段において記録が開始されてから前記記録解除手段において記録が解除されるまでの間に、前記データ化手段でデータ化されたデータを繰り返し記録可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のメンテナンス用アプリケーション。
請求項１、２又は３記載のメンテナンス用アプリケーションがインストールされたメンテナンス装置であって、
該メンテナンス装置は、
外部装置よりプロセスガスを吸引する真空ポンプ本体及び／又は該真空ポンプ本体を制御する制御装置に接続されることを特徴とするメンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置。
前記記録手段で記録されたデータは、
前記メンテナンス装置の外部に保存及び／又は複製可能であることを特徴とする請求項４記載のメンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置。
前記確認は、
前記真空ポンプ本体のパラメータ情報と前記制御装置のパラメータ情報とが一致しているか否かであることを特徴とする請求項４又は請求項５記載のメンテナンス用アプリケーション搭載のメンテナンス装置。