JP2021043059A - プローブ - Google Patents

プローブ Download PDF

Info

Publication number
JP2021043059A
JP2021043059A JP2019165173A JP2019165173A JP2021043059A JP 2021043059 A JP2021043059 A JP 2021043059A JP 2019165173 A JP2019165173 A JP 2019165173A JP 2019165173 A JP2019165173 A JP 2019165173A JP 2021043059 A JP2021043059 A JP 2021043059A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
detection
eddy current
casing
infrared rays
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019165173A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7269141B2 (ja
Inventor
一成 萩原
Kazunari Hagiwara
一成 萩原
大介 一瀬
Daisuke Ichinose
大介 一瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TLV Co Ltd
Original Assignee
TLV Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TLV Co Ltd filed Critical TLV Co Ltd
Priority to JP2019165173A priority Critical patent/JP7269141B2/ja
Publication of JP2021043059A publication Critical patent/JP2021043059A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7269141B2 publication Critical patent/JP7269141B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

【課題】対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができるプローブを提供する。【解決手段】対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブは、励磁コイル、検出コイル、温度センサ、ケーシング及び断熱材を備える。励磁コイルは、励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる。検出コイルは、対象物の渦電流を検出する。温度センサは、対象物が放射する赤外線を非接触で検出する検出部を有する。ケーシングは、励磁コイル、検出コイル及び温度センサを収容する。断熱材は、ケーシングの外周面に配置され、対象物に対向する。また、検出部は、赤外線が入射するように、少なくとも一部が前記ケーシングの開口部を介して対象物に対向し、断熱材は、赤外線が通過する通過孔であって、検出部と検出部に対向する対象物とを連通する通過孔を有する。【選択図】図３

Description

この発明は、対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブに関する。
従来より、渦電流を利用した探傷に用いられるプローブ（渦流探傷プローブ）が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、検査の対象物等から受ける熱的な影響を軽減してその検出特性の安定化を図るべく、プローブの検出ヘッドに空気を供給するエアノズルの構成が開示されている。
特開２００６−２２０５４１号公報
上述したプローブの構成では、空気の供給によって熱的な影響は軽減されるかもしれないが、対象物（測定面）の正確な温度を測定できない虞がある。そのため、対象物の過電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことが困難である。
この発明は、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができるプローブを提供することを目的とする。
本発明によって提供される対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブは、励磁コイル、検出コイル、温度センサ、ケーシング及び断熱材を備える。励磁コイルは、励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる。検出コイルは、対象物の渦電流を検出する。温度センサは、対象物が放射する赤外線を非接触で検出する検出部を有する。ケーシングは、励磁コイル、検出コイル及び温度センサを収容する。断熱材は、ケーシングの外周面に配置され、対象物に対向する。また、検出部は、赤外線が入射するように、少なくとも一部が前記ケーシングの開口部を介して対象物に対向し、断熱材は、赤外線が通過する通過孔であって、検出部と検出部に対向する対象物とを連通する通過孔を有する。
上記通過孔には、筒が嵌入されていていもよい。
上記通過孔には、赤外線が通過可能なガラス素材の棒状体が嵌入されていてもよい。
上記通過孔における少なくとも対象物側の端部は、赤外線が通過可能なガラス素材の蓋部材で閉栓されていもよい。
この発明によれば、赤外線が通過する通過孔を有する断熱材を、対象物に対向するようにケーシングの外周面に配置しているので、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができる。これにより、対象物の過電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことができ、プローブの検出精度を向上させることができる。
この発明の実施形態に係るプローブの配置例を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るプローブの分解図である。 図１のＩ−Ｉ線におけるプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。
図面を参照してこの発明の実施形態に係るプローブについて説明する。なお、この発明の構成は、実施形態に限定されるものではない。
図１は、この発明の実施形態に係るプローブ１の配置例を示す斜視図である。図２は、プローブ１の分解図である。図３は、図１のＩ−Ｉ線におけるプローブ１の部分的な縦断面図である。
プローブ１は、蒸気プラント等で使用される配管５００に固定的に配置され、パルス渦電流探傷（ＰＥＣ:Pulsed Eddy Current）によって、金属製の配管５００に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出する。これにより、非接触で配管（対象物）５００の厚さ等を測定（検出）でき、配管５００の腐食等を発見することができる。また、プローブ１は、配管５００の温度も検出（測定）する。例えば、プローブ１は図示しない制御装置に検出結果を送出可能であり、また制御装置はコンピュータ（外部機器）と有線又は無線の通信を行って各検出結果を送信可能である。作業者はコンピュータ（外部機器）において各検出結果を確認することができる。なお、複数のプローブ１を複数の検査箇所のそれぞれに設置しておき、複数のプローブ１からの検出結果を制御装置を介してコンピュータに送信するようにしてもよい。
なお、本実施形態では、検査の対象物として配管５００を用いているが、過電流が発生する炭素鋼等の種々の物体（平板、円筒形）を対象物として適用可能である。
プローブ１は、カバー１１、ケーシング１２、断熱材１３及び取付部１４等から構成される。カバー１１は、ケーシング１２の上部を覆うように配置される。ケーシング１２は、励磁コイル２１、検出コイル２２、温度センサ３１等を収容する。励磁コイル２１は、励磁電流による磁束で配管５００に過電流を発生させる。検出コイル２１は、配管５００の過電流を検出する。温度センサ３１は、検出部３２等を有し、配管５００の温度を測定する。本実施形態の温度センサ３１は、サーモパイル３２２を用いて、非接触で配管５００の温度を測定する放射温度計である。詳細は後述する。
断熱材１３は、凹型形状を呈し、凹部においてケーシング１２の下部を収容する。取付部１４は、蓋部材１４１、収容部材１４２及び固定部材１４４等を備え、ケーシング１２を配管５００に固定する。
蓋部材１４１は、ケーシング１２とネジ結合する。なお、ケーシング１２は、蓋部材１４１とネジ結合した状態で断熱材１３に収容される。収容部材１４２は、凹部において断熱材１３を収容する。また、収容部材１４２は、フリンジ部１４３において、蓋部材１４１及び第一固定部材１４４Ａ（フリンジ部１５１）とネジ結合する。
固定部材１４４は、断面が半円形状の第一固定部材１４４Ａ及び第二固定部材１４４Ｂ等から構成される。第一固定部材１４４Ａと第二固定部材１４４Ｂとは、フリンジ部１４５Ａ，１４５Ｂにおいて配管５００を内包した状態でネジ結合する。また、固定部材１４４は、固定ネジによって配管５００に固定される。
第一固定部材１４４Ａは、外周面に形成された開口部１５０において収容部材１４２を挿通するとともに、フリンジ部１５１において、蓋部材１４１及び収容部材１４２（フリンジ部１４３）とネジ結合する。
次に、ケーシング１２の内部の構成について説明する。図３に示すように、ケーシング１２は、励磁コイル２１、検出コイル２２及び温度センサ３１等を収容する。また、ケーシング１２は、図示しないが、プローブ１の全体を制御する制御部（マイクロコンピュータ）、制御装置と通信を行う通信部等を収容する。制御部は、制御装置からの要求に応じて、各検出結果を通信部を介して制御装置に送信する。
励磁コイル２１及び検出コイル２２は、それぞれの軸心が一直線上になるように配列されている。また、励磁コイル２１及び検出コイル２２には、コア２３が挿入されている。コア２３は、例えばパーマロイで形成された略Ｕ字状の複数の薄板で積層されて形成されている。制御部は、励磁コイル２１に一定期間だけ励磁電流を出力させ、励磁電流の出力停止後に検出コイル２２による検出信号を取得する。
温度センサ３１は、検出部３２を有し、検出部３２において対象物が放射する赤外線を非接触で検出する。検出部３２は、レンズ３２１及びサーモパイル３２２等を有し、少なくとも一部がケーシング１２の開口部１２Ａを介して配管５００に対向する。具体的には、開口部１２Ａを介してレンズ３２１が配管５００に対向する。
ケーシング１２の開口部１２Ａは、断熱材１３に形成された通過孔１３Ａの一端側に対向する。また、断熱材１３の通過孔１３Ａの他端側は、収容部材１４２の底面に形成された開口部１４２Ａと対向する。すなわち、開口部１２Ａ、通過孔１３Ａ及び開口部１４２Ａは、連結されており、配管５００から放射された赤外線が通過する通路を形成する。レンズ３２１は、配管５００から放射された赤外線をサーモパイル３２２に集光する。サーモパイル３２２は、複数の熱電対であり、入射された赤外線エネルギーに応じた出力信号等をＡＤ変換器（不図示）等を経由して制御部に送出する。
次に、上述したプローブ１の使用形態について説明する。プローブ１は、例えば、所定期間の経過毎に検出を実行し、検出結果を記憶部（不図示）に記憶する。そして、制御部の要求に応じて、記憶部に記憶された検出結果を、通信部から制御部に送出する。検出を実行する際、制御部は、励磁コイル２１に所定期間だけ励磁電流を出力させる。
励磁コイル２１は、電流が印加されることによって、その軸心の方向に磁場を形成する。一方の励磁コイル２１と他方の励磁コイル２１とは、軸心の方向において互いに反対向きの磁場を形成するように電流が印加される。その結果、コア２３には、コア２３の長手方向に沿った磁場が形成される。励磁コイル２３に印加する電流を変動させることによって、配管５００に発生する磁場が変動し、配管５００に渦電流が発生する。
一方、配管５００のうち検出コイル２２の近傍の部分に発生した渦電流によって、検出コイル２２を貫通する磁束が形成される。検出コイル２２を貫通する磁束が変化すると、検出コイル２２に誘導起電力が発生する。検出コイ２２は、この誘導起電力を検出することによって、配管５００の渦電流を検出する。なお、定期的な渦電流の過渡変化の取得に際し、励磁コイル２１に印加される励磁電流の大きさは一定である。
また、制御部は、検出コイル２２による検出信号を取得するタイミングで、温度センサ３０による検出信号も取得する。これにより、渦電流の過渡変化を取得したときの配管５００の温度が取得される。
作業者は、例えば、プローブ１の各検出結果（渦電流及び温度）を制御装置を介してコンピュータで受信する。コンピュータでは、各検出結果に基づいて、配管（対象物）５００の厚さが算出される。この場合、配管５００の過電流の検出値（測定値）に対して、検出された配管５００の温度に基づく適切な温度補正が行われる。なお、プローブにおいて配管５００の厚さ等を算出してもよい。
以上のように、対象物（配管）から放射される赤外線が通過する通過孔を有する断熱材を、対象物に対向するようにケーシングの外周面に配置しているので、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができる。これにより、対象物の過電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことができ、プローブの検出精度を向上させることができる。
（他の実施形態）
上述の実施形態では、プローブが配管（対象物）に固定されているが、固定しない構成としてもよい。例えば、作業者が携帯可能なプローブに本発明を適用してもよい。
上述の実施形態では、サーモパイルを用いた温度センサについて説明しているが、対象物が放射する赤外線を非接触で検出する構成を有する温度センサであれば、特にこれに限定されるものではない。
上述の実施形態の断熱材は、ケーシングの下部（側面及び底面）を覆っているが、特にこれに限定されるものではない。少なくとも赤外線の通過孔を有し、且つ、対象物に対向する位置のケーシングの外周面に配置されていれば、種々の形状の断熱材を採用してもよい。例えば、図４に示すプローブ１００１のように、通過孔１３０Ａを有する板状の断熱材１３０を、対象物に対向するケーシング１２の底部の外周面に配置した構成としてもよい。
上述の実施形態では、断熱材の通過孔には、特に何も配置されていないが、配置する様にしてもよい。以下、複数の例について説明する。
例えば、図５に示すプローブ１００２のように、断熱材１３１の通過孔１３１Ａに、金属製の中空の筒（パイプ）３００が嵌入された構成としてもよい。すなわち、筒３００によって通過孔１３１Ａが形成されている。これにより、通過孔１３１Ａの形状をより長期に保持することができる。
また、例えば、図６に示すプローブ１００３のように、断熱材１３２の通過孔１３２Ａに、ガラス素材の棒状体３０１が嵌入された構成としてもよい。これにより、通過孔１３２Ａを介しての対象物の熱の影響を防止できる（熱保護）。なお、ガラス素材としては、対象物から放射される赤外線を十分に透過できる素材であることが望ましい。例えば、３〜１５μｍの測定波長が可能なＣａＦ２やＢａＦ２ｇａが望ましい。
さらに、例えば、図７に示すプローブ１００４のように、断熱材１３３の通過孔１３３Ａの対象物側の端部を、ガラス素材の蓋部材３０２で閉栓した構成としてもよい。これにより、通過孔１３３Ａ内の対象物の熱の滞留を防止できる。
この発明は、検査の対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブにおいて、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定するのに有用である。
１ プローブ
１１ 励磁コイル
１２ 検出コイル
１３，１３０，１３１，１３２，１３３ 断熱材
１３Ａ，１３０Ａ，１３１Ａ，１３２Ａ，１３３Ａ 通過孔
３１ 温度センサ
３２ 検出部
５００ 配管
この発明は、対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブに関する。
従来より、渦電流を利用した探傷に用いられるプローブ（渦流探傷プローブ）が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、検査の対象物等から受ける熱的な影響を軽減してその検出特性の安定化を図るべく、プローブの検出ヘッドに空気を供給するエアノズルの構成が開示されている。
特開２００６−２２０５４１号公報
上述したプローブの構成では、空気の供給によって熱的な影響は軽減されるかもしれないが、対象物（測定面）の正確な温度を測定できない虞がある。そのため、対象物の渦電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことが困難である。
この発明は、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができるプローブを提供することを目的とする。
本発明によって提供される対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブは、励磁コイル、検出コイル、温度センサ、ケーシング及び断熱材を備える。励磁コイルは、励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる。検出コイルは、対象物の渦電流を検出する。温度センサは、対象物が放射する赤外線を非接触で検出する検出部を有する。ケーシングは、励磁コイル、検出コイル及び温度センサを収容する。断熱材は、ケーシングの外周面に配置され、対象物に対向する。また、検出部は、赤外線が入射するように、少なくとも一部が前記ケーシングの開口部を介して対象物に対向し、断熱材は、赤外線が通過する通過孔であって、検出部と検出部に対向する対象物とを連通する通過孔を有する。
上記通過孔には、筒が嵌入されていていもよい。
上記通過孔には、赤外線が通過可能なガラス素材の棒状体が嵌入されていてもよい。
上記通過孔における少なくとも対象物側の端部は、赤外線が通過可能なガラス素材の蓋部材で閉栓されていもよい。
この発明によれば、赤外線が通過する通過孔を有する断熱材を、対象物に対向するようにケーシングの外周面に配置しているので、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができる。これにより、対象物の渦電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことができ、プローブの検出精度を向上させることができる。
この発明の実施形態に係るプローブの配置例を示す斜視図である。 この発明の実施形態に係るプローブの分解図である。 図１のＩ−Ｉ線におけるプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。 この発明の別の実施形態に係るプローブの部分的な縦断面図である。
図面を参照してこの発明の実施形態に係るプローブについて説明する。なお、この発明の構成は、実施形態に限定されるものではない。
図１は、この発明の実施形態に係るプローブ１の配置例を示す斜視図である。図２は、プローブ１の分解図である。図３は、図１のＩ−Ｉ線におけるプローブ１の部分的な縦断面図である。
プローブ１は、蒸気プラント等で使用される配管５００に固定的に配置され、パルス渦電流探傷（ＰＥＣ:Pulsed Eddy Current）によって、金属製の配管５００に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出する。これにより、非接触で配管（対象物）５００の厚さ等を測定（検出）でき、配管５００の腐食等を発見することができる。また、プローブ１は、配管５００の温度も検出（測定）する。例えば、プローブ１は図示しない制御装置に検出結果を送出可能であり、また制御装置はコンピュータ（外部機器）と有線又は無線の通信を行って各検出結果を送信可能である。作業者はコンピュータ（外部機器）において各検出結果を確認することができる。なお、複数のプローブ１を複数の検査箇所のそれぞれに設置しておき、複数のプローブ１からの検出結果を制御装置を介してコンピュータに送信するようにしてもよい。
なお、本実施形態では、検査の対象物として配管５００を用いているが、渦電流が発生する炭素鋼等の種々の物体（平板、円筒形）を対象物として適用可能である。
プローブ１は、カバー１１、ケーシング１２、断熱材１３及び取付部１４等から構成される。カバー１１は、ケーシング１２の上部を覆うように配置される。ケーシング１２は、励磁コイル２１、検出コイル２２、温度センサ３１等を収容する。励磁コイル２１は、励磁電流による磁束で配管５００に渦電流を発生させる。検出コイル２１は、配管５００の渦電流を検出する。温度センサ３１は、検出部３２等を有し、配管５００の温度を測定する。本実施形態の温度センサ３１は、サーモパイル３２２を用いて、非接触で配管５００の温度を測定する放射温度計である。詳細は後述する。
断熱材１３は、凹型形状を呈し、凹部においてケーシング１２の下部を収容する。取付部１４は、蓋部材１４１、収容部材１４２及び固定部材１４４等を備え、ケーシング１２を配管５００に固定する。
蓋部材１４１は、ケーシング１２とネジ結合する。なお、ケーシング１２は、蓋部材１４１とネジ結合した状態で断熱材１３に収容される。収容部材１４２は、凹部において断熱材１３を収容する。また、収容部材１４２は、フリンジ部１４３において、蓋部材１４１及び第一固定部材１４４Ａ（フリンジ部１５１）とネジ結合する。
固定部材１４４は、断面が半円形状の第一固定部材１４４Ａ及び第二固定部材１４４Ｂ等から構成される。第一固定部材１４４Ａと第二固定部材１４４Ｂとは、フリンジ部１４５Ａ，１４５Ｂにおいて配管５００を内包した状態でネジ結合する。また、固定部材１４４は、固定ネジによって配管５００に固定される。
第一固定部材１４４Ａは、外周面に形成された開口部１５０において収容部材１４２を挿通するとともに、フリンジ部１５１において、蓋部材１４１及び収容部材１４２（フリンジ部１４３）とネジ結合する。
次に、ケーシング１２の内部の構成について説明する。図３に示すように、ケーシング１２は、励磁コイル２１、検出コイル２２及び温度センサ３１等を収容する。また、ケーシング１２は、図示しないが、プローブ１の全体を制御する制御部（マイクロコンピュータ）、制御装置と通信を行う通信部等を収容する。制御部は、制御装置からの要求に応じて、各検出結果を通信部を介して制御装置に送信する。
励磁コイル２１及び検出コイル２２は、それぞれの軸心が一直線上になるように配列されている。また、励磁コイル２１及び検出コイル２２には、コア２３が挿入されている。コア２３は、例えばパーマロイで形成された略Ｕ字状の複数の薄板で積層されて形成されている。制御部は、励磁コイル２１に一定期間だけ励磁電流を出力させ、励磁電流の出力停止後に検出コイル２２による検出信号を取得する。
温度センサ３１は、検出部３２を有し、検出部３２において対象物が放射する赤外線を非接触で検出する。検出部３２は、レンズ３２１及びサーモパイル３２２等を有し、少なくとも一部がケーシング１２の開口部１２Ａを介して配管５００に対向する。具体的には、開口部１２Ａを介してレンズ３２１が配管５００に対向する。
ケーシング１２の開口部１２Ａは、断熱材１３に形成された通過孔１３Ａの一端側に対向する。また、断熱材１３の通過孔１３Ａの他端側は、収容部材１４２の底面に形成された開口部１４２Ａと対向する。すなわち、開口部１２Ａ、通過孔１３Ａ及び開口部１４２Ａは、連結されており、配管５００から放射された赤外線が通過する通路を形成する。レンズ３２１は、配管５００から放射された赤外線をサーモパイル３２２に集光する。サーモパイル３２２は、複数の熱電対であり、入射された赤外線エネルギーに応じた出力信号等をＡＤ変換器（不図示）等を経由して制御部に送出する。
次に、上述したプローブ１の使用形態について説明する。プローブ１は、例えば、所定期間の経過毎に検出を実行し、検出結果を記憶部（不図示）に記憶する。そして、制御部の要求に応じて、記憶部に記憶された検出結果を、通信部から制御部に送出する。検出を実行する際、制御部は、励磁コイル２１に所定期間だけ励磁電流を出力させる。
励磁コイル２１は、電流が印加されることによって、その軸心の方向に磁場を形成する。一方の励磁コイル２１と他方の励磁コイル２１とは、軸心の方向において互いに反対向きの磁場を形成するように電流が印加される。その結果、コア２３には、コア２３の長手方向に沿った磁場が形成される。励磁コイル２３に印加する電流を変動させることによって、配管５００に発生する磁場が変動し、配管５００に渦電流が発生する。
一方、配管５００のうち検出コイル２２の近傍の部分に発生した渦電流によって、検出コイル２２を貫通する磁束が形成される。検出コイル２２を貫通する磁束が変化すると、検出コイル２２に誘導起電力が発生する。検出コイ２２は、この誘導起電力を検出することによって、配管５００の渦電流を検出する。なお、定期的な渦電流の過渡変化の取得に際し、励磁コイル２１に印加される励磁電流の大きさは一定である。
また、制御部は、検出コイル２２による検出信号を取得するタイミングで、温度センサ３０による検出信号も取得する。これにより、渦電流の過渡変化を取得したときの配管５００の温度が取得される。
作業者は、例えば、プローブ１の各検出結果（渦電流及び温度）を制御装置を介してコンピュータで受信する。コンピュータでは、各検出結果に基づいて、配管（対象物）５００の厚さが算出される。この場合、配管５００の渦電流の検出値（測定値）に対して、検出された配管５００の温度に基づく適切な温度補正が行われる。なお、プローブにおいて配管５００の厚さ等を算出してもよい。
以上のように、対象物（配管）から放射される赤外線が通過する通過孔を有する断熱材を、対象物に対向するようにケーシングの外周面に配置しているので、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定することができる。これにより、対象物の渦電流の検出値（測定値）に対して適切な温度補正を行うことができ、プローブの検出精度を向上させることができる。
（他の実施形態）
上述の実施形態では、プローブが配管（対象物）に固定されているが、固定しない構成としてもよい。例えば、作業者が携帯可能なプローブに本発明を適用してもよい。
上述の実施形態では、サーモパイルを用いた温度センサについて説明しているが、対象物が放射する赤外線を非接触で検出する構成を有する温度センサであれば、特にこれに限定されるものではない。
上述の実施形態の断熱材は、ケーシングの下部（側面及び底面）を覆っているが、特にこれに限定されるものではない。少なくとも赤外線の通過孔を有し、且つ、対象物に対向する位置のケーシングの外周面に配置されていれば、種々の形状の断熱材を採用してもよい。例えば、図４に示すプローブ１００１のように、通過孔１３０Ａを有する板状の断熱材１３０を、対象物に対向するケーシング１２の底部の外周面に配置した構成としてもよい。
上述の実施形態では、断熱材の通過孔には、特に何も配置されていないが、配置する様にしてもよい。以下、複数の例について説明する。
例えば、図５に示すプローブ１００２のように、断熱材１３１の通過孔１３１Ａに、金属製の中空の筒（パイプ）３００が嵌入された構成としてもよい。すなわち、筒３００によって通過孔１３１Ａが形成されている。これにより、通過孔１３１Ａの形状をより長期に保持することができる。
また、例えば、図６に示すプローブ１００３のように、断熱材１３２の通過孔１３２Ａに、ガラス素材の棒状体３０１が嵌入された構成としてもよい。これにより、通過孔１３２Ａを介しての対象物の熱の影響を防止できる（熱保護）。なお、ガラス素材としては、対象物から放射される赤外線を十分に透過できる素材であることが望ましい。例えば、３〜１５μｍの測定波長が可能なＣａＦ２やＢａＦ２ｇａが望ましい。
さらに、例えば、図７に示すプローブ１００４のように、断熱材１３３の通過孔１３３Ａの対象物側の端部を、ガラス素材の蓋部材３０２で閉栓した構成としてもよい。これにより、通過孔１３３Ａ内の対象物の熱の滞留を防止できる。
この発明は、検査の対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブにおいて、対象物等から受ける熱的な影響を軽減しつつ、対象物の正確な温度を測定するのに有用である。
１ プローブ
１１ 励磁コイル
１２ 検出コイル
１３，１３０，１３１，１３２，１３３ 断熱材
１３Ａ，１３０Ａ，１３１Ａ，１３２Ａ，１３３Ａ 通過孔
３１ 温度センサ
３２ 検出部
５００ 配管

Claims (4)

  1. 対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブであって、
    励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる励磁コイルと、
    対象物の渦電流を検出する検出コイルと、
    対象物が放射する赤外線を非接触で検出する検出部を有する温度センサと、
    前記励磁コイル、前記検出コイル及び前記温度センサを収容するケーシングと、
    前記ケーシングの外周面に配置され、対象物に対向する断熱材と、
    を備え、
    前記検出部は、赤外線が入射するように、少なくとも一部が前記ケーシングの開口部を介して対象物に対向し、
    前記断熱材は、赤外線が通過する通過孔であって、前記検出部と該検出部に対向する対象物とを連通する通過孔を有することを特徴とするプローブ。
  2. 前記通過孔には、筒が嵌入されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  3. 前記通過孔には、赤外線が通過可能なガラス素材の棒状体が嵌入されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  4. 前記通過孔における少なくとも対象物側の端部は、赤外線が通過可能なガラス素材の蓋部材で閉栓されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
JP2019165173A 2019-09-11 2019-09-11 プローブ Active JP7269141B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019165173A JP7269141B2 (ja) 2019-09-11 2019-09-11 プローブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019165173A JP7269141B2 (ja) 2019-09-11 2019-09-11 プローブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021043059A true JP2021043059A (ja) 2021-03-18
JP7269141B2 JP7269141B2 (ja) 2023-05-08

Family

ID=74864494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019165173A Active JP7269141B2 (ja) 2019-09-11 2019-09-11 プローブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7269141B2 (ja)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57207858A (en) * 1981-06-17 1982-12-20 Nippon Steel Corp Hot flaw detecting method of metallic material
JPS6358720U (ja) * 1986-10-06 1988-04-19
JPH01173668U (ja) * 1988-05-26 1989-12-08
JPH06201453A (ja) * 1992-12-30 1994-07-19 Horiba Ltd 赤外線検出器
JPH1183631A (ja) * 1997-09-10 1999-03-26 Citizen Watch Co Ltd 放射温度計
JP2000171305A (ja) * 1998-12-03 2000-06-23 Mitsubishi Electric Corp 赤外線検出装置
WO2001096825A1 (fr) * 2000-06-13 2001-12-20 Omron Corporation Pyrometre
JP2003005574A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Ricoh Co Ltd 定着装置及び画像形成装置
JP2008157907A (ja) * 2006-11-27 2008-07-10 Toyota Motor Corp 焼入パターン検査方法及び検査装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57207858A (en) * 1981-06-17 1982-12-20 Nippon Steel Corp Hot flaw detecting method of metallic material
JPS6358720U (ja) * 1986-10-06 1988-04-19
JPH01173668U (ja) * 1988-05-26 1989-12-08
JPH06201453A (ja) * 1992-12-30 1994-07-19 Horiba Ltd 赤外線検出器
JPH1183631A (ja) * 1997-09-10 1999-03-26 Citizen Watch Co Ltd 放射温度計
JP2000171305A (ja) * 1998-12-03 2000-06-23 Mitsubishi Electric Corp 赤外線検出装置
WO2001096825A1 (fr) * 2000-06-13 2001-12-20 Omron Corporation Pyrometre
JP2003005574A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Ricoh Co Ltd 定着装置及び画像形成装置
JP2008157907A (ja) * 2006-11-27 2008-07-10 Toyota Motor Corp 焼入パターン検査方法及び検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP7269141B2 (ja) 2023-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9835506B2 (en) Self-calibrated flow meter
ES2287575T3 (es) Metodo de supervision del grosor de una pared.
WO2019123492A1 (en) Method and system for non-destructive monitoring of the structural integrity of containers for storing compressed gas
JP2010164306A (ja) 焼入れ深さ測定方法および焼入れ深さ測定装置
RU2014129916A (ru) Устройство и способ обнаружения отложений
JP7245673B2 (ja) プローブ及び厚さ測定装置
US8345264B2 (en) Laser reflection optical fiber sensor
CN111165892A (zh) 气溶胶产生装置
JP2021043059A (ja) プローブ
US6583618B2 (en) Remote magnetic field material analyzer and method
US9891181B2 (en) Measurement device for measuring a property of a flowing fluid
JP2007113980A (ja) 非接触式膜厚計
Merah Detecting and measuring flaws using electric potential techniques
KR102590507B1 (ko) 핵 연료 고장 방지 방법
JP5467522B2 (ja) 温度分布測定器
JP7475029B2 (ja) プローブ
RU2439491C1 (ru) Способ определения величины отложений на внутренней поверхности трубопровода и устройство для его осуществления
SU940245A1 (ru) Схема соединений бесконтактной передачи данных температуры от топливной кассеты дерного реактора
ITMI20012475A1 (it) Strumento per la misura della potenza della radiazione emessa da una sorgente laser nonche' procedimento attuato per la misura della potenza
JP3191726B2 (ja) 磁歪効果を利用した応力測定方法および装置
KR20100003808A (ko) 가역투자율 측정 장치
JP2524384B2 (ja) 極低温用温度計
Taler et al. Measurements of absorbed heat flux and water-side heat transfer coefficient in water wall tubes
JP2011069702A (ja) クリープ量測定装置
JP6905889B2 (ja) センサ固定器具

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201104

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220722

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230407

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230418

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230421

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7269141

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150