JP2021041483A - 研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法 - Google Patents
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
〔1〕
不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなる円形または円環形の研磨パッドであって、
ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を外周に有し、
前記研磨パッドを厚さ方向に切断して現れる断面において、前記研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合が、50%以上である、
研磨パッド。
〔2〕
前記樹脂が水系ポリウレタン樹脂を含む、
〔1〕に記載の研磨パッド。
〔3〕
前記樹脂がミクロポーラスを有しない、
〔1〕又は〔2〕に記載の研磨パッド。
〔4〕
前記樹脂の100%モジュラスが、0.5〜5.0MPaである、
〔1〕〜〔3〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔5〕
前記樹脂含浸不織布の表面のショアA硬度が、60〜90°である、
〔1〕〜〔4〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔6〕
前記樹脂含浸不織布の密度が、0.48〜0.70g/cm3である、
〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔7〕
前記樹脂含浸不織布の前記不織布に対する前記樹脂の質量比率は、1.35以上である、
〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔8〕
〔1〕〜〔7〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法であって、
繊維が水平方向に配向したフリースを複数枚積層させ、前記繊維を交絡させて、不織布主面の面内方向に対して前記繊維が配向した不織布を作製する不織布作製工程と、
前記不織布に水系樹脂分散液を含浸させる含浸工程と、
含浸させた前記水系樹脂分散液を乾燥させて樹脂含浸不織布を得る乾燥工程と、
得られた前記樹脂含浸不織布を円形または円環形に裁断する裁断工程と、
裁断された前記樹脂含浸不織布の外周に、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を形成する研磨部形成工程と、を有する、
研磨パッドの製造方法。
〔9〕
〔1〕〜〔7〕のいずれか一項に記載の研磨パッドを用いて、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨する研磨工程を有する、
研磨加工品の製造方法。
本実施形態の研磨パッドは、不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなる円形または円環形の研磨パッドであって、ワーク(被加工物)の外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を外周に有し、研磨パッドを厚さ方向に切断して現れる断面において、研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合が、50%以上である。なお、「円環形」とは、略円盤状の形状の中心付近に、その円盤状の厚さ方向に貫通する孔を有する形状を意味する。
本実施形態の研磨パッドは、不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなる。以下、研磨パッドを構成する樹脂含浸不織布の態様について詳述する。
不織布を構成する繊維としては、特に制限されないが、例えば、ポリアミド系繊維、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系繊維、ポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィン系繊維、(メタ)アクリレート等のアクリル系繊維のような合成繊維;綿及び麻のような天然繊維が挙げられる。不織布を構成する繊維は、一種単独で用いても、二種以上を併用してもよい。また、異なる繊維からなる不織布を重ねて用いてもよい。不織布を得る際に繊維を交絡させる方法としても特に限定されず、例えば、ニードルパンチであってもよく、水流交絡であってもよい。
不織布に含浸させる樹脂としては、特に制限されないが、例えば、水系樹脂や溶剤系樹脂が上げられ、ポリウレタン、ポリウレタンポリウレア等のポリウレタン樹脂;ポリアクリレート、ポリアクリロニトリル等のアクリル系樹脂;ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリフッ化ビニリデン等のビニル系樹脂;ポリサルホン、ポリエーテルサルホン等のポリサルホン系樹脂;アセチル化セルロース、ブチリル化セルロース等のアシル化セルロース系樹脂;ポリアミド系樹脂;及びポリスチレン系樹脂が挙げられる。
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、繊維がフリースの面内方向に配向したフリースを複数枚積層させ、繊維を交絡させて、不織布主面の面内方向に対して繊維が配向した不織布を作製する不織布作製工程と、不織布に水系樹脂分散液を含浸させる含浸工程と、含浸させた水系樹脂分散液を乾燥させて樹脂含浸不織布を得る乾燥工程と、得られた樹脂含浸不織布を円形または円環形に裁断する裁断工程と、裁断された樹脂含浸不織布の外周に、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を形成する研磨部形成工程と、を有する。
不織布作製工程は、繊維が水平方向に配向したフリースを複数枚積層させ、繊維を交絡させて、不織布主面の面内方向に対して繊維が配向した不織布を作製する工程である。ここで、水平方向と面内方向は、平行である。
含浸工程は、上記のようにして得られた不織布に水系樹脂分散液(エマルジョン)を含浸させる工程である。具体的な方法としては、例えば、水系樹脂分散液に不織布を十分に浸漬した後、マングルローラ等を用いて余剰な水系樹脂分散液を不織布から絞り落とすことで樹脂の付着量を調整する。水系樹脂分散液は、樹脂と水を含み、必要に応じて、その他添加剤を含んでいてもよい。樹脂としては上述したものを用いることができる。なお、「水系樹脂分散液」とは、分散媒が水であることを意味する。水系樹脂分散液には、必要に応じて、水溶性有機溶剤が含まれていてもよい。
乾燥工程は、含浸させた水系樹脂分散液を乾燥させて樹脂含浸不織布を得る工程である。これにより、ミクロポーラスが生じることなく、樹脂含浸不織布を得ることができる。
裁断工程は、上記乾燥工程を経た樹脂含浸不織布を円形または円環形(ドーナツ型円盤状)に裁断する工程である。
研磨部形成工程は、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を形成する工程である。円形または円環形(ドーナツ型円盤状)に裁断された樹脂含浸不織布の外周にワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を形成する。研磨部の形成方法としては、例えば、切削が挙げられる。
本実施形態の研磨加工品の製造方法は、上記研磨パッドを用いて、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨する研磨工程を有する。ワークとしては、ノッチ部を有するものであれば特に制限されない。また、研磨方法としては、図1に示すように、ワークの主面と研磨パッドの主面をほぼ直交するように接触させる方法が挙げられる。また、本実施形態の研磨加工品の製造方法は、上記の研磨工程に加えて、上記の研磨パッド又は別の研磨パッドの主面を接触面として、その研磨パッドを用いてワークの主面を研磨する別の研磨工程を有してもよい。
バネを介して厚さ4.5mm以上の研磨パッドの試験片表面(主面)に押針(測定子)を押し付け30秒後の押針の押し込み深さから、研磨パッドのショアA硬度を測定した。測定装置としては、デュロメータ タイプAを用いた。これを3回行って相加平均からショアA硬度を求めた。なお、試験片が4.5mm未満のときは試験片を、厚さ4.5mm以上になるように複数枚重ねて測定した。
ショッパー型厚さ測定器(加圧面:直径1cmの円形)を用い、日本工業規格(JIS L 1021)に準拠して、研磨パッドの圧縮率を測定した。具体的には、初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0を測定し、次に最終圧力の下で5分間放置後の厚さt1を測定した。これらから、圧縮率を下記式により算出した。このとき、初荷重は100g/cm2、最終荷重は1120g/cm2とした。
圧縮率(%)=(t0−t1)/t0×100
ショッパー型厚さ測定器(加圧面:直径1cmの円形)を用いて、日本工業規格(JIS L 1021)に準拠して、研磨パッドの圧縮弾性率を測定した。具体的には、初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0を測定し、次に最終荷重のもとで5分間放置後の厚さt1を測定した。全ての荷重を除き、5分間放置後、再び初荷重で30秒間加圧した後の厚さt0’を測定した。これらから、圧縮弾性率を下記式により算出した。このとき、初荷重は100g/cm2、最終荷重は1120g/cm2であった。
圧縮弾性率(%)=(t0’−t1)/(t0−t1)×100
ショッパー型厚さ測定器(加圧面:直径1cmの円形)を用いて、日本工業規格(JIS K 6505)に準拠して、研磨パッドの厚さを測定した。具体的には、研磨パッドを10cm×10cmに切り出した試料片3枚用意し、各試料片に、厚さ測定器の所定位置にセットした後、480g/cm2の荷重をかけた加圧面を試料片の表面に載せ、5秒経過後に厚さを測定した。1枚の試料片につき、5箇所の厚さを測定し相加平均を算出し、さらに3枚の試料片の相加平均を求めた。なお、研磨パッドサイズの関係で10cm×10cmの試料片を得ることが困難な場合は研磨パッド内の15箇所の厚さを測定し相加平均を求めて研磨パッドの厚さとしてもよい。
日本工業規格(JIS K 6505)に準拠して、研磨パッドの密度を測定した。具体的には、厚さの測定で用いたものと同様の試料片を用意し、その質量を自動天秤で測定後、下記式により密度を算出し、3枚の試料片の相加平均を求めて研磨パッドの密度とした。なお、研磨パッドサイズの関係で10cm×10cmの試料片を得ることが困難な場合は、採取可能な大きさの試料片を3枚用意し試料の質量と体積から密度を算出し3枚の相加平均を求めて研磨パッドの密度としてもよい。
密度(g/cm3)=質量(g)/(10(cm)×10(cm)×試料片の厚さ(cm))
実施例または比較例で得られた研磨パッドを、切断することで、研磨パッドの断面を露出させたサンプルを用意した。得られた研磨パッドの断面を走査型電子顕微鏡(製品名「JCM−5700」、日本電子株式会社製)により、撮影し、得られた画像データに基づいて、研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合を確認した。具体的には、100倍のSEM断面写真で見える繊維(但し、切断面が繊維断面のみで繊維の方向が見えないものは除く)の総本数と、研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の本数を数え、総本数に対する研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の本数の割合を算出した。この算出操作は、3箇所で測定し、繊維配向は、その相加平均で表した。
摩擦摩耗試験機(製品名「摩擦摩耗試験機154D」、株式会社井元製作所社製)を用いて、下記条件で摩擦摩耗試験を行った。なお、試験片としては、実施例または比較例で得られた研磨パッドを円形における円の中心軸に平行な面で切断し、断面を露出させたサンプルを3つ用意し、3つのサンプルの断面が一面に並ぶように張り合わせたものを使用した。摩擦摩耗試験機に、露出させた断面とサンドペーパーが接触するように試験片を設置して、試験を行った。摩擦摩耗試験の評価においては、下記条件下による試験片の断面の削れ量を秤量し、それに基づいて耐摩耗性を評価した。この場合、削れ量が少ないほど耐摩耗性に優れることを意味する。なお、実施例の評価は比較例の削れ量を100としたときの相対値で表した。
流水量 :50mL/min
サンドペーパー番手:#240
圧力 :296g/cm2
時間 :10min
回転数 :60rpm
ポリエチレンテレフタレート繊維(繊度3.3dtex、平均繊維長51mm)からなる不織布を、ポリエチレンテレフタレート原綿を混打綿機に通したのち、カード(梳綿機)によりフリースを形成し繊維の方向性を整え、積層させ、ニードルパンチで繊維をからめることにより作製した。得られた不織布は、主面の面内方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合が、50%以上であった。
不織布1質量部に対する樹脂量を1.5質量部としたこと以外は、実施例1と同様にして、研磨パッドを得た。得られた研磨パッドについて、厚さ方向に切断することで、断面を形成し、研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合を確認したところ60%であった。
実施例1で得られた不織布を、湿式ポリウレタン樹脂(100%モジュラス12Mps、製品名「クリスボン」、DIC社製)とN,N−ジメチルホルムアミドとを含む樹脂溶液中に浸漬した。浸漬後、1対のローラ間を加圧可能なマングルローラを用いて余剰の樹脂溶液を絞り落とし、不織布に樹脂溶液を略均一に含浸させた。次いで、室温の水からなる凝固液中に浸漬することにより、樹脂を凝固再生させて樹脂含浸不織布を得た。なお、得られた樹脂含浸不織布において、不織布1質量部に対する樹脂量は1.3質量部であった。
Claims (9)
- 不織布と該不織布に含浸した樹脂とを含む樹脂含浸不織布からなる円形または円環形の研磨パッドであって、
ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を外周に有し、
前記研磨パッドを厚さ方向に切断して現れる断面において、前記研磨パッドの表面と水平な方向に対して±30°以内となるように配向した繊維の割合が、50%以上である、
研磨パッド。 - 前記樹脂が水系ポリウレタン樹脂を含む、
請求項1に記載の研磨パッド。 - 前記樹脂がミクロポーラスを有しない、
請求項1又は2に記載の研磨パッド。 - 前記樹脂の100%モジュラスが、0.5〜5.0MPaである、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の研磨パッド。 - 前記樹脂含浸不織布の表面のショアA硬度が、60〜90°である、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨パッド。 - 前記樹脂含浸不織布の密度が、0.48〜0.70g/cm3である、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の研磨パッド。 - 前記樹脂含浸不織布の前記不織布に対する前記樹脂の質量比率は、1.35以上である、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の研磨パッド。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法であって、
繊維が水平方向に配向したフリースを複数枚積層させ、前記繊維を交絡させて、不織布主面の面内方向に対して前記繊維が配向した不織布を作製する不織布作製工程と、
前記不織布に水系樹脂分散液を含浸させる含浸工程と、
含浸させた前記水系樹脂分散液を乾燥させて樹脂含浸不織布を得る乾燥工程と、
得られた前記樹脂含浸不織布を円形または円環形に裁断する裁断工程と
裁断された前記樹脂含浸不織布の外周に、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨するための研磨部を形成する研磨部形成工程と、を有する、
研磨パッドの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の研磨パッドを用いて、ワークの外周縁部に形成されたノッチ部を研磨する研磨工程を有する、
研磨加工品の製造方法。
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