JP2021035293A - アクチュエータおよびアクチュエータの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ゲル状ダンパー部材を用いて可動体と支持体とを接続するアクチュエータにおいて、ゲル状ダンパー部材の変形特性を確保しながら耐久性を高める。【解決手段】アクチュエータ１Ａは、支持体２と可動体３とを接続するゲル状ダンパー部材９と、可動体３を支持体２に対して振動させる磁気駆動機構６を備える。ゲル状ダンパー部材９は、大判のシート状ゲルを切断したゲル状部材９０と、ゲル状部材９０の切断面を覆うコーティング層９５を備える。コーティング層９５は、露出面９６となる端面に形成されているため、ゲル状部材９０の破壊がコーティング層９５によって抑制される。また、コーティング層９５は、ゲル状部材９０を構成するシリコーンゲルよりも伸びやすく破断しにくいゴム弾性膜である。従って、ゲル状ダンパー部材９の変形特性を確保しながら耐久性を高めることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、振動を発生させるアクチュエータおよびその製造方法に関する。

特許文献１には、振動を発生させるアクチュエータが開示される。特許文献１のアクチュエータは、支持体および可動体と、支持体に対して可動体を相対移動させる磁気駆動機構を備える。磁気駆動機構は、コイルと磁石とを有する。コイルと磁石の一方は支持体に配置され、コイルと磁石の他方は可動体に配置される。支持体と可動体は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体によって接続される。

特許文献１のアクチュエータでは、接続体として、シリコーンゲル等のゲル状ダンパー部材が用いられる。ゲル状ダンパー部材は、矩形状にカットされており、支持体と可動体とが対向する箇所に配置される。支持体に対して可動体が振動する際、ゲル状ダンパー部材はせん断方向に変形する。

特開２０１９−１３０９４号公報

接続体としてゲル状ダンパー部材を用いる場合、ゲル状ダンパー部材の変形特性と耐久性との両立が課題となっている。例えば、低い周波数で大きな振動を出力できるような変形特性（バネ定数）を持つシリコーンゲルからなるゲル状ダンパー部材は、脆くて壊れやすい。ゲル状ダンパー部材は、表面にキズができるとキズが成長して壊れやすいが、脆いゲル状ダンパー部材はキズができやすい。特に、応力が集中する部位は疲労劣化によりキズが発生しやすくなる。そのため、ゲル状ダンパー部材の耐久性が低い。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、ゲル状ダンパー部材の変形特性を確保しながら耐久性を高めることにある。

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記支持体と前記可動体とを接続するゲル状ダンパー部材と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記ゲル状ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の表面を覆うコーティング層を備え、前記コーティング層は、少なくとも前記ゲル状ダンパー部材の露出面に配置され、前記コーティング層の弾性率は、前記ゲル状部材の弾性率より小さいことを特徴とする。

本発明によれば、支持体と可動体とを接続するゲル状ダンパー部材は、ゲル状部材の表面にコーティング層を形成した部材である。コーティング層は、少なくとも、ゲル状ダンパー部材における露出面の部分に設けられている。このように、ゲル状部材の露出面がコーティングされていれば、ゲル状部材にキズが発生することを抑制でき、コーティングを施す前にキズができていたとしてもキズの成長を抑制できる。また、ゲル状部材よりもコーティング層の方が弾性率が小さく伸びやすいので、ゲル状部材の変形をコーティング層が妨げないようにすることができる。従って、ゲル状ダンパー部材の変形特性に対するコーティング層の影響が少ないので、ゲル状ダンパー部材の変形特性を確保しながら耐久性
を高めることができる。

本発明において、前記ゲル状部材の弾性限界点でのひずみ量より、前記コーティング層の弾性限界点でのひずみ量の方が大きいことが好ましい。このようにすると、ゲル状ダンパー部材が変形する際に、ゲル状部材よりもコーティング層の方が破断しにくい。従って、ゲル状ダンパー部材の変形特性を確保しながら耐久性を高めることができる。

本発明において、前記コーティング層の膜厚が２００μｍ以下であることが好ましい。また、より好ましくは、前記コーティング層の膜厚が１００μｍ以下にするとよい。このように、コーティング層の膜厚を薄くすることにより、ゲル状ダンパー部材の変形特性へのコーティング層の影響を少なくすることができる。

本発明において、前記コーティング層は、ゴムからなるものとすることができる。例えば、シリコーンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等のコーティング材を用いることにより、伸びやすく破断しにくいコーティング層を形成できる。

本発明において、前記ゲル状部材は、前記支持体と前記可動体の一方に設けられる第１枠部材と、前記支持体と前記可動体の他方に設けられ、前記第１枠部材の外周側に配置される第２枠部材との径方向の隙間に成型されており、前記コーティング層は、前記ゲル状部材の表面から前記第１枠部材の表面へはみ出すと共に、前記ゲル状部材の表面から前記第２枠部材の表面へはみ出しているものとすることができる。このように、第１枠部材と第２枠部材との間にゲル状部材を直接成型する場合には、コーティング層をゲル状部材の表面から第１枠部材の表面および第２枠部材の表面にはみ出させることにより、ゲル状部材の端部を保護できる。従って、ゲル状ダンパー部材の耐久性を高めることができる。

次に、本発明は、支持体および可動体と、前記支持体と前記可動体とを接続するゲル状ダンパー部材と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有するアクチュエータの製造方法であって、ゲル材料から前記ゲル状ダンパー部材より大きい大型ゲル状部材を成型する成型ステップと、前記大型ゲル状部材を切断してゲル状部材を得る切断ステップと、前記ゲル状部材に対して、少なくとも切断面にコーティング層を形成して前記ゲル状ダンパー部材を得るコーティング層形成ステップと、前記コーティング層が形成された面を露出面とするように前記ゲル状ダンパー部材を配置して、前記支持体と前記可動体とを前記ゲル状ダンパー部材によって接続する組立ステップと、を行うことを特徴とする。

本発明では、大型ゲル状部材を切断してゲル状ダンパー部材として用いる場合に、ゲル状部材の切断面にコーティング層を形成するので、切断面の端面品質が悪くても切断面におけるキズの発生および成長を抑制できる。従って、ゲル状ダンパー部材の耐久性を高めることができる。また、ゲル状部材の表面にコーティング層を形成すれば、ゲル状部材が取り扱い易くなる。従って、アクチュエータの製造を容易化することができる。

本発明によれば、支持体と可動体とを接続するゲル状ダンパー部材は、ゲル状部材の表面にコーティング層を形成した部材である。コーティング層は、少なくとも、ゲル状ダンパー部材における露出面の部分に設けられている。このように、ゲル状部材の露出面がコーティングされていれば、ゲル状部材にキズが発生することを抑制でき、コーティングを施す前にキズができていたとしてもキズの成長を抑制できる。また、ゲル状部材よりもコーティング層の方が弾性率が小さく伸びやすいので、ゲル状部材の変形をコーティング層が妨げないようにすることができる。従って、ゲル状ダンパー部材の変形特性に対するコーティング層の影響が少ないので、ゲル状ダンパー部材の変形特性を確保しながら耐久性
を高めることができる。

本発明の実施形態１に係るアクチュエータの斜視図である。 実施形態１のアクチュエータの断面図である。 実施形態１のアクチュエータの分解斜視図である。 実施形態１のアクチュエータの磁気駆動機構、ヨーク、およびホルダの分解斜視図である。 実施形態１のアクチュエータの製造方法の一部を模式的に示す説明図である。 本発明の実施形態２に係るアクチュエータの断面図である。 実施形態２のアクチュエータの製造方法の一部を模式的に示す説明図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。実施形態１、２のアクチュエータは、支持体２および可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６と、支持体２と可動体３とを接続するゲル状ダンパー部材９を有する。磁気駆動機構６は、コイル７と磁石８を有する。磁気駆動機構６は、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様、および、磁石８が支持体２の側に設けられ、コイル７が可動体３の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。

ゲル状ダンパー部材９は、ゲル状部材９０と、ゲル状部材９０の表面に形成されたコーティング層９５を備える。コーティング層９５の弾性率は、ゲル状部材９０の弾性率より小さい。また、ゲル状部材９０の弾性限界点でのひずみ量より、コーティング層９５の弾性限界点でのひずみ量の方が大きい。ゲル状部材９０およびコーティング層９５は、これらの条件を満たすように形成されている。

実施形態１、２において、ゲル状部材９０は、針入度が１０度から１１０度のシリコーンゲルである。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。ゲル状ダンパー部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、ゲル状ダンパー部材９は、その厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、ゲル状ダンパー部材９が厚さ方向と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を備える。

［実施形態１］
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１Ａの斜視図である。図２は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの断面図である。図３は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの分解斜視図である。実施形態１において、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

図１および図２に示すように、実施形態１のアクチュエータ１Ａは、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状である。実施形態１では、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに振動する。可動体３が第２方向Ｘに振動すると、アク
チュエータ１Ａにおける重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。なお、実施形態１において、可動体３を第３方向Ｙに駆動する態様を採用することもできる。

（支持体）
図１、図２および図３に示すように、実施形態１のアクチュエータ１Ａにおいて、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側に、図２に示す可動体３および磁気駆動機構６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有する。第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、一方の対角位置に配置したネジ１８によって第１方向Ｚで締結することにより、支持体２が形成されている。なお、支持体２の他方の対角位置には、アクチュエータ１Ａを各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ（図示せず）が配置される。

第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の側面には、第１カバー部材１６の凹部１６０、ホルダ６０の凹部６３５、第２カバー部材１７の凹部１７０が形成されており、ここに配線基板１５が固定される。その際、ホルダ６０の凹部６３５に形成された凸部６３６を配線基板１５の穴１５５に嵌めて、配線基板１５の位置決めを行い、その後、接着剤等によって配線基板１５を固定する。

図２、図３に示すように、第１カバー部材１６には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向かって開口する略長方形の凹部１６５が形成されている。また、凹部１６５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。図３に示すように、凹部１６５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれている。第３壁部１６３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１６０が形成されている。

第２カバー部材１７は、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。図２に示すように、第２カバー部材１７には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向かって開口する略長方形の凹部１７５が形成されている。また、凹部１７５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。図３に示すように、第２カバー部材１７において、凹部１７５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置するに第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれている。第３壁部１７３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１７０が形成されている。

（磁気駆動機構）
図４は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの磁気駆動機構６、ヨーク８５、およびホルダ６０の分解斜視図である。図２、図４に示すように、磁気駆動機構６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。コイル７は、第２方向Ｘで並列するように２つ配置されている。コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルであり、第１方向Ｚを厚み方向とする扁平コイルである。コイル７は、ホルダ６０に保持されている。

（ホルダ）
図２、図４に示すように、ホルダ６０は、２つのコイル保持穴６６、６７が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６６、６７にコイル７が配置されている
。コイル保持穴６６、６７は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部に受け部６６１、６７１が形成されている。従って、コイル保持穴６６、６７に第１方向Ｚの他方側Ｚ２からコイル７を装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６６１、６７１によって第１方向Ｚの一方側Ｚ１で支持される。この状態で、コイル７は接着剤等によってホルダ６０に固定される。

ホルダ６０は、コイル保持穴６６、６７が形成されている部分に対して、第２方向Ｘの一方側Ｘ１、第２方向Ｘの他方側Ｘ２、第３方向Ｙの一方側Ｙ１、および第３方向Ｙの他方側Ｙ２には、第１壁部６１０、第２壁部６２０、第３壁部６３０、および第４壁部６４０を備えている。コイル保持穴６６と第１壁部６１０との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６７と第２壁部６２０との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０を第１方向Ｚで貫通する。

第３壁部６３０の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部６３５が形成されており、凹部６３５の両端部には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した位置決め用の凸部６３６が形成されている。第３壁部６３０には、コイル保持穴６６、６７から第３壁部６３０の外面（凹部６３５の底面）まで延在するガイド溝６３７が４本形成されている。コイル７を構成する導線７５の巻き始めの端部、および、巻き終りの端部は、ガイド溝６３７を通してカバー１１の外側に引き出され、配線基板１５の切り欠き１５０を通して配線基板１５のランド１５１にハンダ付けされる。その結果、２つのコイル７は、直列に電気的に接続される。なお、２つのコイル７は、並列に電気的に接続してもよい。

（可動体）
図２、図４に示すように、可動体３は、磁石８と、磁石８を保持するヨーク８５を備えている。ヨーク８５は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有する。磁石８は、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。なお、第１板部８６０と第２板部８７０の少なくとも一方にのみ磁石８が保持される構成とすることもできる。

実施形態１では、磁石８として、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８１と、第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された磁石８２とが設けられている。この状態で、磁石８１は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、磁石８２は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。磁石８１および磁石８２は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）で分極着磁されており、磁石８１においてコイル７に対向する面と、磁石８２においてコイル７と対向する面は異なる極に着磁されている。

第１ヨーク８６は、第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、磁石８１に対して第１連結板部８６１とは反対側で第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｚ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。

（ゲル状ダンパー部材）
図２に示すように、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所にはゲル状ダンパー部材９が配置されている。実施形態１では、ゲル状ダンパー部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１ゲル状ダンパー部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２ゲル状ダンパー部材９２が配置されている。より具体的には、第１ゲル状ダンパー部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間に２つ配置され、第２ゲル状ダンパー部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間に２つ配置されている。

第１ゲル状ダンパー部材９１および第２ゲル状ダンパー部材９２は、第１方向Ｚを厚み方向として配置され、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに延在する。第１ゲル状ダンパー部材９１および第２ゲル状ダンパー部材９２は、支持体２と接する面で支持体２と接着され、可動体３と接する面で可動体３と接着されている。

ゲル状ダンパー部材９は、シリコーンゲルからなるゲル状部材９０の表面の一部にコーティング層９５が形成された部材である。コーティング層９５は、少なくとも、ゲル状ダンパー部材９のＸ１側の表面、Ｘ２側の表面、Ｙ１側の表面、および、Ｙ２側の表面の４面に形成されている。ゲル状ダンパー部材９は、Ｘ１側の表面、Ｘ２側の表面、Ｙ１側の表面、Ｙ２側の表面の４面が他部材に固定されない露出面９６となるように配置される。従って、露出面９６の全範囲にコーティング層９５が形成されている。また、実施形態１では、上記の４面に加えて、ゲル状ダンパー部材９のＺ１側の表面もしくはＺ２側の表面のいずれか一方にもコーティング層９５が形成されている。

第１ゲル状ダンパー部材９１は、Ｘ１側の表面、Ｘ２側の表面、Ｙ１側の表面、Ｙ２側の表面、および、Ｚ２側の表面にコーティング層９５が形成されている。第１ゲル状ダンパー部材９１のＺ１側の端部では、ゲル状部材９０が直接第１カバー部材１６に接着されている。一方、第１ゲル状ダンパー部材９１のＺ２側の端部では、ゲル状部材９０がコーティング層９５を介して第１板部８６０に接着されている。

第２ゲル状ダンパー部材９２は、Ｘ１側の表面、Ｘ２側の表面、Ｙ１側の表面、Ｙ２側の表面、および、Ｚ１側の表面にコーティング層９５が形成されている。第２ゲル状ダンパー部材９２のＺ２側の端部では、ゲル状部材９０が直接第２カバー部材１７に接着されている。一方、第２ゲル状ダンパー部材９２のＺ１側の端部では、ゲル状部材９０がコーティング層９５を介して第２板部８７０に接着されている。なお、第１ゲル状ダンパー部材９１と第２ゲル状ダンパー部材９２は、それぞれ、第１方向Ｚで逆向きにして使用することもできる。

可動体３が第２方向Ｘに移動する際、ゲル状ダンパー部材９はせん断方向に変形する。ゲル状ダンパー部材９は、線形および非線形の変形特性を持つため、可動体３を振動させた際の共振をゲル状ダンパー部材９によって抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材９は、せん断方向に変形する際は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を備える。従って、可動体３が第２方向Ｘへ振動する際、ゲル状ダンパー部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができる。

また、ゲル状ダンパー部材９は、可動体３と支持体２との間で第１方向Ｚに伸縮するように取り付けられている。ゲル状ダンパー部材９が潰れる方向に変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体３が第１方向Ｚに移動しようとするとき、ゲル状ダンパー部材９のバネ定数は、可動体３が第２方向Ｘに移動す
るときのバネ定数より大きいので、ゲル状ダンパー部材９が第１方向Ｚに大きく変形することを抑制できる。従って、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

（アクチュエータの製造方法）
図５は、実施形態１のアクチュエータ１Ａの製造方法の一部を模式的に示す説明図である。実施形態１のアクチュエータ１Ａの製造工程は、図５に示すゲル状ダンパー部材９の製造工程を含む。図５（ａ）は成型ステップを示し、図５（ｂ）は切断ステップを示し、図５（ｃ）はコーティング層形成ステップを示す。図５（ａ）に示すように、成型ステップでは、成形型にゲル材料を充填して加熱硬化させることにより、シート状ゲル９７を成型する。シート状ゲル９７は、ゲル状ダンパー部材９よりも大きい大型ゲル状部材である。

次に、切断ステップでは、図５（ｂ）に示すように、成形型から取り出したシート状ゲル９７を切断する。例えば、成形型を第１型と第２型によって構成する場合には、成形後に第２型を第１型から取り外し、第１型に設けられた支持面９８の上でシート状ゲル９７を切断する。これにより、ゲル状ダンパー部材９として使用するサイズの矩形状のゲル状部材９０が得られる。各ゲル状部材９０は、厚み方向と直交する方向を向く４つの端面が切断面９９となっている。

続いて、コーティング層形成ステップでは、図５（ｃ）に示すように、ゲル状部材９０の表面にコーティング材料をスプレーしてコーティング層９５を形成する。これにより、ゲル状ダンパー部材９が得られる。ゲル状ダンパー部材９は、支持面９８に当接している面を除く他の５面にコーティング層９５が形成される。そのため、切断面９９である４つの端面の全範囲にコーティング層９５が形成される。なお、切断面９９である４つの端面のみにコーティング層９５を形成する形態を採用することもできる。

コーティング層形成ステップでは、コーティング層９５を形成する際、その膜厚を２００μｍ以下とするようにコーティング材料をスプレーする量を調節する。また、膜厚のばらつきを±３０μｍ以下とするようにコーティング材料をスプレーする量を調節する。ここで、コーティング層９５の膜厚は、１００μｍ以下とすることがより好ましい。例えば、コーティング層９５の膜厚を５０μｍにすることができる。

コーティング材料としては、例えば、シリコーンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等を用いる。ゲル状部材９０としてシリコーンゲルを用いるとともに、コーティング層９５としてシリコーンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等のゴム弾性体の膜を用いることにより、コーティング層９５の弾性率をゲル状部材９０の弾性率より小さくすることができる。また、ゲル状部材９０の弾性限界点でのひずみ量より、コーティング層９５の弾性限界点でのひずみ量の方が大きいという条件を達成できる。

ゲル状ダンパー部材９の完成後、アクチュエータ１Ａを組み立てる工程を行う。その際、完成したゲル状ダンパー部材９を用いて支持体２と可動体３とを接続する。実施形態１では、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する箇所にゲル状ダンパー部材９を配置する。その際、ゲル状ダンパー部材９の厚さ方向と第１方向Ｚを一致させる。これにより、露出面９６となる４つの面の全範囲がコーティング層９５で覆われた状態となるようにゲル状ダンパー部材９が配置される。

（実施形態１の主な効果）
以上説明したように、実施形態１のアクチュエータ１Ａは、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３とを接続するゲル状ダンパー部材９と、可動体３を支持体２に対して
相対移動させる磁気駆動機構６とを有する。ゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９１および第２ゲル状ダンパー部材９２）は、ゲル状部材９０と、ゲル状部材９０の表面を覆うコーティング層９５を備える。コーティング層９５は、少なくともゲル状ダンパー部材９の露出面９６に配置され、コーティング層９５の弾性率は、ゲル状部材９０の弾性率より小さい。

実施形態１では、このように、ゲル状ダンパー部材９の露出面９６がコーティングされている。従って、ゲル状部材９０の表面にキズが発生することを抑制でき、コーティングを施す前にキズができていたとしてもコーティング材料によってキズが埋まるので、キズの成長を抑制できる。従って、ゲル状ダンパー部材９の破壊を抑制できる。また、ゲル状部材９０よりもコーティング層９５の方が弾性率が小さく伸びやすい。従って、ゲル状ダンパー部材９の変形特性に対するコーティング層９５の影響が少ないので、ゲル状ダンパー部材９の変形特性を確保しながら耐久性を高めることができる。

また、実施形態１のゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９１および第２ゲル状ダンパー部材９２）は、ゲル状部材９０の弾性限界点でのひずみ量より、コーティング層９５の弾性限界点でのひずみ量の方が大きいので、可動体３の振動に追従してゲル状ダンパー部材９が変形する際に、ゲル状部材９０よりもコーティング層９５の方が破断しにくい。従って、ゲル状ダンパー部材９の耐久性が高い。実施形態１では、コーティング層９５がシリコーンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等からなる薄膜であるため、コーティング層９５が伸びやすく破断しにくい。従って、上記の弾性率の条件および弾性限界点でのひずみ量の条件を満たすことができる。

実施形態１では、ゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９１および第２ゲル状ダンパー部材９２）におけるコーティング層９５の膜厚を２００μｍ以下とし、より好ましくは１００μｍ以下としている。また、膜厚のばらつきを±３０μｍ以下としている。このように、コーティング層９５の膜厚を薄くし、且つ、膜厚を均一にすることにより、ゲル状ダンパー部材９の変形特性への影響が少ない。

実施形態１のアクチュエータ１Ａの製造方法では、コーティング層９５を備えたゲル状ダンパー部材９を製造する際、ゲル材料からゲル状ダンパー部材９より大きいシート状ゲル９７（大型ゲル状部材）を成型する成型ステップと、シート状ゲル９７を切断してゲル状部材９０を得る切断ステップと、切断済みのゲル状部材９０に対して、少なくとも切断面９９にコーティング層９５を形成してゲル状ダンパー部材９を得るコーティング層９５形成ステップとを行う。しかる後に、コーティング層９５が形成された面を露出面９６とするようにゲル状ダンパー部材９を配置して、支持体２と可動体３とをゲル状ダンパー部材９によって接続する組立ステップを行う。

このように、実施形態１では、大判のゲル状部材９０を切断してゲル状ダンパー部材９として用いる場合に、ゲル状部材９０の切断面９９にコーティング層９５を形成する。従って、切断面９９の端面品質が悪くなっても切断面９９におけるキズの発生および成長を抑制できる。従って、ゲル状ダンパー部材９の耐久性を高めることができる。また、ゲル状部材９０の表面にコーティング層９５を形成すれば、アクチュエータ１Ａを組み立てる際にゲル状部材９０を取り扱い易い。従って、アクチュエータ１Ａの製造を容易化することができる。

実施形態１では、コーティング材料をゲル状部材９０の表面にスプレーすることにより、少なくとも切断面９９にコーティング材料の膜を形成する。コーティング材料をスプレーすることにより、多数のゲル状部材９０に対して一度コーティング層９５を形成できるので、ゲル状ダンパー部材９を効率良く形成できる。また、膜厚を薄く均一にすることが
できる。なお、コーティング材料へのディッピングによりゲル状部材９０の表面にコーティング材料の膜を形成することもできる。このような方法でも、ゲル状ダンパー部材９を効率良く形成できる。

［実施形態２］
（全体構成）
図６は、本発明の実施形態２に係るアクチュエータ１Ｂの断面図である。実施形態２において、軸線Ｌは可動体３の中心軸線である。また、軸線Ｌが延在する方向（軸線Ｌ方向）の一方側をＬ１とし、軸線Ｌ方向の他方側をＬ２とする。実施形態２のアクチュエータ１Ｂは、全体として、軸線Ｌ方向に延びる円筒状である。実施形態２では、可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に振動する。可動体３と支持体２は、可動体３と支持体２との径方向の隙間に配置されるゲル状ダンパー部材９によって接続される。

実施形態２では、支持体２が可動体３の外周側を囲んでおり、ゲル状ダンパー部材９の内周部が可動体３に接続され、ゲル状ダンパー部材９の外周部が支持体２に接続される形態を例にとって説明するが、本発明は、可動体３と支持体２の配置を入れ換えて、可動体３が支持体２の外周側を囲む構成を採用することもできる。また、実施形態２では、可動体３は、軸線Ｌ方向の一方側（Ｌ１側）および他方側（Ｌ２側）の２箇所において、ゲル状ダンパー部材９によって支持体２と接続される。実施形態２では、可動体３のＬ１側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材９を第１ゲル状ダンパー部材９３とし、可動体３のＬ２側の端部に配置されるゲル状ダンパー部材９を第２ゲル状ダンパー部材９４とする。なお、ゲル状ダンパー部材９が１箇所もしくは３箇所以上に配置される構成を採用することもできる。

（支持体）
支持体２は、金属製のケース２０と、ケース２０に保持される樹脂製の第１ホルダ４０および第２ホルダ５０と、コイルホルダ７０を備える。ケース２０は、軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース２１と、筒状ケース２１のＬ１側の端部に固定される第１端板２２と、筒状ケース２１のＬ２側の端部に固定される第２端板２３を備える。筒状ケース２１には、コイル線が接続される基板２４が固定される。

第１ホルダ４０は、筒状ケース２１のＬ１側の端部の内側に固定される環状部４２と、環状部４２の内周側に配置される枠部分４５と、環状部４２と枠部分４５とを接続する接続部４６を備えている。コイルホルダ７０は、第１ホルダ４０にＬ１側から固定されるホルダ固定部７１と、ホルダ固定部７１からＬ２側へ突出するコイル固定部７２を備える。ホルダ固定部７１は、周方向に離間した複数個所からＬ１側へ突出するフック７３を備えている。フック７３の先端は、筒状ケース２１の縁に係止される。

第２ホルダ５０は、筒状ケース２１のＬ２側の端部の内側に固定される円筒部５５と、円筒部５５の内周側に配置される枠部分５６と、円筒部５５と枠部分５６とを接続する接続部５７を備えている。

（可動体）
可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線Ｌ方向に延びるシャフト３１と、シャフト３１の軸線Ｌ方向の略中央に固定される磁石８と、磁石８にＬ１側で重なる第１ヨーク３２と、磁石８にＬ２側で重なる第２ヨーク３３を備える。第２ヨーク３３は、磁石８のＬ２側の面に接着等の方法で固定される第１磁性板３４と、第１磁性板３４にＬ２側から当接する第２磁性板３５を備える。

また、可動体３は、第１ヨーク３２にＬ１側から当接する金属製の第１錘部材３６と、
第２ヨーク３３にＬ２側から当接する金属製の第２錘部材３７を備える。第１錘部材３６および第２錘部材３７は、シャフト３１が嵌まる軸孔を備えている。第１錘部材３６は軸線Ｌ方向に延びており、Ｌ１側の端部に大径部分３６１を備えている。大径部分３６１は、第１ホルダ４０の枠部分４５の内周側に配置される。また、第２錘部材３７は軸線Ｌ方向に延びており、Ｌ２側の端部に大径部分３７１を備えている。大径部分３７１は、第２ホルダ５０の枠部分５６の内周側に配置される。

（磁気駆動機構）
磁気駆動機構６は、支持体２に配置されるコイル７と、可動体３に配置される磁石８を備える。磁石８は円筒状であり、軸線Ｌ方向においてＮ極とＳ極とに分極するように着磁されている。磁石８の外周側には、コイルホルダ７０に設けられたコイル固定部７２が磁石８と同軸に配置される。従って、磁石８とコイル７は同軸に配置される。磁気駆動機構６は、コイル７に通電することにより、可動体３を軸線Ｌ方向に駆動する駆動力を発生させる。

（ゲル状ダンパー部材）
実施形態２において、ゲル状ダンパー部材９は、可動体３と支持体２の径方向の隙間において全周に連続して配置される。実施形態２では、ゲル状ダンパー部材９として、シャフト３１のＬ１側の端部に取り付けられた第１錘部材３６の大径部分３６１と第１ホルダ４０の枠部分４５との間に配置される第１ゲル状ダンパー部材９３、および、シャフト３１のＬ２側の端部に取り付けられた第２錘部材３７の大径部分３７１と第２ホルダ５０の枠部分５６との間に配置される第２ゲル状ダンパー部材９４を備える。第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダンパー部材９４は、径方向の厚さが一定の円筒状部材であり、軸線Ｌ方向の寸法（高さ）も一定である。

実施形態２のゲル状ダンパー部材９は、第１枠部材９０１と、第１枠部材９０１の外周側に配置される第２枠部材９０２の間に直接成型されている。図６に示すように、実施形態２では、第１錘部材３６の大径部分３６１、および、第２錘部材３７の大径部分３７１が第１枠部材９０１であり、第１枠部材９０１は可動体３に設けられている。また、第１ホルダ４０の枠部分４５、および、第２ホルダ５０の枠部分５６が第２枠部材９０２であり、第２枠部材９０２は支持体２に設けられている。第１ゲル状ダンパー部材９３は、内周部が大径部分３６１（第１枠部材９０１）に固定され、外周部が枠部分４５（第２枠部材）に固定される。第２ゲル状ダンパー部材９４は、内周部が大径部分３７１（第１枠部材９０１）に固定され、外周部が枠部分５６（第２枠部材）に固定される。

実施形態２のゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダンパー部材９４）は、ゲル状部材９０の表面の一部にコーティング層９５が形成された部材である。コーティング層９５は、ゲル状ダンパー部材９のＬ１側の端面およびＬ２側の端面に形成されている。ゲル状ダンパー部材９は、Ｌ１側の端面およびＬ２側の端面が他部材に接していない露出面９６であり、露出面９６の全範囲にコーティング層９５が形成されている。

第１ゲル状ダンパー部材９３のＬ１側の端面およびＬ２側の端面において、コーティング層９５は、ゲル状部材９０の表面から第１枠部材９０１である大径部分３６１の表面へはみ出すとともに、第２枠部材９０２である枠部分４５の表面へはみ出している。同様に、第２ゲル状ダンパー部材９４のＬ１側の端面およびＬ２側の端面において、コーティング層９５は、ゲル状部材９０の表面から第１枠部材９０１である大径部分３７１の表面へはみ出すとともに、第２枠部材９０２である枠部分５６の表面へはみ出している。

実施形態２のアクチュエータ１Ｂは、コイル７に通電することにより、磁気駆動機構６
によって可動体３が支持体２に対して軸線Ｌ方向に相対移動する。コイル７への通電を切ると、可動体３は、ゲル状ダンパー部材９の復帰力によって原点位置へ戻る。従って、コイル７への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線Ｌ方向で振動する。可動体３が軸線Ｌ方向に振動すると、ゲル状ダンパー部材９は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。実施形態２においても、実施形態１と同様に、可動体３を振動させた際の共振をゲル状ダンパー部材９によって抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができる。

また、可動体３が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向（すなわち、径方向）に移動するとき、ゲル状ダンパー部材９は潰れる方向に変形する。従って、可動体３が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動しようとするとき、ゲル状ダンパー部材９のバネ定数は可動体３が軸線Ｌ方向に振動するときのバネ定数より大きいので、可動体３が振動方向（軸線Ｌ方向）とは異なる方向に移動しにくい。

（アクチュエータの製造方法）
図７は、実施形態２のアクチュエータ１Ｂの製造方法の一部を模式的に示す説明図である。実施形態２のアクチュエータ１Ｂの製造工程は、図７に示すゲル状ダンパー部材９の製造工程を含む。図７（ａ）〜図７（ｅ）はゲル状部材９０を成型する成型ステップを示し、図７（ｆ）ははゲル状部材９０の表面にコーティング層９５を形成するコーティング層形成ステップを示す。成型ステップでは、図７（ａ）に示す製造用治具１００を使用する。成型ステップでは、製造用治具１００に対して第１枠部材９０１と第２枠部材９０２を組み付ける第１ステップ（図７（ｂ）参照）と、第１枠部材９０１と第２枠部材９０２との隙間Ｓにゲル材料１０を充填する第２ステップ（図７（ｃ）参照）と、ゲル材料１０を加熱硬化させる第３ステップ（図７（ｄ）参照）と、製造用治具１００からゲル状部材９０と共に第１枠部材９０１および第２枠部材９０２を取り外す第４ステップ（図７（ｅ）参照）を含む。

上記のように、実施形態２では、第１枠部材９０１は第１錘部材３６、第２錘部材３７と一体に形成されているが、図７では第１枠部材９０１の構成を簡略化して示す。同様に、第２枠部材９０２は第１ホルダ４０、第２ホルダ５０と一体に形成されているが、図７では第２枠部材９０２の構成を簡略化して示す。

図７（ａ）に示すように、製造用治具１００は、円形凹部１０１と、円形凹部１０１の底面中央から突出するピン１０２とを備える。図７（ｂ）に示すように、第１ステップでは、製造用治具１００に対して第１枠部材９０１および第２枠部材９０２を当接させて位置決めし、第１枠部材９０１と第２枠部材９０２の間に環状の隙間Ｓを形成する。環状の隙間Ｓは全周にわたって形成され、径方向の幅が全周で一定である。

図７（ｃ）に示すように、第２ステップでは、第１枠部材９０１と第２枠部材９０２との隙間Ｓにゲル材料１０を充填する。ここで、隙間Ｓにゲル材料１０を充填する前に、第１枠部材９０１の外周面および第２枠部材９０２の内周面にプライマー１３を塗布する。なお、プライマー１３を塗布する作業は、製造用治具１００に対して第１枠部材９０１および第２枠部材９０２を組み付ける前に行ってもよいし、組み付けた後に行ってもよい。

図７（ｄ）に示すように、第３ステップでは、ゲル材料１０を製造用治具１００ごと加熱し、規定の温度で規定の時間維持することにより、ゲル材料１０を硬化させる。これにより、隙間Ｓにはゲル状部材９０が形成される。ゲル材料１０は、加熱硬化する際に、プライマー１３に接する部分がプライマー１３と反応して、第１枠部材９０１の外周面および第２枠部材９０２の内周面に固定される。従って、ゲル状部材９０は、接着剤を用いる
ことなく、ゲル状部材９０自体の接着力によって第１枠部材９０１および第２枠部材９０２に固定される。

図７（ｅ）に示すように、第４ステップでは、ゲル状部材９０を第１枠部材９０１および第２枠部材９０２と共に製造用治具１００から取り外す。例えば、製造用治具１００に突き出しピンを配置するための貫通孔を設けておき、突き出しピンを用いてゲル状部材９０、第１枠部材９０１、および第２枠部材９０２を製造用治具１００から取り外す。

続いて、図７（ｆ）に示すように、コーティング層形成ステップでは、ゲル状部材９０のＬ１側の端面およびＬ２側の端面にコーティング層９５を形成する。コーティング層９５の膜厚、および、コーティング材料は、実施形態１と同様である。このとき、ゲル状部材９０と第１枠部材９０１との接合面よりも第１枠部材９０１の側へコーティング層９５がはみ出すように形成すると共に、ゲル状部材９０と第２枠部材９０２との接合面よりも第２枠部材９０１の側へコーティング層９５がはみ出すように形成する。コーティング層９５の形成は、実施形態１と同様に、コーティング材料をスプレーすることにより行うことができる。これにより、ゲル状ダンパー部材９が得られる。

（実施形態２の主な効果）
以上説明したように、実施形態１のアクチュエータ１Ｂは、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３とを接続するゲル状ダンパー部材９と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６と、を有する。ゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダンパー部材９４）は、ゲル状部材９０と、ゲル状部材９０の表面を覆うコーティング層９５を備える。コーティング層９５は、少なくともゲル状ダンパー部材９の露出面９６に配置され、コーティング層９５の弾性率は、ゲル状部材９０の弾性率より小さい。

このように、実施形態２のアクチュエータ１Ｂは、実施形態１と同様に、ゲル状ダンパー部材９の露出面９６がコーティングされている。従って、ゲル状部材９０の表面にキズが発生することを抑制でき、コーティングを施す前にキズができていたとしてもコーティング材料によってキズが埋まるので、キズの成長を抑制できる。また、ゲル状部材９０よりもコーティング層９５の方が弾性率が小さく伸びやすい。従って、ゲル状ダンパー部材９の変形特性に対するコーティング層９５の影響が少ないので、ゲル状ダンパー部材９の変形特性を確保しながら耐久性を高めることができる。

また、実施形態２のゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダンパー部材９４）は、ゲル状部材９０の弾性限界点でのひずみ量より、コーティング層９５の弾性限界点でのひずみ量の方が大きいので、可動体３の振動に追従してゲル状ダンパー部材９が変形する際に、ゲル状部材９０よりもコーティング層９５の方が破断しにくい。従って、ゲル状ダンパー部材９の耐久性が高い。実施形態２では、実施形態１と同様に、コーティング層９５がシリコーンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム等からなる薄膜であるため、コーティング層９５が伸びやすく破断しにくい。従って、上記の弾性率の条件および弾性限界点でのひずみ量の条件を満たすことができる。

実施形態２では、ゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダンパー部材９４）におけるコーティング層９５の膜厚を２００μｍ以下とし、より好ましくは１００μｍ以下としている。また、膜厚のばらつきを±３０μｍ以下としている。このように、コーティング層９５の膜厚を薄くし、且つ、膜厚を均一にすることにより、ゲル状ダンパー部材９の変形特性への影響が少ない。

実施形態２のゲル状ダンパー部材９（第１ゲル状ダンパー部材９３および第２ゲル状ダ
ンパー部材９４）において、ゲル状部材９０は、可動体３に設けられた第１枠部材９０１と、支持体２に設けられ、第１枠部材９０１の外周側に配置される第２枠部材９０２との径方向の隙間に直接成型されている。コーティング層９５は、ゲル状部材９０のＬ１側の端面およびＬ２側の端面のそれぞれの位置において、ゲル状部材９０の表面から第１枠部材９０１の表面へはみ出すと共に、ゲル状部材９０の表面から第２枠部材９０２の表面へはみ出している

このように、第１枠部材９０１と第２枠部材９０２との間にゲル状部材９０を直接成型する場合には、ゲル状部材９０の表面から第１枠部材９０１の表面および第２枠部材９０２の表面にはみ出すようにコーティング層９５を形成することにより、応力が集中しやすいゲル状部材９０の端部を保護できる。従って、ゲル状ダンパー部材９の耐久性を高めることができる。

１Ａ、１Ｂ…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動機構、７…コイル、８…磁石、９…ゲル状ダンパー部材、１０…ゲル材料、１１…カバー、１３…プライマー、１５…配線基板、１６…第１カバー部材、１７…第２カバー部材、１８…ネジ、２０…ケース、２１…筒状ケース、２２…第１端板、２３…第２端板、２４…基板、３１…シャフト、３２…第１ヨーク、３３…第２ヨーク、３４…第１磁性板、３５…第２磁性板、３６…第１錘部材、３７…第２錘部材、４０…第１ホルダ、４２…環状部、４５…枠部分、４６…接続部、５０…第２ホルダ、５５…円筒部、５６…枠部分、５７…接続部、６０…ホルダ、６６、６７…コイル保持穴、７０…コイルホルダ、７１…ホルダ固定部、７２…コイル固定部、７３…フック、７５…導線、８１、８２…磁石、８５…ヨーク、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９０…ゲル状部材、９１…第１ゲル状ダンパー部材、９２…第２ゲル状ダンパー部材、９３…第１ゲル状ダンパー部材、９４…第１ゲル状ダンパー部材、９５…コーティング層、９６…露出面、９７…シート状ゲル（大型ゲル状部材）、９８…支持面、９９…切断面、１００…製造用治具、１０１…円形凹部、１０２…ピン、１５０…切り欠き、１５１…ランド、１５５…穴、１６０…凹部、１６１…第１壁部、１６２…第２壁部、１６３…第３壁部、１６４…第４壁部、１６５…凹部、１６６、１６７…凹部、１７０…凹部、１７１…第１壁部、１７２…第２壁部、１７３…第３壁部、１７４…第４壁部、１７５…凹部、１７６、１７７…凹部、３６１…大径部分、３７１…大径部分、６０１…開口部、６０２…開口部、６１０…第１壁部、６２０…第２壁部、６３０…第３壁部、６３５…凹部、６３６…凸部、６３７…ガイド溝、６４０…第４壁部、６６１、６７１…受け部、７０１…長辺、７０２…短辺、８６０…第１板部、８６１…第１連結板部、８６２…第２連結板部、８７０…第２板部、９０１…第１枠部材、９０２…第２枠部材、Ｌ…軸線、Ｓ…隙間、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (7)

1. 支持体と、
   可動体と、
   前記支持体と前記可動体とを接続するゲル状ダンパー部材と、
   前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
   前記ゲル状ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の表面を覆うコーティング層を備え、
   前記コーティング層は、少なくとも前記ゲル状ダンパー部材の露出面に設けられ、
   前記コーティング層の弾性率は、前記ゲル状部材の弾性率より小さいことを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記ゲル状部材の弾性限界点でのひずみ量より、前記コーティング層の弾性限界点でのひずみ量の方が大きいことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記コーティング層の膜厚が２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
4. 前記コーティング層の膜厚が１００μｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記ゲル状部材は、シリコーンゲルからなり、
   前記コーティング層は、ゴムからなることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のアクチュエータ。
6. 前記ゲル状部材は、前記支持体と前記可動体の一方に設けられる第１枠部材と、前記支持体と前記可動体の他方に設けられ、前記第１枠部材の外周側に配置される第２枠部材との径方向の隙間に成型されており、
   前記コーティング層は、前記ゲル状部材の表面から前記第１枠部材の表面へはみ出すと共に、前記ゲル状部材の表面から前記第２枠部材の表面へはみ出していることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のアクチュエータ。
7. 支持体および可動体と、前記支持体と前記可動体とを接続するゲル状ダンパー部材と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動機構と、を有するアクチュエータの製造方法であって、
   ゲル材料から前記ゲル状ダンパー部材より大きい大型ゲル状部材を成型する成型ステップと、
   前記大型ゲル状部材を切断してゲル状部材を得る切断ステップと、
   前記ゲル状部材に対して、少なくとも切断面にコーティング層を形成して前記ゲル状ダンパー部材を得るコーティング層形成ステップと、
   前記コーティング層が形成された面を露出面とするように前記ゲル状ダンパー部材を配置して、前記支持体と前記可動体とを前記ゲル状ダンパー部材によって接続する組立ステップと、を行うことを特徴とするアクチュエータの製造方法。

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