JP2021022726A - 窒化物半導体基板 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 40
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 205
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical class [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 85
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 8
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 101000993059 Homo sapiens Hereditary hemochromatosis protein Proteins 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052795 boron group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- -1 dicyclopentadienyl iron Chemical compound 0.000 description 1
- KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N ferrocene Chemical compound [Fe+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
Description
基板Sとして、結晶面方位(111)、pタイプ、6インチSi単結晶基板を公知の基板洗浄方法で清浄化した後、MOCVD装置内にセットして、装置内をキャリアガスで置換後昇温し、1000℃×15分間、水素100%雰囲気で保持する熱処理を行い、シリコン単結晶表面の自然酸化膜を除去した。
Feをドープするため、Fe原料としてCp2Fe(ジシクロペンタジエニル鉄、通称フェロセン)を用いた。多層を繰返し積層する工程で、AlN5nmとAl0.2Ga0.8N30nmの2層を30回繰り返した段階からCp2Feを導入し、80回繰り返した段階で導入を停止した。Fe濃度は、ピーク位置で1×1020atoms/cm3、ピーク位置から動作層G、ピーク位置から基板Sからの距離は、どちらもおよそ2275nm程度であり、このピークの位置は、バッファー層Bのほぼ中間から±50nmの範囲内であった。以上の通りにすることで、実施例1の評価サンプルを作製した。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置でのFe濃度が2×1017atoms/cm3になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした実施例2の評価サンプルを得た。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置でのFe濃度が1.1×1020atoms/cm3になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした実施例3の評価サンプルを得た。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置がバッファー層B中央から50nm動作層G側になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした実施例4の評価サンプルを得た。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置がバッファー層B中央から50nm基板S側になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした実施例5の評価サンプルを得た。
バッファー層BのGaN1500nmの層に換えて、層厚700nmとした以外は、実施例1同等とした実施例6の評価サンプルを得た。このとき、Fe濃度のピーク位置は、動作層Gの界面から1875nmであった。
Cp2Feを、多層を繰返し積層する工程で、AlN5nmとAl0.2Ga0.8N30nmの2層を初回積層時からCp2Feを導入し、80回繰り返した段階で導入を停止した。Fe濃度はピークを持たず、ほぼバッファー層B全域に亘りフラットな状態で、約1×1017atoms/cm3であった。以上の通りにすることで、比較例1の評価サンプルを作製した。
Cp2Feを、多層を繰返し積層する工程で、AlN5nmとAl0.2Ga0.8N30nmの2層を初回積層時からCp2Feを導入し、80回繰り返し、さらにGaN1500nmの層を形成する工程で、層厚1000nmに達した段階で導入を停止した。Fe濃度はピークを持たず、ほぼバッファー層B全域に亘りフラットな状態で、約1×1020atoms/cm3であった。以上の通りにすることで、比較例2の評価サンプルを作製した。
Cp2Feを、多層を繰返し積層する工程で、AlN5nmとAl0.2Ga0.8N30nmの2層を初回積層時からCp2Feを導入し、80回繰り返し、さらにGaN1500nmの層を形成する工程で、層厚250nmに達した段階で導入を停止した。Fe濃度は、ピークを持たず、基板Sの界面で1×1020atoms/cm3であり、動作層Gの界面に向って漸減して、1×1017atoms/cm3に達していた。以上の通りにすることで、比較例3の評価サンプルを作製した。
Cp2Feを、GaN1500nmの層を形成する工程において、層厚450nmに達した段階からCp2Feを導入し、層厚1500nmに達した段階で導入を停止した。Fe濃度はピークを持たず、基板Sの界面で1×1017atoms/cm3であり、動作層Gの界面に向って漸増して、1×1020atoms/cm3に達していた。以上の通りにすることで、比較例4の評価サンプルを作製した。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置がバッファー層B中央から70nm動作層G側になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした比較例5の評価サンプルを得た。
Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置がバッファー層B中央から70nm基板S側になるようにして、それ以外は実施例1と同等にした比較例6の評価サンプルを得た。
バッファー層BのGaN1500nmの層に換えて、層厚300nmとし、さらに、Cp2Feの流量と成長温度を調整して、ピーク位置がバッファー層B中央から大きく外れるようにした以外は、実施例1同等とした比較例7の評価サンプルを得た。すなわち、Fe濃度のピーク位置は、動作層Gの界面から450nmであった。
半導体基板の形状測定で通常用いられる、汎用の反り測定装置を用いて、各評価サンプルのBOWを測定した。そして、BOW値が−50μm以上20μm以下を合格(〇)とした。
各評価サンプルから、基板主面の中央部から基板端部にかけて幅2mmの短冊状の試験片をそれぞれ劈開して切り出した。次に、この試験片の電子供給層2および電子走行層1の一部を、ドライエッチングにより除去した。この状態で、ドライエッチングで露出した面に10mm2のAu電極を真空蒸着してショットキー電極として形成し、市販のカーブトレーサを用いて、Si単結晶基板側と通電してI−V特性を測定して、600Vでの電流値を比較した。そして、1×10-8(A)以下を合格(〇)とした。
各評価サンプルについて、Van Der Pauw法によるホール効果測定を行い、電子の移動度を評価した。まず、評価サンプルを7mm角のチップにダイシングし、個々のチップの電子供給層2の4隅に、径0.25mmのTi/Al電極を、真空蒸着により形成した。次に、N2雰囲気で600℃、5分間の合金化熱処理を行った。そして、ACCENT製HL5500PCを用いて、ホール効果測定を行った。評価は、比較例1との比で移動度のレベルを表し、1以下を×、1を超え1.1以下を△、1.2以上を〇とし、△と〇を合格とした。
S 基板(Si単結晶)
B バッファー層
G 動作層
1 第1層(電子走行層)
2 第2層(電子供給層)
Claims (1)
- 基板と、前記基板上の窒化物半導体からなるバッファー層と、前記バッファー層上の窒化物半導体層からなる動作層と、を備え、
前記バッファー層はFeを含み、
前記Feの濃度は、前記基板と前記バッファー層の界面から前記バッファー層の厚さ方向に向って一様に漸増し、2×1017atoms/cm3以上1.1×1020atoms/cm3以下の範囲で極大値を取った後、前記バッファー層と前記動作層の界面まで一様に漸減する濃度プロファイルを形成しており、
前記極大値を取る位置は、前記バッファー層の厚さ方向における中間点から±50nmの範囲内にあり、かつ、前記バッファー層と前記動作層の界面から500nm以上離れていることを特徴とする窒化物半導体基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/927,393 US11201217B2 (en) | 2019-07-24 | 2020-07-13 | Nitride semiconductor substrate |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019135975 | 2019-07-24 | ||
JP2019135975 | 2019-07-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021022726A true JP2021022726A (ja) | 2021-02-18 |
JP7458904B2 JP7458904B2 (ja) | 2024-04-01 |
Family
ID=74574976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020091085A Active JP7458904B2 (ja) | 2019-07-24 | 2020-05-26 | 窒化物半導体基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7458904B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023248702A1 (ja) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | 信越半導体株式会社 | 窒化物半導体ウェーハ、及びその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5013218B2 (ja) | 2009-02-05 | 2012-08-29 | 日立電線株式会社 | 半導体エピタキシャルウェハの製造方法、並びに電界効果トランジスタの製造方法 |
JP5987288B2 (ja) | 2011-09-28 | 2016-09-07 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP2015060987A (ja) | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 富士通株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP6759886B2 (ja) | 2016-09-06 | 2020-09-23 | 富士通株式会社 | 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JP6993562B2 (ja) | 2017-07-13 | 2022-02-03 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
-
2020
- 2020-05-26 JP JP2020091085A patent/JP7458904B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023248702A1 (ja) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | 信越半導体株式会社 | 窒化物半導体ウェーハ、及びその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP7458904B2 (ja) | 2024-04-01 |
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