JP2009021279A - 半導体エピタキシャルウエハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体エピタキシャルウエハは、基板の上にバッファ層を有し、前記バッファ層の直上にチャネル層となるエピタキシャル層を有する半導体エピタキシャルウエハであって、前記バッファ層がAlXGa1-XNバッファ層(0≦X≦1)、AlNバッファ層、GaNバッファ層を順次積層した構造からなり、かつ前記 GaNバッファ層が1×107 Ω・cm以上の電気抵抗率を有し、3×1016〜2×1017 cm-3の炭素濃度を有する。
【選択図】図2
Description
有機金属気相成長(MOVPE)装置を用い、GaNバッファ層に添加する炭素濃度を変化させて、該バッファ層の絶縁性に与える影響について調査した。作製したエピタキシャルウエハは、基板上にエピタキシャル層(GaNバッファ層)が1層のみの最も単純な形とした。表1に、作製したエピタキシャルウエハの仕様を示す。なお、表中のエピタキシャル層組成、エピタキシャル層厚さ、および添加した炭素濃度は、いずれも公称値である。また、添加した炭素濃度5×1015 cm-3は、アンドープを意味する。
上記の本発明の実施の形態によれば、下記の効果を奏する。
(1)本発明の半導体エピタキシャルウエハは、チャネル層直下のバッファ層が高い絶縁性を有することから、複数のFET素子で構成される半導体チップの製造において、素子間の分離を安定して行うことができる。
(2)本発明の半導体エピタキシャルウエハは、複数のFET素子で構成される半導体チップの製造において、素子間の分離を安定して行うことができることから、当該半導体チップの信頼性向上に寄与することができる。
(3)本発明の半導体エピタキシャルウエハは、チャネル層直下のバッファ層中の炭素濃度が従来技術に比して小さいことから、バッファ層中の結晶欠陥の増大を抑制することができる。
Claims (6)
- 基板の上にバッファ層を有し、前記バッファ層の直上にチャネル層となるエピタキシャル層を有する半導体エピタキシャルウエハであって、
前記バッファ層がAlXGa1-XNバッファ層(0≦X≦1)、AlNバッファ層、GaNバッファ層を順次積層した構造からなり、かつ前記 GaNバッファ層が1×107 Ω・cm以上の電気抵抗率を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。 - 基板の上にバッファ層を有し、前記バッファ層の直上にチャネル層となるエピタキシャル層を有する半導体エピタキシャルウエハであって、
前記バッファ層がInYGa1-YNバッファ層(0≦Y≦1)、AlXGa1-XNバッファ層(0≦X≦1)、AlNバッファ層、GaNバッファ層を順次積層した構造からなり、かつ前記 GaNバッファ層が1×107 Ω・cm以上の電気抵抗率を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。 - 請求項1乃至請求項2に記載の半導体エピタキシャルウエハにおいて、
前記 GaNバッファ層よりも下層のバッファ層が、1×107 Ω・cm以上の電気抵抗率を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体エピタキシャルウエハにおいて、
前記 GaNバッファ層が、3×1016〜2×1017 cm-3の炭素濃度を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。 - 請求項4に記載の半導体エピタキシャルウエハにおいて、
前記 GaNバッファ層よりも下層のバッファ層が、それぞれ3×1016〜2×1017 cm-3の炭素濃度を有することを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。 - 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の半導体エピタキシャルウエハにおいて、
前記基板が、サファイヤ基板、GaN基板、またはSiC基板からなることを特徴とする半導体エピタキシャルウエハ。
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