JP2007200975A - 半導体装置とその製造法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】あらかじめ定めた材質の基板1上に、GaN層2、AlxGa1−xN(0<x<1)層3,4,5を順次エピタキシャル成長させ、さらに、AlxGa1−xN層5上に、AlyGazIn1−y−zN(0≦y≦1、0≦z≦1)層6を形成する。さらに、好ましくは、AlyGazIn1−y−zN層6は、そのa軸の格子定数が、AlxGa1−xN層3,4,5のa軸の格子定数よりも大きくなる組成y、zを用いる。また、AlxGa1−xN層3,4,5として、内部にn型のAlxGa1−xN層4を有する構造としても良いし、あるいは、GaN層2とAlxGa1−xN層3,4,5との間に、AlN層を有する構造としても良い。
【選択図】図1
Description
K.Shiojima etal.,"Thermal Stability of Electrical Properties in AlGaN/GaN Heterostructures",Japanese J. of Appl.Phys.,Vol.43,No.1(2004),p.p.100. K.Shiojima etal.,"Systematic study of thermal stability of AlGaN/GaN two−dimensional electron gas structure with SiN surface passivation",IEICE Electronics Express,Vol.1,No.7(2004),p.p.160 T.Hashizume etal.,"Effects of nitrogen deficiency on electronic properties of AlGaN surface subjected to thermal and plasma processes",App1.Surface Science,234(2004),p.p.387 V.M.Bermudez,"Study of oxygenchemisorption on the GaN(0001)−(1×1)surface",J.App1.Phys.,80(2)15 July(1996),p.p.1190
Claims (7)
- あらかじめ定めた材質の基板と、前記基板上に形成されたGaN層を有し、前記GaN層上に、AlxGa1−xN層(0<x<1)を有し、さらに、前記AlxGa1−xN層上に、AlyGazIn1−y−zN層(0≦y≦1、0≦z≦1)を有することを特徴とする半導体装置。
- 前記AlyGazIn1−y−zN層は、そのa軸の格子定数が、前記AlxGa1−xN層のa軸の格子定数よりも大きくなる組成y、zを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記AlxGa1−xN層は、その内部において、n型のAlxGa1−xN層を有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記基板の材料が、サファイア、シリコン・カーバイド、シリコンのいずれかであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記GaN層と前記AlxGa1−xN層との間に、AlN層を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
- あらかじめ定めた材質の基板上に、GaN層、AlxGa1−xN層(0<x<1)、AlyGazIn1−y−zN層(0≦y≦1、0≦z≦1)を、順次エピタキシャル成長する工程と、前記AlyGazIn1−y−zN層上のあらかじめ定めた保護領域に保護膜を堆積した後に、前記AlyGazIn1−y−zN層上の前記保護領域以外の領域にソース電極とドレイン電極とをそれぞれ形成する工程と、前記保護膜を除去した後、前記AlyGazIn1−y−zN層上の前記保護領域内のあらかじめ定めた領域にゲート電極を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造法。
- あらかじめ定めた材質の基板上に、GaN層、AlxGa1−xN層(0<x<1)、AlyGazIn1−y−zN層(0≦y≦1、0≦z≦1)を、順次エピタキシャル成長する工程と、前記AlyGazIn1−y−zN層上のあらかじめ定めた保護領域に保護膜を堆積した後、前記AlyGazIn1−y−zN層上の前記保護領域以外の領域について、前記AlyGazIn1−y−zN層、さらに、前記AlxGa1−xN層の任意の厚さまでを、エッチングにより除去する工程と、前記保護領域以外の領域の前記AlxGa1−xN層上にソース電極とドレイン電極とをそれぞれ形成する工程と、前記保護膜を除去した後、前記AlyGazIn1−y−zN層上の前記保護領域内のあらかじめ定めた領域にゲート電極を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造法。
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