JP2021019096A - 加工装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態の加工装置の制御方法を実施するに際し、図1、図2に示すようなレーザー加工装置2によってレーザー加工が施される被加工物、例えば半導体のウエーハ10を用意する。ウエーハ10は、複数のデバイス14が分割予定ライン12によって区画され表面に形成されたものであり、粘着テープTを介して、環状のフレームFに保持されている。オペレータは、制御手段70に対して、チャックテーブル34上に保持されたウエーハ10が、送り手段23が停止してからどの程度の時間差をもって停止するのかを学習する時間差学習モードを実施することを指示する。
上記したように、基準マーク記録工程を実施したならば、送り手段22を作動して図3(a)に示すように、送り手段23によって保持手段22を矢印X1で示す方向に移動して、マーク100を含むウエーハ10を撮像手段6の直下から離れた位置、例えば、ウエーハ10をチャックテーブル34に搬入したり、チャックテーブル34から搬出したりする搬出入位置に位置付ける。チャックテーブル34を図3(a)に示す搬出入位置に位置付けたならば、その後、送り手段23を作動して、図3(b)の矢印X2で示す方向に移動して、基準マーク記録工程において記録部72に記録された基準マーク100Aの基準位置座標(X0,Y0)に基づき、基準マーク100Aとして記録されたウエーハ10のマーク100を撮像手段6の直下に移動する。この動作は、実際にウエーハ10にレーザー加工を施して、個々のデバイスチップに分割する際にアライメント動作を実施する際の移動に準じた動作とする。
制御手段70は、上記したマッチング度記録工程を実施しながら、マッチング度が最大となったか否かの判定を実施する。このマッチング度が最大となったか否かの判定は、制御手段により停止信号が発せられてから、保持手段22上に保持されたウエーハ10上のマーク100が減衰振動を経てチャックテーブル34が完全に停止したか否かを判定するものである。ところで、ウエーハ10上のマーク100は、X軸方向において反復振動しており、基準マーク100Aと周期的に一致する状態、すなわちマッチング度が100%となる状態に瞬間的に達しながら減衰振動を繰り返すため、該マッチング度は、図5に示すように、停止信号が発せられた時間T0から一様に上昇するのではない。よって、マッチング度が最大となったか否かの判定は、マーク100が、減衰振動を経て停止したことを適正に判定すべく、マーク100が停止したと判定できるマッチング度が100%に近い所定値(例えば98%以上)に達してから所定時間(例えば5ms)の間留まっていることを判定したり、或いは、マッチング度の移動平均を検出して該移動平均が98%以上になったことを判定したりすることによって、マッチング度が最大となったと判定することができる。
2A:基台
4:レーザー照射手段
42:集光器
6:撮像手段
10:ウエーハ
12:分割予定ライン
14:デバイス
22:保持手段
30:X軸方向可動板
31:Y軸方向可動板
34:チャックテーブル
37:案内レール
38:リニアスケール
23:送り手段
50:X軸送り手段
52:Y軸送り手段
27:案内レール
28:リニアスケール
70:制御手段
72:記録部
74:パターンマッチング部
100、100B〜100D:マーク
100A:基準マーク
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段に保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に加工送りする送り手段と、各作動部を制御する制御手段と、を含み構成される加工装置の制御方法であって、
表面にマークを備えた被加工物を該保持手段に保持し、該送り手段を作動して該マークを該撮像手段の直下に位置付けて該マークを撮像して基準マークとして記録すると共に、該撮像手段の直下に位置付けられ基準マークとして記録された該マークの位置座標を制御手段の記録部に記録する基準マーク記録工程と、
該送り手段を作動して該マークを該撮像手段の直下から離れた位置に位置付けた後、該送り手段を作動して該記録部に記録された該位置座標に基づき該マークを該撮像手段の直下に位置付け、該マークを撮像しながら該記録部に記録された該基準マークとでパターンマッチングを実施してマッチング度を時間経過と共に該記録部に記録するマッチング度記録工程と、
該マッチング度記録工程において、該マークを該撮像手段の直下に位置付けられ該位置座標に達した際に発する停止信号の時間と、該マッチング度が最大となった際の時間との時間差を検出し、該時間差を該記録部に記録する時間差検出工程と、
を含み構成され、
該制御手段は、送り手段により移動させられて所定の位置に到達して停止信号が発せられた時間から該時間差を経過した後に、次の動作を指示する加工装置の制御方法。 - 該制御手段は、該時間差が許容値を超えている場合、該保持手段、該加工手段、該撮像手段の少なくともいずれかの点検を指示する請求項1に記載の加工装置の制御手段。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290040A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメントシステム |
JP2006216852A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | 位置決め装置および位置決め装置の制御方法 |
JP2008311487A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品実装装置 |
JP2017140682A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 装置 |
JP2018013342A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 株式会社ディスコ | 検査方法 |
WO2019159742A1 (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
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- 2019-07-19 JP JP2019134043A patent/JP7286456B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290040A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメントシステム |
JP2006216852A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | 位置決め装置および位置決め装置の制御方法 |
JP2008311487A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品実装装置 |
JP2017140682A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 装置 |
JP2018013342A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 株式会社ディスコ | 検査方法 |
WO2019159742A1 (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
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