JP2019063812A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係るレーザー加工装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るレーザー加工装置の概略の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示されたレーザー加工装置のレーザー光線照射ユニットの構成を示す図である。図3は、図1に示されたレーザー加工装置のチャックテーブルの保持面の座標を示す図である。図4は、図1に示されたレーザー加工装置のウェーハの加工中の状態を一部断面で示す側面図である。
図6は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の固有情報記録ステップ及び加工環境下情報記録ステップを示す側面図である。図7は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の固有情報記録ステップにおける一方の測定器の測定結果を示す図である。図8は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の固有情報記録ステップにおける他方の測定器の測定結果の一例を示す図である。図9は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の固有情報記録ステップにおける他方の測定器の測定結果の他の例を示す図である。図10は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の固有情報記録ステップにおいて記録した固有揺れ情報を示す図である。
図11は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の加工環境下情報記録ステップにおける一方の測定器の測定結果を示す図である。図12は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の加工環境下情報記録ステップにおける他方の測定器の測定結果の一例を示す図である。図13は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の加工環境下情報記録ステップにおける他方の測定器の測定結果の他の例を示す図である。図14は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の加工環境下情報記録ステップにおいて記録した揺れ情報を示す図である。
図15は、図5に示された集光点の位置ずれ原因特定方法の算出ステップにおいて算出された揺れ情報と固有揺れ情報との差を示す図である。
揺れ判定ステップST4は、算出ステップST3で算出した揺れ情報500と固有揺れ情報600との差700が許容範囲800を超えているか否かを判定するステップである。揺れ判定ステップST4では、制御ユニット100の揺れ判定部103が、固有情報記録ステップST1の固有揺れ情報600と同様に、揺れ情報500と固有揺れ情報600との差700が予め定めされる許容範囲800を超えているか否かを判定する。なお、図15は、揺れ情報500と固有揺れ情報600との差700が許容範囲800外である場合を示している。
(付記1)
ウェーハを保持面で保持するチャックテーブルと、集光レンズで集光したレーザー光線を該チャックテーブルに保持したウェーハに照射するレーザー光線照射ユニットと、該チャックテーブルを該保持面と平行な方向に加工送りさせる加工送りユニットと、を備えるレーザー加工装置のレーザー光線の集光点の位置ずれ原因特定方法であって、
該レーザー加工装置に外的振動が作用することが規制された状態で、該チャックテーブルをX方向に加工送りしながら、該集光レンズを挟み加工送り方向で前後となる位置に設けられた一対の測定器で測定した高さの情報と、高さを測定した時の該測定器の該保持面におけるX座標情報とから、該一対の測定器が同一のX座標で測定した該高さの差を求め、該レーザー加工装置固有の固有揺れ情報として記録する固有情報記録ステップと、
該レーザー加工装置が該ウェーハを加工する生産現場で、該チャックテーブルをX方向に加工送りしながら、該一対の測定器で測定した高さの情報と、高さを測定した時の該測定器の該保持面におけるX座標情報とから、該一対の測定器が同一のX座標で測定した該高さの差を求め、振れ情報として記録する加工環境下情報記録ステップと、
該生産現場で測定した該揺れ情報と該固有揺れ情報との差を算出する算出ステップと、を含むことを特徴とするレーザー加工装置の集光点の位置ずれ原因特定方法。
(付記2)
該生産現場で測定した該揺れ情報と該固有揺れ情報との差が許容範囲を超えているか否かを判定する揺れ判定ステップを含むことを特徴とする付記1に記載のレーザー加工装置の集光点の位置ずれ原因特定方法。
11 保持面
20 レーザー光線照射ユニット
21 集光レンズ
22 集光器
30 X軸移動ユニット(加工送りユニット)
60 揺れ検出ユニット
61,61−1,61−2 測定器
101 固有情報記録部
102 揺れ情報記録部
103 揺れ判定部
200 ウェーハ
220 レーザー光線
221 集光点
401 測定位置(高さを測定した時の検出器の保持面におけるX座標情報)
500 揺れ情報
600 固有揺れ情報
700 揺れ情報と固有揺れ情報との差
800 許容範囲
X 保持面と平行な方向、加工送り方向
Claims (3)
- ウェーハを保持面で保持するチャックテーブルと、集光レンズで集光したレーザー光線を該チャックテーブルに保持したウェーハに照射するレーザー光線照射ユニットと、該チャックテーブルを該保持面と平行な方向に加工送りさせる加工送りユニットと、装置固有の揺れを検出する揺れ検出ユニットと、を備えるレーザー加工装置であって、
該揺れ検出ユニットは、
該集光レンズを挟み加工送り方向で前後となる位置に、該集光レンズを含む集光器に固定され、該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持されたウェーハの高さを測定する一対の測定器と、
該チャックテーブルをX方向に加工送りしながら該一対の測定器で測定した高さの情報と、高さを測定した時の該測定器の該保持面におけるX座標情報とから、該一対の測定器が同一のX座標で測定した該高さの差を求め、該レーザー加工装置の揺れ情報として記録する揺れ情報記録部と、
該レーザー加工装置が外的振動の無い状態で得た、該加工送りユニットの個性を含む該揺れ情報を該レーザー加工装置固有の固有揺れ情報として記録する固有情報記録部と、
ウェーハを加工する生産現場で測定した該揺れ情報と、該固有情報記録部の該固有揺れ情報との差が許容範囲を超えているか否かを判定する揺れ判定部と、を備えることを特徴とするレーザー加工装置。 - 該レーザー光線照射ユニットは、該ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を、ウェーハの内部に集光点を位置付けて照射する請求項1に記載のレーザー加工装置。
- 該測定器は、レーザー変位計である請求項1又は請求項2に記載のレーザー加工装置。
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