JP7285636B2 - 板状物の加工方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係るドープ量検出方法及び板状物の加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るドープ量検出方法の検出対象及び板状物の加工方法の加工対象の板状物の一例を示す斜視図である。図2は、図1に示された板状物を裏面側からみた斜視図である。図3は、実施形態1に係るドープ量検出方法及び板状物の加工方法を実施するレーザー加工装置の一例を示す斜視図である。図4は、図3に示されたレーザー加工装置のAE解析ユニットが解析した弾性波の一例を示す図である。図5は、図3に示されたレーザー加工装置のAE解析ユニットが解析した弾性波の他の例を示す図である。図6は、図3に示されたレーザー加工装置のドープ量判定部が予め記憶した対応グラフの一例を示す図である。図7は、図3に示されたレーザー加工装置の加工条件選定部が予め記憶した加工条件選定条件の一例を示す図である。
実施形態1に係るドープ量検出方法及び板状物の加工方法は、図3に示されるレーザー加工装置10により実施される。実施形態1において、レーザー加工装置10は、表面4の裏側の裏面8側にレーザービーム31を照射して、分割予定ライン3に沿って板状物1の内部に分割起点となる改質層を形成する加工装置である。なお、改質層とは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層の機械的な強度は、周囲の機械的な強度よりも低い。
本発明の実施形態2に係るドープ量検出方法を図面に基づいて説明する。図10は、実施形態2に係るドープ量検出方法の流れを示すフローチャートである。図10は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
31 レーザービーム
71 AEセンサ
201,202 弾性波
201-1,202-1 最大強度(弾性波の大きさ)
201-2,202-2 ドープ量
300 対応グラフ
ST2 弾性波検出ステップ
ST3 ドープ量判定ステップ
ST6 加工条件選定ステップ
ST7 加工ステップ
Claims (3)
- 板状物を加工する板状物の加工方法であって、
該板状物に対して該板状物の加工閾値を超えない出力でレーザービームを照射しながら、レーザービームの照射によって該板状物から生じる弾性波を検出する弾性波検出ステップと、
該弾性波検出ステップで検出した弾性波の大きさに基づいて該板状物に含まれる不純物のドープ量を判定するドープ量判定ステップと、
該ドープ量判定ステップで判定されたドープ量に対応する加工条件を選定する加工条件選定ステップと、
該加工条件選定ステップで選定された加工条件で該板状物に対してレーザービームを照射して該板状物の内部に改質層を形成する加工ステップと、を含み、
該改質層を起点に該板状物を分割することを特徴とする板状物の加工方法。 - 該弾性波検出ステップを様々な不純物ドープ量の板状物に対して実施し、該板状物に含まれる不純物のドープ量と、該ドープ量に対応する弾性波の大きさと、の対応グラフを予め作成しておくことを特徴とする、請求項1に記載の板状物の加工方法。
- 該弾性波検出ステップにおける弾性波の検出は、AEセンサを用いることを特徴とする、請求項1に記載の板状物の加工方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002005828A (ja) | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tochigi Nikon Corp | 半導体の不純物濃度検査装置及び検査方法 |
JP2002192370A (ja) | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2003148911A (ja) | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Sony Corp | 検査装置および検査方法 |
US20060166385A1 (en) | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Alex Salnik | Method for measuring peak carrier concentration in ultra-shallow junctions |
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---|---|---|---|---|
JP2002005828A (ja) | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tochigi Nikon Corp | 半導体の不純物濃度検査装置及び検査方法 |
JP2002192370A (ja) | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2003148911A (ja) | 2001-11-08 | 2003-05-21 | Sony Corp | 検査装置および検査方法 |
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JP2009212341A (ja) | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Kobe Steel Ltd | イオン注入量測定装置 |
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