JP2020529628A - ハイパワーファイバ照明源用分光フィルタ - Google Patents
ハイパワーファイバ照明源用分光フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020529628A JP2020529628A JP2020505275A JP2020505275A JP2020529628A JP 2020529628 A JP2020529628 A JP 2020529628A JP 2020505275 A JP2020505275 A JP 2020505275A JP 2020505275 A JP2020505275 A JP 2020505275A JP 2020529628 A JP2020529628 A JP 2020529628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- spectrum
- illumination source
- optical fiber
- spectroscopic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims description 99
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims description 81
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 101
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 97
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 18
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- -1 but not limited to Substances 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/204—Filters in which spectral selection is performed by means of a conductive grid or array, e.g. frequency selective surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0451—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using means for illuminating a slit efficiently, e.g. entrance slit of a photometer or entrance face of fiber
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/08—Arrangements of light sources specially adapted for photometry standard sources, also using luminescent or radioactive material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/024—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using means for illuminating a slit efficiently (e.g. entrance slit of a spectrometer or entrance face of fiber)
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/208—Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/26—Reflecting filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
- G02B5/282—Interference filters designed for the infrared light reflecting for infrared and transparent for visible light, e.g. heat reflectors, laser protection
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0005—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being of the fibre type
- G02B6/0008—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being of the fibre type the light being emitted at the end of the fibre
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Multicomponent Fibers (AREA)
- Spinning Methods And Devices For Manufacturing Artificial Fibers (AREA)
- Endoscopes (AREA)
Abstract
Description
本願では、「ハイパワーファイバ分光フィルタ」(HIGH POWER FIBER SPECTRAL FILTER)と題しAndrew Hill、Ohad Bachar、Avi Abramov及びAmnon Manassenを発明者とする2017年7月31日付米国仮特許出願第62/539543号に基づき米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張しており、参照を以てその全容が本願に繰り入れられている。
Claims (36)
- 分光フィルタであって、
球の一部分を形成する凹表面を有する湾曲フィルタリング素子を備え、その凹表面が、その球の中心付近の第1個所に配置された光ファイバ出射面から発散される光を受光するよう配置されており、その凹表面が、その光のスペクトルの第1部分を透過させるよう構成されており、その凹表面が更に、その球の中心付近の第2個所へと当該スペクトルの第2部分を反射及び集束させるよう構成されており、且つ
上記光ファイバ出射面から離れる方へと上記スペクトルの第2部分を差し向けるよう構成された集光器を備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記集光器が、上記第2個所にあり上記スペクトルの第2部分を受光する入射面を有する付加的光ファイバを備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記集光器が、上記球の中心付近の第2個所に所在する鏡を備え、上記光ファイバ出射面から離れる方へと上記スペクトルの第2部分を差し向けるようその鏡の向きが設定されている分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記凹表面から上記スペクトルの第1部分を受光するよう配置された出射表面を有し、その出射表面を介し当該スペクトルの第1部分がその湾曲フィルタリング素子から出射される分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記光ファイバ出射面から発散される光を受光するようその光ファイバ出射面に結合された入射表面を有する分光フィルタ。 - 請求項5に記載の分光フィルタであって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記第2個所に配置された出射表面を有し、その出射表面を介し上記スペクトルの第2部分がその湾曲フィルタリング素子から出射される分光フィルタ。 - 請求項6に記載の分光フィルタであって、
上記集光器が、上記スペクトルの第2部分を受光するよう上記出射表面に結合された入射面を有する付加的光ファイバを備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、更に、
上記スペクトルの第1部分であり上記凹表面を透過したものを平行化するよう配置された、平行化光学素子を備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、更に、
上記スペクトルの第2部分であり上記集光器により上記光ファイバ出射面から離れる方へと差し向けられたものを平行化するよう配置された、平行化光学素子を備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、更に、
上記スペクトルの第1部分であり上記凹表面を透過したものと、当該スペクトルの第2部分であり上記集光器により上記光ファイバ出射面から離れる方へと差し向けられたものと、のうち一方を受光するよう配置されたビームダンプを備える分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記湾曲面が、指定カットオフ波長を有するハイパス反射フィルタを備え、上記スペクトルの第1部分がその指定カットオフ波長より短い波長を含み、当該スペクトルの第2部分がその指定カットオフ波長より長い波長を含む分光フィルタ。 - 請求項11に記載の分光フィルタであって、
上記指定カットオフ波長が赤外スペクトル領域内にある分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記湾曲面が、指定カットオフ波長を有するローパス反射フィルタを備え、上記スペクトルの第1部分がその指定カットオフ波長より長い波長を含み、当該スペクトルの第2部分がその指定カットオフ波長より短い波長を含む分光フィルタ。 - 請求項13に記載の分光フィルタであって、
上記指定カットオフ波長が赤外スペクトル領域内にある分光フィルタ。 - 請求項1に記載の分光フィルタであって、
上記凹表面が、上記スペクトルの第1部分を透過させ且つ当該スペクトルの第2部分を反射させる波長選択性被覆を有する分光フィルタ。 - 請求項15に記載の分光フィルタであって、
上記波長選択性被覆が、1個又は複数個の誘電体層を備える分光フィルタ。 - 請求項15に記載の分光フィルタであって、
上記波長選択性被覆が、1個又は複数個の金属層を備える分光フィルタ。 - ろ波ファイバ照明源であって、
光ファイバ出射面から発散する照明を提供するよう構成されたファイバ式照明源を備え、
球の一部分を形成する凹表面を有する湾曲フィルタリング素子を備え、その凹表面が、上記光ファイバ出射面から発散される照明を受光するよう配置されており、当該光ファイバ出射面が、その球の中心付近の第1個所に配置されており、当該凹表面が、その照明のスペクトルの第1部分を透過させるよう構成されており、その凹表面が更に、その球の中心付近の第2個所へと当該スペクトルの第2部分を反射及び集束させるよう構成されており、且つ
上記光ファイバ出射面から離れる方へと上記スペクトルの第2部分を差し向けるよう構成された集光器を備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記ファイバ式照明源が、超連続体レーザ光源を備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記集光器が、上記第2個所にあり上記スペクトルの第2部分を受光する入射面を有する付加的光ファイバを備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記集光器が、上記球の中心付近の第2個所に所在する鏡を備え、上記光ファイバ出射面から離れる方へと上記スペクトルの第2部分を差し向けるようその鏡の向きが設定されているろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記凹表面から上記スペクトルの第1部分を受光するよう配置された出射表面を有し、その出射表面を介し当該スペクトルの第1部分がその湾曲フィルタリング素子から出射されるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記光ファイバ出射面から発散される光を受光するようその光ファイバ出射面に結合された入射表面を有するろ波ファイバ照明源。 - 請求項23に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記湾曲フィルタリング素子が、更に、上記第2個所に配置された出射表面を有し、その出射表面を介し上記スペクトルの第2部分がその湾曲フィルタリング素子から出射されるろ波ファイバ照明源。 - 請求項24に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記集光器が、上記スペクトルの第2部分を受光するよう上記出射表面に結合された入射面を有する付加的光ファイバを備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、更に、
上記スペクトルの第1部分であり上記凹表面を透過したものを平行化するよう配置された、平行化光学素子を備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、更に、
上記スペクトルの第2部分であり上記集光器により上記光ファイバ出射面から離れる方へと差し向けられたものを平行化するよう配置された、平行化光学素子を備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、更に、
上記スペクトルの第1部分であり上記凹表面を透過したものと、当該スペクトルの第2部分であり上記集光器により上記光ファイバ出射面から離れる方へと差し向けられたものと、のうち一方を受光するよう配置されたビームダンプを備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記湾曲面が、指定カットオフ波長を有するハイパス反射フィルタを備え、上記スペクトルの第1部分がその指定カットオフ波長より短い波長を含み、当該スペクトルの第2部分がその指定カットオフ波長より長い波長を含むろ波ファイバ照明源。 - 請求項29に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記指定カットオフ波長が赤外スペクトル領域内にあるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記湾曲面が、指定カットオフ波長を有するローパス反射フィルタを備え、上記スペクトルの第1部分がその指定カットオフ波長より長い波長を含み、当該スペクトルの第2部分がその指定カットオフ波長より短い波長を含むろ波ファイバ照明源。 - 請求項31に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記指定カットオフ波長が赤外スペクトル領域内にあるろ波ファイバ照明源。 - 請求項18に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記凹表面が、上記スペクトルの第1部分を透過させ且つ当該スペクトルの第2部分を反射させる波長選択性被覆を有するろ波ファイバ照明源。 - 請求項33に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記波長選択性被覆が、1個又は複数個の誘電体層を備えるろ波ファイバ照明源。 - 請求項33に記載のろ波ファイバ照明源であって、
上記波長選択性被覆が、1個又は複数個の金属層を備えるろ波ファイバ照明源。 - 光ファイバからの照明をフィルタリングする方法であって、
球の一部分を形成する凹表面を有する湾曲フィルタリング素子で以て光ファイバ出射面からの照明を受光するステップであり、その凹表面が、その球の中心付近の第1個所に配置された光ファイバ出射面から発散される光を受光するよう配置されているステップと、
上記光のスペクトルの第1部分を上記凹表面にて透過させるステップと、
上記スペクトルの第2部分を上記凹表面で以て反射させるステップと、
上記スペクトルの第2部分を上記凹表面で以て上記球の中心付近の第2個所へと集束させるステップと、
上記スペクトルの第2部分を集光器で以て上記光ファイバ出射面から離れる方へと差し向けるステップと、
を有する方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762539543P | 2017-07-31 | 2017-07-31 | |
US62/539,543 | 2017-07-31 | ||
US15/665,911 US11187838B2 (en) | 2017-07-31 | 2017-08-01 | Spectral filter for high-power fiber illumination sources |
US15/665,911 | 2017-08-01 | ||
PCT/US2018/043211 WO2019027705A1 (en) | 2017-07-31 | 2018-07-23 | SPECTRAL FILTER FOR HIGH POWER FIBER LIGHTING SOURCES |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020529628A true JP2020529628A (ja) | 2020-10-08 |
JP7296940B2 JP7296940B2 (ja) | 2023-06-23 |
Family
ID=65137902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020505275A Active JP7296940B2 (ja) | 2017-07-31 | 2018-07-23 | ハイパワーファイバ照明源用分光フィルタ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11187838B2 (ja) |
EP (1) | EP3635453A4 (ja) |
JP (1) | JP7296940B2 (ja) |
KR (1) | KR102616532B1 (ja) |
CN (1) | CN110869823A (ja) |
TW (1) | TWI781200B (ja) |
WO (1) | WO2019027705A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE541966C2 (en) * | 2017-10-17 | 2020-01-14 | Optoskand Ab | Optoelectronic assembly for separating wavelengths in optical fibers |
EP4250010A1 (en) * | 2022-03-25 | 2023-09-27 | ASML Netherlands B.V. | Apparatus and methods for filtering measurement radiation |
WO2023165783A1 (en) * | 2022-03-01 | 2023-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and methods for filtering measurement radiation |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57212414A (en) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | Fujitsu Ltd | Wavelength selection type optical distributor |
JPS61172107A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-08-02 | カプトロン・インコ−ポ−レテツド | 光フアイバ−通信装置 |
JPH06148470A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光受動モジュール |
JPH10170750A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-26 | Alps Electric Co Ltd | 光カプラ |
JPH1168164A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Rohm Co Ltd | 双方向光通信用モジュール |
JP2008151897A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Topcon Corp | 光分波装置 |
JP2009531720A (ja) * | 2006-03-31 | 2009-09-03 | エネブレンス インコーポレイテッド | 混合回折要素を有する平面光波フィルタ |
JP2010282142A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Sony Corp | 分波器 |
KR101227182B1 (ko) * | 2011-07-26 | 2013-01-28 | 주식회사 피엔에스 | 코팅된 오목면을 갖는 렌즈를 이용한 광모듈 |
JP2016515196A (ja) * | 2013-02-22 | 2016-05-26 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 光計測において照明を提供するためのシステム |
US20160290796A1 (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-06 | Kla-Tencor Corporation | Feed Forward of Metrology Data in a Metrology System |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2768074B2 (ja) * | 1991-09-09 | 1998-06-25 | 日産自動車株式会社 | 灯 具 |
JP3175814B2 (ja) * | 1995-10-09 | 2001-06-11 | 日本電信電話株式会社 | 導波形光素子及びその製造方法 |
US7937878B2 (en) * | 1997-12-08 | 2011-05-10 | Horus Vision Llc | Apparatus and method for calculating aiming point information |
US6125223A (en) | 1998-08-31 | 2000-09-26 | Oriel Corporation | Spectrally resolved light |
US6494606B1 (en) * | 1999-12-21 | 2002-12-17 | Wavien, Inc. | Color correction for fiber optic illumination systems |
US6879441B1 (en) | 2000-03-16 | 2005-04-12 | Thomas Mossberg | Holographic spectral filter |
JP3438140B2 (ja) | 2000-12-28 | 2003-08-18 | 学校法人慶應義塾 | 光信号処理回路及びその製造方法 |
CA2437059A1 (en) * | 2001-02-21 | 2002-09-26 | Wavien, Inc. | Illumination system using filament lamps |
CN1323962C (zh) * | 2002-05-28 | 2007-07-04 | 肖特股份有限公司 | 用于实施一种对于光学玻璃进行压光的方法的装置 |
JP2007114484A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
US20080137032A1 (en) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | General Electric Company | Optical lens and method of manufacturing |
US7400794B1 (en) * | 2007-06-29 | 2008-07-15 | Coherent, Inc. | Transport optical fiber for Q-switched lasers |
US9403186B2 (en) * | 2011-12-01 | 2016-08-02 | University Of Utah Research Foundation | Photonic devices on planar and curved substrates and methods for fabrication thereof |
WO2014070431A1 (en) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | Dow Global Technologies Llc | Nanocomposites of copolymers and dielectric materials |
JP2017067804A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 国立大学法人名古屋大学 | スーパーコンティニュアム光源 |
CN206348480U (zh) * | 2017-01-06 | 2017-07-21 | 福建海创光电有限公司 | 一种可调谐滤波器 |
-
2017
- 2017-08-01 US US15/665,911 patent/US11187838B2/en active Active
-
2018
- 2018-07-23 KR KR1020207005203A patent/KR102616532B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-23 JP JP2020505275A patent/JP7296940B2/ja active Active
- 2018-07-23 CN CN201880045305.0A patent/CN110869823A/zh active Pending
- 2018-07-23 WO PCT/US2018/043211 patent/WO2019027705A1/en unknown
- 2018-07-23 EP EP18841256.3A patent/EP3635453A4/en active Pending
- 2018-07-27 TW TW107125977A patent/TWI781200B/zh active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57212414A (en) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | Fujitsu Ltd | Wavelength selection type optical distributor |
JPS61172107A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-08-02 | カプトロン・インコ−ポ−レテツド | 光フアイバ−通信装置 |
JPH06148470A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光受動モジュール |
JPH10170750A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-26 | Alps Electric Co Ltd | 光カプラ |
JPH1168164A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Rohm Co Ltd | 双方向光通信用モジュール |
JP2009531720A (ja) * | 2006-03-31 | 2009-09-03 | エネブレンス インコーポレイテッド | 混合回折要素を有する平面光波フィルタ |
JP2008151897A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Topcon Corp | 光分波装置 |
JP2010282142A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Sony Corp | 分波器 |
KR101227182B1 (ko) * | 2011-07-26 | 2013-01-28 | 주식회사 피엔에스 | 코팅된 오목면을 갖는 렌즈를 이용한 광모듈 |
JP2016515196A (ja) * | 2013-02-22 | 2016-05-26 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 光計測において照明を提供するためのシステム |
US20160290796A1 (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-06 | Kla-Tencor Corporation | Feed Forward of Metrology Data in a Metrology System |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110869823A (zh) | 2020-03-06 |
TW201918734A (zh) | 2019-05-16 |
US20190033501A1 (en) | 2019-01-31 |
US11187838B2 (en) | 2021-11-30 |
JP7296940B2 (ja) | 2023-06-23 |
WO2019027705A1 (en) | 2019-02-07 |
EP3635453A1 (en) | 2020-04-15 |
EP3635453A4 (en) | 2021-03-31 |
KR20200027562A (ko) | 2020-03-12 |
KR102616532B1 (ko) | 2023-12-20 |
TWI781200B (zh) | 2022-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105051880B (zh) | 用于在光学计量中提供照明的系统 | |
JP6324963B2 (ja) | 固体照射光源及び検査システム | |
US20170184833A1 (en) | Optical characteristic measurement apparatus and optical system | |
US20080285026A1 (en) | Optical characteristic measuring apparatus and measuring method using light reflected from object to be measured | |
JP2007500546A5 (ja) | ||
TW201503514A (zh) | 一種193奈米雷射及使用一種193奈米雷射之檢測系統 | |
JP7296940B2 (ja) | ハイパワーファイバ照明源用分光フィルタ | |
JP6524269B2 (ja) | ビームスプリッタ、および電磁放射によって励起可能な試料を検査するための構造 | |
US8149403B2 (en) | Optical equipment having wavelength-independent optical path division element | |
WO2019007175A1 (zh) | 一种高效光程折叠器件 | |
KR100763974B1 (ko) | 중적외선 파면센서의 광축정렬 장치 및 그 방법 | |
US6219476B1 (en) | Multiple light source unit and optical system using the same | |
TW202204970A (zh) | 用於最佳化對比度以與模糊成像系統一起使用的方法及裝置 | |
US20200173921A1 (en) | Light source device and range sensor provided with the same | |
JP4426026B2 (ja) | マルチ光源ユニットおよびそれを用いた光学システム | |
TW202104856A (zh) | 光學計量學之高亮度照明源 | |
US9256066B2 (en) | Laser beam irradiance control systems | |
KR102545985B1 (ko) | 인터레이스 펄스 조명 소스들을 갖는 레이저 지속 플라즈마를 펌핑하기 위한 시스템 및 방법 | |
CN109065209B (zh) | 一种基于空心光束的双模输出光镊 | |
JP2005300823A (ja) | 光学ユニット、および照明装置、投写型表示装置 | |
JP2022540651A (ja) | マルチミラーレーザ維持プラズマ光源 | |
US20240113488A1 (en) | Suppression of undesired wavelengths in laser light | |
US10976197B2 (en) | Optical apparatus using reflection geometry | |
JPH10267846A (ja) | レーザ照射/取り込み光学装置 | |
US20230375404A1 (en) | Illumination systems and optical devices for laser beam shaping |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7296940 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |