JP2020521121A - 極低温液体の極微量汚染物質の解析方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、極低温液体中の少なくとも１種の汚染物質の含有量を解析する方法に関し、既知の量Ｌの、初期液体を構成する液体が圧力Ｐで筐体（Ｅ）の中に注入され、筐体内に存在する液体の所定の割合が、それを加熱することによって気化させられ、このようにして生成された蒸気（１３）は気化筐体から排出されて、気化段階中に圧力が圧力Ｐより高くならないように保持され、Ｌより少ない、このように気化した液体の量は、筐体内に存在する残留液体中の汚染物質の量が初期液体中と実質的に等しくなるように精密に制御され、これはその濃度に予め特定された係数が乗じられることを意味し、残留液体のサンプルが収集され、残留液体サンプルが完全に気化した後に汚染物質含有量が測定され、初期液体中の汚染物質含有量が残留液体中の汚染物質の測定値から推測される。【選択図】図１

Description

本発明は、極低温液体、すなわち極低温で液化する液体の極微量汚染物質を解析する方法に関する。極低温蒸留により空気を分離するためのユニットの酸素気化器は、蒸留カラムへの供給空気に含まれ、それまでに上流で除去できなかった多くの不純物が濃縮される場所である。

ほとんどの不純物は気液平衡係数を有しているため、不純物のほぼすべてが液相で存在し、気相では微少部分が分散する。したがって、液相での含有量は気化段階中に増大する。

さらに、多くの研究では、液相でのある不純物の含有量が多いほど、この不純物がアルミニウム気化マトリクス内に固体又は液体沈着物の形態で堆積する量が多くなることを示している。したがって、不純物の濃度が高すぎることは容認できず、その理由は以下のとおりである：
・不純物は酸素と直接反応し、爆発のリスクの高い状況が生じる可能性があり、それは特にこの反応性不純物により放出されるエネルギーがアルミニウムマトリクスの燃焼を開始させるほど高い場合に当てはまる。これは水酸化炭素の場合である。重炭化水素（Ｃ４＋）、すなわち不飽和結合を有する炭化水素は、吸着プロセスにより蒸留系の上流で止められることがよく知られている。軽飽和炭化水素（Ｃ１、Ｃ２）はほとんど、又は全く止められないが、液体酸素中の可溶性が高く、そのため、この種の炭化水素の事実上の純粋相が存在する可能性は非常に低くなる。最も危険性が高いことがよく知られている炭化水素はプロパンであり、これには吸着系中で部分的にしか止められないことと、液体酸素中でのその可溶性が比較的低いことが勘案されている。それゆえ、空気を介して入ってくるプロパンは液体酸素タンク内でその可溶性限界より高い含有量に到達するまで堆積する可能性があり、したがって、酸素と接触する純粋相を生成しかねない。
・或いは、不純物は反応しないが、反応性のものを含めた他のすべての不純物の堆積現象を加速させる。これは、その凝固点が液体酸素の動作温度より高い化合物の場合である。ＣＯ_２及びＮ_２Ｏはこの観点から最も危険な化合物であり、それはこれらが意図せず、又は意図的に、吸着系により完全に止めることができないからである。そのため、これらは酸素中に見られ、固相が作られ、液体酸素を気化させる熱交換器の気化チャネルを詰まらせることがある。このメカニズムは「デッドエンドボイリング」と呼ばれ、気化中の液体中に含まれるすべての不純物の濃縮を加速させ、したがって、炭化水素に関する、及びアルミニウムマトリクスの燃焼に関するリスクが増大することが知られている。

そのため、蒸留系及び／又は酸素タンクに入る空気の不純物の含有量をモニタすることにより、不純物の容認可能な最大量を制御し、ユニットの動作上の安全を確保することが必要であり、重要である。

しかしながら、酸素中の成分の気液平衡係数は、特にＮ_２Ｏ及びＣＯ_２について非常に低いことを考えると、解析される純粋度はきわめて低い。不純物の容認可能な最大量を評価し、制御することができるようにするためには、１００ｐｐｂ未満、好ましくは１０〜５０ｐｐｂの含有量を測定する必要がある。しかしながら、測定頻度は低いかもしれない。

このような検出レべルを実現するための現在の業界での解析方法は複雑な機器を使用し、操作上の多くの専門知識を必要とする。

仏国特許第２７９７３２５号明細書は、先行技術による液体の解析方法を開示している。この方法によれば、主要ステップ中、少量の液体（不純物を含む可能性のある酸素）の流れが連続的にチャンバ内に入り、小さい温度差で完全に気化される。

同時に、気化した酸素は連続的にチャンバから排出され、不純物が結晶又は液体の形態でチャンバ内部に保持される。これはしたがって、開回路での液体酸素の完全な気化である。

このステップは、次のステップ（より高温にされる）中に検出可能となるのに十分な、かなりの量の不純物を沈着させることができるように長期間（連続して数日間）にわたらなければならない。

次のステップで、堆積した不純物のモル量が（閉回路内での温度上昇中の）チャンバの圧力測定及びチャンバ内のモル数の計算により特定される。閉じたチャンバ内で測定される圧力変化により、液相又は固相で当初存在する物質の量が得られる。圧力変化が起こった温度に応じて、気化する物体の性質がわかる。このステップでは、液体の流れはその前に止められ、不純物はその前に気体酸素雰囲気中で濃縮されている。

不純物の性質の特定は、特に複数の種類の不純物がある場合、この原理により疑わしくなる。

提案される他の方法は、解析を行うために不純物を溶剤で洗浄することである。欠点は、不純物が希釈されるという事実である。

不純物の性質の特定と沈着した各不純物の定量的解析を可能にするには：
−様々な段階を完全に中断しなければならず、
−これらの不純物の少なくとも一部をサンプリングする手段を用いなければならず、
−提案された系の外で解析する手段を用いなければならない。

本発明の１つの目的は、操作しやすい既知のアナライザを使用しながら、その検出限界が１ｐｐｍのオーダに保持されるような、極低温液体中の不純物の含有量を測定するための代替案を提供することである。

特許請求項１の前文による方法は、米国特許第４９９１４４９号明細書から知られている。

本発明の１つの主旨によれば、極低温液体中の少なくとも１種の汚染物質の含有量を解析するための方法が提供され、
ａ）既知の量Ｌの、初期液体を構成する液体が予め解析対象の液体の圧力Ｐでの気化温度と同じかそれより低い温度にされたチャンバ（Ｅ）内に圧力Ｐで導入され、それによってこのステップａ）では液体の気化が起こらないようにされており、
ｂ）チャンバ内に存在する液体のある割合がそれを加熱することにより気化させられ、気化段階中、このようにして生成された蒸気が気化チャンバから放出されて圧力が圧力Ｐと等しく、又は好ましくは圧力Ｐ未満に保持され、
ｃ）Ｌより少ない量の、このように気化した液体が精密に制御されて、チャンバ内に存在する残留液体中の汚染物質の量が実質的に初期液体中と等しくなるようにし、これはその濃度に所定の係数が乗じられることを意味し、
ｉ．残留液体のサンプルが採取され、残留液体のサンプルが完全に気化した後に汚染物質含有量が測定されるか、又は
ｉｉ．残留液体の汚染物質含有量が、その中に少なくとも１種の汚染物質が含まれる残留液体を完全に気化させることによって測定され、すると、気化チャンバは物質の何れの流入又は流出からも遮断され、その後、気化した残留液体中の汚染物質含有量が解析され、
ｄ）初期液体中の汚染物質含有量は残留液体中の汚染物質の測定から推測される
ことを特徴とする。

論理的に両立する何れの方法でも相互に組み合わせることのできる他の任意選択の態様によれば、
−ステップｉｉ）中、液体は完全に気化し、これにより、遮蔽され、閉じられたチャンバ内の圧力が高まり、その後、生成された蒸気がアナライザに送られる。
−生成された蒸気は、チャンバの圧力での汚染物質の気化温度より高い温度まで加熱されてから、アナライザに送られる。
−アナライザは、１０ｐｐｍ又はさらには１ｐｐｍ又はさらには０．１ｐｐｍ未満の汚染物質濃度を測定できる。
−ステップｂ）、ｃ）、及びｉ）又はｉｉ）中、チャンバにいかなる液体も導入されない。
−ステップｂ）の液体の部分的気化が行われる圧力は、チャンバの充填圧力Ｐより少なくとも１バール低い。
−ステップｃ）の係数は、ステップｂ）の部分的気化の前後で、液体の体積又は質量の点における物質の初期及び最終量の比と少なくとも本質的に等しい。
−ステップｃ）の係数は、ステップｂ）の気化液体の量とＬとの間の比に応じて計算される。
−ステップｃ）の係数は、導入される液体の初期量Ｌと、気化した量と残留液体の量の合計との間の物質勘定によりわかる。
−チャンバはステップｂ）の後で遮蔽される。
−当初導入された液体の体積（又は質量）Ｌと、遮蔽の時点で気化チャンバ内に存在する液体の体積（又は質量）との比は、気化する物質の量を計量することによって、又は気化熱交換器の中に熱源により導入されるエネルギーを計量することによって、又はチャンバ内の液体レベル及び／又は質量レベルの変化を測定することによって特定される。
−ステップｂ）の割合は、１０％より大きく、好ましくは３０％より大きく、又はさらには９０％より大きい。
−ステップｂ）の割合は１００％未満である。
−ステップｂ）及び／又はｃ）の気化圧力は絶対圧０．８バール未満である。
−液体は、極低温蒸留により空気を分離するためのユニットから発せられ、液体の状態又は気体の状態でユニットから引き出され、この場合、チャンバに送られる前に液化する。
−空気分離ユニットは、吸着精製ユニットと、精製ユニット内で精製された気体を蒸留するためのカラムの系を含み、液体は、精製ユニットの下流で引き出され、その後液化された気体である。
−空気分離ユニットは、吸着精製ユニットと、精製ユニット内で精製された気体を蒸留するカラムの系と、を含み、液体は、系のカラムからの底部液体又は系のカラムからの中間部液体である。
−ステップｅ）により、チャンバはステップｉ）又はｉｉ）とステップａ）との間で冷却され、チャンバはチャンバ内に送られる極低温液体の沸点より低い温度とされる。
−チャンバは、極低温液体の一部をチャンバ周囲の空間へと送ることによって冷却される。
−空間の極低温液体は、ステップｂ）及び／又はｃ）中に存在しない。
−プロセスは、極低温液体を固化するステップを含まない。
−ステップｂ）の気化は大気圧で、又は真空下で行われる。

極低温液体は、液化された空気、液体酸素、液体窒素、液体メタン、液体一酸化炭素、液体ヘリウム等であってよい。

本発明の任意選択による方法によれば：
−初期液体を構成する液体の既知の全量Ｌが、事前に解析対象の液体の圧力Ｐでの気化温度と同じ又はそれより低い温度にされたチャンバに、圧力Ｐで気化されずに導入される。
−量Ｌの液体がチャンバに送られると、チャンバへの液体の送出が停止する。
−チャンバに極低温液体、例えば液体酸素が断続的に充填される。
−この極低温液体は部分的に気化する液体酸素である。液体の初期量Ｌと残っている液体の量との比は、平衡係数が非常に低ければ（例えば、１００未満）、液相の濃縮係数を画定する。同時に、気化した（気体状の）酸素はチャンバから排出され、不純物はチャンバ内部に残る。
−汚染物質は、予め、ほとんどが液体酸素の体積の中で既知の係数だけ濃縮される。
−次のステップで、濃縮された液体酸素の残りと汚染物質が閉じた空間の中で気化させられて、不純物の解析ができるようにする。
−チャンバ内で利用可能な液体の体積と気化した汚染物質の含有量は、生産ユニット（ＡＳＵ）で利用可能な機器を介して直接解析するのに十分である。
−サイクル全体の総持続時間は１５分〜４０分の間である。
−各サイクルの合間に、不純物はチャンバから排出され、したがって保持されない。

そのために、既知の量の液体が部分的に気化させられ、液体中の汚染物質の平衡係数が非常に低いことにより、この濃縮が可能となる。汚染物質はそれが蒸発する際、液相で残る。したがって、非常に（過剰に）低い含有量であるために既知のアナライザでは測定できないものが測定可能となる。したがって、含有量の測定値は同体積再加熱中の圧力変化によってではなく、制御された係数により濃縮された液体の直接解析によりわかる。

１つの変形型によれば、濃縮液体中の少なくとも１種の汚染物質の含有量は、液体を完全に気化させ、そのように生成された蒸気を、汚染物質中に高度に濃縮される極微量液体が確実に残留しないようにするために解析対象の不純物の気化温度より高い、例えば気化温度より少なくとも１０℃高い温度まで過熱し、気化段階の少なくとも１種の汚染物質の含有量を解析することによって測定される。

しかしながら、既知のサンプリング方法（例えば、仏国特許第２８５８４１６号明細書又は仏国特許第２８３９１５３号明細書に記載されているものの１つ）によってこの濃縮液相の含有量を測定することを希望できる。

したがって、主な事柄は、解析不可能であったものを解析可能にするために、制御された部分的気化により既知の量の液体を濃縮することであり、先行技術で説明されているような閉じたチャンバ内の圧力変化をモニタすることにより含有量を推測することではない。

方法を、本発明による方法とユニットを示す図面を参照しながらより詳しく説明する。

本発明による方法とユニットを示す図である。

解析対象のサンプルは好ましくは、液体酸素タンクの、極低温蒸留により空気を分離するためのダブルカラムの低圧カラムの底部から採取される。これは、極低温蒸留の上流の、これがそれに当てはまる場合は低圧カラムの気化器の様々なステージの合間で、又は低圧カラムの底部にある気化器の入口において採取されることが可能である。サンプルは、空気ガスを生成するためのユニットの何れかのステージにおいて採取されてよい。したがってそれは、水及び二酸化炭素から蒸留すべき空気を奪い、濃縮される前に予め液化されるようにする役割を果たすフロントエンド精製（ＦＥＰ）の出口において採取できる。

ステップａ）中に、ある体積（又は質量）Ｌのこのサンプルがライン１及び３並びに開状態のバルブＶ１を通じて気化チャンバへと送られる。体積ＬがチャンバＥ内にある。ライン９とバルブ４は、チャンバＥの充填中に余剰の液体を排出するために使用される。チャンバＥの出口に（ライン９及びバルブ４に向かう）校正済みオリフィスがある。そこから流出可能な液体の流量は、Ｖ１を通る供給流量より小さい。したがって、充填中、チャンバには液体がオリフィス（及びライン９とバルブ４）の上方の高さまでゆっくりと充填される。

すると、供給バルブが閉じられ、オリフィスより上方にある余剰の液体が重力により、校正済みオリフィスの最下点に対応する液面が得られるまで排出される。

この手順の、及びこの校正済みオリフィスの利点は、チャンバＥに導入される液体の量をモニタできること及び、導入される液体のこの量が確実に各サイクルで同一で再現可能となることである。これにより、その後、濃縮係数を制御することが可能となる（残っている、又は気化される量を制御することにもよる）。

すると、ステップｂ）により、液体はチャンバに送られなくなり、バルブＶ１が閉じられる。ステップｂ）で、ライン１９のバルブＶ６は開状態で、ライン１７及び１５のそれぞれバルブＶ７及びＶ５は、バルブＶ３と共に閉じられる。液体Ｌは熱源Ｈにより加熱されて部分的に気化し、量Ｒの残留液体が残る。外部熱源（発熱流体との熱交換、電気、波等）により熱が供給される熱交換器は液体の一部を気化させる。生成された蒸気は気化チャンバからバルブＶ６及びライン１３、１９を通って排出される。気化は大気圧で、又は真空ポンプ若しくはイジェクタ等の真空生成系によって制御される真空下で行われる。真空下での気化には２つの利点がある。１つ目は、気化温度が下がり、したがって気液平衡平数がさらに下がることである。２つ目は、加熱系と気化される液体との温度差（ΔＴ）が大きくなり、気化サイクル時間を短縮できることである。気化はまた、真空ポンプを用いずに行われてもよい。

この場合、チャンバの圧力は大気圧と等しいと考えられるが、圧力低下により、これよりわずかに高いはずである。ある時間が経過した後、気化チャンバは、当初導入された液体の体積（又は質量）と遮蔽時に気化チャンバ内に存在する液体の体積（又は質量）との間の比が完璧に特定されるような方法で遮蔽される。

この特定は、気化される物質の量を計量することによって、又は熱源により気化交換機に導入されるエネルギーを計量することによって、或いはチャンバＥ内の液体レベル及び／又は質量レベルの変化を測定することによって行うことができる。

平衡係数を考慮すると、不純物は少なくとも本質的に液相で含まれたままとなり、濃度は体積又は質量の点で物質の初期及び最終量の比と少なくとも本質的に等しい係数だけ変化している。より精密な評価のために、気相中に排出される不純物の量は、濃縮係数の計算において、及び／又は初期濃度の計算において考慮することができる。濃縮係数は、導入される液体の初期量と、気化される量と残留気体の量の合計との間の物質勘定によりわかる。したがって、このように気化される、Ｌより少ない量の液体は、ステップｃ）により精密に制御され、それによってチャンバ内に存在する残留液体中の汚染物質の濃度は、初期液体中のそれに所定の係数を乗じたものと実質的に等しい。

すると、ステップｉ）の変形型により、残留液体の汚染物質含有量が直接測定される。残留液体のサンプルが引き出され、汚染物質含有量は、残留液体のサンプルが完全に気化した後に測定され、初期液体中の汚染物質の含有量が残留液体中の汚染物質の測定値から推定される。

或いは、ステップｉｉ）により、その中に少なくとも１種の汚染物質が含まれている残留液体を完全に気化させることにより、残留液体の汚染物質含有量が推測されるようになされ、その後、気化チャンバＥは物質のあらゆる流入又は流出から遮蔽され、その後、気化した残留液体中の汚染物質の含有量が解析される。残留液体の汚染物質含有量は、その中に少なくとも１種の汚染物質が含まれている残留液体を完全に気化させることによって測定され、その後、気化チャンバは物質のあらゆる流入又は流出から遮蔽され、その後、気化した残留液体中の汚染物質の含有量が解析され、初期液体中の汚染物質の含有量が残留液体中の汚染物質の測定値から推測される。

したがって、ステップｉｉ）により、気化は残留液体が完全に気化するまで続けられ、気化チャンバは断熱されて、チャンバの外部との物質の交換がそれ以上起こらないようにし、その後、チャンバ内で気化された相が、不純物の沈着物が完全に気化されるまで（例えば温度−７０℃まで）過熱され、このようにして気化チャンバ内の圧力が上昇する。チャンバがチャンバの圧力で不純物の気化温度より有意に高い十分な高温にされたときに不純物のすべてが確実に気化されることになる。

このステップｉｉ）中に、チャンバへの流体の流入又はチャンバからの流体の流出を可能にするすべてのバルブが閉じられる。

この完全な気化の終わりに、ステップｉｉ）により、気相がチャンバＥの解析ライン１５で開状態のバルブＶ５を通ってアナライザへと送られる。部分的気化段階（ステップｂ）中に当初引き出された液体の含有量に所定の濃縮係数が乗じられているため、シーケンスの終了時に蒸気中に含まれる不純物の含有量は、したがって、十分に高く、従来の（例えばＮＤＩＲ型の）アナライザにより測定できる。

ステップｉ）又はｉｉ）の後、チャンバは再び冷却される。このステップは、事前に決定された濃縮サイクルを再開するために、極低温液体、例えば解析対象の極低温液体の内部又は、好ましくは外部循環により実行されてよい。

ステップｉ）又はｉｉ）の一方を含むステップａ）及びｂ）及びｃ）及びｄ）の総時間は１５分〜４０分の間、好ましくは２０分未満である。

ユニットは、チャンバＥの周囲に設置されたジャケットＶを含み、チャンバの温度を制御するための円筒形の空間が形成される。

ステップｉ）又はｉｉ）の終わりに、ステップｅ）を介してチャンバを冷却することが必要である。冷却が単に解析対象の液体をチャンバに送ることによって行われる場合、液体はこの段階中に一部が気化され、それゆえ、不純物の解析が歪められる。したがって、他の手段で冷却を行うことが必要である。このステップは、１５〜４０分の間の時間内となる。

チャンバＥを冷却するステップｄ）中に、空間Ｖに液体が解析対象の液体の平衡温度より低い温度で充填される。このようにして、解析対象の液体はステップａ）中にチャンバへと送られ、これは完全に液体のままである。

図の例では、解析対象の液体の一部がライン５及びバルブＶ２を介して空間Ｖに送られ、チャンバＥを冷却する。

空間Ｖが大気圧で連通状態になると、充填された空間はカラムからの液体酸素より冷たくなる。代替的に、チャンバＥを冷却するために使用される液体は液体窒素とすることもできるが、システムはより複雑であろう。

好ましくは、空間Ｖに含まれる液体はステップｂ）及びｃ）中に除去されて、熱源ＨはチャンバＥ内に存在する液体のみを加熱する。液体は、ライン７を介してバルブＶ３を通じて流出する。ライン６により、蒸気が空間Ｖから出ることができる。

先行技術の仏国特許第２７９７３２５号明細書に記載されているシステムと比較すると、この二重ジャケットＥ、Ｖはユニットの異なる動作モードにより必要となる。
−本発明によるユニットは、液相の不純物の濃度により動作する。したがって、サイクル時間は短く、沈着する不純物の量に関して正確であることが重要である。それゆえ、上述のような「内部」冷却により生じる不純物の沈着による「濃縮」を避けることが望まれる。
−仏国特許第２７９７３２５号明細書のユニットは、クライオトラップと長期間にわたる不純物の堆積により動作する。その結果、加熱後のシステムの冷却中に沈着する量は、堆積期間全体にわたって捕捉された量と比較して、無視できる程度となる。

この説明を読めば、当業者は、部分的気化段階の終了時に残っている液体生成物の量が、解析段階中に、解析ラインのパージ用の流れのため、及び測定の正確な特定を可能にするのに十分な解析時間のために必要な物質の量を確保するのに必要且つ十分となることがわかるであろう。

Claims (15)

1. 極低温液体中の少なくとも１種の汚染物質の含有量を解析する方法であって、
   ａ）既知の量Ｌの、初期液体を構成する液体が予め解析対象の液体の圧力Ｐでの気化温度と同じかそれより低い温度にされたチャンバ内に圧力Ｐで導入され、それによってこのステップａ）では前記液体の気化が起こらないようにされており、
   ｂ）前記チャンバ内に存在する前記液体のある割合がそれを加熱することにより気化させられ、前記気化段階中、このようにして生成された蒸気（１３）が前記気化チャンバから放出されて圧力が前記圧力Ｐと等しく、又は好ましくは前記圧力Ｐ未満に保持され、
   ｃ）このように気化した液体の、Ｌより少ない量が精密に制御されて、前記チャンバ内に存在する残留液体中の汚染物質の量が実質的に前記初期液体中と等しくなるようにし、これはその濃度に所定の係数が乗じられることを意味し、
   ｉ．残留液体のサンプルが採取され、前記残留液体のサンプルが完全に気化した後に前記汚染物質の含有量が測定されるか、又は
   ｉｉ．前記残留液体の前記汚染物質含有量が、その中に少なくとも１種の汚染物質が含まれる前記残留液体を完全に気化させることによって測定され、その後、前記気化チャンバは物質の何れの流入又は流出からも遮断され、その後、前記気化した残留液体中の前記汚染物質含有量が解析され、
   ｄ）前記初期液体中の前記汚染物質含有量は前記残留液体中の汚染物質の前記測定から推測される
   ことを特徴とする方法。
2. ステップｉｉ）中、前記液体は完全に気化し、これにより、遮蔽され、閉じられた前記チャンバ内の圧力が高まり、その後、生成された前記蒸気がアナライザに送られる、請求項１に記載の方法。
3. 生成された前記蒸気は、前記チャンバの前記圧力での前記汚染物質の気化温度より高い温度まで加熱されてから、前記アナライザに送られる、請求項２に記載の方法。
4. ステップｂ）、ｃ）、及びｉ）又はｉｉ）中、前記チャンバにいかなる液体も導入されない、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
5. ステップｂ）の前記液体の前記部分的気化が行われる圧力は、前記チャンバ（Ｅ）の充填圧力Ｐより少なくとも１バール低い、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
6. ステップｃ）の係数は、ステップｂ）の前記部分的気化の前後で、前記液体の体積又は質量の点における物質の初期及び最終量の比と少なくとも本質的に等しい、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
7. ステップｃ）の前記係数は、導入された液体の前記初期量Ｌと、気化した量と残留液体の量の合計との間の物質勘定によりわかる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
8. ステップｂ）の前記割合は、１０％より大きく、好ましくは３０％より大きく、又はさらには９０％より大きい、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
9. ステップｂ）及び／又はｃ）の気化圧力は絶対圧０．８バール未満である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
10. 前記液体は、極低温蒸留により空気を分離するためのユニットから発せられ、液体の状態又は気体の状態で前記ユニットから引き出され、この場合、前記チャンバ（Ｅ）に送られる前に液化する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
11. 前記空気分離ユニットは、吸着精製ユニットと、前記精製ユニット内で精製された気体を蒸留するためのカラムの系と、を含み、前記液体は、前記精製ユニットの下流で引き出され、その後液化される気体である、請求項１０に記載の方法。
12. 前記空気分離ユニットは、吸着精製ユニットと、前記精製ユニット内で精製された気体を蒸留するためのカラムの系と、を含み、前記液体は、前記系のカラムからの底部液体又は前記系のカラムからの中間部液体である、請求項１０に記載の方法。
13. ステップｂ）の前記気化は大気圧で、又は真空下で行われる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
14. ステップｂ）の後に前記チャンバは遮蔽される、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
15. 当初導入された液体の体積（又は質量）Ｌと、前記遮蔽の時点で前記気化チャンバ内に存在する液体の体積（又は質量）との比は、気化する物質の量を計量することによって、又は気化熱交換器の中に熱源により導入されるエネルギーを計量することによって、或いは前記チャンバ内の液体レベル及び／又は質量レベルの変化を測定することによって特定される、請求項１４に記載の方法。

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