JP2020514996A - フォトマスク及びレチクル検査並びにウェハプリントチェック検証のためのマルチカラム間隔 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (32)
- 走査電子顕微鏡法(SEM)システムのためのマルチカラムアセンブリであって、
1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列された複数の電子光学カラムであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、複数の電子光学カラムを備え、
前記複数の電子光学カラムは、ステージ上に固定された試料の表面上の1つ又は複数のフィールド領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラム内の電子光学カラムの数は、前記1つ又は複数のフィールド領域のうちの1つのフィールド領域内の検査領域の整数の数に等しく、
前記複数の電子光学カラムの前記1つ又は複数の間隔は、前記検査領域の1つ又は複数の寸法に対応する、マルチカラムアセンブリ。 - 前記1つ又は複数の間隔は、第1方向の第1間隔と、少なくとも第2方向の少なくとも第2間隔と、を含む、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1方向の第1間隔と前記少なくとも第2方向の少なくとも第2間隔とは、異なる、請求項2に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1方向の第1間隔と前記少なくとも第2方向の少なくとも第2間隔とは、等しい、請求項2に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記整数の数の検査領域のうちの隣接する検査領域は、重複しない、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記整数の数の検査領域のうちの少なくとも1つの組の隣接する検査領域は、少なくとも部分的に重複する、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記整数の数の検査領域は、サイズが実質的に等しい、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記整数の数の検査領域の第1検査領域は、前記整数の数の検査領域の第2検査領域とサイズが異なる、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記試料の表面上の前記1つ又は複数のフィールド領域は、前記試料の表面上に単一のフィールド領域を含み、前記単一のフィールド領域は、前記整数の数の検査領域に分割される、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記試料の表面上の前記1つ又は複数のフィールド領域は、第1フィールド領域と、少なくとも第2フィールド領域と、を含み、前記第1フィールド領域及び前記少なくとも第2フィールド領域は、それぞれ前記整数の数の検査領域を含む、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムは、前記第1フィールド領域及び前記少なくとも第2フィールド領域を順番に特徴付けるように構成されている、請求項10に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムは、前記第1フィールド領域内の前記整数の数の検査領域を特徴付けた後に、前記少なくとも第2フィールド領域内の前記整数の数の検査領域を特徴付けるように構成されている、請求項11に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1フィールド領域と前記少なくとも第2フィールド領域とは、重複しない、請求項10に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1フィールド領域と前記少なくとも第2フィールド領域とは、少なくとも部分的に重複する、請求項10に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1フィールド領域と前記少なくとも第2フィールド領域とは、サイズが実質的に等しい、請求項10に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記第1フィールド領域は、前記少なくとも第2フィールド領域とサイズが異なる、請求項10に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムは、複数の電子ビームソースによって生成された複数の電子ビームを受け取る、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムのそれぞれの電子光学カラムは、前記複数の電子ビームのうちの1つの電子ビームを受け取る、請求項17に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムは、前記複数の電子ビームを前記試料の表面まで導く、請求項17に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記試料は、前記複数の電子ビームのうちの少なくとも1つの電子ビームに応じて、電子を放出する又は散乱させる、請求項19に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記複数の電子光学カラムのうちの少なくとも1つの電子光学カラムは、前記放出された又は散乱させられた電子のうちの少なくとも一部分を検出する、請求項20に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記試料は、フォトマスク又はレチクルのうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 走査電子顕微鏡法(SEM)システムのためのマルチカラムアセンブリであって、
1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列された複数の電子光学カラムであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、複数の電子光学カラムを備え、
特定のフィールドの2つ以上のインスタンスが、ステージ上に固定された試料の表面上にプリントされ、
前記複数の電子光学カラムの第1電子光学カラムが、前記特定のフィールドの第1インスタンス内部の第1検査領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラムのうちの少なくとも1つの追加の電子光学カラムが、前記特定のフィールドの少なくとも1つの追加のインスタンス内部の少なくとも1つの追加の検査領域を特徴付けるように構成され、
前記少なくとも1つの追加の検査領域は、前記第1検査領域とは異なる前記特定のフィールドの部分である、マルチカラムアセンブリ。 - 合成フィールドが、前記第1電子光学カラムによって特徴付けられた前記特定のフィールドの第1インスタンス内の前記第1検査領域と、前記少なくとも1つの追加の電子光学カラムによって特徴付けられた前記特定フィールドの前記少なくとも1つの追加のインスタンス内の前記少なくとも1つの追加の検査領域と、を集合することによって生成される、請求項23に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記特定のフィールドは、フォトマスクフィールド又はレチクルフィールドのうちの少なくとも1つを備える、請求項23に記載のマルチカラムアセンブリ。
- 前記試料は、ウェハを備える、請求項23に記載のマルチカラムアセンブリ。
- マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)システムであって、
複数の電子ビームを生成するように構成された複数の電子ビームソースを備える電子ビームソースアセンブリと、
試料を固定するように構成されたステージと、
マルチカラムアセンブリであって、
1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列された複数の電子光学カラムであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、複数の電子光学カラムを備え、
前記複数の電子光学カラムは、前記ステージ上に固定された前記試料の表面上の1つ又は複数のフィールド領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラム内の電子光学カラムの数は、前記1つ又は複数のフィールド領域のフィールド領域内の検査領域の整数の数に等しく、
前記複数の電子光学カラムの前記1つ又は複数の間隔は、前記検査領域の1つ又は複数の寸法に対応するマルチカラムアセンブリと、
を備えており、
前記複数の電子光学カラムのそれぞれの電子光学カラムは、前記複数の電子ビームのうちの1つの電子ビームを受け取り、
前記複数の電子光学カラムは、前記複数の電子ビームを前記試料の表面まで導き、
前記試料は、前記複数の電子ビームのうちの少なくとも1つの電子ビームに応じて電子を放出し又は散乱させ、
前記複数の電子光学カラムのうちの少なくとも1つの電子光学カラムは、前記放出された又は散乱させられた電子のうちの少なくとも一部分を検出する、マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)システム。 - マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)システムであって、
複数の電子ビームを生成するように構成された複数の電子ビームソースを備える電子ビームソースアセンブリと、
試料を固定するように構成されたステージと、
マルチカラムアセンブリであって、
1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列された複数の電子光学カラムであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、複数の電子光学カラムを備え、
特定のフィールドの2つ以上のインスタンスが、前記ステージ上に固定された前記試料の表面上にプリントされ、
前記複数の電子光学カラムの第1電子光学カラムが、前記特定のフィールドの第1インスタンス内部の第1検査領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラムのうちの少なくとも1つの追加の電子光学カラムが、前記特定のフィールドの少なくとも1つの追加のインスタンス内部の少なくとも1つの追加の検査領域を特徴付けるように構成され、
前記少なくとも1つの追加の検査領域は、前記第1検査領域とは異なる前記特定のフィールドの部分であるマルチカラムアセンブリと、
を備えており、
前記複数の電子光学カラムのそれぞれの電子光学カラムは、前記複数の電子ビームのうちの1つの電子ビームを受け取り、
前記複数の電子光学カラムは、前記複数の電子ビームを前記試料の表面まで導き、
前記試料は、前記複数の電子ビームのうちの少なくとも1つの電子ビームに応じて電子を放出し又は散乱させ、
前記複数の電子光学カラムのうちの少なくとも1つの電子光学カラムは、前記放出された又は散乱させられた電子のうちの少なくとも一部分を検出する、マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)システム。 - 1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列されたマルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)精査ツールの複数の電子光学カラムを介して、試料の表面上の1つ又は複数のフィールド領域を特徴付けるステップであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、ステップを含み、
前記複数の電子光学カラム内の電子光学カラムの数は、前記1つ又は複数のフィールド領域の1つのフィールド領域内の検査領域の整数の数に等しく、
前記複数の電子光学カラムの前記1つ又は複数の間隔は、前記検査領域の1つ又は複数の寸法に対応する、方法。 - 1つ又は複数の間隔によって画定されたアレイ内に配列されたマルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)精査ツールの複数の電子光学カラムを介して、試料の表面上にプリントされる特定のフィールドの2つ以上のインスタンスを特徴付けるステップであって、それぞれの電子光学カラムは、1つ又は複数の電子光学要素を含む、ステップを含み、
前記複数の電子光学カラムの第1電子光学カラムは、前記特定のフィールドの第1インスタンス内部の第1検査領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラムの少なくとも1つの追加の電子光学カラムは、前記特定のフィールドの少なくとも1つの追加のインスタンス内部の少なくとも1つの追加の検査領域を特徴付けるように構成され、
前記少なくとも1つの追加の検査領域は、前記第1検査領域とは異なる前記特定のフィールドの部分である、方法。 - 前記試料の表面上の1つ又は複数のフィールド領域の1つ又は複数の寸法を決定するステップと、
前記1つ又は複数のフィールド領域の前記1つ又は複数の寸法に基づいて、マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)精査ツールの複数の電子光学カラムについての1つ又は複数の間隔を決定するステップと、
前記1つ又は複数のフィールド領域内の検査領域の整数の数を規定するステップと、を含み、
前記複数の電子光学カラム内の電子光学カラムの数は、前記1つ又は複数のフィールド領域のうちの1つのフィールド領域内の検査領域の整数の数に等しく、
前記複数の電子光学カラムの前記1つ又は複数の間隔は、前記検査領域の1つ又は複数の寸法に対応する、方法。 - 前記試料の表面上にプリントされる特定のフィールドの2つ以上のインスタンスの1つ又は複数の寸法を決定するステップと、
前記試料の表面上にプリントされる前記1つ又は複数のフィールドの前記1つ又は複数の寸法に基づいて、マルチカラム走査電子顕微鏡法(SEM)精査ツールの複数の電子光学カラムについての1つ又は複数の間隔を決定するステップと、
前記試料の表面上にプリントされる特定のフィールドの前記2つ以上のインスタンス内の複数の検査領域を画定するステップと、を含み、
前記複数の電子光学カラムの第1電子光学カラムは、前記特定のフィールドの第1インスタンス内部の第1検査領域を特徴付けるように構成され、
前記複数の電子光学カラムの少なくとも1つの追加の電子光学カラムが、前記特定のフィールドの少なくとも1つの追加のインスタンス内部の少なくとも1つの追加の検査領域を特徴付けるように構成され、
前記少なくとも1つの追加の検査領域は、前記第1検査領域とは異なる前記特定のフィールドの部分である、方法。
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