JP6770117B2 - ブロック間レチクル検査方法及びシステム - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 設計データベースに補助されたブロック間レチクル検査のための方法であって、
レチクルの反復ブロックの組を前記レチクルの設計データベース内で識別することと、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した1つ以上の空間的特徴を決定することと、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した前記1つ以上の空間的特徴を記憶することと、
レチクル検査サブシステムにより、前記レチクルの一部の画像を取得することと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する前記取得された画像の第1の部分を識別することと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する前記取得された画像の第2の部分を識別することと、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすることと、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成することと、
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別することと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けることと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けた後に、前記レチクルの前記設計データベースが利用可能でない環境において前記レチクルを検査することと、
前記レチクル検査サブシステムにより、前記レチクルの一部の画像を取得することと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する前記取得された画像の第1の部分を識別することと、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する前記取得された画像の第2の部分を識別することと、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすることと、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成することと、
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別することと、
を含む、方法。 - 前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を前記生成することは、
前記取得された画像の前記第1の部分および前記取得された画像の前記第2の部分の強度値の差を決定することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、
前記レチクルの前記設計データベースに対し、1つ以上の追加的プロセスを実行することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記1つ以上の追加的プロセスは、
ポリゴンフラクチャリング、およびポリゴンバイアスの少なくとも1つを含む、請求項3に記載の方法。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、前記レチクルの前記データベースにおける階層を調査することにより実行される、請求項1に記載の方法。
- システムであって、
レチクルの一部のスワス画像を走査するように構成された、レチクル検査サブシステムと、
メモリ上に維持されるプログラム命令の組を実行するように構成された1つ以上のプロセッサを含むコントローラと、
を備えるシステムであって、
前記1つ以上のプロセッサは、
レチクルの反復ブロックの組を前記レチクルの設計データベース内で識別すること、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した1つ以上の空間的特徴を決定すること、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した前記1つ以上の空間的特徴を記憶すること、
前記レチクル検査サブシステムにより、前記レチクルの一部の画像を取得すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する前記取得された画像の第1の部分を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する前記取得された画像の第2の部分を識別すること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成すること、および
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けた後に、前記レチクルの前記設計データベースが利用可能でない環境において前記レチクルを検査すること、
前記レチクル検査サブシステムにより、前記レチクルの一部の画像を取得すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する前記取得された画像の第1の部分を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する前記取得された画像の第2の部分を識別すること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成すること、および
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別すること、
を実行する、システム。 - 前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を前記生成することは、
前記取得された画像の前記第1の部分および前記取得された画像の前記第2の部分の強度値の差を決定することを含む、請求項6に記載のシステム。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、
前記レチクルの前記設計データベースに対し、1つ以上の追加的プロセスを実行することを含む、請求項6に記載のシステム。 - 前記1つ以上の追加的プロセスは、
ポリゴンフラクチャリング、およびポリゴンバイアスの少なくとも1つを含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、前記レチクルの前記データベースにおける階層を調査することにより実行される、請求項6に記載のシステム。
- システムであって、
メモリ上に維持されるプログラム命令の組を実行するように構成された1つ以上のプロセッサを含むコントローラ、を備え、
前記1つ以上のプロセッサは、
レチクルの反復ブロックの組を前記レチクルの設計データベース内で識別すること、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した1つ以上の空間的特徴を決定すること、
前記レチクルの前記反復ブロックの組に関連した前記1つ以上の空間的特徴を記憶すること、
レチクル検査サブシステムから前記レチクルの一部の画像を受信すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する取得された画像の第1の部分を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する取得された画像の第2の部分を識別すること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成すること、および
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴を、前記レチクルと関連付けた後に、前記レチクルの前記設計データベースが利用可能でない環境において前記レチクルを検査すること、
前記レチクル検査サブシステムにより、前記レチクルの一部の画像を取得すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第1のメンバーに対応する前記取得された画像の第1の部分を識別すること、
前記反復ブロックの組に関連した前記記憶された空間的特徴に従い、前記反復ブロックの組の第2のメンバーに対応する前記取得された画像の第2の部分を識別すること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とを位置合わせすること、
前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を生成すること、および
前記生成された差分画像により、前記レチクル上の1つ以上の欠陥を識別すること、
を実行する、システム。 - 前記取得された画像の前記第1の部分と前記取得された画像の前記第2の部分とに対し減算ルーチンを実行することにより、画像の差分を前記生成することは、
前記取得された画像の前記第1の部分および前記取得された画像の前記第2の部分の強度値の差を決定することを含む、請求項11に記載のシステム。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、
前記レチクルの前記設計データベースに対し、1つ以上の追加的プロセスを実行することを含む、請求項11に記載のシステム。 - 前記1つ以上の追加的プロセスは、
ポリゴンフラクチャリング、およびポリゴンバイアスの少なくとも1つを含む、請求項13に記載のシステム。 - 前記レチクルの前記データベース内で前記レチクルの反復ブロックの組を識別することは、前記レチクルの前記データベースにおける階層を調査することにより実行される、請求項11に記載のシステム。
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