JP2020205416A5

JP2020205416A5 - シミュレーション方法、シミュレーション装置、プログラム及び膜形成方法

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Publication number: JP2020205416A5
Application number: JP2020100277A
Authority: JP
Filing date: 2020-06-09
Publication date: 2023-02-20
Anticipated expiration: 2040-06-09

Description

本発明は、シミュレーション方法、シミュレーション装置、プログラム及び膜形成方法に関する。

Claims

第１部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第２部材とを接触させ、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション方法であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記液滴の輪郭を、前記液滴の代表点、前記代表点から前記輪郭上の点に向かう方向、及び、前記代表点から前記輪郭上の点までの距離で定義し、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記輪郭の内側の領域の面積を、前記第１部材と前記第２部材との間の距離の変化に応じて、前記液滴の体積及び前記第１部材と前記第２部材との間の距離から得られる前記液滴の面積に一致させるように前記代表点から前記輪郭上の点までの距離を求める、
ことを特徴とするシミュレーション方法。
第１部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第２部材とを接触させ、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション方法であって、
前記処理を行う条件に対応する、前記複数の液滴の配置情報、及び、各液滴の体積の情報を少なくとも含むシミュレーション情報を取得する第１工程と、
前記第１部材と前記第２部材との間の距離を取得する第２工程と、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記第１工程で取得された前記シミュレーション情報と、前記第２工程で取得された前記第１部材と前記第２部材との間の距離とに基づいて、前記液滴の代表点から前記液滴の輪郭上に定義された複数の点のそれぞれまでの距離を求める第３工程と、
を有することを特徴とするシミュレーション方法。
前記第３工程は、前記処理における前記第１部材の上に配置された前記硬化性組成物の液滴を前記第２部材に接触させるタイミングから前記硬化性組成物を硬化させるまでのタイミングまでの期間内の所定のタイミングにおける、前記液滴の代表点から前記輪郭上の前記複数の点のそれぞれまでの距離を求めることを特徴とする請求項２に記載のシミュレーション方法。
前記第１部材の上の硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記液滴の輪郭上の前記複数の点を、前記液滴の代表点の位置座標と、前記代表点を中心として伸びる複数の方向とに基づいて定義する工程を更に有することを特徴とする請求項２又は３に記載のシミュレーション方法。
前記第１部材と前記第２部材との間の距離の変化に応じて、前記硬化性組成物の複数の液滴のうち隣接する液滴が接合したかどうかを、前記液滴の代表点の位置座標と、前記代表点から前記輪郭上の点までの距離とに基づいて判定する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
前記隣接する液滴のうちの第１液滴の輪郭上の点が前記隣接する液滴のうちの第２液滴の輪郭の内側に位置しているかを判定し、
前記第１液滴の輪郭上の点が前記第２液滴の輪郭の内側に位置している場合には、前記第１液滴と前記第２液滴とが接合したと判定し、
前記第１液滴の輪郭上の点が前記第２液滴の輪郭の内側に位置していない場合には、前記第１液滴と前記第２液滴とが接合していないと判定する、
ことを特徴とする請求項５に記載のシミュレーション方法。
前記硬化性組成物の複数の液滴のうち隣接する液滴と接合した液滴について、当該液滴の接合した部分に対応する、前記代表点から前記輪郭上の点までの距離を固定する、
ことを特徴とする請求項５又は６に記載のシミュレーション方法。
前記液滴の輪郭を定義するために設定される前記液滴の輪郭上の有限個の点を除く前記液滴の輪郭上の点を、前記代表点から前記輪郭上の前記有限個の点までの距離を用いて補間する、
ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
前記液滴の輪郭を定義するために設定される前記液滴の輪郭上の有限個の点を除く前記液滴の輪郭上の点を、前記有限個の点を線でつなぐことで求める、
ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
前記液滴の輪郭を定義するために設定される前記液滴の輪郭上の有限個の点は、前記第１部材と前記第２部材との間の距離の変化に応じて、隣接する液滴に接合するまで一定の方向に移動する、
ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
前記代表点は、当該代表点に対応する液滴の内部に含まれる、
ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法。
第１部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第２部材とを接触させ、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション装置であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記液滴の輪郭を、前記液滴の代表点、前記代表点から前記輪郭上の点に向かう方向、及び、前記代表点から前記輪郭上の点までの距離で定義し、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、前記輪郭の内側の領域の面積を、前記第１部材と前記第２部材との間の距離の変化に応じて、前記液滴の体積及び前記第１部材と前記第２部材との間の距離から得られる前記液滴の面積に一致させるように前記代表点から前記輪郭上の点までの距離を求める、
ことを特徴とするシミュレーション装置。
請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
第１部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第２部材とを接触させ、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する膜形成方法であって、
請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のシミュレーション方法で予測される硬化性組成物の挙動に基づいて、前記硬化性組成物の膜の形成条件を決定する工程と、
前記決定された前記形成条件に基づいて、前記硬化性組成物の膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする膜形成方法。