JP2022025595A - シミュレーション方法、シミュレーション装置、膜形成装置、物品の製造方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、第1実施形態におけるシミュレーション方法を説明するためのフローチャートである。かかるシミュレーション方法は、工程として、S001、S002、S003、S004、S005、S006、S007、S008及びS009を含む。シミュレーション装置1は、第1実施形態におけるシミュレーション方法の各工程を実行するハードウェア要素の集合体として理解されてもよい。
図10は、第2実施形態におけるシミュレーション方法を説明するためのフローチャートである。かかるシミュレーション方法は、工程として、S101、S102、S103、S104、S105、S106、S107、S108及びS109を含む。シミュレーション装置1は、第2実施形態におけるシミュレーション方法の各工程を実行するハードウェア要素の集合体として理解されてもよい。
図15は、第3実施形態におけるシミュレーション方法を説明するためのフローチャートである。かかるシミュレーション方法は、工程として、S201、S202、S203、S204、S205、S206、S207、S208、S209及びS210を含む。シミュレーション装置1は、第3実施形態におけるシミュレーション方法の各工程を実行するハードウェア要素の集合体として理解されてもよい。
Claims (16)
- 第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション方法であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、隣接する液滴と接合したかどうかに基づいて、隣接する液滴との接合の度合いに関する関係を評価する評価値を求める第1工程と、
前記第1工程で求められた前記評価値を、当該評価値に対応する液滴の状態を示す情報とともに表示する第2工程と、
を有することを特徴とするシミュレーション方法。 - 前記第1工程では、前記評価値として、前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、当該液滴の輪郭の全周のうちの隣接する液滴の輪郭と接している部分の割合を求めることを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。
- 前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれをノードとし、前記ノードを接続して生成されるリンクのそれぞれについて、前記リンクを構成する液滴が接合しているリンクを閉リンクと判定する工程を更に有し、
前記第1工程では、前記評価値として、前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、当該液滴のリンクのうちの前記閉リンクの割合を求めることを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。 - 前記第2工程では、前記第1工程で求められた前記割合を色で表示することを特徴とする請求項2又は3に記載のシミュレーション方法。
- 前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれをノードとし、前記ノードを接続して生成されるリンクのそれぞれについて、前記リンクを構成する液滴が接合しているリンクを閉リンクと判定する工程を更に有し、
前記第1工程では、前記評価値として、互いに隣接する複数の前記閉リンクによって形成される閉領域に含まれる気泡の量を求めることを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。 - 前記第2工程では、前記第1工程で求められた前記気泡の量を円の大きさで表示することを特徴とする請求項5に記載のシミュレーション方法。
- 前記第1工程で求められた前記評価値に基づいて、前記処理における前記硬化性組成物の挙動の異常の有無を判定する第3工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のシミュレーション方法。
- 前記第3工程で判定された前記処理における前記硬化性組成物の挙動の異常の有無を示す情報を、前記硬化性組成物の複数の液滴の状態を示す情報とともに表示する第4工程を更に有することを特徴とする請求項7に記載のシミュレーション方法。
- 前記第3工程では、前記処理における前記硬化性組成物の挙動に異常があると判定した場合に、前記硬化性組成物の複数の液滴のうち前記異常が発生している液滴を特定することを特徴とする請求項8に記載のシミュレーション方法。
- 前記第3工程で特定された前記異常が発生している液滴を、前記異常が発生していない液滴と識別可能に表示する第5工程を更に有することを特徴とする請求項9に記載のシミュレーション方法。
- 前記第5工程では、前記第3工程で特定された前記異常が発生している液滴と、前記異常が発生していない液滴とを互いに異なる色で表示することを特徴とする請求項10に記載のシミュレーション方法。
- 前記第5工程では、前記第3工程で特定された前記異常が発生している液滴を点滅させることを特徴とする請求項10に記載のシミュレーション方法。
- 第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション装置であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴のそれぞれについて、隣接する液滴と接合したかどうかに基づいて、隣接する液滴との接合の度合いに関する関係を評価する評価値を求め、
前記評価値を、当該評価値に対応する液滴の状態を示す情報とともに表示する、
ことを特徴とするシミュレーション装置。 - 請求項13に記載のシミュレーション装置が組み込まれた膜形成装置であって、
第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理を、前記シミュレーション装置による前記硬化性組成物の挙動の予測に基づいて制御する、
ことを特徴とする膜形成装置。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載のシミュレーション方法を繰り返しながら、第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材と前記第2部材との間の空間に前記硬化性組成物の膜を形成する処理の条件を決定する工程と、
前記条件に従って前記処理を実行する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項1乃至12のうちいずれか1項に記載のシミュレーション方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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