TW202215499A

TW202215499A - 模擬方法、模擬設備、成膜設備、物品製造方法和非暫態性儲存媒體

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Publication number: TW202215499A
Application number: TW110126053A
Authority: TW
Inventors: 相原泉太郎; 大口雄一郎
Original assignee: 日商佳能股份有限公司
Priority date: 2020-07-29
Filing date: 2021-07-15
Publication date: 2022-04-16
Also published as: US20220035969A1; CN114063394A; KR20220014828A; JP2022025595A

Abstract

本發明提供了一種模擬方法，其在使布置在第一構件上的可固化組成物的多個液滴與第二構件接觸並在第一構件和第二構件之間的空間中形成可固化組成物的膜的過程中預測可固化組成物的行為，所述方法包括對於可固化組成物的多個液滴中的每一個液滴，基於液滴是否與相鄰液滴合併，獲得用於評估與相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值，以及將在獲得步驟中獲得的所述評估值和指示對應於所述評估值的液滴的狀態的資訊一起顯示。

Description

模擬方法、模擬設備、成膜設備、物品製造方法和非暫態性儲存媒體

本發明涉及模擬方法、模擬設備、成膜設備、物品製造方法和儲存媒體。

提供了成膜技術，其透過將可固化組成物布置在基板上、使可固化組成物與模具接觸並固化可固化組成物來形成由基板上的可固化組成物的固化產物製成的膜。這種成膜技術應用於壓印技術和平面化技術。在壓印技術中，透過使用具有圖案的模具，透過使基板上的可固化組成物與模具的圖案接觸並固化可固化組成物來將模具的圖案轉印到基板上的可固化組成物。在平面化技術中，透過使用具有平坦表面的模具，透過使基板上的可固化組成物與平坦表面接觸並固化可固化組成物來形成具有平坦上表面的膜。將可固化組成物以液滴的形式布置在基板上，並且然後將模具壓靠在可固化組成物的液滴上。這將可固化組成物的液滴擴散在基板上，從而形成可固化組成物的膜。此時，重要的是形成具有均勻厚度的可固化組成物的膜並且在膜中不留氣泡。為了實現這個目的，調節可固化組成物的液滴的布置、用於將模具壓靠在可固化組成物上的方法和條件等。為了使用設備透過反覆試驗來實現該調節操作，需要大量的時間和成本。為了解決這個問題，期望開發支持這種調節操作的模擬器。日本專利No. 5599356公開了用於預測布置在圖案形成表面上的多個液滴的濕擴展和聚集(液滴的合併)的模擬方法，以及利用該預測產生液滴布置圖案的方法。日本專利No. 5599356還公開了計算相對於所產生的液滴布置圖案的液滴高度分佈，並且調節液滴布置，使得液滴的高度分佈落在預定範圍內。另一方面，在壓印過程中，需要掌握困在可固化組成物的液滴之間的氣泡量。其原因是，在其中大量氣泡被困在可固化組成物的液滴之間的部分中，液滴甚至在擠壓模具之後也不會擴展，並且這導致由於未填充而帶來的缺陷(異常)。然而，困在可固化組成物的液滴之間的氣泡量由複雜的作用決定，包括模具和液滴之間的作用以及液滴的合併等。因此，僅僅透過調節液滴布置使得可固化組成物液滴的高度分佈落在預定範圍內不可能保持困在液滴之間的氣體量等於或小於預定量。

本發明提供有利於在形成可固化組成物的膜的過程中檢測可固化組成物的行為的異常的技術。根據本發明的第一方面，提供了一種在使布置在第一構件上的可固化組成物的多個液滴與第二構件接觸並在第一構件和第二構件之間的空間中形成可固化組成物的膜的過程中預測可固化組成物的行為的模擬方法，該方法包括對於可固化組成物的多個液滴中的每一個液滴，基於液滴是否與相鄰液滴合併，獲得用於評估與相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值，以及將在獲得步驟中獲得的該評估值和指示對應於所述評估值的液滴的狀態的資訊一起顯示。參考所附圖式，根據示例性實施例的以下描述，本發明的其他方面將變得顯而易見。

在下文中，將參考所附圖式詳細描述實施例。應注意，以下實施例並不旨在限制所要求保護的發明的範圍。在實施例中描述了多個特徵，但是不限制於需要所有這樣的特徵的發明，並且可以適當地組合多個這樣的特徵。此外，在所附圖式中，相同的圖式符號顯示了相同或相似的配置，並且省略其冗餘描述。圖1係示出根據本發明的實施例的成膜設備IMP和模擬設備1的布置的示意圖。成膜設備IMP執行使布置在基板S上的可固化組成物IM的多個液滴與模具M接觸並且在基板S與模具M之間的空間中形成可固化組成物IM的膜的過程。成膜設備IMP可以形成為例如壓印設備或平面化設備。基板S和模具M是可互換的，並且透過使布置在模具M上的可固化組成物IM的多個液滴與基板S接觸，可固化組成物IM的膜可以形成在模具M與基板S之間的空間中。因此，成膜設備IMP完全是執行使布置在第一構件上的可固化組成物IM的多個液滴與第二構件接觸並且在第一構件與第二構件之間的空間中形成可固化組成物IM的膜的過程的設備。本實施例透過將第一構件假定為基板S並且將第二構件假定為模具M來提供描述。然而，可以將第一構件假定為模具M，並且可以將第二構件假定為基板S。在這種情況下，以下描述中的基板S和模具M互換。壓印設備使用具有圖案的模具M來將模具M的圖案轉印到基板S上的可固化組成物IM上。壓印設備使用具有設置有圖案的圖案區域PR的模具M。作為壓印過程，壓印設備使基板S上的可固化組成物IM與模具M的圖案區域PR接觸，用可固化組成物IM填充模具M與將要形成基板S的圖案的區域之間的空間，並且然後固化可固化組成物IM。這將模具M的圖案區域PR的圖案轉印到基板S上的可固化組成物IM。例如，壓印設備在基板S的多個注射區域的每一個中形成由可固化組成物IM的固化產物製成的圖案。作為平面化過程，使用具有平坦表面的模具M，平面化設備使基板S上的可固化組成物IM與模具M的平坦表面接觸，並且固化可固化組成物IM，從而形成具有平坦上表面的膜。如果使用具有覆蓋基板S的整個區域的尺寸(大小)的模具M，則平面化設備在基板S的整個區域上形成由可固化組成物IM的固化產物製成的膜。作為可固化組成物，使用透過接收固化能量而固化的材料。作為固化能量，可以使用電磁波或熱。電磁波包括例如從10 nm(包括端值在內)至1 mm(包括端值在內)的波長範圍中選擇的光，並且更具體地，包括紅外光、可見光束或紫外光。可固化組成物是透過光照射或加熱而固化的組成物。透過光照射而固化的可光固化組成物至少包含可聚合化合物和光聚合引發劑，並且根據需要還可以包含不可聚合化合物或溶劑。不可聚合化合物是選自敏化劑、氫供體、內部脫模劑、表面活性劑、抗氧化劑和聚合物組分中的至少一種材料。可固化組成物的黏度(在25℃下的黏度)為例如1 mPa∙s(包括端值在內)至100 mPa∙s(包括端值在內)。作為基板的材料，使用例如玻璃、陶瓷、金屬、半導體、樹脂等。根據需要，由與基板不同的材料製成的構件可以設置在基板的表面上。基板包括例如矽晶圓、化合物半導體晶圓或石英玻璃。在說明書和所附圖式中，將在XYZ座標系上指示方向，其中將平行於基板S的表面的方向定義為X-Y平面。平行於XYZ座標系的X軸、Y軸和Z軸的方向分別是X方向、Y方向和Z方向。繞X軸的旋轉、繞Y軸的旋轉和繞Z軸的旋轉分別是θX、θY和θZ。關於X軸、Y軸和Z軸的控制或驅動分別是指關於平行於X軸的方向、平行於Y軸的方向和平行於Z軸的方向的控制或驅動。此外，關於θX軸、θY軸和θZ軸的控制或驅動分別是指關於繞平行於X軸的軸線的旋轉、繞平行於Y軸的軸線的旋轉和繞平行於Z軸的軸線的旋轉的控制或驅動。此外，位置是基於在X軸、Y軸和Z軸上的座標所指定的資訊，並且取向是透過在θX軸、θY軸和θZ軸上的值所指定的資訊。定位是指控制位置和/或取向。成膜設備IMP包括保持基板S的基板保持器SH、透過驅動基板保持器SH來使基板S移動的基板驅動機構SD、以及支撐基板驅動機構SD的基座SB。此外，成膜設備IMP包括保持模具M的模具保持器MH、以及透過驅動模具保持器MH而使模具M移動的模具驅動機構MD。基板驅動機構SD和模具驅動機構MD形成相對移動機構，所述相對移動機構使基板S和模具M中的至少一者移動以便調節基板S與模具M之間的相對位置。透過相對移動機構調節基板S與模具M之間的相對位置包括驅動以使基板S上的可固化組成物IM與模具M接觸、以及驅動以將模具M與基板S上的固化的可固化組成物IM分離。此外，透過相對移動機構調節基板S與模具M之間的相對位置包括定位在基板S與模具M之間。基板驅動機構SD被配置成相對於多個軸(例如，包括X軸、Y軸和θZ軸的三個軸，以及較佳地包括X軸、Y軸、Z軸、θX軸、θY軸和θZ軸的六個軸)驅動基板S。模具驅動機構MD被配置成相對於多個軸(例如，包括Z軸、θX軸和θY軸的三個軸，以及較佳地包括X軸、Y軸、Z軸、θX軸、θY軸和θZ軸的六個軸)驅動模具M。成膜設備IMP包括用於固化可固化組成物IM的固化單元CU，用所述可固化組成物IM填充基板S與模具M之間的空間。例如，固化單元CU透過經由模具M將固化能量施加到可固化組成物IM來固化基板S上的可固化組成物IM。成膜設備IMP包括用於在模具M的後側(與基板S相對的表面的相反側)上形成空間SP的透射構件TR。透射構件TR由透射來自固化單元CU的固化能量並且可以將固化能量施加到基板S上的可固化組成物IM的材料製成。成膜設備IMP包括壓力控制單元PC，所述壓力控制單元PC透過控制空間SP的壓力來控制模具M在Z軸方向上的變形。例如，當壓力控制單元PC使空間SP的壓力高於大氣壓時，模具M朝向基板S以凸面形狀變形。成膜設備IMP包括用於在基板S上布置、供應或分佈可固化組成物IM的分配器DSP。然而，可固化組成物IM透過另一設備布置在其上的基板S可以被供應(裝載)到成膜設備IMP。在這種情況下，成膜設備IMP不需要包括分配器DSP。成膜設備IMP可以包括用於測量基板S(或基板S的注射區域)與模具M之間的位置偏移(對準誤差)的對準鏡AS。模擬設備1在由成膜設備IMP執行的過程中執行預測可固化組成物IM的行為的計算。更具體地，模擬設備1在使布置在基板S上的可固化組成物IM的多個液滴與模具M接觸並且在基板S與模具M之間的空間中形成可固化組成物IM的膜的過程中執行預測可固化組成物IM的行為的計算。例如，透過將模擬程式21併入通用或專屬電腦中來形成模擬設備1。需注意，模擬設備1可以由諸如FPGA(場式可程式化閘陣列)的PLD(可程式化邏輯裝置)形成。可替代地，模擬設備1可以由ASIC(特殊應用積體電路)形成。在本實施例中，透過將模擬程式21儲存在包括處理器10、記憶體20、顯示器30以及輸入裝置40的電腦中的記憶體20中來形成模擬設備1。記憶體20可以是半導體記憶體，諸如硬碟的碟或另一形式的記憶體。模擬程式21可以儲存在電腦可讀記憶媒體中，或者經由諸如電信網路的通訊設施提供到模擬設備1。根據本發明的模擬方法和模擬設備涉及在基板和模具之間的空間中形成可固化組成物的膜的過程，例如在壓印過程中模擬可固化組成物的行為。更具體地，根據本發明的模擬方法和模擬設備透過模擬可固化組成物的液滴在基板上的擴展(包括液滴之間的相互作用)來預測液滴在任意時間的擴展，並在視覺上顯示它。此外，根據本發明的模擬方法和模擬設備從基板上的可固化組成物的液滴的合併狀態和合併狀態的變化中檢測由困在液滴之間的氣泡引起的異常(液滴的擴展上的異常)，並在視覺上顯示它。由此，可以目視檢查可固化組成物的液滴在基板上的擴展行為(狀態)，並提前掌握液滴擴展的異常。透過基於上述資訊調整液滴的布置，可抑制由未填充引起的缺陷。下面將更具體地描述在每個實施例中由模擬設備1執行的模擬方法。＜第一實施例＞圖2係用於描述根據第一實施例的模擬方法的流程圖。該模擬方法包括步驟S001、S002、S003、S004、S005、S006、S007、S008和S009。模擬設備1可以理解為執行根據第一實施例的模擬方法的各個步驟的硬體部件的集合。步驟S001是設置模擬所需的條件(模擬條件)的步驟。步驟S002是基於在步驟S001中設置的模擬條件來設置可固化組成物IM的初始狀態的步驟。步驟S001和S002可以被理解為透過將步驟S001和S002組合而獲得的一個步驟，例如作為準備步驟。步驟S003是透過計算模具M的運動來更新(計算)模具M的位置(基板S與模具M之間的距離)的步驟。步驟S004是對於可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴，基於在步驟S003中更新的模具M的位置來計算由模具M按壓和擴展的液滴的行為(流動)的步驟。步驟S005是基於在步驟S004中計算出的液滴的行為來確定可固化組成物IM的多個液滴中的相鄰液滴是否彼此合併的步驟。步驟S006是基於步驟S004中關於相鄰液滴是否彼此合併的確定，計算可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的合併資訊的步驟。步驟S007是基於在步驟S006中計算的合併資訊及其時序變化來確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)的步驟。步驟S008是確定計算(模擬)中的時間是否已經到達結束時間的步驟。如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S003；否則，過程移至步驟S009。步驟S009是將在步驟S006中計算的合併資訊和在步驟S007中確定的指示可固化組成物的行為中存在/不存在異常的異常資訊中的至少一者與指示可固化組成物IM的多個液滴的狀態的資訊(可固化組成物IM的行為)一起顯示的步驟。下面將詳細描述根據第一實施例的模擬方法的每個步驟。在步驟S001中，將各種參數設置為模擬所需的條件。參數包括可固化組成物IM的液滴在基板S上的布置、每個液滴的體積、可固化組成物IM的物理特性、關於模具M的表面的不平度的資訊(例如，圖案區域PR的圖案的資訊)、以及關於基板S的表面的不平度的資訊。參數包括透過模具驅動機構MD施加到模具M的力的時間曲線、以及透過壓力控制單元PC施加到空間SP(模具M)的壓力的曲線。在步驟S002中，設置可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的初始狀態(模擬開始時的液滴狀態)。初始狀態包括當布置在基板S上的可固化組成物IM的每個液滴潤濕擴展時的每個液滴的輪廓(其形狀)和高度。可以透過使用可固化組成物IM的物理特性假設靜態平衡狀態來計算初始狀態。還可以透過接收自可固化組成物IM的液滴布置在基板S上以來經過的時間等以及可固化組成物IM的物理特性來執行總體上的流體模擬，而從動態的潤濕擴展行為來計算初始狀態。在根據本實施例的模擬方法中，將可固化組成物IM的每個液滴建模為液滴成分DRP，如圖3所示。圖3係示出可固化組成物IM的液滴成分DRP的概念的圖。參考圖3，DRP _i表示計算區域中的第i個液滴成分。在下面的描述中，下標i表示液滴成分DRP的數量。代表點設置在可固化組成物IM的液滴成分內。代表點的座標用C _i(x ₀,y ₀)表示。可固化組成物IM的液滴成分的代表點可以設置在液滴的重心處或不同於液滴的重心的點(位置)處，但是需要設置在液滴的輪廓內。然後，從可固化組成物IM的液滴成分的代表點到液滴成分的輪廓(周邊)上的在角度θ(由基準線和連接代表點和液滴的輪廓上的點的線形成的角度)的位置處的點的距離被表示為半徑r(θ)。對於每個角度θ，半徑r(θ)具有不同的值。指示液滴成分的輪廓上的每個點是否與相鄰的液滴成分合併(侵入相鄰的液滴成分內)的資訊被保存在一起。輪廓上的與相鄰的液滴成分合併的點的位置(半徑r(θ))此時是固定的。如圖3中的陰影線所示，其中半徑r(θ)固定的角度θ的區域被設置為固定區域FIX _i。另一方面，如圖3中的實線所示，其中半徑r(θ)不固定的角度θ的區域被設置為自由區域FRE _i。在可固化組成物IM的液滴的初始狀態下，所有角度θ都屬於自由區域。當根據本實施例的模擬方法被實現為實際程式時，考慮處理有限數量的劃分角度θ(也就是說，為了限定液滴的輪廓，有限數量的點被設置在液滴的輪廓上)。圖6係由18個角度θ(θ1至θ18)限定(劃分)的可固化組成物IM的液滴成分的視圖。此時，角度θ可以透過等分360°來設置，或者可以被設置為任意角度。當獲得在由有限數量的角度表示的輪廓上的相鄰點之間的輪廓時，可應用任意插值。例如，輪廓上的相鄰點可以由線連接，或者可以應用更高階的插值。在步驟S003中，計算模具M的運動並且更新模具M的位置。考慮到當可固化組成物IM的液滴或其中液滴彼此合併的液膜被壓碎時產生的力、由模具M和基板S之間的空間SP中的氣體的流動引起的力、施加到模具M的載荷、模具M的彈性變形的影響等，透過動力學計算來計算模具M的運動。在步驟S004中，計算由模具M按壓和擴展的液滴成分DRP的行為。步驟S004包括確定液滴成分DRP是否接觸模具M的步驟。如果將在步驟S002中獲得的液滴成分DRP _i的高度h _drp,i與在液滴成分DRP _i的代表點(x ₀,y ₀)處的模具M與基板S之間的距離h _i進行比較，並且滿足下面的運算式(1)，則確定液滴成分DRP _i接觸模具M。 h _drp,i≤ h _i...(1) 另一方面，如果不滿足運算式(1)，則確定液滴成分DRP _i在計算中的當前時間未接觸模具M。在這種情況下，不計算液滴成分DRPi的行為。關於被確定接觸模具M的液滴成分DRP _i，計算透過模具M的運動被按壓和擴展的行為。在該步驟中，保存(維持)可固化組成物IM的液滴的體積。因此，可以使用液滴成分DRP _i的體積V _i和當前時間的液滴成分位置處的距離h _i透過以下運算式來表示當前時間的液滴成分DRP _i的面積S ^new:

...(2)。在步驟S005中，確定相鄰的液滴成分是否彼此合併。由於在步驟S004中計算液滴成分的輪廓，屬於自由區域FRE的角度θ的輪廓上的點落在相鄰的液滴成分內(輪廓內)。在這種情況下，角度θ處的半徑r(θ)是固定的(也就是說，對應於液滴的合併部分，從代表點到輪廓上的點的距離是固定的)。換句話說，角度θ包括在固定區域FIX中，並且在此時之後，可固化組成物IM的液滴成分不在角度θ的方向上擴展(流動)。在步驟S005中，對於所有成對的相鄰的液滴成分，如上所述，確定液滴是否彼此合併。將參考圖4描述確定相鄰的液滴成分是否彼此合併，即液滴的輪廓上的點是否位於相鄰的液滴的輪廓內的過程。透過注意液滴成分DRP _i，考慮在屬於液滴成分DRP _i的自由區域FRE _i的角度方向上的輪廓上的點P。與液滴成分DRP _i相鄰的液滴成分被設置為液滴成分DRP _j，並且然後獲得連接點P和液滴成分DRP _j的代表點C _j(中心)的線段PC _j的長度。此外，獲得由線段PC _j和液滴成分的基準線形成的角度θ _j，並且然後獲得角度θ _j處的液滴成分DRPj的半徑QC _j的長度。如果將半徑QC _j的長度與線段PC _j的長度進行比較，並且半徑QC _j的長度比線段PC _j的長度長，則確定液滴成分DRP _i的輪廓上的點P位於相鄰的液滴成分DRP _j的輪廓內，即液滴成分彼此合併。另一方面，如果半徑QC _j的長度比線段PC _j的長度短，則確定液滴成分DRP _i的輪廓上的點P不位於相鄰的液滴成分DRP _j的輪廓內，即液滴成分不彼此合併。需注意，圖4顯示液滴成分DRP _i的輪廓上的點P極大地侵入相鄰的液滴成分DRP _j內的狀態。這強調該實施例的特徵。在實際計算中，透過使時間間隔足夠短，液滴成分DRP _i的輪廓上的點P侵入相鄰的液滴成分DRP _j內的侵入量可以減小到可以忽略的量。圖5係示出透過實施根據該實施例的模擬方法的模擬設備1計算可固化組成物IM的液滴的行為(擴展)的示例的圖。模具M與基板S之間的距離朝向圖5的中心更短，並且遠離圖5的中心更長。參考圖5，顯然，可以根據可固化組成物IM的液滴在基板S上的布置來表示液滴的複雜合併的狀態等。在步驟S006中，基於關於相鄰液滴成分是否彼此合併的確定，計算合併資訊。合併資訊是指用於評估與相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值。例如，在本實施例中，指示可固化組成物IM的每個液滴的輪廓與另一液滴的輪廓接觸的部分的資訊被用作合併資訊。更具體地，確定接觸另一個液滴的部分與可固化組成物IM的液滴的輪廓長度的比率，即接觸相鄰液滴的輪廓的部分與液滴輪廓的整個周長的比率，被用作合併資訊。此時，可固化組成物IM的液滴的輪廓可以被劃分成多個角度，並且確定接觸另一液滴的角度的比率可以被用作合併資訊。參考圖6，將描述相對於可固化組成物IM的液滴成分的輪廓長度與相鄰液滴的合併比率，即，本實施例中的合併資訊的概述。在圖6中，圖式符號601表示感興趣液滴成分的輪廓，以及圖式符號602表示與感興趣液滴成分相鄰的液滴成分的輪廓。在多個點603處採樣感興趣液滴成分的輪廓601，並且對於多個點603中的每一個點，確定點603是否接觸相鄰液滴成分的輪廓602。例如，在多個點603中，點604是確定接觸相鄰液滴成分的輪廓602的點。最後，接觸相鄰液滴成分的輪廓602的點604的數量與感興趣液滴成分的輪廓601的採樣點603的總數的比率被用作合併資訊。在步驟S009中，將如上所述獲得的合併資訊與指示對應於合併資訊的可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊一起顯示在顯示器30上。圖7係示出包括在步驟S009中顯示在顯示器30上的合併資訊的圖像的示例的視圖。在圖7中，合併資訊係相對於布置在基板S的注射區域(shot region)ST中的液滴成分DRP _i的分佈以彩色顯示。在本實施例中，對於每個液滴成分DRP _i，液滴成分DRP _i的區域中的顏色根據與相鄰液滴合併的合併部分與液滴的輪廓長度的比率而改變。考慮一種情況，其中當使模具M與基板S上的可固化組成物IM接觸時，模具M朝向基板S以凸起形狀變形。在這種情況下，從布置在注射區域ST的中心的液滴成分DRP _i朝向布置在注射區域ST的外側的液滴成分DRP _i，依序擠壓和擴展液滴成分DRP _i。因此，布置在注射區域ST的中心的液滴成分DRP _i往往比布置在注射區域ST的外側的液滴成分DRP _i具有更高的與相鄰液滴的合併比率。在圖7中，對於每個液滴成分DRP _i，液滴成分DRP _i的區域中的密度根據與相鄰液滴的合併比率而改變。具有更高與相鄰液滴的合併比率的液滴成分DRP _i的區域以更暗的顏色顯示。更具體地，按照液滴成分DRP ₁、液滴成分DRP ₂和液滴成分DRP ₃的順序，即，按照距注射區域ST的中心的距離的順序，液滴成分的區域以更亮的顏色顯示。像液滴成分DRP ₄一樣，如果液滴成分不接觸相鄰的液滴，其區域以白色顯示。應注意，透過以不同的顏色顯示液滴成分DRP _i的區域和液滴成分DRP _i的輪廓以便彼此區分(可區分)，還可檢查與相鄰液滴的邊界。在本實施例中，已經描述了其中根據合併資訊的大小改變對應於合併資訊的液滴區域中的密度的情況，但是本發明不限於此。例如，根據合併資訊的大小，可以改變對應於合併資訊的液滴區域中的色調。此外，透過顯示關於表示合併資訊的大小的顏色和由顏色指示的合併資訊的大小關係(在本實施例中，與相鄰液滴的合併比率)的一般示例，可在數字上掌握合併資訊。因此，對於可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴，可在視覺上掌握作為液滴的擴展狀態的液滴的接觸狀態。在步驟S007中，基於在步驟S006中計算的合併資訊及其時序變化，確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)。通常，當基板S上的可固化組成物IM和模具M之間的接觸進展時，與相鄰液滴的合併比率從布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i開始增加，並且朝向布置在注射區域ST的週邊的液滴成分DRP _i逐漸增加。另一方面，如果可固化組成物IM的行為出現異常，則在布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i中存在相比於周圍液滴成分DRP _i具有較小的與相鄰液滴的合併比率的液滴成分DRP _i。圖8係示出當可固化組成物IM的行為已經出現異常時，在步驟S009中顯示在顯示器30上的包括合併資訊的圖像的示例的視圖。在圖8中，合併資訊係相對於布置在基板S的注射區域ST中的液滴成分DRP _i的分佈以彩色顯示。在本實施例中，對於每個液滴成分DRP _i，液滴成分DRP _i的區域中的顏色根據與相鄰液滴合併的合併部分與液滴的輪廓長度的比率而改變。在圖8中，具有更高的與相鄰液滴的合併比率的液滴成分DRP _i的區域以更暗的顏色顯示。通常，布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i具有更高的與相鄰液滴的合併比率，並且其區域與遠離注射區域ST的中心布置的液滴成分DRP _i相比以更暗的顏色顯示。然而，在圖8中，布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i的區域以比周圍液滴成分的區域更亮的顏色顯示。更具體地，在注射區域ST中布置在液滴成分DRP ₁外側的液滴成分DRP ₂的區域以比液滴成分DRP ₁的區域更暗的顏色顯示。由此，明顯的是，液滴成分DRP ₁的行為明顯出現了異常。下面將描述檢測可固化組成物IM的行為異常的方法的示例。這是一種搜索如下液滴並且檢測這種液滴作為其中已經出現異常的液滴的方法，其中所述液滴被整個輪廓與相鄰液滴合併的液滴包圍並且包括不與相鄰液滴合併的輪廓的一部分。更具體地，與周圍液滴相比，具有更低的與相鄰液滴的合併比率的液滴被檢測為其中已經出現異常的液滴。在本實施例中，透過遵循包括以下(1)、(2)和(3)的過程來確定異常的存在/不存在(檢測異常)。應注意，在其中整個輪廓不與相鄰液滴合併的狀態下，液滴的合併資訊由0表示，在其中整個輪廓與相鄰液滴合併的狀態下，液滴的合併資訊由1表示，在其中一部分輪廓與相鄰液滴合併的狀態下，液滴的合併資訊由0和1之間的值表示。 (1)從所有液滴中，提取其中一部分輪廓不與相鄰液滴合併的液滴，即其中合併資訊不是1的液滴，並且認為所提取的液滴包括在液滴組DG1中(例如，圖8所示的液滴成分DRP ₁)。 (2)從包括在液滴組DG1中的所有液滴中，提取其代表點落在距包括在液滴組DG1中的液滴的代表點的預設距離D的範圍內的液滴，並且認為所提取的液滴包括在液滴組DG2中(例如，圖8所示的液滴成分DRP ₂)。在圖8中，圖式符號801表示距液滴成分DRP ₁的距離D的範圍，即液滴提取範圍。 (3)對於包括在液滴組DG1中的所有液滴中的每一個液滴，在其中每個液滴組DG2中包括的所有液滴都處於其中整個輪廓與相鄰液滴合併的狀態(合併資訊為1)的情況下，確定已經出現異常。此外，在其中每個液滴組DG2中包括的液滴具有比液滴組DG1中包括的液滴更大的合併資訊的情況下，確定已經出現異常。在步驟S009中，如上所述檢測的可固化組成物IM的行為異常顯示作為指示可固化組成物IM的行為異常的存在/不存在的異常資訊與指示可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊一起在顯示器30上。圖9係示出包括在步驟S009中顯示在顯示器30上的異常資訊的圖像的示例的視圖。在圖9中，對於圖8所示的每個液滴成分DRP _i，確定是否已經出現異常，並且確定為異常的液滴成分DRP ₁的區域以黑色顯示。或者，確定為異常的液滴成分DRP ₁以不同於確定為正常(確定為非異常)的液滴(例如液滴成分DRP ₂)顏色的顏色顯示。以這種方式，透過以不同的顏色顯示確定為異常的液滴和確定為正常的液滴以便彼此區分(可區分)，可在視覺上掌握異常的存在/不存在。或者，確定為異常的液滴和確定為正常的液滴可以以不同的顯示模式顯示。例如，確定為異常的液滴可以閃爍，而確定為正常的液滴可以不閃爍。在多個預設時間執行包括步驟S003、S004、S005、S006和S007的計算步驟。例如，在從模具M從初始位置開始下降的時間直到模具M接觸多個液滴、多個液滴被壓碎以擴展並且彼此合併以最終形成一個膜、及可固化組成物應被固化時的時間的時段內任意設置多個時間。通常以預定時間間隔設置多個時間。在步驟S008中，確定計算中的時間是否已經達到結束時間。如上所述，如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S003；否則，過程移至步驟S009。在示例中，在步驟S008中，將當前時間前進指定的時間步長(time step)，從而設置新時間。然後，如果新時間已經到達結束時間，則過程移至步驟S009。如上所述，在步驟S009中，在顯示器30上顯示圖7所示的圖像、圖8所示的圖像和圖9所示的圖像中的至少一者。在步驟S009中，例如，根據使用者請求，可以切換並顯示圖7所示的圖像、圖8所示的圖像和圖9所示的圖像，或者可以顯示圖7所示的圖像、圖8所示的圖像和圖9所示的圖像中的一些或全部圖像。根據本實施例，可以確定布置在基板S上的可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的行為中的異常的存在/不存在，特別是在液滴的擴展中，並且可以在視覺上識別它。因此，可以提供一種技術，該技術有利於在成膜設備IMP中形成可固化組成物IM的膜的過程中檢測可固化組成物IM的行為中的異常。此外，透過使用根據本實施例的模擬方法反復調整可固化組成物IM的液滴的布置圖案以及由此獲得的結果，可以容易地設置用於形成可固化組成物IM的膜的過程的條件，同時減少該過程中的異常。＜第二實施例＞圖10係用於描述根據第二實施例的模擬方法的流程圖。模擬方法包括步驟S101、S102、S103、S104、S105、S106、S107、S108和S109。模擬設備1可以理解為執行根據第二實施例的模擬方法的各個步驟的硬體部件的集合。步驟S101是設置模擬所需的條件(模擬條件)的步驟。步驟S102是基於在步驟S101中設置的可固化組成物IM的液滴的布置資訊產生連接相鄰液滴的鏈接結構的步驟。可以將步驟S101和S102理解為透過將步驟S101和S102組合而獲得的一個步驟，例如作為準備步驟。步驟S103是透過計算模具M的運動來更新模具M的位置的步驟。步驟S104是對於可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴，基於在步驟S103中更新的模具M的位置來計算由模具M按壓和擴展的液滴的行為的步驟。步驟S105是確定在步驟S102中產生的鏈接結構的每個鏈接是否為閉的步驟，也就是說，確定鏈接是開還是閉。步驟S106是基於步驟S105中關於鏈接結構的每個鏈接是否為閉的確定，計算可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的合併資訊的步驟。步驟S107是基於在步驟S106中計算的合併資訊及其時序變化來確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)的步驟。步驟S108是確定計算(模擬)中的時間是否已經到達結束時間的步驟。如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S103；否則，過程移至步驟S109。步驟S109是將在步驟S106中計算的合併資訊和指示在步驟S107中確定的可固化組成物的行為中存在/不存在異常的異常資訊中的至少一者與指示可固化組成物IM的多個液滴的狀態的資訊(可固化組成物IM的行為)一起顯示的步驟。下面將詳細描述根據第二實施例的模擬方法的每個步驟。應注意，步驟S101、S103和S104分別類似於圖2所示的步驟S001、S003和S004，並且這裡將省略其詳細描述。在步驟S102中，基於可固化組成物IM的液滴的布置資訊產生連接相鄰液滴的鏈接結構。參考圖11，將描述鏈接結構。如圖11所示，將可固化組成物IM的每個液滴建模為液滴成分DRP。參考圖11，在液滴成分DRP的代表點C處產生節點ND，並且透過連接相鄰節點來產生鏈接。更具體地，在存在於其中可固化組成物IM的液滴發生合併的部分附近的液滴成分中產生的節點之間產生鏈接，並將其定義為連接兩個節點的線段。如果形成鏈接的兩個液滴成分彼此合併，則該鏈接被稱為閉鏈接LNC。如果形成鏈接的兩個液滴成分沒有彼此合併，則該鏈接被稱為開鏈接LNO。應注意，當在不區分閉鏈接和開鏈接的情況下描述鏈接時，該鏈接被稱為鏈接LN。鏈接被產生為使得鏈接總是在節點處彼此相交，並且從不在節點以外的部分彼此相交(也就是說，鏈接僅在相鄰液滴成分之間產生)。例如，使用Deloney劃分方法等方法作為產生這種鏈接結構的方法。在步驟S105中，對於所有鏈接LN，確定鏈接的開/閉。在本實施例中，在每個鏈接LN中，如果形成鏈接LN的液滴成分沒有彼此合併，則該鏈接被確定為開鏈接LNO。如果形成鏈接LN的液滴成分彼此合併，則鏈接LN被確定為閉鏈接LNC。為了確定相鄰的液滴成分是否彼此合併，可以使用如參考圖4所述確定液滴的輪廓上的點是否位於相鄰液滴的輪廓的內部的過程。更具體地，如圖4所示，如果將半徑QC _j的長度與線段PC _j的長度進行比較，並且半徑QC _j的長度比線段PC _j的長度長，則確定鏈接LN為閉。另一方面，如果將半徑QC _j的長度與線段PC _j的長度進行比較，並且半徑QC _j的長度比線段PC _j的長度短，則確定鏈接LN為開。在步驟S106中，使用關於鏈接LN的開/閉的確定結果來計算合併資訊。合併資訊是指用於評估關於與相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值。例如，在本實施例中，指示可固化組成物IM的每個液滴的鏈接中的閉鏈接的數量的資訊被用作合併資訊。更具體地，為液滴成分DRP產生的閉鏈接LNC與鏈接LN的比率被用作合併資訊。在步驟S109中，將如上所述獲得的合併資訊與指示對應於合併資訊的可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊一起顯示在顯示器30上。圖12係示出包括在步驟S109中顯示在顯示器30上的合併資訊的圖像的示例的視圖。在圖12中，合併資訊係相對於布置在基板S的注射區域ST中的液滴成分DRP _i的分佈以彩色顯示。此外，在圖12中，對於每個液滴成分DRP _i，在節點位於液滴成分DRP _i的鏈接LN中，由實線表示閉鏈接LNC，以及由虛線表示開鏈接LNO。在本實施例中，對於每個液滴成分DRP _i，根據閉鏈接LNC的比率而改變液滴成分DRP _i的區域中的顏色。考慮一種情況，其中當使模具M與基板S上的可固化組成物IM接觸時，模具M朝向基板S以凸起形狀變形。在這種情況下，從布置在注射區域ST的中心的液滴成分DRP _i朝向布置在注射區域ST的外側的液滴成分DRP _i，液滴成分DRP _i被依序擠壓和擴展。因此，布置在注射區域ST的中心的液滴成分DRP _i往往比布置在注射區域ST的外側的液滴成分DRP _i具有更高的閉鏈接LNC的比率。在圖12中，對於每個液滴成分DRP _i，根據閉鏈接LNC的比率改變液滴成分DRP _i的區域中的密度。具有較高的閉鏈接LNC的比率的液滴成分DRP _i的區域以更暗的顏色顯示。更具體地，按照液滴成分DRP ₁、液滴成分DRP ₂和液滴成分DRP ₃的順序，即，按照距注射區域ST的中心的距離的順序，液滴成分的區域以更亮的顏色顯示。像液滴成分DRP ₄一樣，如果液滴成分不接觸相鄰的液滴，也就是說，如果閉鏈接LNC的比率為0，則其區域以白色顯示。應注意，透過以不同的顏色顯示液滴成分DRP _i的區域和液滴成分DRP _i的輪廓以便彼此區分(可區分)，還可檢查與相鄰液滴的邊界。在本實施例中，已經描述了其中根據合併資訊的大小改變對應於合併資訊的液滴的區域中的密度的情況，但是本發明不限於此。例如，根據合併資訊的大小，可以改變對應於合併資訊的液滴的區域中的色調。此外，透過顯示關於表示合併資訊的大小的顏色和由顏色指示的合併資訊的大小關係(在本實施例中，閉鏈接LNC的比率)的一般示例，可在數字上掌握合併資訊。因此，對於可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴，可在視覺上掌握作為液滴的擴展狀態的液滴的接觸狀態。此外，由於在圖12中由實線表示閉鏈接LNC，並由虛線表示開鏈接LNO，因此可以在視覺上掌握液滴之間存在/不存在合併。在步驟S107中，基於在步驟S106中計算的合併資訊及其時序變化，確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)。通常，當基板S上的可固化組成物IM和模具M之間的接觸進展時，閉鏈接LNC的比率從布置在注射區域ST中心附近的液滴成分DRP _i開始增加，並且朝向布置在注射區域ST週邊的液滴成分DRP _i逐漸增加。另一方面，如果在可固化組成物IM的行為中已經出現異常，則在布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i中存在液滴成分DRP _i，其具有比周圍液滴成分DRP _i更低的閉鏈接LNC的比率。圖13係示出當可固化組成物IM的行為出現異常時，在步驟S109中顯示在顯示器30上的包括合併資訊的圖像的示例的視圖。在圖13中，合併資訊係相對於布置在基板S的注射區域ST中的液滴成分DRP _i的分佈以彩色顯示。在本實施例中，對於每個液滴成分DRP _i，根據閉鏈接LNC的比率而改變液滴成分DRP _i的區域中的顏色。在圖13中，具有較高的閉鏈接LNC的比率的液滴成分DRP _i的區域以更暗的顏色顯示。通常，布置在注射區域ST中心附近的液滴成分DRP _i具有更高的閉鏈接LNC的比率，並且其區域與遠離注射區域ST中心布置的液滴成分DRP _i相比以更暗的顏色顯示。然而，在圖13中，布置在注射區域ST的中心附近的液滴成分DRP _i的區域以比周圍液滴成分的區域更亮的顏色顯示。更具體地，在注射區域ST中布置在液滴成分DRP ₁外側的液滴成分DRP ₂的區域以比液滴成分DRP ₁的區域更暗的顏色顯示。由此，明顯的是，液滴成分DRP ₁的行為已經出現了異常。下面將描述檢測可固化組成物IM的行為異常的方法的示例。這是一種搜索被所有鏈接LN是閉鏈接LNC的液滴包圍並且包括鏈接LN中的開鏈接LNO的液滴並且檢測這種液滴作為其中已經出現異常的液滴的方法。在本實施例中，透過遵循包括以下(1)、(2)和(3)的過程來確定異常的存在/不存在(檢測異常)。應注意，所有鏈接LN是開鏈接LNO的液滴的合併資訊由0指示，所有鏈接LN是閉鏈接LNC的液滴的合併資訊由1指示，一些鏈接LN是閉鏈接LNC的液滴的合併資訊根據閉鏈接LNC的比率由0和1之間的值指示。 (1)從所有液滴中，提取包括開鏈接LNO的液滴，即其中合併資訊不是1的液滴，並且認為所提取的液滴包括在液滴組DG1中(例如，圖13所示的液滴成分DRP ₁)。 (2)從包括在液滴組DG1中的所有液滴中，提取其代表點落在距包括在液滴組DG1中的液滴的代表點預設距離D的範圍內的液滴，並且認為所提取的液滴包括在液滴組DG2中(例如，圖13所示的液滴成分DRP ₂)。在圖13中，圖式符號1301表示距液滴成分DRP ₁距離D的範圍，即液滴提取範圍。 (3)在其中節點位於包括在每個液滴組DG2中的所有液滴處的所有鏈接LN是閉鏈接LNC(合併資訊為1)的情況下，確定已經出現異常。此外，在其中每個液滴組DG2中包括的液滴具有比液滴組DG1中包括的液滴更大的合併資訊的情況下，確定已經出現異常。在步驟S109中，如上所述檢測到的可固化組成物IM的行為異常作為指示可固化組成物IM的行為異常的存在/不存在的異常資訊與指示可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊一起顯示在顯示器30上。圖14係示出包括在步驟S109中顯示在顯示器30上的異常資訊的圖像的示例的視圖。在圖14中，對於圖13所示的每個液滴成分DRP _i，確定是否已經出現異常，並且確定為異常的液滴成分DRP ₁的區域以黑色顯示。或者，確定為異常的液滴成分DRP ₁以不同於確定為正常(確定為非異常)的液滴(例如液滴成分DRP ₂)顏色的顏色顯示。以這種方式，透過以不同的顏色顯示確定為異常的液滴和確定為正常的液滴以便彼此區分(可區分)，可在視覺上掌握異常的存在/不存在。或者，確定為異常的液滴和確定為正常的液滴可以以不同的顯示模式顯示。例如，確定為異常的液滴可以閃爍，而確定為正常的液滴可以不閃爍。應注意，在圖14中，由於閉鏈接LNC由實線表示，開鏈接LNO由虛線表示，因此可以在視覺上掌握在其中已經出現異常的部分中液滴之間存在/不存在合併。在多個預設時間執行包括步驟S103、S104、S105、S106和S107的計算步驟。例如，在從模具M自初始位置開始下降時的時間直到模具M接觸多個液滴、多個液滴被壓碎以擴展並且彼此合併以最終形成一個膜、及可固化組成物應被固化時的時間的時段內任意設置多個時間。通常以預定時間間隔設置多個時間。在步驟S108中，確定計算中的時間是否已經達到結束時間。如上所述，如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S103；否則，過程移至步驟S109。在示例中，在步驟S108中，當前時間前進指定的時間步長，從而設置新時間。然後，如果新時間已經到達結束時間，則過程移至步驟S109。如上所述，在步驟S109中，在顯示器30上顯示圖12所示的圖像、圖13所示的圖像和圖14所示的圖像中的至少一者。在步驟S109中，例如，根據使用者請求，可以切換並顯示圖12所示的圖像、圖13所示的圖像和圖14所示的圖像，或者可以顯示圖12所示的圖像、圖13所示的圖像和圖14所示的圖像中的一些或全部圖形。根據本實施例，可以確定布置在基板S上的可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的行為中的異常的存在/不存在，特別是在液滴的擴展中，並且可在視覺上識別它。因此，可以提供一種技術，該技術有利於在成膜設備IMP中形成可固化組成物IM的膜的過程中檢測可固化組成物IM的行為中的異常。此外，透過使用根據本實施例的模擬方法反復調整可固化組成物IM的液滴的布置圖案以及由此獲得的結果，可以容易地設置用於形成可固化組成物IM的膜的過程的條件，同時減少該過程中的異常。＜第三實施例＞圖15係用於描述根據第三實施例的模擬方法的流程圖。模擬方法包括步驟S201、S202、S203、S204、S205、S206、S207、S208、S209和S210。模擬設備1可以被理解為執行根據第三實施例的模擬方法的各個步驟的硬體部件的集合。步驟S201是設置模擬所需的條件(模擬條件)的步驟。步驟S202是基於在步驟S201中設置的可固化組成物IM的液滴的布置資訊產生連接相鄰液滴的鏈接結構的步驟。可以將步驟S201和S202理解為透過將步驟S201和S202組合而獲得的一個步驟，例如作為準備步驟。步驟S203是透過計算模具M的運動來更新模具M的位置的步驟。步驟S204是對於可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴基於在步驟S203中更新的模具M的位置來計算由模具M按壓和擴展的液滴的行為的步驟。步驟S205是確定在步驟S202中產生的鏈接結構的每個鏈接是否為閉的步驟，也就是說，確定鏈接的開/閉。在步驟S206中，確定在被按壓和擴展的液滴彼此合併時由相鄰的液滴形成的閉合區域的存在/不存在。步驟S207是基於步驟S205中的確定結果和步驟S206中的確定結果計算可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的合併資訊的步驟。步驟S208是基於在步驟S207中計算的合併資訊及其時序變化來確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)的步驟。步驟S209是確定計算(模擬)中的時間是否已經到達結束時間的步驟。如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S203；否則，過程移至步驟S210。步驟S210是將在步驟S207中計算的合併資訊和在步驟S208中確定的指示可固化組成物的行為中存在/不存在異常的異常資訊中的至少一個者與指示可固化組成物IM的多個液滴的狀態的資訊(可固化組成物IM的行為)一起顯示的步驟。下面將詳細描述根據第三實施例的模擬方法的每個步驟。應注意，步驟S201、S202、S203、S204和S205分別類似於圖10所示的S101、S102、S103、S104和S105，這裡將省略其詳細描述。將可固化組成物IM的每個液滴建模為液滴成分DRP。在步驟S206中，確定存在/不存在由相鄰液滴形成的閉合區域。透過參考步驟S205中關於鏈接結構的每個鏈接是否為閉的確定以及確定彼此相鄰的閉鏈接是否連接並形成閉合圖形(環)，來確定閉合區域的存在/不存在。參考圖16A和圖16B，將更具體地描述關於閉合區域的存在/不存在的確定。圖16A係示出在給定時間液滴成分的擴展狀態的視圖，以及圖16B係示出從圖16A所示的狀態經過給定時間段後液滴成分的擴展狀態的視圖。在圖16A和圖16B中，鏈接LN連接在步驟S202中產生的彼此相鄰的液滴成分。在圖16A所示的時間，連接液滴成分DRP ₁的代表點C ₁和液滴成分DRP ₃的代表點C ₃的鏈接被確定為開鏈接LNO ₁₃。類似地，連接液滴成分DRP ₂的代表點C ₂和液滴成分DRP ₃的代表點C ₃的鏈接被確定為開鏈接LNO ₂₃。類似地，連接液滴成分DRP ₁的代表點C ₁和液滴成分DRP ₂的代表點C ₂的鏈接被確定為開鏈接LNO ₁₂。如圖16B所示，在經過給定時間段之後，這些鏈接被確定為閉鏈接LNC ₁₃、鏈接LNC ₂₃和鏈接LNC ₁₂(即，液滴成分DRP ₁、液滴成分DRP ₂和液滴成分DRP ₃彼此合併)。如圖16B所示，如果閉鏈接LNC存在，則確定閉合區域的存在/不存在。接下來，將描述確定閉合區域存在/不存在的方法。首先，基於鏈接的開/閉的確定，在各自已經從開鏈接轉換到閉鏈接的各鏈接中，將目的地區域中的閉鏈接選擇作為起點。然後，在用作起點的閉鏈接處，確定相鄰鏈接是否是閉鏈接。如果相鄰鏈接是閉鏈接，則選擇該相鄰閉鏈接作為起點。然後，使用該相鄰閉鏈接作為起點，確定其相鄰鏈接是否是閉鏈接。透過重複這種過程，如果由被選擇為閉鏈接的鏈接形成閉合圖形，則確定存在閉合區域。應注意，如果在選擇相鄰閉鏈接時存在多個相鄰閉鏈接，則透過繼續選擇與用作起點的閉鏈接具有最大(或最小)角度的相鄰閉鏈接，可適當地提取閉合區域。參考圖16B，將更具體地描述確定閉合區域存在/不存在的方法。首先，選擇新確定為閉鏈接的閉鏈接LNC ₁₂作為用作起點的鏈接。然後，透過關注形成閉鏈接LNC ₁₂的節點(液滴成分DRP ₁和DRP ₃)中的一個節點，從感興趣節點開始在相鄰鏈接中搜索閉鏈接。這裡，對於液滴成分DRP ₁的節點，閉鏈接LNC ₁₄和LNC ₁₃是候選。應注意，閉鏈接LNC ₁₄是對應於連接液滴成分DRP ₁的代表點C ₁和液滴成分DRP ₄的代表點C ₄的鏈接的閉鏈接。然後，將閉鏈接LNC ₁₂和閉鏈接LNC ₁₄之間的角度θ ₁₄與閉鏈接LNC ₁₂和閉鏈接LNC ₁₃之間的角度θ ₁₃進行比較，並且選擇具有較大角度的閉鏈接作為用作下一個起點的閉鏈接。這裡，角度θ ₁₃大於角度θ ₁₄。因此，選擇閉鏈接LNC ₁₃作為用作下一個起點的閉鏈接。透過重複如上所述的過程，當使用作為起點的閉鏈接LNC ₂₃選擇相鄰的閉鏈接時，已經選擇的鏈接LNC ₁₂被再次選擇。因此，確定形成了閉合區域。圖17顯示了由五個液滴成分DRP ₁、DRP ₂、DRP ₃、DRP ₄和DRP ₅形成的閉合區域。同樣在圖17中，與圖16中一樣，透過重複選擇相鄰的閉鏈接，可以確定由較大數量液滴成分形成的閉合區域的存在/不存在。在步驟S207中，使用關於鏈接LN的開/閉的確定結果和關於閉合區域的存在/不存在的確定結果來計算合併資訊。合併資訊是指用於評估與相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值。在本實施例中，包含在由多個彼此相鄰的閉鏈接形成的閉合區域中的氣泡量被用作合併資訊。圖18A和圖18B係用於描述計算包含在閉合區域中的氣泡量的方法的視圖。在本實施例中，作為合併資訊，計算包含在由液滴成分DRP ₁、DRP ₂和DRP ₃形成的閉合區域中的氣泡的量V _bub。圖18A示出了當從上方觀察時基板S的狀態，以及圖18B示出了當沿著圖18A所示的線1801從側面觀察時基板S的狀態。首先，如圖18A所示，計算當從上面觀察時氣泡的氣泡面積S _bub。如等式(3)所表示的，由形成閉合區域的鏈接界定的閉合區域面積S _close和包括在閉合區域中的液滴成分DRP ₁、DRP ₂和DRP ₃的面積S _drp之間的差得出氣泡面積S _bub： S _bub= S _close- S _drp...(3)。參考圖18B，氣泡的量V _bub是夾在模具M和基板S之間的氣泡的量，並且透過以下等式(4)得出。這裡，h是模具M和基板S之間的距離(高度)。 V _bub= S _bub× h ...(4) 應注意，在等式(4)中，氣泡的體積被計算為包含在閉合區域中的氣泡的量，但是本發明不限於此。例如，作為包含在閉合區域中的氣泡的量，可以如由下面的等式(5)所表示的那樣計算包含在氣泡中的氣體的分子數n _bub。這裡，R是氣體常數，並且T是溫度。

...(5) 以這種方式，得出包含在氣泡中的氣體的分子數作為與氣泡中的氣體壓力和氣泡的體積的乘積成比例的量。應注意，可將氣體的壓力計算為例如在被模具M擠壓時氣泡所受到的力。在步驟S210中，將如上所述獲得的合併資訊與指示對應於合併資訊的可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊一起顯示在顯示器30上。圖19係示出包括在步驟S210中顯示在顯示器30上的合併資訊的圖像的示例的視圖。在圖19中，作為合併資訊，相對於布置在基板S的注射區域ST中的液滴成分DRP _i的分佈顯示由等式(4)或(5)計算得出的氣泡量。更具體地，由氣泡圖顯示器顯示氣泡的量，其中圓1901的大小根據氣泡的量(大小)而改變。例如，如圖20所示，顯示液滴成分DRP _i，並且指示包含在閉合區域中的氣泡量的圓2001的大小根據氣泡量而改變。由此，可以在視覺上掌握閉合區域中包含的氣泡的量(其分佈狀態)。在本實施例中，已經描述了其中代表氣泡的圓的大小根據氣泡的量(大小)而改變的情況，但是本發明不限於此。例如，根據氣泡量的大小，可以改變對應於氣泡量的閉合區域中的色調。在步驟S208中，基於在步驟S207中計算的合併資訊及其時序變化，確定在相應時間可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常(也就是說，檢測可固化組成物IM的行為中的異常)。下面將描述檢測可固化組成物IM的行為異常的方法的示例。在本實施例中，透過遵循包括以下(1)和(2)的過程來確定異常的存在/不存在(檢測異常)。 (1)如圖21所示，產生關於包含在閉合區域中的氣泡量的圖。在圖21中，縱座標表示包含在閉合區域中的氣泡的量，以及橫座標表示各自都包含氣泡的閉合區域的數量。 (2)在圖21所示的曲線圖中，設定氣泡量的閾值，並且其量大於閾值的氣泡被確定為異常。然後，形成包括異常氣泡的閉合區域的液滴被確定為異常。應注意，根據用可固化組成物IM填充模具M的填充時間來設置閾值。例如，如果填充時間長，則填充期間吸收的氣泡量會增加。因此，設置大的閾值。另一方面，如果填充時間短，則填充期間吸收的氣泡量會減少。因此，設置小的閾值。在步驟S210中，將如上所述被確定為異常的氣泡量顯示在顯示器30上，作為指示可固化組成物IM的行為中存在/不存在異常的異常資訊。圖22係示出包括在步驟S210中顯示在顯示器30上的異常資訊的圖像的示例的視圖。在圖22中，只有被確定為異常的氣泡被顯示為圓形，其尺寸根據氣泡量改變。由此，可目視檢查僅被確定為異常的氣泡，從而可容易地掌握每個液滴成分DRP _i中的已經出現異常的部分。應注意，在本實施例中，僅顯示被確定為異常的氣泡，但是可以一起顯示指示可固化組成物IM的液滴的狀態(擴展狀態)的資訊。由此，可在視覺上掌握其中已經出現異常的部分(液滴)。此外，可以使被確定為異常的氣泡閃爍以將其與其他氣泡區分開。在多個預設時間執行包括步驟S203、S204、S205、S206、S207和S208的計算步驟。例如，在從模具M從初始位置開始下降時的時間直到模具M接觸多個液滴、多個液滴被壓碎以擴展並且彼此合併以最終形成一個膜、及可固化組成物應被固化時的時間的時段內任意設置多個時間。通常以預定時間間隔設置多個時間。在步驟S209中，確定計算中的時間是否已經達到結束時間。如上所述，如果計算中的時間尚未達到結束時間，則時間前進至下一時間，並且過程移至步驟S203；否則，過程移至步驟S210。在示例中，在步驟S209中，當前時間前進指定的時間步長，從而設置新時間。然後，如果新時間已經到達結束時間，則過程移至步驟S210。如上所述，在步驟S210中，在顯示器30上顯示圖19所示的圖像、圖20所示的圖像和圖22所示的圖像中的至少一者。在步驟S210中，例如，根據使用者請求，可以切換並顯示圖19所示的圖像、圖20所示的圖像和圖22所示的圖像，或者可以顯示圖19所示的圖像、圖20所示的圖像和圖22所示的圖像中的一些或全部。根據本實施例，可以確定布置在基板S上的可固化組成物IM的多個液滴中的每一個液滴的行為中的異常的存在/不存在，特別是在液滴的擴展中，並且可以在視覺上識別它。因此，可以提供一種技術，該技術有利於在成膜設備IMP中形成可固化組成物IM的膜的過程中檢測可固化組成物IM的行為中的異常。此外，透過使用根據本實施例的模擬方法反復調整可固化組成物IM的液滴的布置圖案以及由此獲得的結果，可以容易地設置用於形成可固化組成物IM的膜的過程的條件，同時減少該過程中的異常。本發明的實施例還可以由讀出並執行記錄在儲存媒體(也可以被更完全地稱為“非暫態電腦可讀儲存媒體”)上的電腦可執行指令(例如，一個或多個程式)以執行上述實施例中的一個或多個實施例的功能和/或包括用於執行上述實施例中的一個或多個實施例的功能的一個或多個電路(例如，特殊應用積體電路(ASIC))的系統或裝置的電腦來實現，以及透過由系統或裝置的電腦執行的方法來實現，例如，透過從儲存媒體讀出並執行電腦可執行指令以執行上述實施例中的一個或多個實施例的功能和/或控制一個或多個電路以執行上述實施例中的一個或多個實施例的功能來實現。電腦可以包括一或多個處理器(例如，中央處理單元(CPU)、微處理單元(MPU))，並且可包括單獨電腦或單獨處理器的網路以讀出並執行電腦可執行指令。電腦可執行指令可以例如從網路或儲存媒體提供給電腦。儲存媒體可以包括例如硬碟、隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、分散式運算系統的記憶體、光碟(諸如光碟(CD)、數位多功光碟(DVD)或藍光光碟(BD)™)、快閃記憶體裝置和記憶卡等中的一者或多者。包括模擬設備1的成膜設備IMP基於由模擬設備1執行的固化組成物的行為的預測，控制使布置在第一構件上的可固化組成物與第二構件接觸並形成可固化組成物膜的過程。根據本發明的物品製造方法包括在重複上述模擬方法的同時確定用於使布置在第一構件上的可固化組成物與第二構件接觸並形成可固化組成物膜的過程的條件的步驟，以及根據該條件執行該過程的步驟。到目前為止，已經描述了其中模具包括圖案的模式，但是本發明也適用於其中基板包括圖案的模式。圖23A至圖23F示出製造物品的方法的更具體的示例。如圖23A所示，製備基板，諸如矽晶圓，其中諸如絕緣體的加工材料形成在表面上。接下來，透過噴墨方法等將壓印材料(可固化組成物)施加到加工材料的表面。這裡示出了其中壓印材料作為多個液滴施加到基板上的狀態。如圖23B所示，用於壓印的模具的具有凸起和凹槽圖案的一側形成在基板上並面向基板上的壓印材料。如圖23C所示，其上施加壓印材料的基板與模具接觸，並施加壓力。由壓印材料填充模具和加工材料之間的間隙。在這種狀態下，當透過模具將用作固化能量的光照射壓印材料時，壓印材料被固化。如圖23D所示，壓印材料被固化後，將模具從基板上脫模。因此，壓印材料的固化產物的圖案形成在基板上。在固化產品的圖案中，模具的凹槽對應於固化產品的凸起，模具的凸起對應於固化產品的凹槽。也就是說，將模具的凸起和凹槽圖案轉印到壓印材料上。如圖23E所示，當使用固化產品的圖案作為抗蝕刻遮罩進行蝕刻時，去除加工材料表面中不存在固化產品或仍然較薄的部分以形成凹槽。如圖23F所示，當去除固化產品的圖案時，可獲得在加工材料的表面中形成有凹槽的物品。在此去除固化材料的圖案，但是，例如，該圖案可以用作半導體元件等中包括的層之間的用於絕緣的膜(換句話說，用作物品的組成構件)而在加工之後不被去除。儘管已經參考示例性實施例描述了本發明，但是應理解，本發明不限於所公開的示例性實施例。所附申請專利範圍的範圍應被賦予最廣泛的解釋，以便涵蓋所有此類變形和等同的結構和功能。

IMP:成膜設備 1:模擬設備 S:基板 M:模具 IM:組成物 SH:基板保持器 SD:基板驅動機構 MH:模具保持器 SB:基座 MD:模具驅動機構 SP:空間 TR:透射構件 PC:壓力控制單元 CU:固化單元 DSP:分配器 AS:對準鏡 21:模擬程式 20:記憶體 30:顯示器 40:輸入裝置 DRP:液滴成分 DRP _i:計算區域中的第i個液滴成分 θ:角度 r(θ):半徑 FRE _i:自由區域 h _drp,i:高度 V _i:體積 h _i:當前時間的液滴成分位置處的距離 S ^new:當前時間的液滴成分DRP _i的面積 FIX:固定區域 FRE _i:液滴成分DRP _i的自由區域 P:點 DRPj:角度θj處的液滴成分 DRP _j:相鄰的液滴成分 C _j:代表點(中心) PC _j:線段 QC _j:半徑 ST:注射區域 DG1:液滴組 DG2:液滴組 DRP ₁:液滴成分 DRP ₂:液滴成分 D:預設距離 ND:節點 LNC:閉鏈接 LNO:開鏈接 LN:鏈接 DRP ₃:液滴成分 DRP ₄:液滴成分 1301:液滴提取範圍 LNO ₂₃:開鏈接 LNO ₁₂:開鏈接 C ₁:代表點 C ₂:代表點 LNC ₁₃:閉鏈接 LNC ₂₃:閉鏈接 LNC ₁₂:閉鏈接 LNC ₁₄:閉鏈接 θ ₁至θ ₁₈:角度 DRP ₅:液滴成分 V _bub:氣泡的量 S _bub:氣泡面積 S _close:閉合區域面積 S _drp:液滴成分的面積 h:距離(高度) n _bub:包含在氣泡中的氣體的分子數 R:氣體常數 T:溫度 p _pub:氣泡中的氣體壓力 v _bub:氣泡的體積

[圖1]係是示出根據本發明的實施例的成膜設備和模擬設備的布置的示意圖。 [圖2]係用於描述根據第一實施例的模擬方法的流程圖。 [圖3]係示出可固化組成物的液滴成分的概念的視圖。 [圖4]係用於描述確定相鄰的液滴成分是否彼此合併的過程的視圖。 [圖5]係示出透過圖1所示的模擬設備計算可固化組成物的液滴的行為的示例的視圖。 [圖6]係由18個角度限定的可固化組成物的液滴成分的圖。 [圖7]係示出顯示器上顯示的圖像的示例的視圖。 [圖8]係示出顯示器上顯示的另一圖像的示例的視圖。 [圖9]係示出顯示器上顯示的又一圖像的示例的視圖。 [圖10]係用於描述根據第二實施例的模擬方法的流程圖。 [圖11]係用於描述鏈接結構的視圖。 [圖12]係示出顯示器上顯示的圖像的示例的視圖。 [圖13]係示出顯示器上顯示的另一圖像的示例的視圖。 [圖14]係示出顯示器上顯示的又一圖像的示例的視圖。 [圖15]係用於描述根據第三實施例的模擬方法的流程圖。 [圖16A]和[圖16B]係用於描述確定閉合區域的存在/不存在的視圖。 [圖17]係用於描述確定閉合區域的存在/不存在的視圖。 [圖18A]和[圖18B]係用於描述計算包含在閉合區域中的氣泡量的方法的視圖。 [圖19]係示出顯示器上顯示的圖像的示例的視圖。 [圖20]係示出顯示器上顯示的另一圖像的示例的視圖。 [圖21]係用於描述檢測可固化組成物的行為異常的方法的圖。 [圖22]係示出顯示器上顯示的又一圖像的示例的視圖。 [圖23A]至[圖23F]係用於描述物品製造方法的視圖。

Claims

一種模擬方法，所述模擬方法在使布置在第一構件上的可固化組成物的多個液滴與第二構件接觸並在所述第一構件與所述第二構件之間的空間中形成所述可固化組成物的膜的過程中預測所述可固化組成物的行為，所述方法包括：對於所述可固化組成物的所述多個液滴中的每一個液滴，基於所述液滴是否與相鄰液滴合併，獲得用於評估與所述相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值，以及將在所述獲得步驟中獲得的所述評估值與指示與所述評估值相對應的所述液滴的狀態的資訊一起顯示。
如請求項1所述的方法，其中在所述獲得步驟中，對於所述可固化組成物的所述多個液滴中的每一個液滴，獲得接觸所述相鄰液滴的輪廓的部分與所述液滴的輪廓的整個周長的比率作為所述評估值。
如請求項1所述的方法，還包括：對於透過在所述可固化組成物的所述多個液滴的每一個液滴處設置節點並連接所述節點而產生的每個鏈接，如果形成所述鏈接的所述液滴彼此合併，則確定所述鏈接為閉鏈接，其中在所述獲得步驟中，對於所述可固化組成物的所述多個液滴中的每一個液滴，獲得所述閉鏈接與所述液滴的所述鏈接的比率作為所述評估值。
如請求項3所述的方法，其中在所述顯示步驟中，以彩色顯示在所述獲得步驟中獲得的所述比率。
如請求項1所述的方法，還包括：對於透過在所述可固化組成物的所述多個液滴的每一個液滴處設置節點並連接所述節點而產生的每個鏈接，如果形成所述鏈接的所述液滴彼此合併，則確定所述鏈接為閉鏈接，其中，在所述獲得步驟中，獲得包含在由彼此相鄰的多個所述閉鏈接形成的閉合區域中的氣泡量作為所述評估值。
如請求項5所述的方法，其中在所述顯示步驟中，以圓的尺寸顯示在所述獲得步驟中獲得的氣泡量。
如請求項1所述的方法，還包括：基於在所述獲得步驟中獲得的所述評估值，確定在所述過程中所述可固化組成物的所述行為中存在/不存在異常。
如請求項7所述的方法，還包括：將在所述確定步驟中確定的指示在所述過程中所述可固化組成物的所述行為中存在/不存在異常的資訊與指示所述可固化組成物的所述多個液滴的狀態的資訊一起顯示。
如請求項8所述的方法，其中在所述確定步驟中，如果確定在所述過程中所述可固化組成物的所述行為中存在異常，則從所述可固化組成物的所述多個液滴中指定已經出現所述異常的液滴。
如請求項9所述的方法，還包括：顯示在所述確定步驟中指定的已經出現所述異常的所述液滴，以便與沒有出現異常的液滴區分開。
如請求項10所述的方法，其中在可區分地顯示所述液滴時，在所述確定步驟中指定的已經出現所述異常的所述液滴和沒有出現異常的所述液滴以彼此不同的顏色顯示。
如請求項10所述的方法，其中在可區分地顯示所述液滴時，在所述確定步驟中指定的已經出現所述異常的所述液滴閃爍。
一種模擬設備，所述模擬設備在使布置在第一構件上的可固化組成物的多個液滴與第二構件接觸並在所述第一構件與所述第二構件之間的空間中形成所述可固化組成物的膜的過程中預測所述可固化組成物的行為，其中，對於所述可固化組成物的所述多個液滴中的每一個液滴，基於液滴是否與相鄰液滴合併，獲得用於評估與所述相鄰液滴的合併程度相關的關係的評估值，以及將所述評估值與指示對應於所述評估值的所述液滴的狀態的資訊一起顯示。
一種成膜設備，所述成膜設備包含如請求項13中限定的模擬設備，其中基於由所述模擬設備執行的所述可固化組成物的行為的預測，控制使布置在第一構件上的所述可固化組成物的多個液滴與第二構件接觸並在第一構件和第二構件之間的空間中形成所述可固化組成物的膜的過程。
一種物品製造方法，包括：在重複如請求項1中限定的模擬方法的同時，確定用於使布置在第一構件上的所述可固化組成物的所述多個液滴與第二構件接觸並在第一構件和第二構件之間的空間中形成所述可固化組成物的膜的過程的條件，以及根據所述條件執行所述過程。
一種非暫態性儲存媒體，其儲存用於使電腦執行如請求項1中限定的模擬方法的程式。