JP2020203825A - SiC焼結部材の製造方法 - Google Patents
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
Description
実施例1〜7においては、第1及び第2のSiC仮焼体取得工程STEP1,2として、まず、純度98%、平均粒径0.5μmのSiC粉末に、焼結助剤としてB4Cを0.1〜0.5質量%、C(カーボン)、成形助剤としてPVAなどのバインダなどを添加したものを原料粉末とした。次に、この原料粉末をスプレードライヤーで顆粒化して顆粒を得た。
比較例1においては、実施例1〜7と同様に作製したSiC成形体を焼成炉内にてアルゴン雰囲気で炉内温度を2070℃として3時間焼成して2個のSiC焼結体を得た。すなわち、比較例1においては、SiC仮焼体1,2の代わりにSiC焼結体を用いた。SiC焼結体に凹部3の形成を実施例1〜7において凹部3を形成したMC加工機を用いて加工することを試みたが、非常に困難であり、途中で断念した。
比較例2においては、実施例1〜7と同様に作製したSiC成形体を焼成炉内にてアルゴン雰囲気で炉内温度を1100℃として3時間焼成して2個のSiC仮焼体を得た。SiC仮焼体に凹部3の形成を実施例1〜7において凹部3を形成したMC加工機を用いて加工することを試みたが、加工時に仮焼体が破損したため、途中で断念した。
比較例3においては、焼成工程STEP7において積層した第1及び第2のSiC仮焼体1,2にかける荷重を5kgf/cm2(=0.49MPa)とした点を除いて、実施例7と同じ工程でSiC焼結部材30を作製した。しかしながら、焼結体の密度が小さくなり、SiC焼結部材30の接合部に接合不良が観察された。
実施例8においては、図1における第1及び第2の平面形成工程STEP3,4として、2個のSiC仮焼体を、図5Aを参照して、直径400mm、厚さ10mmの円板状の第1のSiC仮焼体21及び直径400mm、厚さ25mmの円板状の第2のSiC仮焼体22に加工した。第1のSiC仮焼体21の第1の平面21a、第2のSiC仮焼体22の第2の平面22aは、♯170のダイヤモンド砥粒を備えた砥石を用いて研削加工を行った。このとき、研磨液は用いずに、乾式で研削加工を行った。第1及び第2の平面21a,22aの算術平均粗さ(Ra)及び最大高さ(Rz)の平均は、表2に示す通りであった。また、図1における凹部形成工程STEP5として、実施例1と同様のMC加工により凹部23,24を形成した。凹部23は、冷媒用流路として用いることができるように第2のSiC仮焼体22の第2の平面22aに幅20mm、深さ5mmの円周形状に形成した。凹部24は、第2のSiC仮焼体22の第2の平面22aとは反対側の表面の外周部に幅25mm深さ15mmを有する環状に形成した。これらのことを除いて実施例1と同様にして、SiC焼結部材30を作製した。
実施例9においては、第1及び第2の平面21a,22aに対する研削加工方法を除いて実施例8と同様にして、第1及び第2のSiC仮焼体21,22を得た。
実施例10においては、図3における第1及び第2のSiC仮焼体取得工程STEP11,12として、実施例8の第1及び第2のSiC仮焼体取得工程STEP1,2と同様にして、2個のSiC成形体を得た。次に、これらSiC成形体を焼成炉内にてアルゴン雰囲気で炉内温度を1500℃として3時間焼成して2個のSiC仮焼体を得た。
実施例11においては、図1における積層工程STEP6において、第1のSiC仮焼体21の第1の表面21a及び第2のSiC仮焼体22の第2の表面22aに、濃度0.3g/Lのホウ酸水溶液用を塗布したうえで、第1及び第2のSiC焼結体21,22を積層したことを除いて、実施例8と同様にして、SiC焼結部材30を作製した。
実施例12〜15においては、上述した実施例8と同様にして、第1のSiC仮焼体取得工程STEP1、第2のSiC仮焼体取得工程STEP2、第1の平面形成工程STEP3、第2の平面形成工程STEP4及び凹部形成工程STEP5を行った。
Claims (7)
- 第1のSiC成形体を1200℃以上1900℃以下の温度で仮焼して第1のSiC仮焼体を得る工程と、
第2のSiC成形体を1200℃以上1900℃以下の温度で仮焼して第2のSiC仮焼体を得る工程と、
前記第1のSiC仮焼体に第1の平面を形成する工程と、
前記第2のSiC仮焼体に第2の平面を形成する工程と、
前記第1の平面又は前記第2の平面の少なくとも一方に凹部を形成する工程と、
前記第1のSiC仮焼体と前記第2のSiC仮焼体とを、前記第1の平面と前記第2の平面とを接触させた状態で積層する工程と、
前記積層した前記第1のSiC仮焼体及び前記第2のSiC仮焼体を、積層方向に10kgf/cm2以上の圧力を加えながら2000℃以上2200℃以下で焼成する工程とを備えることを特徴とするSiC焼結部材の製造方法。 - 前記積層する工程において、前記第1の平面と前記第2の平面との間に、ホウ素を含む焼結助剤が介在していることを特徴とする請求項1に記載のSiC焼結部材の製造方法。
- 第1のSiC成形体を1200℃以上1900℃以下の温度で仮焼して第1のSiC仮焼体を得る工程と、
第2のSiC成形体を1200℃以上1900℃以下の温度で仮焼して第2のSiC仮焼体を得る工程と、
前記第1のSiC仮焼体に第1の平面を形成する工程と、
前記第2のSiC仮焼体に第2の平面を形成する工程と、
前記第1の平面又は前記第2の平面の少なくとも一方に凹部を形成する工程と、
前記第1のSiC仮焼体と前記第2のSiC仮焼体とを、前記第1の平面と前記第2の平面とを接合材を介して接触させた状態で積層する工程と、
前記積層した前記第1のSiC仮焼体及び前記第2のSiC仮焼体を、積層方向に0.005kgf/cm2以上の圧力を加えながら1900℃以上2200℃以下で焼成する工程とを備えることを特徴とするSiC焼結部材の製造方法。 - 前記接合材は、シリコン粉末、SiC粉末、Si溶射膜の何れかであることを特徴とする請求項3に記載のSiC焼結部材の製造方法。
- 前記凹部を形成する工程の前に、前記第1のSiC仮焼体及び前記第2のSiC仮焼体を保管する工程を備えることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のSiC焼結部材の製造方法。
- 第3のSiC成形体を1200℃以上1900℃以下の温度で仮焼して第3のSiC仮焼体を得る工程をさらに備え、
前記積層する工程において、前記第3のSiC仮焼体を前記第1のSiC仮焼体又は前記第2のSiC仮焼体の積層方向外側に剥離材を介して積層し、
前記焼成する工程において、積層された前記第1のSiC仮焼体と前記第2のSiC仮焼体と第3のSiC仮焼体とに前記圧力を加えることを特徴とする請求項1から5の何れか1項のSiC焼結部材の製造方法。 - 乾式の研削加工又は研磨加工により、前記第1の平面、前記第2の平面及び前記凹部のうち少なくとも何れかを形成することを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のSiC焼結部材の製造方法。
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