JP2020198407A - 切削装置 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
4 筐体
4a 第1面
4b 第2面
4c 第3面
4d,4f,4h 開口
4e,4g スリット
6 カセットエレベータ
8 カセット
11 被加工物
12 仮置きユニット
13 基板
13a 表面
13b 裏面
13c 領域
14a,14b ガイドレール
15 分割予定ライン(ストリート)
15a 第1の分割予定ライン
15b 第2の分割予定ライン
16 搬送機構
16a 把持部
17 デバイス
18 第1搬送ユニット
18a 第1搬送アーム
18b 昇降機構
18c 吸引部
19 チップ
19a 表面
19b 裏面
20 カメラユニット
21 レンズ
22 X軸移動テーブル
24 防塵防滴カバー
26 チャックテーブル
28 治具ベース
30 保持治具
30a 逃げ溝
32 切削ユニット
34 切削ブレード
36 表面洗浄ユニット
40 第2搬送ユニット
40a 第2搬送アーム
40b 昇降機構
40c 吸引部
40d 平板部
40e 吸引パッド部
42 裏面洗浄ユニット(洗浄ユニット)
44 スポンジ(吸水部材)
44a 1つの面
44−1 第1のスポンジ(第1の吸水部材)
44−2 第2のスポンジ(第2の吸水部材)
44−1a 1つの面
44−2a 1つの面
46 板部材(基部)
46a 第1面
46b 第2面
46c 回転軸
46d 駆動機構
48 第3搬送ユニット
48a 第3搬送アーム
48b 昇降機構
48c 吸引部
50 乾燥テーブル
52 チップ収容容器
54 ドア部
56 操作パネル
58 モニタ
60 スポンジ洗浄ユニット(吸水部材洗浄ユニット)
62 洗浄水噴射部
64 洗浄ノズル
66,72 エアシリンダ
66a,72a シリンダチューブ
66b,72b ピストンロッド
68 エアー噴射部
70 エアーノズル
A 搬送経路
B 洗浄水
C エアー
Claims (2)
- 被加工物の裏面側を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削して複数のチップに分割する切削ユニットと、
該複数のチップの表面側を保持して、該チャックテーブルから該複数のチップを搬送する搬送ユニットと、
該搬送ユニットが該チャックテーブルから該複数のチップを搬送する際に通過する搬送経路に設けられた洗浄ユニットと、
を備える切削装置であって、
該洗浄ユニットは、該被加工物の該裏面より大きいサイズの1つの面を有し且つ弾性を有する平板状の吸水部材を含み、
該吸水部材の該1つの面と該搬送ユニットによって保持された該複数のチップの裏面側とが接触した状態で、該吸水部材と該搬送ユニットとを相対的に動かすことにより、該複数のチップの該裏面側が該洗浄ユニットで洗浄されることを特徴とする、切削装置。 - 該洗浄ユニットは、該吸水部材に接する基部を更に備え、
該吸水部材は、該基部の第1面に接して設けられる第1の吸水部材と、該基部の該第1面とは反対側に位置する第2面に接して設けられる第2の吸水部材とを含み、
該洗浄ユニットは、
該基部に接続され且つ該基部の該第1面及び該第2面を上下反転させる反転ユニットと、
該基部及び該吸水部材よりも下方に設けられ、該第1の吸水部材及び該第2の吸水部材のうち該基部の下方に位置する一方を洗浄する吸水部材洗浄ユニットと、
を更に備えることを特徴とする、請求項1に記載の切削装置。
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US20170250095A1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate cleaning apparatus and substrate processing facility having the same |
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- 2019-06-05 JP JP2019105262A patent/JP7330618B2/ja active Active
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