JP2020184550A - 炭化珪素半導体モジュールおよび炭化珪素半導体モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。本明細書の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示す。結晶学上の指数が負であることは、通常、数字の上に”−”(バー)を付すことによって表現されるが、本明細書では数字の前に負の符号を付すことによって結晶学上の負の指数を表現する。
[本開示の実施形態の詳細]
以下、本開示の実施形態の詳細について説明する。以下の説明では、同一または対応する要素には同一の符号を付し、それらについて同じ説明は繰り返さない。
まず、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400の構成を示す平面模式図である。
次に、第2実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400の構成について説明する。第2実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400は、主に炭化珪素半導体チップ200が正方形状である構成において、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400と異なっており、その他の構成については、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400と同様である。以下、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400と異なる構成を中心に説明する。
次に、第3実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400の構成について説明する。第3実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400は、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400が有する炭化珪素半導体チップ200と、第2実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400が有する炭化珪素半導体チップ200とが、単一の回路基板20上に実装されたものである。以下、第1実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400および第2実施形態に係る炭化珪素半導体モジュール400の各々と異なる構成を中心に説明する。
図9に示されるように、炭化珪素半導体モジュール400の製造方法は、準備工程S1と、実装工程S2とを主に有している。まず、準備工程S1においては、炭化珪素エピタキシャル基板を準備する工程が実施される。たとえば昇華法によって製造された炭化珪素インゴット(図示せず)がスライスされることにより、炭化珪素単結晶基板4が準備される。炭化珪素単結晶基板4の最大径は、たとえば100mm以上であり、好ましくは150mm以上である。
2 第6主面
3 炭化珪素エピタキシャル層
4 炭化珪素単結晶基板
5 側面
6 底面
7 ゲートトレンチ
8 コンタクト領域
10 ドリフト領域
11 オリエンテーションフラット
12 円弧状部
13 外縁部
20 回路基板
21 第1主面
22 第3主面
23 回路パターン
24 基材
25 第1基板領域
26 第2基板領域
30 ボディ領域
31 マスク層
40 ソース領域
50 接合部材
60 ソース電極
61 電極膜
62 金属膜
63 ドレイン電極
64 ゲート電極
71 ゲート絶縁膜
72 分離絶縁膜
80 内周部
81 第1位置
82 中心
83 第3位置
84 第2位置
85 第4位置
100 炭化珪素エピタキシャル基板
101 第1方向
102 第2方向
150 炭化珪素半導体素子(MOSFET)
200 炭化珪素半導体チップ
201 第4主面
202 第2主面
203 外周面
204 外周端
210 第1炭化珪素半導体チップ
211 第1辺
212 第2辺
220 第2炭化珪素半導体チップ
302 高さプロファイル
310 ステージ
311 平坦面
400 炭化珪素半導体モジュール
C1 第1直線
C2 第2直線
C3 第3直線
C4 第4直線
C5 第5直線
D1 第1距離
D2 第2距離
D3 第3距離
D4 第4距離
D5 第5距離
H1 第1高さ
H2 第2高さ
H3 第3高さ
H4 第4高さ
S1 準備工程
S2 実装工程
W 第1幅
Claims (6)
- 第1主面を有する回路基板と、
前記回路基板に実装され、かつ前記第1主面に対向する第2主面を有する複数の炭化珪素半導体チップとを備え、
前記複数の炭化珪素半導体チップの各々において、前記第2主面の中心と前記第1主面との距離は、前記第2主面の外周端から前記中心に向かって前記第1主面に平行な方向に0.5mm離れた内周部と前記第1主面との距離よりも大きい、炭化珪素半導体モジュール。 - 前記複数の炭化珪素半導体チップの各々は、第1辺と、前記第1辺よりも短い第2辺とを有する長方形状であり、
前記内周部と前記第1主面との距離を第1距離とし、かつ前記中心と前記第1主面との距離を第2距離とした場合、
前記第1辺に平行な方向における前記第1距離と前記第2距離との差の絶対値は、前記第2辺に平行な方向における前記第1距離と前記第2距離との差の絶対値よりも大きい、請求項1に記載の炭化珪素半導体モジュール。 - 前記複数の炭化珪素半導体チップの各々は、正方形状である、請求項1に記載の炭化珪素半導体モジュール。
- 第1主面を有する回路基板と、第2主面を有する複数の炭化珪素半導体チップとを準備する第1ステップと、
前記第2主面が前記第1主面に対向するように、前記複数の炭化珪素半導体チップの各々を前記回路基板に実装する第2ステップとを備え、
前記第2主面は、前記第2主面の外周端から前記第2主面の中心に向かって前記第1主面に平行な方向に0.5mm離れた第1位置と、前記中心に対して前記第1位置と反対側に位置する第2位置とを有し、
前記第1ステップにおいては、前記第2主面を上に向けた状態で、前記第1位置から前記第2位置まで前記第2主面の高さを測定した場合に、前記中心は、前記第1位置および前記第2位置を通る直線よりも低い位置にある前記複数の炭化珪素半導体チップが準備される、炭化珪素半導体モジュールの製造方法。 - 前記複数の炭化珪素半導体チップの各々は、第1辺と、前記第1辺よりも短い第2辺とを有する長方形状であり、
前記第1ステップにおいては、前記第2主面を上に向けた状態で、前記第1辺に平行な方向に沿って前記第2主面の高さを測定した場合における前記中心と前記直線との距離は、前記第2辺に平行な方向に沿って前記第2主面の高さを測定した場合における前記中心と前記直線との距離よりも大きい前記複数の炭化珪素半導体チップが準備される、請求項4に記載の炭化珪素半導体モジュールの製造方法。 - 前記複数の炭化珪素半導体チップの各々は、正方形状である、請求項4に記載の炭化珪素半導体モジュールの製造方法。
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