JP2020183870A - 慣性センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 64
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 63
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 17
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
基板と、
前記Y軸に沿う揺動軸まわりに揺動し、前記揺動軸を挟んで配置されている第1可動部と第2可動部とを備える可動体と、
前記可動体を支持し、第1可動部と第2可動部との間で前記基板に固定されている固定部と、
前記可動体と前記固定部とを繋ぐ揺動梁と、
前記固定部からX軸方向に延出している梁と、
前記梁に設けられ、前記可動体と接触することにより、前記可動体の前記X−Y面方向の変位を規制するストッパーと、を有することを特徴とする。
図1は、第1実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。図2は、図1中のA−A線断面図である。図3は、慣性センサーが有するストッパーの機能を説明するための平面図である。図4は、従来構成の問題を説明するための断面図である。図5は、本実施形態の効果を説明するための断面図である。
図6は、第2実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。
図7は、第3実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。
図8は、第4実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。
図9は、第5実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。
図10は、第6実施形態に係る電子機器としてのスマートフォンを示す平面図である。
図11は、第7実施形態に係る電子機器としての慣性計測装置を示す分解斜視図である。図12は、図11に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。
図13は、第8実施形態に係る電子機器としての移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図14は、図13に示す移動体測位装置の作用を示す図である。
図15は、第9実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
Claims (11)
- 互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、前記X軸および前記Y軸を含む面をX−Y面としたとき、
基板と、
前記Y軸に沿う揺動軸まわりに揺動し、前記揺動軸を挟んで配置されている第1可動部と第2可動部とを備える可動体と、
前記可動体を支持し、第1可動部と第2可動部との間で前記基板に固定されている固定部と、
前記可動体と前記固定部とを繋ぐ揺動梁と、
前記固定部からX軸方向に延出している梁と、
前記梁に設けられ、前記可動体と接触することにより、前記可動体の前記X−Y面方向の変位を規制するストッパーと、を有することを特徴とする慣性センサー。 - 前記ストッパーと前記可動体との離間距離は、前記梁と前記可動体との離間距離よりも小さい請求項1に記載の慣性センサー。
- 前記ストッパーは、前記梁から前記Y軸方向に突出する突起で構成されている請求項1または2に記載の慣性センサー。
- 前記可動体に設けられ、前記突起と対向している可動体側突起を有する請求項3に記載の慣性センサー。
- 前記揺動軸まわりの回転モーメントは前記第1可動部よりも前記第2可動部が小さく、
前記ストッパーは、前記固定部に対して前記第1可動部側に設けられ、
前記ストッパーは、前記第2可動部の前記揺動軸からの前記X軸方向の長さより、前記揺動軸から遠い位置に設けられている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 前記基板に配置され、平面視で、前記第1可動部と重なっている第1固定検出電極と、
前記基板に配置され、平面視で、前記第1固定検出電極に対して前記固定部の反対側に位置し、前記第1可動部と重なっているダミー電極と、
前記基板に配置され、前記第2可動部と重なっている第2固定検出電極と、を有し、
平面視で、前記ストッパーは、前記ダミー電極と重なっている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 前記第1固定検出電極の前記第1可動部と重なっている部分の面積と、前記第2固定検出電極の前記第2可動部と重なっている部分の面積と、が等しい請求項6に記載の慣性センサー。
- 前記第2固定検出電極の前記第2可動部と重なっている部分の前記X軸方向の長さは、前記第1固定検出電極の前記第1可動部と重なっている部分の前記X軸方向の長さよりも短い請求項6または7に記載の慣性センサー。
- 前記ストッパーは、前記固定部よりも前記第1可動部側に位置し、前記第1可動部と接触する第1ストッパーと、前記固定部よりも前記第2可動部側に位置し、前記第2可動部と接触する第2ストッパーと、を有する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の慣性センサー。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の慣性センサーと、
前記慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086653A JP7404649B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086653A JP7404649B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020183870A true JP2020183870A (ja) | 2020-11-12 |
JP7404649B2 JP7404649B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=73044397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019086653A Active JP7404649B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7404649B2 (ja) |
Cited By (1)
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WO2022264816A1 (ja) * | 2021-06-16 | 2022-12-22 | ローム株式会社 | 加速度センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015017886A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器、および移動体 |
US20180045515A1 (en) * | 2016-08-11 | 2018-02-15 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical sensor core for an inertial sensor |
JP2018146330A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 株式会社日立製作所 | 加速度センサ |
-
2019
- 2019-04-26 JP JP2019086653A patent/JP7404649B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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