JP2020183794A - ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 - Google Patents
ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020183794A JP2020183794A JP2019088539A JP2019088539A JP2020183794A JP 2020183794 A JP2020183794 A JP 2020183794A JP 2019088539 A JP2019088539 A JP 2019088539A JP 2019088539 A JP2019088539 A JP 2019088539A JP 2020183794 A JP2020183794 A JP 2020183794A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- opening
- hollow portion
- base material
- opening hollow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
Description
図1及び図2に示すように、第一実施形態に係るダイヤフラム装置1として、MEMS(Micro Electric Mechanical System)に好適に使用されるマイクロバルブを例示する。
成に限定されるものではない。
図7〜図11に示すように、第二実施形態では、ダイヤフラム装置の量産に適した製造方法を例示する。
図12に示すように、第三実施形態では、第一実施形態と同様に、マイクロバルブからなるダイヤフラム装置1を示す。ただし、本実施形態に係るダイヤフラム装置1では、基材4の第一開口中空部7の側部7aが、厚み方向に対して傾斜したテーパ面である。同様に、カバー材5の第二開口中空部10の側部10aも、厚み方向に対して傾斜したテーパ面である。
図13に示すように、第四実施形態では、第一実施形態と同様に、マイクロバルブからなるダイヤフラム装置1を示す。ただし、本実施形態に係るダイヤフラム装置1では、基材4の第一開口中空部7が、基材4の上面4aから下面4bまで厚み方向に貫通する。つまり、基材4は、第一貫通孔8及び第二貫通孔9を備えていない。
図14に示すように、第五実施形態では、第一実施形態と同様に、マイクロバルブからなるダイヤフラム装置1を示す。ただし、本実施形態に係るダイヤフラム装置1の基材4は、内部に第一流路12と第二流路13とを備え、流路基板3を兼ねた構造となっている。つまり、ダイヤフラム装置1は、基材4と別体の流路基板3を備えていない。
図15は、本発明の第六実施形態を示す。本実施形態では、ダイヤフラム装置1としてダイヤフラムポンプを例示する。
2 ダイヤフラム構成体
3 流路基板
4 基材
5 カバー材
6 ダイヤフラム
7 第一開口中空部
8 第一貫通孔
9 第二貫通孔
10 第二開口中空部
11 溶融固化部
12 第一流路
13 第二流路
L レーザ光
Claims (16)
- 第一開口中空部を有する基材と、
前記第一開口中空部の開口部を一方主面で施蓋するガラス製のダイヤフラムと、
前記第一開口中空部の開口部を封止するように、前記第一開口中空部の開口部に沿って環状に形成され、前記基材及び前記ダイヤフラムを接合する溶融固化部と、を備え、
前記溶融固化部が、前記基材と前記ダイヤフラムとに連続して跨っていることを特徴とするダイヤフラム構成体。 - 前記第一開口中空部に対向する第二開口中空部を有するカバー材を更に備え、
前記ダイヤフラムは、前記第一開口中空部の開口部を一方主面で施蓋すると共に、前記第二開口中空部の開口部を他方主面で施蓋するように、前記基材と前記カバー材との間に配置され、
前記基材及び前記カバー材の少なくとも一方が、ガラス部材であり、
前記溶融固化部が、前記ダイヤフラムを介して前記基材と前記カバー材とに連続して跨っていることを特徴とする請求項1に記載のダイヤフラム構成体。 - 前記基材及び前記カバー材のうちの一方が、ガラス部材であり、前記基材及び前記カバー材のうちの他方が、非ガラス部材であることを特徴とする請求項2に記載のダイヤフラム構成体。
- 前記カバー材は、板状の部材であり、
前記第二開口中空部は、前記カバー材の一方主面から他方主面にかけて形成された貫通孔により構成されることを特徴とする請求項2又は3に記載のダイヤフラム構成体。 - 前記ガラス部材が、ガラス組成としてアルカリ金属酸化物を含有することを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載のダイヤフラム構成体。
- 前記溶融固化部が、前記第一開口中空部の開口部に沿って同心環状に複数形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のダイヤフラム構成体。
- 前記第一開口中空部の開口部が、円形であり、
前記第一開口中空部の開口部の直径a[mm]と、前記ダイヤフラムの厚みb[mm]との比a/bが、100〜200であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のダイヤフラム構成体。 - 前記第一開口中空部の開口部の縁部と、最も内側の前記溶融固化部との間の幅寸法が、0.01〜0.5mmであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のダイヤフラム構成体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のダイヤフラム構成体と、前記第一開口中空部に流体を供給する第一流路と、前記第一開口中空部から前記流体を吐出する第二流路と、を備えることを特徴とするダイヤフラム装置。
- 前記第一流路及び前記第二流路が、前記基材に設けられていることを特徴とする請求項9に記載のダイヤフラム装置。
- 前記基材に接合された流路基板を備え、前記流路基板に、前記第一流路及び前記第二流路の少なくとも一部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載のダイヤフラム装置。
- 前記基材は、板状の部材であり、
前記第一開口中空部は、前記基材の一方主面から他方主面にかけて形成された貫通孔により構成されることを特徴とする請求項11に記載のダイヤフラム装置。 - 第一開口中空部を有する基材上にダイヤフラムを配置し、前記第一開口中空部の開口部を前記ダイヤフラムの一方主面で施蓋する積層工程と、
前記積層工程の後に、前記第一開口中空部の開口部を封止するように、前記基材及び前記ダイヤフラムを接合する溶融固化部を形成する接合工程と、を備え、
前記基材及び前記ダイヤフラムのうち、少なくとも前記ダイヤフラムがガラス部材であり、
前記接合工程では、前記基材及び前記ダイヤフラムに対して、前記ガラス部材を通じて前記第一開口中空部の開口部に沿うようにレーザ光を照射し、前記基材及び前記ダイヤフラムを溶融固化することにより、前記溶融固化部を、前記基材と前記ダイヤフラムとに連続的に跨った状態で、前記第一開口中空部の開口部に沿って環状に形成することを特徴とするダイヤフラム構成体の製造方法。 - 第一開口中空部を有する基材と、前記第一開口中空部に対向する第二開口中空部を有するカバー材との間に、ガラス製のダイヤフラムを配置し、前記第一開口中空部の開口部を前記ダイヤフラムの一方主面で施蓋し、前記第二開口中空部の開口部を前記ダイヤフラムの他方主面で施蓋する積層工程と、
前記積層工程の後で、前記第一開口中空部の開口部を封止するように、前記基材、前記ダイヤフラム及び前記カバー材を接合する溶融固化部を形成する接合工程と、を備え、
前記基材及び前記カバー材のうちの少なくとも一方が、ガラス部材であり、
前記接合工程では、前記基材、前記ダイヤフラム及び前記カバー材に対して、前記ガラス部材を通じて前記第一開口中空部の開口部に沿うようにレーザ光を照射し、前記基材、前記ダイヤフラム及び前記カバー材を溶融固化することにより、前記溶融固化部を、前記ダイヤフラムを介して前記基材と前記カバー材とに連続的に跨った状態で、前記第一開口中空部の開口部に沿って環状に形成することを特徴とするダイヤフラム構成体の製造方法。 - 前記積層工程では、複数の前記第一開口中空部を有し複数の前記基材が切り出される元基材と、複数の前記第二開口中空部を有し複数の前記カバー材が切り出される元カバー材との間に、各々の対向する前記第一開口中空部及び前記第二開口中空部を同時に施蓋するように、複数の前記ダイヤフラムが切り出される元ダイヤフラムを配置し、
前記接合工程では、レーザ光の照射により、前記溶融固化部を、前記元ダイヤフラムを介して前記元基板と前記元カバー材とに連続して跨った状態で、各々の前記第一開口中空部の開口部に沿って環状に形成することを特徴とする請求項14に記載のダイヤフラム構成体の製造方法。 - 第一開口中空部を有する基材と、前記第一開口中空部に対向する第二開口中空部を有するカバー材と、前記第一開口中空部の開口部を一方主面で施蓋すると共に、前記第二開口中空部の開口部を他方主面で施蓋するように、前記基材と前記カバー材との間に配置されたフィルム状のガラス体と、前記第一開口中空部を封止するように、前記第一開口中空部の開口部に沿って環状に形成され、前記基材、前記カバー材及び前記ガラス体を接合する溶融固化部と、を備え、前記基材及び前記カバー材の少なくとも一方が、ガラス部材であり、前記溶融固化部が、前記ガラス体を介して前記基材と前記カバー材とに連続して跨っていることを特徴とするガラス構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019088539A JP7228131B2 (ja) | 2019-05-08 | 2019-05-08 | ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019088539A JP7228131B2 (ja) | 2019-05-08 | 2019-05-08 | ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020183794A true JP2020183794A (ja) | 2020-11-12 |
JP7228131B2 JP7228131B2 (ja) | 2023-02-24 |
Family
ID=73045274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019088539A Active JP7228131B2 (ja) | 2019-05-08 | 2019-05-08 | ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7228131B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003083462A (ja) * | 2000-12-07 | 2003-03-19 | Kazumasa Onishi | 流量制御弁 |
JP2014015354A (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-30 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 接合体及びその製造方法 |
JP2014029327A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Institute Of Physical & Chemical Research | マイクロチップ用の流体制御デバイスおよびその利用 |
-
2019
- 2019-05-08 JP JP2019088539A patent/JP7228131B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003083462A (ja) * | 2000-12-07 | 2003-03-19 | Kazumasa Onishi | 流量制御弁 |
JP2014029327A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Institute Of Physical & Chemical Research | マイクロチップ用の流体制御デバイスおよびその利用 |
JP2014015354A (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-30 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 接合体及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7228131B2 (ja) | 2023-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102512044B1 (ko) | 레이저 용접 유리 패키지 및 그 제조 방법 | |
JP5822873B2 (ja) | レーザ加工方法及び切断方法並びに多層基板を有する構造体の分割方法 | |
JP6645502B2 (ja) | ガラス基板、積層基板、積層基板の製造方法、積層体、梱包体、およびガラス基板の製造方法 | |
US9073778B2 (en) | Glass welding method | |
JP5139739B2 (ja) | 積層体の割断方法 | |
US11993511B2 (en) | Hermetically sealed, toughened glass package and method for producing same | |
JP4816050B2 (ja) | センサーパッケージおよびその製造方法 | |
WO2008081828A1 (ja) | 固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法 | |
JP2007136554A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2010026041A (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
CN103839956A (zh) | 采用晶圆级封装方式的图像传感器芯片晶圆的切割方法 | |
JP6631935B2 (ja) | ガラス板の製造方法 | |
WO2022092100A1 (ja) | 窓付きキャビティ、光源パッケージ | |
JP2020183794A (ja) | ダイヤフラム構成体、ダイヤフラム装置及びダイヤフラム構成体の製造方法、並びに、ガラス構造体 | |
US20230265012A1 (en) | Bonded body manufacturing method and bonded body manufacturing device | |
JP4245592B2 (ja) | ガラス接合方法 | |
JP2007015169A (ja) | スクライブ形成方法、スクライブ形成装置、多層基板 | |
JP7351136B2 (ja) | 接合体の製造方法及び接合体の製造装置 | |
JP2022543633A (ja) | 気密封止ガラスパッケージ | |
JP2015511063A (ja) | 材料層を互いに接合する方法および生じるデバイス | |
JP7342665B2 (ja) | 積層基板およびその製造方法 | |
US11975962B2 (en) | Hermetically sealed transparent cavity and package for same | |
JP7104879B2 (ja) | ダイヤフラム装置の製造方法及びダイヤフラム装置 | |
JP7219419B2 (ja) | フィルタ構造体、バイオフィルタ、ナノポアセンサ及びフィルタ構造体の製造方法、並びにガラス構造体 | |
WO2023100775A1 (ja) | ガラス基板の製造方法、及びガラス基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7228131 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |