JP2020181866A - 表示装置、配線膜、配線膜製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、透明基板と、前記透明基板上に配置されたTFTと、前記透明基板上に配置され、前記TFTに電気的に接続された画素と、を有し、前記透明基板を介して前記画素が視認される表示装置であって、前記TFTは、半導体層と、前記半導体層と接触して配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を間にして前記半導体層と対向する位置に配置されたゲート電極膜とを有し、前記半導体層には、前記ゲート電極膜と対向する部分にチャネル領域が設けられ、前記チャネル領域の片側にソース領域が設けられ、前記チャネル領域の反対側にはドレイン領域が設けられ、前記ソース領域と前記ドレイン領域とには、ソース電極膜とドレイン電極膜とがそれぞれ接触され、前記ゲート電極膜は、低反射合金から成る低反射膜と、前記低反射膜に積層され、前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜とを有し、前記低反射膜は前記本体膜と前記透明基板との間に配置され、前記低反射合金は金属成分とNとが含有され、前記金属成分には少なくともCuとAlとが含有され、Alは、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲で前記低反射合金に含有され、Nは、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、10at%以上50at%以下の範囲で含有された表示装置である。
本発明は、前記透明基板は酸化物を含有し、前記低反射膜は前記透明基板に接触された表示装置である。
本発明は、前記低反射膜と前記透明基板との間には酸化物を含有した半透明膜が配置され、前記低反射膜は前記半透明膜に接触された表示装置である。
本発明は、前記半透明膜は、膜厚が10nm以上200nm以下の範囲にされた表示装置である。
本発明は、前記半透明膜の膜厚tTに対する前記低反射膜の膜厚tLの比率tL/tTは0.05以上10以下の範囲にされた表示装置である。
本発明は、前記低反射膜は膜厚が10nm以上100nm以下の範囲にされた表示装置である。
本発明は、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分にはMgが0.5at%以上6at%以下の範囲で含有された表示装置である。
本発明は、低反射合金から成り、透明基板上に配置される低反射膜と、前記低反射膜に積層され、前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜と、を有し、前記低反射膜が前記本体膜よりも前記透明基板の近くに位置する配線膜であって、前記低反射合金は金属成分とNとが含有され、前記金属成分には少なくともCuとAlとが含有され、Alは、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲で前記金属成分に含有され、Nは、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、10at%以上50at%以下の範囲で前記低反射合金に含有された配線膜である。
本発明は、前記透明基板は酸化物を含有し、前記低反射膜は前記透明基板に接触された配線膜である。
本発明は、前記低反射膜と前記透明基板との間には酸化物を含有した半透明膜が配置され、前記低反射膜は前記半透明膜に接触された配線膜である。
本発明は、前記半透明膜は、膜厚が10nm以上200nm以下の範囲にされた配線膜である。
本発明は、前記半透明膜の膜厚tTに対する前記低反射膜の膜厚tLの比率tL/tTは0.05以上10以下の範囲にされた配線膜である。
本発明は、前記低反射膜は膜厚が10nm以上100nm以下の範囲にされた配線膜である。
本発明は、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分にはMgが0.5at%以上6at%以下の範囲で含有された配線膜である。
本発明は、金属成分を含有する第一のターゲットをスパッタリングし、透明基板上に低反射合金から成る低反射膜を形成し、少なくともCuを含有する第二のターゲットをスパッタリングし、前記低反射膜上に前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜を形成する配線膜製造方法であって、前記金属成分には少なくともCuとAlとを含有させ、前記第一のターゲットには、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲でAlを含有させ、前記低反射合金には、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、Nが10at%以上50at%以下の範囲で含有されるように、前記第一のターゲットをスパッタリングするスパッタリングガスに窒素を含有させる配線膜製造方法である。
本発明は、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分に0.5at%以上6at%以下の範囲でMgを含有させる配線膜製造方法である。
本発明は、前記透明基板上に半透明膜を形成した後、前記半透明膜上に前記低反射膜を形成する配線膜製造方法である。
11……TFT
12……画素
31……透明基板
32……ゲート電極膜
33……ゲート絶縁膜
34……酸化物半導体層
35……配線膜
36、46……低反射膜
37、47……本体膜
51……ソース電極膜
52……ドレイン電極膜
71……ソース領域
72……ドレイン領域
73……チャネル領域
Claims (18)
- 透明基板と、
前記透明基板上に設けられた配線膜と、
前記透明基板上に配置され、前記配線膜に電気的に接続された画素と、
を有し、
前記透明基板を介して前記配線膜が視認される表示装置であって、
前記配線膜は低反射合金から成る低反射膜と、前記低反射膜に積層され、前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜とを有し、
前記低反射膜は前記本体膜と前記透明基板との間に配置され、
前記低反射合金は金属成分とNとが含有され、
前記金属成分には少なくともCuとAlとが含有され、
Alは、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲で前記金属成分に含有され、
Nは、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、10at%以上50at%以下の範囲で前記低反射合金に含有された表示装置。 - 透明基板と、
前記透明基板上に配置されたTFTと、
前記透明基板上に配置され、前記TFTに電気的に接続された画素と、
を有し、
前記透明基板を介して前記画素が視認される表示装置であって、
前記TFTは、
半導体層と、
前記半導体層と接触して配置されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を間にして前記半導体層と対向する位置に配置されたゲート電極膜とを有し、
前記半導体層には、前記ゲート電極膜と対向する部分にチャネル領域が設けられ、前記チャネル領域の片側にソース領域が設けられ、前記チャネル領域の反対側にはドレイン領域が設けられ、
前記ソース領域と前記ドレイン領域とには、ソース電極膜とドレイン電極膜とがそれぞれ接触され、
前記ゲート電極膜は、低反射合金から成る低反射膜と、前記低反射膜に積層され、前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜とを有し、
前記低反射膜は前記本体膜と前記透明基板との間に配置され、
前記低反射合金は金属成分とNとが含有され、
前記金属成分には少なくともCuとAlとが含有され、
Alは、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲で前記低反射合金に含有され、
Nは、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、10at%以上50at%以下の範囲で含有された表示装置。 - 前記透明基板は酸化物を含有し、前記低反射膜は前記透明基板に接触された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の表示装置。
- 前記低反射膜と前記透明基板との間には酸化物を含有した半透明膜が配置され、前記低反射膜は前記半透明膜に接触された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の表示装置。
- 前記半透明膜は、膜厚が10nm以上200nm以下の範囲にされた請求項4記載の表示装置。
- 前記半透明膜の膜厚tTに対する前記低反射膜の膜厚tLの比率tL/tTは0.05以上10以下の範囲にされた請求項4又は請求項5のいずれか1項記載の表示装置。
- 前記低反射膜は膜厚が10nm以上100nm以下の範囲にされた請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の表示装置。
- 前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分にはMgが0.5at%以上6at%以下の範囲で含有された請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載の表示装置。
- 低反射合金から成り、透明基板上に配置される低反射膜と、
前記低反射膜に積層され、前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜と、を有し、前記低反射膜が前記本体膜よりも前記透明基板の近くに位置する配線膜であって、
前記低反射合金は金属成分とNとが含有され、
前記金属成分には少なくともCuとAlとが含有され、
Alは、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲で前記金属成分に含有され、
Nは、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、10at%以上50at%以下の範囲で前記低反射合金に含有された配線膜。 - 前記透明基板は酸化物を含有し、前記低反射膜は前記透明基板に接触された請求項9記載の配線膜。
- 前記低反射膜と前記透明基板との間には酸化物を含有した半透明膜が配置され、
前記低反射膜は前記半透明膜に接触された請求項9記載の配線膜。 - 前記半透明膜は、膜厚が10nm以上200nm以下の範囲にされた請求項11記載の配線膜。
- 前記半透明膜の膜厚tTに対する前記低反射膜の膜厚tLの比率tL/tTは0.05以上10以下の範囲にされた請求項11又は請求項12のいずれか1項記載の配線膜。
- 前記低反射膜は膜厚が10nm以上100nm以下の範囲にされた請求項9乃至請求項13のいずれか1項記載の配線膜。
- 前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分にはMgが0.5at%以上6at%以下の範囲で含有された請求項9乃至請求項14のいずれか1項記載の配線膜。
- 金属成分を含有する第一のターゲットをスパッタリングし、透明基板上に低反射合金から成る低反射膜を形成し、
少なくともCuを含有する第二のターゲットをスパッタリングし、前記低反射膜上に前記低反射膜よりも抵抗率が小さい本体膜を形成する配線膜製造方法であって、
前記金属成分には少なくともCuとAlとを含有させ、
前記第一のターゲットには、前記金属成分の原子数を100at%としたときに、1at%以上20at%以下の範囲でAlを含有させ、
前記低反射合金には、前記低反射合金の原子数を100at%としたときに、Nが10at%以上50at%以下の範囲で含有されるように、前記第一のターゲットをスパッタリングするスパッタリングガスに窒素を含有させる配線膜製造方法。 - 前記金属成分の原子数を100at%としたときに、前記金属成分に0.5at%以上6at%以下の範囲でMgを含有させる請求項16記載の配線膜製造方法。
- 前記透明基板上に半透明膜を形成した後、前記半透明膜上に前記低反射膜を形成する請求項16又は請求項17のいずれか1項記載の配線膜製造方法。
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