JP2020180912A - 吸光分析装置、及び、吸光分析装置用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスを透過した光の強度を検出する検出器と、前記ガスの全圧を測定する全圧センサと、前記検出器の出力値と予め設定されたゼロ基準値とに基づき吸光度を算出する吸光度算出部と、前記検出器の測定領域に存在する干渉ガスの分圧と前記吸光度算出部で算出される吸光度との関係を示す分圧−吸光度関係データを記憶する分圧−吸光度関係記憶部と、前記測定領域に既知の濃度の前記干渉ガスが存在する既知濃度状態において、前記全圧センサで測定された全圧と前記濃度とに基づいて、前記干渉ガスの分圧である干渉ガス分圧を算出する分圧算出部と、前記干渉ガス分圧と前記分圧−吸光度関係データとに基づいて、前記干渉ガスの吸光度である干渉ガス吸光度を推定する吸光度推定部と、前記干渉ガス吸光度と前記既知濃度状態における前記検出器の出力値とに基づいて、前記ゼロ基準値を更新するゼロ校正を行う校正部とを具備する。
【選択図】図4
Description
10 気化タンク
L1 キャリアガス供給路
L2 材料ガス導出路
L3 迂回流路
L4 希釈ガス供給路
20 切替機構
MFC1 第1流量制御機器
MFC2 第2流量制御機器
200 吸光分析装置
30 全圧センサ
40 検出器
50 吸光度算出部
60 制御部
61 分圧―吸光度関係記憶部
62 既知濃度記憶部
63 分圧算出部
64 吸光度推定部
65 校正部
10 気化タンク
L1 キャリアガス供給路
L2 材料ガス導出路
L3 迂回流路
L4 希釈ガス供給路
20 切替機構
MFC1 第1流量制御機器
MFC2 第2流量制御機器
200 吸光分析装置
30 全圧センサ
40 検出器
50 吸光度算出部
60 制御部
61 分圧―吸光度関係記憶部
62 既知濃度記憶部
63 分圧算出部
64 吸光度推定部
65 校正部
Claims (5)
- ガスを透過した光の強度を検出する検出器と、
前記ガスの全圧を測定する全圧センサと、
前記検出器の出力値と予め設定されたゼロ基準値とに基づき吸光度を算出する吸光度算出部と、
ゼロ校正時に前記検出器の測定領域に存在する干渉ガスの分圧と前記吸光度算出部で算出される吸光度との関係を示す分圧−吸光度関係データを記憶する分圧−吸光度関係記憶部と、
前記測定領域に既知の濃度の前記干渉ガスが存在する既知濃度状態において、前記全圧センサで測定された全圧と前記濃度とに基づいて、前記干渉ガスの分圧である干渉ガス分圧を算出する分圧算出部と、
前記干渉ガス分圧と前記分圧−吸光度関係データとに基づいて、前記干渉ガスの吸光度である干渉ガス吸光度を推定する吸光度推定部と、
前記干渉ガス吸光度と前記既知濃度状態における前記検出器の出力値とに基づいて、前記ゼロ基準値を更新するゼロ校正を行う校正部とを具備することを特徴とする吸光分析装置。 - 前記校正部が、前記ゼロ基準値を以下の数1から算出されるI0に更新するゼロ校正を行うものである請求項1記載の吸光分析装置。
A:前記干渉ガス吸光度 - 前記吸光度算出部が、前記検出器の出力値、前記ゼロ基準値、及び、予め設定されたスパン吸光度に基づき規格化吸光度を算出するものであり、
前記分圧−吸光度関係記憶部が、ゼロ校正時に前記検出器の測定領域に存在する干渉ガスの分圧と前記吸光度算出部で算出される規格化吸光度との関係を示す分圧−規格化吸光度関係データを記憶するものであり、
前記分圧算出部が、前記測定領域に既知の濃度を有する前記干渉ガスが所定分圧で存在する第1分圧状態、及び、前記所定分圧と異なる分圧で存在する第2分圧状態において、それぞれ前記干渉ガス分圧を算出するものであり、
前記吸光度推定部が、前記各干渉ガス分圧と前記分圧−規格化吸光度関係データとに基づいて、前記第1分圧状態及び前記第2分圧状態における前記干渉ガスの規格化吸光度である干渉ガス規格化吸光度を推定するものであり、
前記校正部が、前記各干渉ガス規格化吸光度と前記第1分圧状態及び前記第2分圧状態における検出器の出力値とに基づいて、前記ゼロ基準値を更新するゼロ校正と前記スパン吸光度を更新するスパン校正とを行うものである請求項1記載の吸光分析装置。 - 前記校正部が、前記スパン吸光度を以下の数2から算出されるAsに更新するスパン校正と、前記ゼロ基準値を以下の数2及び数3から算出されるI0に更新するゼロ校正と、を行うものである請求項3記載の吸光分析装置。
Ar2:前記第2分圧状態における干渉ガス規格化吸光度
I1:前記第1分圧状態で検出される検出器の出力値
I2:前記第2分圧状態で検出される検出器の出力値 - ガスを透過した光の強度を検出する検出器と、前記ガスの全圧を測定する全圧センサと、前記検出器の出力値と予め設定されたゼロ基準値とに基づき吸光度を算出する吸光度算出部とを備える吸光分析装置に用いられるプログラムであって、
ゼロ校正時に前記検出器の測定領域に存在する干渉ガスの分圧と前記吸光度算出部で算出される吸光度との関係を示す分圧−吸光度関係データを記憶する分圧−吸光度関係記憶部と、
前記測定領域に既知の濃度の前記干渉ガスが存在する既知濃度状態において、前記全圧センサで測定された全圧と前記濃度とに基づいて、前記干渉ガスの分圧である干渉ガス分圧を算出する分圧算出部と、
前記干渉ガス分圧と前記分圧−吸光度関係データとに基づいて、前記干渉ガスの吸光度である干渉ガス吸光度を推定する吸光度推定部と、
前記干渉ガス吸光度と前記既知濃度状態における前記検出器の出力値とに基づいて、前記ゼロ基準値を更新するゼロ校正を行う校正部としての機能を発揮させることを特徴とする吸光分析装置用プログラム。
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- 2019-04-26 JP JP2019085100A patent/JP7221127B2/ja active Active
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2020
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