JP2020160055A - 振動に強い多軸ジャイロスコープ - Google Patents
振動に強い多軸ジャイロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020160055A JP2020160055A JP2020023321A JP2020023321A JP2020160055A JP 2020160055 A JP2020160055 A JP 2020160055A JP 2020023321 A JP2020023321 A JP 2020023321A JP 2020023321 A JP2020023321 A JP 2020023321A JP 2020160055 A JP2020160055 A JP 2020160055A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- proof
- quartet
- axis
- rigid body
- central
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
図2aおよび図2bは、第1の一次振動モードおよび対応する二次振動モードを示している。当該一次振動モードにおいて、各プルーフマスは、対応するカルテット中心点に対して半径方向に直線的に動く。対応するカルテット中心点に対する各プルーフマスカルテット内の第1のプルーフマスの一次振動の位相は、同じカルテット中心点に対する同じプルーフマスカルテット内の第2のプルーフマス、第3のプルーフマスおよび第4のプルーフマスの一次振動の位相と同じである。言い換えれば、カルテット内のすべてのプルーフマスは、対応するカルテット中心点に向かっておよび対応するカルテット中心点から外方に同時に動く。当該振動モードでは、x軸に沿ったプルーフマス212および221の動きを、結合ばね255を用いて同期させることができる。結合ばね255の特性は、図12a〜図12cを参照して以下に説明される。
すべてのプルーフマスカルテットは、例示を目的として、図2a〜図3bにおいて4つの正方形ブロックの集合として提示されており、中央に空の正方形領域がある。通常、プルーフマスが長方形の境界内でより密に詰め込まれた、面積節約型の幾何形状を使用する方が有利であり、当該形状は、典型的には、シリコンマイクロテクノロジーにおいて有利である。
一般に、「サスペンション」という用語は、本開示では、サスペンダと呼ばれる場合もあり、固定支持体からプルーフマスなどの部分的に可動な要素まで延伸する1つまたは複数の柔軟なばねの構成を指す。サスペンダが固定支持体に取り付けられている場所は、アンカーポイントと呼ばれる場合がある。「固定された」という用語は、支持体が、プルーフマスおよびサスペンションの振動モードに対しては実質的に動かないが、センサが全体として回転を受けるときに動くことを意味する。サスペンダの柔軟性により、プルーフマスが部分的に可動になり、結果、サスペンダを、駆動トランスデューサによって、プルーフマスの慣性およびサスペンションの適合性によって決定される共振周波数にあるか、またはそれに近い周波数にある、一次振動モードに設定することができる。
各カルテット中心点にアンカーポイントを配置し、対応するプルーフマスカルテットを当該アンカーポイントから懸架することが有益である場合が多い。カルテット中心点に位置するアンカーポイントを中心としたサスペンション構成は、中央サスペンション構成と呼ばれる場合がある。
中央サスペンション構成は、いくつかの事例において、プルーフマスカルテットの全重量を支え、所望の共振モードおよび所望の共振周波数においてプルーフマスのシステムを共振させるばね力を提供するのに十分であり得る。ただし、ほとんどの場合、1つまたは複数のアンカーポイントをプルーフマスカルテットの周辺近くにも配置し、プルーフマスカルテットを当該周辺アンカーポイントからも懸架することが有益である。プルーフマスカルテットの周辺付近のサスペンション構成は、周辺サスペンション構成と呼ばれる場合がある。
図12aは、第1のプルーフマスカルテットと第2のプルーフマスカルテットとの間の同期構成の一例を示す。参照符号1211〜1214および1221〜1224は、それぞれ図2a〜図2eの参照符号211〜214および221〜224、ならびに図3a〜図3bの参照符号311〜314および321〜324に対応する。参照符号124は、それぞれ図2aおよび図3bの参照符号255および355に対応する。
一次振動を促進するために、容量性またはピエゾ駆動トランスデューサをジャイロスコープに組み込むことができる。ジャイロスコープは、駆動トランスデューサに駆動電圧信号を印加するように構成された制御ユニットを備えることができる。駆動電圧信号の周波数は、一次振動モードの共振周波数を部分的に決定することができ、駆動電圧信号の振幅は、一次振動モードの振幅を部分的に決定することができる。同じ駆動電圧信号を複数の駆動トランスデューサに印加することができる。代替的に、2つの別個の駆動電圧信号が使用されてもよく、第1の駆動電圧信号と第2の駆動電圧信号との間の位相差は180度であってもよい。第1の駆動電圧信号が、第1のプルーフマスカルテット内の駆動トランスデューサに印加されてもよく、第2の駆動電圧信号が、第2のプルーフマスカルテット内の駆動トランスデューサに印加されてもよい。同じプルーフマスカルテット内のマスに、異なる駆動電圧信号を印加することもできる。一次振動を駆動するために、他の多くの駆動信号の代替形態も可能である。
Claims (12)
- 対応する第1のカルテット中心点および対応する第2のカルテット中心点が横軸上にある、デバイス平面内の第1のプルーフマスカルテットおよび第2のプルーフマスカルテットを備えることを特徴とする微小電気機械ジャイロスコープであって、
前記第1のプルーフマスカルテットを形成する4つのプルーフマスは、静止位置において、前記第1のカルテット中心点の周りに対称に配置され、
前記第1のカルテット中心点において、前記横軸が前記デバイス平面内で第1の交差軸に直交し、
前記第2のプルーフマスカルテットを形成する4つのプルーフマスは、静止位置において、前記第2のカルテット中心点の周りに対称に配置され、
前記第2のカルテット中心点において、前記横軸が前記デバイス平面内で第2の交差軸に直交し、
各プルーフマスカルテット内の第1のプルーフマスおよび第2のプルーフマスは、静止位置において前記横軸上で位置整合し、
前記第1のプルーフマスカルテット内の第3のプルーフマスおよび第4のプルーフマスは、静止位置において前記第1の交差軸上で位置整合し、
前記第2のプルーフマスカルテット内の第3のプルーフマスおよび第4のプルーフマスは、静止位置において前記第2の交差軸上で位置整合し、
対応する前記カルテット中心点に関する前記第1のプルーフマス、前記第2のプルーフマス、前記第3のプルーフマス、および前記第4のプルーフマスの相対位置は両方のカルテットにおいて同じであり、
前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスは、前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスに隣接し、機械的に結合されており、
前記ジャイロスコープは、前記第1のプルーフマスカルテットおよび前記第2のプルーフマスカルテットを一次振動運動に設定するための1つまたは複数の駆動トランスデューサと、前記ジャイロスコープが角回転を受ける場合に、コリオリの力によって誘導される前記第1のプルーフマスカルテットおよび前記第2のプルーフマスカルテットの二次振動運動を検出するための1つまたは複数のセンストランスデューサとをさらに備え、
前記ジャイロスコープは、前記第1のプルーフマスカルテットおよび前記第2のプルーフマスカルテットを固定支持構造から懸架するためのサスペンション構成をさらに備え、
前記構造は、前記第1のプルーフマスカルテットおよび前記第2のプルーフマスカルテットの前記一次振動運動および前記二次振動運動に対応するように構成されており、
前記駆動トランスデューサは、各プルーフマスカルテット内の4つのプルーフマスすべてを、第1の一次振動モードまたは第2の一次振動モードのいずれかにおいて、前記デバイス平面内の一次振動に設定するように構成されており、
結果、前記第1の一次振動モードにおいて、
−前記第1のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第1のカルテット中心点に向かっておよび前記第1のカルテット中心点から外方にともに半径方向に動き、前記第2のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第2のカルテット中心点に向かっておよび前記第2のカルテット中心点から外方にともに半径方向に動き、
−前記第2のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第2のプルーフマスカルテットから外方に半径方向に動くと、前記第1のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記デバイス平面内で前記第1のカルテット中心点に向かって半径方向に動き、および、逆のときは逆の動きになり、
前記第2の一次振動モードにおいて、
−前記第1のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第1のカルテット中心点に対して時計回りおよび反時計回りに、前記デバイス平面内でともに接線方向に動き、前記第2のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第2のカルテット中心点に対して時計回りおよび反時計回りに、前記デバイス平面内でともに接線方向に動き、
−前記第2のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第2のカルテット中心点に対して反時計回りに、前記デバイス平面内で接線方向に動くと、前記第1のプルーフマスカルテット内のすべてのプルーフマスが前記第1のカルテット中心点に対して時計回りに、前記デバイス平面内で接線方向に動き、および、逆のときは逆の動きになり、
前記第1のプルーフマスカルテットおよび前記第2のプルーフマスカルテットの前記二次振動モードは、z軸二次モード、x軸二次モード、および/またはy軸二次モードを含み、結果、前記一次振動モードが前記第1の一次振動モードである場合、
−前記デバイス平面に垂直なz軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記z軸二次モードは、前記第2の一次振動モードと同じであり、
−前記横軸に平行なx軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記x軸二次モードは、各プルーフマスカルテット内の前記第3のプルーフマスおよび前記第4のプルーフマスによって形成される2つのプルーフマス対が前記デバイス平面から外方に接線方向に振動する動きを含み、
−前記第1の交差軸および前記第2の交差軸に平行なy軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記y軸二次モードは、各プルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスによって形成される2つのプルーフマス対が前記デバイス平面から外方に接線方向に振動する動きを含み、
結果、各プルーフマスカルテットの前記一次振動モードが前記第2の一次振動モードである場合、
−前記z軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記z軸二次モードは、前記第1の一次振動モードと同じであり、
−前記x軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記x軸二次モードは、各プルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスによって形成される前記2つのプルーフマス対が前記デバイス平面から外方に接線方向に振動する動きを含み、
−前記y軸を中心とした前記ジャイロスコープの回転に応答して、前記y軸二次モードは、各プルーフマスカルテット内の前記第3のプルーフマスおよび前記第4のプルーフマスによって形成される前記2つのプルーフマス対が前記デバイス平面から外方に接線方向に振動する動きを含む、
微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記x軸二次モードと前記y軸二次モードの両方における少なくとも1つのプルーフマス対の面外振動が、回転成分を含むことを特徴とする、
請求項1に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記第1のプルーフマスカルテット内の第2のプルーフマスは、前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスが、対応する交差軸を中心として反対の面外方向に同時に回転することを可能にする少なくとも1つの結合ばねによって、前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスに機械的に結合されることを特徴とする、
請求項2に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記少なくとも1つの結合ばねは、前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスが、対応する垂直軸を中心として反対の面内方向に同時に回転することを可能にすることを特徴とする、
請求項2から3のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記少なくとも1つの結合ばねは、前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスの、前記横軸に平行な、任意の交差軸に平行な、または任意の垂直軸に平行な方向における同時の同位相線形並進を可能にすることを特徴とする、
請求項2から4のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記少なくとも1つの結合ばねは、前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスの、任意の交差軸または任意の垂直軸に平行な対向する方向における同時の逆位相線形並進に抵抗することを特徴とする、
請求項2から5のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記少なくとも1つの結合ばねは、前記第1のプルーフマスカルテット内の前記第2のプルーフマスおよび前記第2のプルーフマスカルテット内の前記第1のプルーフマスの、前記横軸を中心とした反対方向における同時回転に抵抗することを特徴とする、
請求項2から6のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記サスペンション構成は、前記第1のカルテット中心点に位置する第1の中央アンカーポイントから前記第1のプルーフマスカルテットを懸架する第1の中央サスペンション構成を備え、
前記サスペンション構成はまた、前記第2のカルテット中心点に位置する第2の中央アンカーポイントから前記第2のプルーフマスカルテットを懸架する第2の中央サスペンション構成をも備え、
前記第1の中央サスペンション構成および前記第2の中央サスペンション構成の少なくとも1つは、c1軸がc2軸と直交する、対応する前記第1の中央アンカーポイントまたは前記第2の中央アンカーポイントを中心とし、結果、前記c1軸は横方向または交差方向のいずれかであり、
前記中央サスペンション構成は、中央同期要素に囲まれた中央ジンバル要素を備え、
前記中央ジンバル要素は、対応する前記中央アンカーポイントからジンバルフレームまで延伸する内側ねじりばねと、前記ジンバルフレームから前記中央同期要素まで延伸する外側ねじりばねとを備え、
前記中央同期要素は、前記中央同期要素を囲む前記プルーフマスカルテット内の前記c1軸上に位置整合された前記2つのプルーフマスまで、前記c1軸に沿って反対方向に延伸する第1のc1トーションバーおよび第2のc1トーションバーを備え、
前記中央同期要素は、前記中央同期要素を囲む前記プルーフマスカルテット内の前記c2軸上に位置整合された前記2つのプルーフマスまで、前記c2軸に沿って反対方向に延伸する第1のc2トーションバーおよび第2のc2トーションバーを備えることを特徴とする、
請求項1から7のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記中央同期要素は、前記中央ジンバル要素の対向する両側で前記c1軸上に位置整合された第1の剛体および第2の剛体を備え、結果、前記第1の剛体の第1の端部が前記第2の剛体の第1の端部に対向しており、前記第1の剛体の第2の端部が前記第2の剛体の第2の端部に対向しており、
前記中央ジンバル要素の前記外側ねじりばねは、それぞれ前記第1の剛体および前記第2の剛体まで延伸し、
前記第1のc1トーションバーおよび前記第2のc1トーションバーは、それぞれ前記第1の剛体および前記第2の剛体に取り付けられ、
前記中央同期要素はまた、前記第1の剛体の前記第1の端部から前記第1のc2トーションバーまで延伸する第1の屈曲部と、前記第2の剛体の前記第1の端部から前記第1のc2トーションまで延伸する第2の屈曲部と、前記第1の剛体の前記第2の端部から前記第2のc2トーションバーまで延伸する第3の屈曲部と、前記第2の剛体の前記第2の端部から前記第2のc2トーションバーまで延伸する第4の屈曲部とを備えることを特徴とする、
請求項8に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記中央同期要素は、前記ジンバルフレームを囲む剛性中央同期フレームを備え、
前記中央ジンバル要素の前記外側ねじりばねは、前記中央同期フレームまで延伸し、前記中央同期要素は、
前記中央同期フレームの対向する両側で前記c1軸上に位置整合された第1の剛体および第2の剛体を備え、結果、前記第1の剛体の前記第1の端部が前記第2の剛体の前記第1の端部に対向しており、前記第1の剛体の前記第2の端部が前記第2の剛性フレームの前記第2の端部に対向しており、
前記第1の剛体の前記第1の端部は、前記c2軸上に位置整合された第1のU字型屈曲部を用いて前記第2の剛体の前記第1の端部に接合され、
前記第1の剛体の前記第2の端部は、前記c2軸上に位置整合された第2のU字型屈曲部を用いて前記第2の剛体の前記第2の端部に接合され、
前記第1のc2トーションバーが前記第1のU字型屈曲部の底部に取り付けられ、
前記第2のc2トーションバーが前記第2のU字型屈曲部の底部に取り付けられ、
前記中央同期要素は、前記中央同期フレームから前記第1のU字型屈曲部の第1の分枝まで延伸する第1の屈曲部と、前記中央同期フレームから前記第1のU字型屈曲部の第2の分枝まで延伸する第2の屈曲部と、前記中央同期フレームから前記第2のU字型屈曲部の第1の分枝まで延伸する第3の屈曲部と、前記中央同期フレームから前記第2のU字型屈曲部の第2の分枝まで延伸する第4の屈曲部とを備えることを特徴とする、
請求項8に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記中央同期要素は、
前記中央ジンバル要素の対向する両側で前記c1軸上に位置整合された第1の剛体および第2の剛体であって、結果、前記第1の剛体の第1の端部は前記第2の剛体の第1の端部に対向しており、前記第1の剛体の第2の端部は、前記第2の剛体の第2の端部に対向している、第1の剛体および第2の剛体と、
前記中央ジンバル要素の対向する両側で前記c2軸上に位置整合された第3の剛体および第4の剛体であって、結果、前記第3の剛体の第1の端部は前記第4の剛体の第1の端部に対向しており、前記第3の剛体の第2の端部は前記第4の剛体の第2の端部に対向している、第3の剛体および第4の剛体とを備え、
前記第1のc1トーションバーおよび前記第2のc1トーションバーはそれぞれ前記第1の剛体および前記第2の剛体に取り付けられ、
前記第1のc2トーションバーおよび前記第2のc2トーションバーはそれぞれ前記第3の剛体および前記第4の剛体に取り付けられ、
前記中央同期要素は、前記ジンバルフレームを囲む実質的に四角形可撓性中央同期フレームを備え、
前記中央ジンバル要素の前記外側ねじりばねは、前記四角形可撓性中央同期フレームの2つの対向するコーナまで、前記c1軸または前記c2軸のいずれかに沿って延伸し、
前記中央同期要素は4対のプッシュバーをさらに備え、
プッシュパーの各対は平行であり、前記第1の剛体、前記第2の剛体、前記第3の剛体または前記第4の剛体の2つの対向する端部から、前記四角形可撓性中央同期フレームの隣接する辺の中点まで延伸することを特徴とする、
請求項8に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。 - 前記サスペンション構成は、1つまたは複数の第1の周辺アンカーポイントから前記第1のプルーフマスカルテットを懸架する第1の周辺サスペンション構成を備え、
前記サスペンション構成はまた、1つまたは複数の第2の周辺アンカーポイントから前記第2のプルーフマスカルテットを懸架する第2の周辺サスペンション構成も備え、
前記第1の周辺サスペンション構成および前記第2の周辺サスペンション構成の少なくとも1つは、
−前記ジャイロスコープ中心点に対して対称に前記プルーフマスカルテットの周辺に配置された4つのコーナ要素を備え、隣接するコーナ要素の各対は、1つまたは複数の周辺サスペンダによって相互接続され、前記1つまたは複数の周辺サスペンダは、隣接する前記プルーフマスに取り付けられ、
各コーナ要素は、半径方向に柔軟なサスペンダによって1つまたは複数の周辺アンカーポイントから懸架されることを特徴とする、
請求項1から11のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20195117 | 2019-02-15 | ||
FI20195117 | 2019-02-15 | ||
FI20195343 | 2019-04-29 | ||
FI20195343 | 2019-04-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020160055A true JP2020160055A (ja) | 2020-10-01 |
JP6973522B2 JP6973522B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=69468520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020023321A Active JP6973522B2 (ja) | 2019-02-15 | 2020-02-14 | 振動に強い多軸ジャイロスコープ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11105630B2 (ja) |
EP (1) | EP3696503B1 (ja) |
JP (1) | JP6973522B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10466053B2 (en) * | 2017-04-04 | 2019-11-05 | Invensense, Inc. | Out-of-plane sensing gyroscope robust to external acceleration and rotation |
JP6891932B2 (ja) * | 2018-10-03 | 2021-06-18 | 株式会社村田製作所 | ピエゾz軸ジャイロスコープ |
US11193770B2 (en) * | 2019-09-10 | 2021-12-07 | Sensortek Technology Corp. | Microelectromechanical systems gyroscope |
FR3102240B1 (fr) * | 2019-10-18 | 2021-10-01 | Safran Electronics & Defense | Capteur à compensation mécanique de l’anisotropie de fréquence |
DE102020205369A1 (de) * | 2020-04-28 | 2021-10-28 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanisches Bauteil für einen Drehratensensor und entsprechendes Herstellungsverfahren |
US11740088B2 (en) * | 2020-11-27 | 2023-08-29 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope and method for compensating an output thermal drift in a microelectromechanical gyroscope |
US11796318B2 (en) * | 2021-08-18 | 2023-10-24 | Honeywell International Inc. | Rotation measurement system using Coriolis and Euler forces |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011504585A (ja) * | 2007-11-15 | 2011-02-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
Family Cites Families (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5635640A (en) * | 1995-06-06 | 1997-06-03 | Analog Devices, Inc. | Micromachined device with rotationally vibrated masses |
US6742389B2 (en) * | 2001-01-24 | 2004-06-01 | The Regents Of The University Of Michigan | Filter-based method and system for measuring angular speed of an object |
US6837107B2 (en) * | 2003-04-28 | 2005-01-04 | Analog Devices, Inc. | Micro-machined multi-sensor providing 1-axis of acceleration sensing and 2-axes of angular rate sensing |
US6848304B2 (en) | 2003-04-28 | 2005-02-01 | Analog Devices, Inc. | Six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor |
US6892575B2 (en) * | 2003-10-20 | 2005-05-17 | Invensense Inc. | X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US7421897B2 (en) * | 2005-04-14 | 2008-09-09 | Analog Devices, Inc. | Cross-quad and vertically coupled inertial sensors |
JP4761076B2 (ja) * | 2005-05-24 | 2011-08-31 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | ジャイロスコープ |
US7222533B2 (en) | 2005-06-06 | 2007-05-29 | Bei Technologies, Inc. | Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling |
FR2894661B1 (fr) * | 2005-12-13 | 2008-01-18 | Thales Sa | Gyrometre vibrant equilibre par un dispositif electrostatique |
EP1832841B1 (en) * | 2006-03-10 | 2015-12-30 | STMicroelectronics Srl | Microelectromechanical integrated sensor structure with rotary driving motion |
US7461552B2 (en) * | 2006-10-23 | 2008-12-09 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Dual axis rate sensor |
US8042396B2 (en) * | 2007-09-11 | 2011-10-25 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes |
DE102008002748A1 (de) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop |
DE102009001244A1 (de) | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
DE102009001922A1 (de) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um drei senkrecht aufeinanderstehende Raumachsen x, y und z |
US8151641B2 (en) | 2009-05-21 | 2012-04-10 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors |
US8266961B2 (en) * | 2009-08-04 | 2012-09-18 | Analog Devices, Inc. | Inertial sensors with reduced sensitivity to quadrature errors and micromachining inaccuracies |
US8534127B2 (en) * | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
US8701459B2 (en) * | 2009-10-20 | 2014-04-22 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for calibrating MEMS inertial sensors |
DE102010000811A1 (de) * | 2010-01-12 | 2011-07-14 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Mikromechanischer Drehratensensor mit zwei sensitiven Achsen und gekoppelten Detektionsmoden |
DE102010028005A1 (de) | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Bewegungen |
DE102010061755A1 (de) * | 2010-11-23 | 2012-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors |
FR2974896B1 (fr) * | 2011-05-02 | 2013-11-22 | Commissariat Energie Atomique | Centrale inertielle a plusieurs axes de detection |
FR2985029B1 (fr) | 2011-12-22 | 2014-10-24 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif micro/nano capteur inertiel multiaxial de mouvements |
US9212908B2 (en) * | 2012-04-26 | 2015-12-15 | Analog Devices, Inc. | MEMS gyroscopes with reduced errors |
KR101366990B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-02-24 | 삼성전기주식회사 | 각속도 센서 |
US9404747B2 (en) * | 2013-10-30 | 2016-08-02 | Stmicroelectroncs S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift |
DE102013223227A1 (de) | 2013-11-14 | 2015-05-21 | Robert Bosch Gmbh | Vibrationsrobuster Drehratensensor |
FI126071B (en) * | 2014-01-28 | 2016-06-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope structure and gyroscope |
US9995583B2 (en) * | 2014-05-15 | 2018-06-12 | Hanking Electronics, Ltd. | Systems and methods for MEMS gyroscope shock robustness |
EP3034997B1 (en) * | 2014-12-18 | 2020-12-16 | RISE Research Institutes of Sweden AB | Mems gyro |
US9810535B2 (en) * | 2015-02-10 | 2017-11-07 | Northrop Grumman Systems Corporation | Vibrating-mass gyroscope systems and method |
FI20155095A (fi) * | 2015-02-11 | 2016-08-12 | Murata Manufacturing Co | Mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
FI20155094A (fi) | 2015-02-11 | 2016-08-12 | Murata Manufacturing Co | Mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
DE102015117094B4 (de) * | 2015-10-07 | 2020-04-23 | Tdk Electronics Ag | MEMS-Drehratensensor |
ITUB20159197A1 (it) | 2015-12-29 | 2017-06-29 | St Microelectronics Srl | Giroscopio microelettromeccanico con reiezione di disturbi e metodo di rilevamento di una velocita' angolare |
US10371521B2 (en) * | 2016-05-26 | 2019-08-06 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a four-mass vibrating MEMS structure |
US20180031602A1 (en) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | Lumedyne Technologies Incorporated | Converting rotational motion to linear motion |
US10514259B2 (en) * | 2016-08-31 | 2019-12-24 | Analog Devices, Inc. | Quad proof mass MEMS gyroscope with outer couplers and related methods |
US10627235B2 (en) * | 2016-12-19 | 2020-04-21 | Analog Devices, Inc. | Flexural couplers for microelectromechanical systems (MEMS) devices |
US10415968B2 (en) | 2016-12-19 | 2019-09-17 | Analog Devices, Inc. | Synchronized mass gyroscope |
US10330476B2 (en) | 2017-07-12 | 2019-06-25 | Nxp Usa, Inc. | Angular rate sensor with in-phase motion suppression structure |
CN108020220B (zh) | 2017-12-07 | 2020-07-10 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种切向驱动双差分蝶翼式硅微陀螺及其应用方法 |
EP3671116B1 (en) * | 2018-12-19 | 2021-11-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Synchronized multi-axis gyroscope |
JP6879391B2 (ja) * | 2019-02-15 | 2021-06-02 | 株式会社村田製作所 | 同期フレームを有する多軸ジャイロスコープ |
-
2020
- 2020-02-10 EP EP20156380.6A patent/EP3696503B1/en active Active
- 2020-02-14 JP JP2020023321A patent/JP6973522B2/ja active Active
- 2020-02-18 US US16/793,141 patent/US11105630B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011504585A (ja) * | 2007-11-15 | 2011-02-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3696503B1 (en) | 2022-10-26 |
US11105630B2 (en) | 2021-08-31 |
JP6973522B2 (ja) | 2021-12-01 |
US20200263990A1 (en) | 2020-08-20 |
EP3696503A1 (en) | 2020-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6973522B2 (ja) | 振動に強い多軸ジャイロスコープ | |
JP6897806B2 (ja) | バランス型多軸ジャイロスコープ | |
US10760909B2 (en) | Angular rate sensor with in-phase drive and sense motion suppression | |
CN111578921B (zh) | 具有同步框架的多轴陀螺仪 | |
JP6849042B2 (ja) | 振動に強い多軸ジャイロスコープ | |
JP6933240B2 (ja) | 同期多軸ジャイロスコープ | |
JP6741113B2 (ja) | ジャイロスコープのための同期構造 | |
JP6973521B2 (ja) | 二重入力を有するジャイロスコープ | |
JP2020064054A (ja) | ピエゾz軸ジャイロスコープ | |
JP7180712B2 (ja) | マス対を備えたジャイロスコープ | |
JP2018508017A (ja) | マイクロメカニカル角速度センサ | |
JP2020091280A (ja) | 回転運動検出用微小電気機械デバイス | |
JP7151819B2 (ja) | 周囲検出を備えたジャイロスコープ | |
JP7276377B2 (ja) | 補助マスを有する多軸ジャイロスコープ | |
US10101159B2 (en) | Three axis gyroscope | |
EP4008999B1 (en) | Synchronized four mass gyroscope |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200615 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6973522 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |