JP6741113B2 - ジャイロスコープのための同期構造 - Google Patents
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Description
−第1の試験質量対の両方の試験質量が、第1の試験質量対の各試験質量を通る垂直軸を中心として第1の方向に第1の回転振動をしながら回転し、一方で、第2の試験質量対の両方の試験質量は、第2の試験質量対の各試験質量を通過する垂直軸を中心として、第1の方向とは反対の第2の方向において、第1の回転振動に対して逆相である第2の回転振動をしながら回転する。
Claims (6)
- 微小電気機械z軸ジャイロスコープであって、
第1の軸が第2の軸と実質的に直交して交差するジャイロスコープ中心点に中心を置く試験質量システムを備え、前記試験質量システムは、静止位置において第1の軸と位置整合されている第1の試験質量対と、静止位置において第2の軸と位置整合されている第2の試験質量対とを備え、その結果、前記第1の試験質量対および前記第2の試験質量対は、静止位置において、前記ジャイロスコープ中心点に対して本質的に対称な質量分布を形成し、前記第1の試験質量対および前記第2の試験質量対は、1つ以上の駆動トランスデューサによって基板面内で駆動振動モードに駆動され、前記ジャイロスコープが角回転を受けるときに前記基板面内でセンス振動モードを受けるように構成されており、
前記駆動振動モードと前記センス振動モードとのうちの一方は、前記第1の試験質量対と前記第2の試験質量対とが前記ジャイロスコープ中心点に対して逆相で振動するように、前記第1の試験質量対が、前記ジャイロスコープ中心点に対して対称に、前記第1の軸に沿って第1の線形対向振動をしながら動き、前記第2の試験質量対が、前記ジャイロスコープ中心点に対して、前記第2の軸に沿って第2の線形対向振動運動をしながら動く振動運動を含み、
前記駆動振動モードと前記センス振動モードとのうちの他方は、
前記第1の試験質量対が、前記第2の軸と平行な方向において前記第1の軸上の静止位置から外方への、および、静止位置に向かって戻る、第3の線形対向振動をしながら動き、前記第2の試験質量対が前記第1の軸と平行な方向において前記第2の軸上の静止位置から外方への、および、静止位置に向かって戻る、第4の線形対向振動をしながら動き、前記第3の線形対向振動および同じ線形対向振動は、それぞれの静止位置に対して同じ位相を有し、前記第1の試験質量対および前記第2の試験質量対は、前記ジャイロスコープ中心点を通る第3の軸と第4の軸の両方の方向に同相で振動し、前記第3の軸と前記第4の軸は互いに直交し、前記第1の軸および前記第2の軸に対して45°の角度で傾斜している運動と、前記第1の試験質量対の両方の試験質量が、前記第1の試験質量対の各試験質量を通る垂直軸を中心として第1の方向に第1の回転振動をしながら回転し、一方で、前記第2の試験質量対の両方の試験質量が、前記第2の試験質量対の各試験質量を通過する垂直軸を中心として、前記第1の方向とは反対の第2の方向において、前記第1の回転振動に対して逆相である第2の回転振動をしながら回転する運動と
のうちの一方を含み、
前記第1の試験質量対および前記第2の試験質量対の前記振動が、前記第1の試験質量対および前記第2の試験質量対よりも前記ジャイロスコープ中心点の近くに配置された実質的に円形の同期要素によって同期させられ、前記実質的に円形の同期要素は、前記ジャイロスコープ中心点に中心を置き、4つの第1の取り付け点を備え、各第1の取り付け点は、前記実質的に円形の同期要素が前記第1の軸または前記第2の軸と交差する点に配置されており、各試験質量は、前記実質的に円形の同期要素上の最も近い前記第1の取り付け点に取り付けられていることを特徴とし、
前記実質的に円形の同期要素が、2つ以上の第2の取り付け点をさらに備え、実質的に線形の懸架装置が、各第2の取り付け点からアンカー点まで接線方向に延伸することを特徴とする、
微小電気機械z軸ジャイロスコープ。 - 前記第2の取り付け点の数が4であることを特徴とする、請求項1に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
- 各第1の取り付け点が第2の取り付け点と一致することを特徴とする、請求項2に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
- 各試験質量の形状が、各二等辺三角形または等脚台形の底辺が前記ジャイロスコープ中心点から最も遠くなるように、前記ジャイロスコープ中心点に向けられる、実質的に二等辺三角形または等脚台形の形状であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
- 各試験質量が、取り付けビームを介して前記第1の取り付け点に取り付けられていることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
- 各アンカー点が、前記試験質量のうちの1つに形成されたキャビティ内に配置されていることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の微小電気機械ジャイロスコープ。
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