JP2020159451A - 電動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】減速機の剛性を高め、電動アクチュエータの効率低下を防止する。【解決手段】電動アクチュエータ１の差動装置５は、駆動回転体２、従動回転体３及び遊星回転体５２を備える。遊星回転体５２と駆動回転体２との間に第一減速機５ａが形成され、遊星回転体５２と従動回転体３との間に第二減速機５ｂが形成される。電動アクチュエータ１は、電動モータ４のロータ４２の内側で遊星回転体５２を支持する第一軸受５３と、ロータ４２と重ならないように軸方向にずれた位置で遊星回転体５２を支持する第二軸受５４とを備える。第二軸受５４は、深溝玉軸受により構成される。【選択図】図１

Description

本発明は、電動アクチュエータに関する。

外部から駆動力が入力される入力側と、入力された駆動力を出力する出力側とで、回転位相差を変化させることが可能な電動アクチュエータとして、例えば、自動車のエンジンの吸気バルブと排気バルブの一方または両方のバルブの開閉タイミングを変更する可変バルブタイミング装置に用いられるものが知られている。

一例として、特許文献１には、電動モータと、電動モータによる駆動力を得て回転力を減速して伝達するローラ減速機とを備えた電動アクチュエータが開示されている。この電動アクチュエータでは、電動モータによってローラ減速機が駆動されないときは、入力側の部材（例えば、スプロケット）と出力側の部材（例えば、カムシャフト）とが同期回転し、電動モータによってローラ減速機が駆動されるときは、当該ローラ減速機によって入力側の部材に対する出力側の部材の回転位相差が変更されることで、バルブの開閉タイミングが調整される。

他の例として、特許文献２には、サイクロイド減速機を備える電動アクチュエータが開示されている。この電動アクチュエータは、電動モータと、筒状の駆動回転体（入力回転体）及び従動回転体（出力回転体）と、電動モータのロータと一体に回転する筒状の偏心部材と、偏心部材の内側に配置された遊星回転体（内歯車）とを備える。電動アクチュエータのサイクロイド減速機は、駆動回転体の外周面に形成される第一外歯部と、従動回転体の外周面に形成される第二外歯部と、遊星回転体の内周面に形成されるとともに第一外歯部及び第二外歯部に噛み合う第一内歯部及び第二内歯部と、を備える。

ロータの内側に位置する偏心部材の内周面は、駆動回転体及び従動回転体の回転軸（中心軸）から偏心するように配置されている。遊星回転体は、偏心部材の内側に配された一つの針状ころ軸受によって、当該偏心部材に対して回転可能に支持されている。また、遊星回転体は、偏心部材の内周に配置されることで、駆動回転体及び従動回転体の回転軸から偏心して配置されている。

上記構成の電動アクチュエータの動作としては、電動モータに通電されず、電動モータから減速機へ駆動力が供給されない状態では、外部からの駆動力によって駆動回転体が回転駆動すると、駆動回転体の回転が遊星回転体を介して従動回転体に伝達されることで、従動回転体は駆動回転体と同期して回転する。

これに対して、電動モータに通電されて、電動モータから減速機に駆動力が供給された場合は、ロータと偏心部材とが一体に回転することで、遊星回転体が駆動回転体及び従動回転体に対して偏心運動する。これにより、偏心部材が１回転するごとに、第一内歯部と第一外歯部との係合箇所が一歯分ずつ周方向にずれることで、遊星回転体は駆動回転体に対して減速されて回転する。

また、この遊星回転体の回転運動と上記偏心運動とが相俟って、遊星回転体と従動回転体との関係では、偏心部材が１回転するごとに、第二内歯部と第二外歯部との係合箇所が一歯分ずつ周方向にずれる。これにより、従動回転体が遊星回転体に対して減速されて回転する。

特開２０１４−１５２７６６号公報 特開２０１８−１９４１５１号公報

特許文献１に開示される電動アクチュエータにおいて、ローラ減速機にて高減速比を実現しようとする場合、当該ローラ減速機の径方向寸法もしくは軸方向寸法が大きくなってしまい、電動アクチュエータの大型化を招くおそれがある。

特許文献２に係る電動アクチュエータでは、サイクロイド減速機を針状ころ軸受により支持していることから、電動アクチュエータの径方向の寸法増大を抑制できる。しかしながら、一つの針状ころ軸受のみでの支持になるため、減速機の剛性を十分に確保できているとはいえない。この電動アクチュエータでは、減速機が第一内歯部と第一外歯部、第二内歯部と第二外歯部との二段により構成されることから、針状ころ軸受のみによる支持では、電動モータが作動した場合における遊星回転体の偏心運動によってラジアル荷重が不均一となり、電動アクチュエータの効率低下を招くおそれがあった。

本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、減速機の剛性を高め、電動アクチュエータの効率低下を防止することを技術的課題とする。

本発明に係る電動アクチュエータは上記の課題を解決するためのものであり、回転軸を中心として回転可能の駆動回転体、自転可能でかつ前記回転軸を中心として公転可能の遊星回転体、および前記回転軸を中心として回転可能の従動回転体を有し、前記遊星回転体が前記駆動回転体および前記従動回転体のそれぞれと噛み合い、前記遊星回転体と前記駆動回転体との間に第一減速機を形成し、前記遊星回転体と前記従動回転体との間に第二減速機を形成し、前記第一減速機の減速比と前記第二減速機の減速比とを異ならせた差動装置と、前記遊星回転体を駆動するロータを有する電動モータと、前記ロータの内側で前記遊星回転体を支持する第一軸受と、前記ロータと重ならないように軸方向にずれた位置で前記遊星回転体を支持する第二軸受とを備え、前記第二軸受は、深溝玉軸受であることを特徴とする。

かかる構成によれば、第一減速機及び第二減速機を構成する遊星回転体を第一軸受及び第二軸受に支持するとともに、第二軸受を深溝玉軸受により構成することで、第一減速機及び第二減速機の剛性を高めることができる。これにより、遊星回転体のスキューの発生を防止でき、ひいては電動アクチュエータの効率低下を防止できる。

前記第二軸受は、前記第一減速機と前記第二減速機の双方を支持することができる。これにより、第一減速機及び第二減速機の剛性を高め、電動アクチュエータの効率低下を効果的に防止できる。

前記差動装置は、前記ロータと一体に回転し、前記駆動回転体に対する前記従動回転体の回転位相差を変更する偏心部材を備え、前記第二軸受は、前記偏心部材の内周に固定される外輪と、前記遊星回転体の外周に固定される内輪とを備え得る。

前記第一軸受は、針状ころ軸受であってもよい。これにより、電動アクチュエータの半径方向における寸法を可及的に小さくできる。

本発明に係る電動アクチュエータは、前記駆動回転体に設けられるスプロケットと、前記従動回転体に設けられるカムシャフトとを備え、前記スプロケットと前記カムシャフトとの回転位相差を変更してバルブの開閉タイミングを変更する可変バルブタイミング装置に適用できる。

本発明によれば、減速機の剛性を高め、電動アクチュエータの効率低下を防止できる。

本発明に係る電動アクチュエータの断面図である。 電動アクチュエータの分解斜視図である。 電動アクチュエータの要部拡大断面図である。 図１のＡ−Ａ矢視線断面図である。 図１のＢ−Ｂ矢視線断面図である。

以下、添付の図面に基づいて、本発明を実施するための形態について説明する。なお、本発明を説明するための各図面において、同一の機能もしくは形状を有する部材や構成部品等の構成要素については、判別が可能な限り同一符号を付すことにより一度説明した後ではその説明を省略する。

図１は、本実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図、図２は、当該電動アクチュエータの分解斜視図、図３は、当該電動アクチュエータの要部拡大断面図である。本実施形態に係る電動アクチュエータは、例えばエンジン（駆動源）の可変バルブタイミング装置として用いられるが、この用途に限定されるものではない。

図１乃至図３に示すように、電動アクチュエータ１は、駆動回転体２と、従動回転体３と、電動モータ４と、差動装置５と、これらを収容するケーシング６とを主要な構成要素として備える。

駆動回転体２は、全体として軸方向両端が開口した円筒状に構成されており、本体２１と、エンジンからの駆動力の入力部となるスプロケット２２とを有する。本体２１及びスプロケット２２は、何れも回転軸Ｏを中心として同軸上に配置される。従って、本体２１及びスプロケット２２は、エンジンからの駆動力により、回転軸Ｏを中心として一体に回転する。

本体２１は、スプロケット２２が設けられる第一筒部２１ａと、ケーシング６に支持される第二筒部２１ｂと、差動装置５の一部として機能する第三筒部２１ｃと、を備える。スプロケット２２は、本体２１の第一筒部２１ａにトルク伝達可能に設けられ、エンジンからチェーンを介して伝達された駆動力により回転駆動される。

従動回転体３は、駆動回転体２から伝達された駆動力を出力する部材であり、円筒状の本体３１と、カムシャフト３２とを有する。カムシャフト３２は、一つあるいは複数のカム（図示省略）を備え、エンジンの吸気バルブおよび排気バルブの少なくとも一方を駆動するように構成される。本体３１およびカムシャフト３２は、回転軸Ｏ上で同軸に配置され、センタボルト３３によって互いに結合されている。これにより、本体３１およびカムシャフト３２は、回転軸Ｏを中心として一体に回転する。

カムシャフト３２の外周面と、駆動回転体２に係る本体２１の第一筒部２１ａの内周面との間には軸受８が配置されている。駆動回転体２に係る本体２１の第二筒部２１ｂの外周面とケーシング６との間には軸受９が配置されている。これらの軸受８，９により、駆動回転体２と従動回転体３の間の相対回転が許容される。軸受８，９は、転がり軸受により構成されるが、これに限らず、滑り軸受その他の軸受で構成することができる。

ケーシング６は、組み立ての都合上、有底円筒状のケーシング本体６ａと、蓋部６ｂとに分割されている。ケーシング本体６ａと蓋部６ｂとは、ボルト等の締結手段を用いて一体化される。蓋部６ｂには、電動モータ４へ給電するための給電線や、電動モータ４の回転数を検知する図示しない回転数検知センサに接続される信号線を、外部に引き出すための筒状の突起６ｃ，６ｄ（図２参照）が設けられている。ケーシング６の蓋部６ｂの内周面と従動回転体３の本体３１の外周面との間には軸受１３が配置されている。

電動モータ４は、ケーシング本体６ａに固定されたステータ４１と、ステータ４１の半径方向内側に隙間をもって対向するように配置されたロータ４２とを有するラジアルギャップ型のモータである。ステータ４１は、軸方向に積層した複数の電磁鋼板から成るステータコア４１ａと、ステータコア４１ａに装着された絶縁材料から成るボビン４１ｂと、ボビン４１ｂに巻き回されたステータコイル４１ｃとで構成されている。ロータ４２は、環状のロータコア（ロータインナ）４２ａと、ロータコア４２ａに取り付けられた複数のマグネット４２ｂとで構成されている。電動モータ４は、ステータ４１とロータ４２の間に作用する励磁力により、ロータ４２を、回転軸Ｏを中心として回転させる。

差動装置５は、駆動回転体２の本体２１と、従動回転体３の本体３１と、ロータ４２と一体に回転する偏心部材５１と、偏心部材５１の内周に配置された遊星回転体５２と、偏心部材５１と遊星回転体５２との間に配置された第一軸受５３及び第二軸受５４と、を主要な構成要素として備える。

偏心部材５１は、全体として軸方向両端が開口した円筒状に構成されており、大径筒部５１ａと、大径筒部５１ａよりも小径に構成される中径筒部５１ｂと、中径筒部５１ｂより小径に形成される小径筒部５１ｃとを一体に有する。

大径筒部５１ａは、ロータコア４２ａと重ならないように、中径筒部５１ｂから軸方向に突出している。大径筒部５１ａは、軸受１７を介してケーシング６のケーシング本体６ａに回転自在に支持されている。中径筒部５１ｂは、軸方向においてロータコア４２ａと重なるように、当該ロータコア４２ａの内周に固定されている。小径筒部５１ｃは、ロータコア４２ａと重ならないように、中径筒部５１ｂから軸方向（大径筒部５１ａとは反対側）に突出している。小径筒部５１ｃは、軸受１８を介してケーシング６の蓋部６ｂに回転自在に支持されている。

大径筒部５１ａの外周面、中径筒部５１ｂの外周面及び小径筒部５１ｃの外周面は、回転軸Ｏと同軸に形成された円筒面である。偏心部材５１の大径筒部５１ａの内周面には、回転軸Ｏに対して偏心した円筒面上の偏心内周面５１ａ１が形成されている。また、偏心部材５１の中径筒部５１ｂの内周面には、回転軸Ｏに対して偏心した円筒面状の偏心内周面５１ｂ１が形成されている。偏心部材５１の大径筒部５１ａ及び中径筒部５１ｂは、その外周面と偏心内周面５１ａ１，５１ｂ１との関係から、厚肉部分と薄肉部分とを有している。

遊星回転体５２は、全体として軸方向両端が開口した円筒状に構成されており、大径筒部５２ａと、小径筒部５２ｂとを備える。大径筒部５２ａの内周には第一内歯部５５が形成され、小径筒部５２ｂの内周には第二内歯部５６が形成されている。第一内歯部５５と第二内歯部５６は、何れも半径方向の断面が曲線（例えばトロコロイド系曲線）を描く複数の歯で構成されている。第一内歯部５５と第二内歯部５６は軸方向にずれた位置に形成されている。第二内歯部５６のピッチ円径は第一内歯部５５のピッチ円径よりも小さい。また、第二内歯部５６の歯数は、第一内歯部５５の歯数よりも少ない。

第二内歯部５６の歯幅方向における第一内歯部５５側の端部５６ａは、遊星回転体５２の大径筒部５２ａの外周面と軸方向において重なるように形成されている。換言すると、第二内歯部５６の一部（端部５６ａ）は、軸方向（歯幅方向）において第二軸受５４と重なるように形成されている。

駆動回転体２に係る本体２１の第三筒部２１ｃの外周面には、第一内歯部５５と噛み合う第一外歯部５７が形成されている。また、従動回転体３に係る本体３１の外周面には、第二内歯部５６と噛み合う第二外歯部５８が形成されている。第一外歯部５７および第二外歯部５８は、何れも半径方向の断面が曲線（例えばトロコイド系曲線）を描く複数の歯で形成されている。第二外歯部５８のピッチ円径は第一外歯部５７のピッチ円径よりも小さく、第二外歯部５８の歯数は、第一外歯部５７の歯数よりも少ない。

第二外歯部５８における歯幅方向の一端部５８ａは、遊星回転体５２の大径筒部５２ａの外周面と軸方向において重なるように配されている。換言すると、第二外歯部５８の一部（端部５８ａ）は、軸方向（歯幅方向）において第二軸受５４と重なるように形成されている。

第一外歯部５７の歯数は、互いに噛み合う第一内歯部５５の歯数よりも少なく、好ましくは一つ少ない。同様に、第二外歯部５８の歯数も、互いに噛み合う第二内歯部５６の歯数よりも少なく、好ましくは一つ少ない。一例として、本実施形態では、第一内歯部５５の歯数を２４個、第二内歯部５６の歯数を２０個、第一外歯部５７の歯数を２３個、第二外歯部５８の歯数を１９個としている。

互いに噛み合う第一内歯部５５と第一外歯部５７は第一減速機５ａを構成し、第二内歯部５６と第二外歯部５８は第二減速機５ｂを構成する。第一減速機５ａおよび第二減速機５ｂは、何れもサイクロイド減速機と呼ばれるものである。二つの減速機５ａ，５ｂの減速比は異なっており、本実施形態では第一減速機５ａの減速比を第二減速機５ｂの減速比よりも大きくしている。このように二つの減速機５ａ，５ｂの減速比を異ならせることで、カムシャフト３２の回転を、電動モータ４の作動状態に応じて変化させる（差動させる）ことが可能となる。

第一軸受５３は、偏心部材５１の偏心内周面５１ｂ１と、遊星回転体５２の小径筒部５２ｂの外周面との間に配置される。従って、遊星回転体５２の外周面および内周面の中心（Ｐ）は、回転軸Ｏに対して偏心した位置にある。この第一軸受５３により、遊星回転体５２は、偏心部材５１に対して相対回転可能に支持される。第一軸受５３は、例えば外輪５３ａと、転動体５３ｂ（針状ころ）とを有する針状ころ軸受で構成される。外輪５３ａは、偏心部材５１に係る中径筒部５１ｂの偏心内周面５１ｂ１に固定されている。転動体５３ｂは、遊星回転体５２の小径筒部５１ｃの外周面（転走面）に接触している。

第二軸受５４は、電動モータ４のロータコア４２ａの内周に重ならないように、第一軸受５３から軸方向にずれた位置に配される。具体的には、第二軸受５４は、遊星回転体５２の大径筒部５２ａと、偏心部材５１に係る大径筒部５１ａの偏心内周面５１ａ１との間に配される。

第二軸受５４は、外輪５４ａと、内輪５４ｂと、転動体５４ｃ（ボール）とを有する深溝玉軸受で構成される。第二軸受５４の外輪５４ａは、偏心部材５１の大径筒部５１ａの偏心内周面５１ａ１に固定（圧入）されている。第二軸受５４の内輪５４ｂは、遊星回転体５２の大径筒部５２ａの外周面に固定（圧入）されている。

第二軸受５４は、第一減速機５ａと第二減速機５ｂの双方を支持するように、各減速機５ａ，５ｂに跨って配置される。すなわち、第二軸受５４は、軸方向において第一減速機５ａの一部と重なるように、かつ軸方向において第二減速機５ｂの一部と重なるように偏心部材５１と遊星回転体５２との間に配される。図３に示すように、第二軸受５４と第一減速機５ａとが重なり合う距離Ｄ１は、第二軸受５４と第二減速機５ｂとが重なり合う距離Ｄ２よりも大きい。

図４は、第一減速機５ａで切断した断面図（図１におけるＡ−Ａ線矢視断面図）、図５は、第二減速機５ｂで切断した断面図（図１におけるＢ−Ｂ線矢視断面図）である。

図４に示すように、第一内歯部５５の中心Ｐは、回転軸Ｏに対して径方向に距離Ｅ偏心している。従って、第一内歯部５５と第一外歯部５７は、周方向の一部の領域で互いに噛み合った状態となり、これとは径方向反対側の領域で噛み合わない状態となる。また、図５に示すように、第二内歯部５６の中心Ｐも回転軸Ｏに対して径方向に距離Ｅ偏心しているため、第二内歯部５６と第二外歯部５８とは、周方向の一部の領域で互いに噛み合った状態となり、これとは径方向反対側の領域で噛み合わない状態となる。なお、図４及び図５では、互いの矢視方向が異なっているため、第一内歯部５５と第二内歯部５６のそれぞれの偏心方向が各図において互いに左右逆方向に示されているが、第一内歯部５５及び第二内歯部５６は同じ方向に同じ距離Ｅだけ偏心している。

ここで、差動装置５の減速比をｉ、モータ回転速度をｎｍ、スプロケット２２の回転速度をｎｓとすると、出力回転位相角度差は（ｎｍ−ｎｓ)／ｉとなる。

また、第一減速機５ａの減速比をｉ１、第二減速機５ｂの減速比をｉ２とすると、本実施形態に係る差動装置５の減速比は、下記式１によって求められる。

減速比＝ｉ１×ｉ２／｜ｉ１−ｉ２｜・・・式１

例えば、第一減速機５ａの減速比（ｉ１）が２４／２３、第二減速機５ｂの減速比（ｉ２）が２０／１９の場合、上記式１から減速比は１２０となる。このように、本実施形態に係る差動装置５では、大きな減速比によって高トルクを得ることが可能である。

本実施形態の電動アクチュエータ１では、遊星回転体５２の内径側に駆動回転体２および従動回転体３を配置しているため、遊星回転体５２を駆動する電動モータ４として中空モータを採用し、この中空モータを遊星回転体５２の外径側に配置するレイアウトを採用している。そのため、スペース効率が良好となり、電動アクチュエータ１のコンパクト化（特に軸方向寸法のコンパクト化）を達成できるメリットが得られる。

また、本実施形態の電動アクチュエータ１では、ロータ４２の内径側に第一軸受５３として針状ころ軸受を採用していることから、電動アクチュエータ１の径方向寸法を可及的に小さくできる。加えて、ロータコア４２ａと重ならないように軸方向にずれた位置に第二軸受５４としての深溝玉軸受を配していることから、径方向の寸法増大を防止しつつ、第一減速機５ａ及び第二減速機５ｂの剛性を可及的に高め、遊星回転体５２に生じるスキューを抑制することで、電動アクチュエータ１の効率低下を防止することが可能になる。

続いて、図１乃至図５を参照しつつ本実施形態に係る電動アクチュエータの動作について説明する。

エンジンの動作中は、スプロケット２２に伝達されたエンジンからの駆動力によって駆動回転体２が回転する。

電動モータ４に通電されず、電動モータ４から差動装置５への入力がない状態では、駆動回転体２の回転が遊星回転体５２を介して従動回転体３に伝達され、従動回転体３は駆動回転体２と一体に回転する。すなわち、駆動回転体２と遊星回転体５２は、第一内歯部５５と第一外歯部５７との噛み合い部でのトルク伝達により、この噛み合い状態を保持したまま一体に回転する。同様に、遊星回転体５２と従動回転体３も第二内歯部５６と第二外歯部５８の噛み合い位置を保持したまま一体に回転する。そのため、駆動回転体２と従動回転体３は同じ回転位相を保持しながら回転する。

その後、例えばエンジンがアイドル運転などの低回転域に移行した際には、公知の手段、例えば、電子制御などによって電動モータ４に通電し、ロータ４２をスプロケット２２の回転数よりも相対的に遅く又は速く回転させる。電動モータ４を作動させると、ロータ４２のロータコア４２ａに結合された偏心部材５１が回転軸Ｏを中心として一体に回転する。これに伴い、薄肉部分と厚肉部分とを備えた偏心部材５１の回転に伴う押圧力が第一軸受５３を介して遊星回転体５２に作用する。この押圧力により、第一内歯部５５と第一外歯部５７との噛み合い部で周方向の分力が生じるため、遊星回転体５２が駆動回転体２に対して相対的に偏心回転運動を行う。つまり、遊星回転体５２が回転軸Ｏを中心として公転しながら、第一内歯部５５および第二内歯部５６の中心Ｐを中心として自転する。この際、遊星回転体５２が１回公転するごとに、第一内歯部５５と第一外歯部５７との噛み合い位置が一歯分ずつ周方向にずれるため、遊星回転体５２は減速されつつ回転（自転）する。

また、遊星回転体５２が上述の偏心回転運動を行うことにより、遊星回転体５２の１回の公転ごとに、第二内歯部５６と第二外歯部５８との噛み合い箇所が一歯分ずつ周方向にずれる。これにより、従動回転体３が遊星回転体５２に対して減速されつつ回転する。このように、遊星回転体５２を電動モータ４で駆動することにより、スプロケット２２からの駆動力に電動モータ４からの駆動力が重畳され、従動回転体３の回転が、電動モータ４からの駆動力の影響を受ける差動の状態となる。そのため、駆動回転体２に対する従動回転体３の相対的な回転位相差を正逆方向に変更することが可能となり、カムシャフト３２のカムによるバルブの開閉タイミングを進角方向もしくは遅角方向に変更することができる。

このようにバルブの開閉タイミングを変更することにより、アイドル運転時におけるエンジンの回転の安定化と燃費の向上を図ることができる。また、アイドル状態からエンジンの運転が通常運転に移行し、例えば、高速回転に移行した際には、スプロケット２２に対する電動モータ４の相対回転の速度差を大きくすることで、スプロケット２２に対するカムシャフト３２の回転位相差を高回転に適した回転位相差に変更することができ、エンジンの高出力化を図ることが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、第一軸受５３は、針状ころ軸受として例示されたが、これに限らず深溝玉軸受等の軸受により構成されてもよい。

１ 電動アクチュエータ
２ 駆動回転体
３ 従動回転体
４ 電動モータ
５ 差動装置
５ａ 第一減速機
５ｂ 第二減速機
２２ スプロケット
３２ カムシャフト
４２ ロータ
５１ 偏心部材
５２ 遊星回転体
５３ 第一軸受
５４ 第二軸受
５４ａ 第二軸受の外輪
５４ｂ 第二軸受の内輪
Ｏ 回転軸

Claims (5)

1. 回転軸を中心として回転可能の駆動回転体、自転可能でかつ前記回転軸を中心として公転可能の遊星回転体、および前記回転軸を中心として回転可能の従動回転体を有し、前記遊星回転体が前記駆動回転体および前記従動回転体のそれぞれと噛み合い、前記遊星回転体と前記駆動回転体との間に第一減速機を形成し、前記遊星回転体と前記従動回転体との間に第二減速機を形成し、前記第一減速機の減速比と前記第二減速機の減速比とを異ならせた差動装置と、
   前記遊星回転体を駆動するロータを有する電動モータと、
   前記ロータの内側で前記遊星回転体を支持する第一軸受と、前記ロータと重ならないように軸方向にずれた位置で前記遊星回転体を支持する第二軸受とを備え、
   前記第二軸受は、深溝玉軸受であることを特徴とする電動アクチュエータ。
2. 前記第二軸受は、前記第一減速機と前記第二減速機の双方を支持する請求項１に記載の電動アクチュエータ。
3. 前記差動装置は、前記ロータと一体に回転し、前記駆動回転体に対する前記従動回転体の回転位相差を変更する偏心部材を備え、
   前記第二軸受は、前記偏心部材の内周に固定される外輪と、前記遊星回転体の外周に固定される内輪とを備える請求項１又は２に記載の電動アクチュエータ。
4. 前記第一軸受は、針状ころ軸受である請求項１から３のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
5. 前記駆動回転体に設けられるスプロケットと、前記従動回転体に設けられるカムシャフトとを備え、
   前記スプロケットと前記カムシャフトとの回転位相差を変更してバルブの開閉タイミングを変更する可変バルブタイミング装置に適用した請求項１から４のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
   

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