JP2020150325A - 振動デバイス、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
Description
前記ベースに支持されている中継基板と、
前記中継基板に支持されている振動素子と、を有し、
前記中継基板は、直接または間接的に前記ベースに固定されている固定部と、前記振動素子が載置されている載置部と、前記固定部と前記載置部とを接続する梁部と、を有し、
前記載置部の前記振動素子と接続される部分は、平面視で、前記固定部を間に挟んで前記固定部の両側に位置していることを特徴とする。
前記第1凹部の底面に前記回路素子が支持され、
前記回路素子と前記第2凹部の底面との間に前記中継基板および振動素子が位置し、
前記回路素子は、前記第2凹部の底面側の面において、前記第1凹部の底面と接続されていると共に前記中継基板と接続されていることが好ましい。
前記第1面が前記ベースと接続され、
前記第2面が前記中継基板と接続されていることが好ましい。
前記中継基板は、前記固定部の前記振動素子と重なっていない領域において前記回路素子と接続されていることが好ましい。
前記第1凹部の底面に前記回路素子が接続され、
前記第2凹部の底面に前記中継基板が接続されていることが好ましい。
前記梁部は、前記載置部と前記固定部との間に位置し、前記載置部を囲む枠状をなす枠部と、前記固定部と前記枠部とを接続する第1梁部と、前記載置部と前記枠部とを接続する第2梁部と、を有し、
前記第1梁部の中心軸の方向と前記第2梁部の中心軸の方向とが交差していることが好ましい。
前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、を備えていることを特徴とする。
前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、を備えていることを特徴とする。
図1は、第1実施形態に係る振動デバイスを示す断面図である。図2は、図1の振動デバイスを示す平面図である。図3は、図1の振動デバイスが有する振動素子を下側から見た平面図である。図4および図5は、図3の振動素子の駆動を説明する模式図である。図6は、図1の振動デバイスが有する中継基板を下側から見た平面図である。図7は、中継基板を回路素子に接続する方法を示す模式図である。図8は、中継基板の変形例を下側から見た平面図である。なお、説明の便宜上、各図には、互いに直交する3軸であるA軸、B軸およびC軸を示している。また、以下では、各軸の矢印先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。また、C軸方向のプラス側を「上」とも言い、マイナス側を「下」とも言う。また、C軸方向からの平面視を、単に「平面視」とも言う。
図9は、第2実施形態の振動デバイスを示す断面図である。
図10は、第3実施形態の振動デバイスを示す断面図である。
図11は、第4実施形態の振動デバイスを示す断面図である。
図12は、第5実施形態のパーソナルコンピューターを示す斜視図である。
図13は、第6実施形態の携帯電話機を示す斜視図である。
図14は、第7実施形態のデジタルスチールカメラを示す斜視図である。
図15は、第8実施形態の自動車を示す斜視図である。
Claims (13)
- ベースと、
前記ベースに支持されている中継基板と、
前記中継基板に支持されている振動素子と、を有し、
前記中継基板は、直接または間接的に前記ベースに固定されている固定部と、前記振動素子が載置されている載置部と、前記固定部と前記載置部とを接続する梁部と、を有し、
前記載置部の前記振動素子と接続される部分は、平面視で、前記固定部を間に挟んで前記固定部の両側に位置していることを特徴とする振動デバイス。 - 前記ベースに支持され、前記振動素子と電気的に接続されている回路素子を有する請求項1に記載の振動デバイス。
- 前記中継基板は、前記回路素子を介して前記ベースに支持されている請求項1または2に記載の振動デバイス。
- 前記ベースは、第1凹部と、前記第1凹部の底面に開口する第2凹部と、を有し、
前記第1凹部の底面に前記回路素子が支持され、
前記回路素子と前記第2凹部の底面との間に前記中継基板および振動素子が位置し、
前記回路素子は、前記第2凹部の底面側の面において、前記第1凹部の底面と接続されていると共に前記中継基板と接続されている請求項3に記載の振動デバイス。 - 前記回路素子は、前記面の外周部において前記第1凹部の底面と接続され、前記面の中央部において前記中継基板と接続されている請求項4に記載の振動デバイス。
- 前記中継基板は、前記回路素子と前記振動素子との間に位置している請求項4に記載の振動デバイス。
- 前記回路素子は、表裏関係にある第1面および第2面を有し、
前記第1面が前記ベースと接続され、
前記第2面が前記中継基板と接続されている請求項3に記載の振動デバイス。 - 前記中継基板の平面視で、
前記中継基板は、前記固定部の前記振動素子と重なっていない領域において前記回路素子と接続されている請求項3ないし7のいずれか1項に記載の振動デバイス。 - 前記ベースは、第1凹部と、前記第1凹部の底面に開口する第2凹部と、を有し、
前記第1凹部の底面に前記回路素子が接続され、
前記第2凹部の底面に前記中継基板が接続されている請求項2に記載の振動デバイス。 - 前記中継基板は、前記振動素子と同じ材料で構成されている請求項1ないし9のいずれか1項に記載の振動デバイス。
- 前記中継基板の平面視で、
前記梁部は、前記載置部と前記固定部との間に位置し、前記載置部を囲む枠状をなす枠部と、前記固定部と前記枠部とを接続する第1梁部と、前記載置部と前記枠部とを接続する第2梁部と、を有し、
前記第1梁部の中心軸の方向と前記第2梁部の中心軸の方向とが交差している請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動デバイス。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の振動デバイスと、
前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、を備えていることを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の振動デバイスと、
前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、を備えていることを特徴とする移動体。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012124282A1 (ja) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | パナソニック株式会社 | センサ |
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Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009302701A (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 恒温型の水晶デバイス |
JP5652155B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法 |
JP2014089049A (ja) | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Tdk Corp | 角速度センサ |
JP6083214B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器、及び移動体 |
JP6517553B2 (ja) | 2015-03-19 | 2019-05-22 | 京セラ株式会社 | 角速度センサ |
JP2017220702A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、振動子の製造方法、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP7027841B2 (ja) | 2017-11-29 | 2022-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
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Patent Citations (3)
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WO2012124282A1 (ja) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | パナソニック株式会社 | センサ |
JP2017044686A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出デバイス、物理量検出デバイスの製造方法、電子機器及び移動体 |
JP2018159674A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、角速度センサー、電子機器および移動体 |
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