JP2020150281A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 窒素が充填されるウェーハ搬送室に隣接して設けられ、当該ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でのウェーハの出し入れを行うためのロードポートであって、
   前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、当該ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成された板状部と、
   前記開口を開閉するための扉部と、
   前記ウェーハ収納容器の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置して前記板状部に向かって進退可能とする載置台と、
   前記載置台に載置された前記ウェーハ収納容器を、前記載置台に対して固定する固定部と、
   前記ウェーハ収容容器に設けられた鍔部に係合する係合片を備えたクランプユニットと、
   前記開口の周縁に沿って前記板状部の前記載置台側に設けられた弾性材とを具備し、
   前記前記固定部により前記載置台に固定された前記ウェーハ収納容器を、前記載置台と共に前記板状部に向かって移動し前記ウェーハ収納容器における前記蓋部の周囲の当接面に前記弾性材が弾接し、さらに前記開口部の両側部に設けられた前記クランプユニットが作動して前記鍔部を前記板状部側へ引き込むことで前記弾性材を前記当接面に、より密着させてシール性を高める、ことを特徴とするロードポート。
2. 前記弾性材はOリングであって、前記Oリングは前記板状部の前記開口を周回するように設けられたアリ溝に支持される請求項１に記載のロードポート。
3. 前記扉部の前記板状部側にアリ溝で支持される扉部弾性材をさらに備え、前記扉部によって前記開口を閉止することで、前記扉部弾性材と前記板状部とが弾接する請求項１又は２に記載のロードポート。
4. 前記ウェーハ収納容器に設けられたガス供給弁を介して当該ウェーハ収納容器内にガスを供給するためのガス供給手段を備える請求項１から３のいずれかに記載のロードポート。
5. 前記クランプユニットを動作させた状態、かつ前記扉部により前記蓋部を前記ウェーハ収納容器から離間させて前記開口を開放した状態において、前記ガス供給ノズルからガスの供給を継続する請求項４に記載のロードポート。
6. 不活性ガスが充填されたウェーハ搬送室を有するＥＦＥＭであって、
   前記ウェーハ搬送室に設けられる前記ウェーハを搬送する搬送装置と、
   前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、当該ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成された板状部と、
   前記開口を開閉するための扉部と、
   前記ウェーハ収納容器の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置して、前記板状部に向かって進退可能に設けられる載置台と、
   前記載置台に載置された前記ウェーハ収納容器を前記載置台に対して固定する固定部と、
   前記ウェーハ収納容器に設けられた鍔部に係合する係合片を備えたクランプユニットと、
   前記開口の周縁に沿って前記板状部の前記載置台側に設けられた弾性材とを具備し、
   前記固定部により載置台に固定された前記ウェーハ収納容器を、前記載置台と共に前記板状部に向かって移動し前記ウェーハ収納容器における前記蓋部の周囲の当接面に前記弾性材が弾接し、さらに前記開口部の両側部に設けられた前記クランプユニットが作動して前記鍔部を前記板状部側へ引き込むことで、前記弾性材が前記当接面により密着させシール性を高める、ことを特徴とするＥＦＥＭ。
7. 前記弾性材はOリングであって、前記Oリングは前記板状部の前記開口を周回するように設けられたアリ溝に支持される請求項６に記載のＥＦＥＭ。
8. 前記扉部の前記板状部側にアリ溝で支持される扉部弾性材をさらに備え、前記扉部によって前記開口を閉止することで、前記扉部弾性材と前記板状部とが弾接する請求項６又は７に記載のＥＦＥＭ。
9. 前記ウェーハ収納容器に設けられたガス供給弁を介して当該ウェーハ収納容器内にガスを供給するためのガス供給手段を備え、前記クランプユニットを動作させた状態、かつ前記扉部により前記蓋部を前記ウェーハ収納容器から離間させて前記開口を開放した状態において、前記ガス供給ノズルからガスの供給を継続する請求項６から８のいずれかに記載のＥＦＥＭ。