JP2020136389A - 積層型半導体集積回路およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
積層型半導体集積回路によれば、アライメントマークセットが同軸上に配置されたことにより、積層数が増えてもアライメントマークの占有面積が増えることがない。そのため、積層型半導体集積回路は、3層以上に積層された半導体回路の集積度を向上させることができる。
また、積層型半導体集積回路の製造方法によれば、3層以上に積層された半導体回路の集積度を向上させた積層型半導体集積回路を提供することができる。
まず、積層型半導体集積回路の構成について図1を参照して説明する。
積層型半導体集積回路1は、所定領域に半導体素子および配線が形成されると共に所定領域外にアライメントマークが形成された3以上の所定枚数の集積回路を板厚方向に接合して成るものである。積層型半導体集積回路1は、1層目集積回路201と、1層目集積回路201の上に積層された2層目集積回路202と、2層目集積回路202の上に積層された3層目集積回路203と、を備えている。
アライメントマーク361Aは、図5(c)に示す十字形状のアライメントマーク102と同様に構成されている。アライメントマーク361Bは、図5(c)に示す4個の正方形からなるアライメントマーク101と同様に構成されている。アライメントマーク361A、361Bは対向して配置されている。
アライメントマーク361Bは、第1アライメントマークセット361において下側に配置され、かつ、1層目集積回路201の上面に埋め込まれているので、下側1層目アライメントマークともいう。
アライメントマーク361Aは、第1アライメントマークセット361において上側に配置され、かつ、2層目集積回路202の下面に埋め込まれているので、上側2層目アライメントマークともいう。
アライメントマーク362Aは、図5(c)に示す十字形状のアライメントマーク102と同様に構成されている。アライメントマーク362Bは、図5(c)に示す4個の正方形からなるアライメントマーク101と同様に構成されている。アライメントマーク362A、362Bは対向して配置されている。
アライメントマーク362Bは、第2アライメントマークセット362において下側に配置され、かつ、2層目集積回路202の上面に埋め込まれているので、下側2層目アライメントマークともいう。
アライメントマーク362Aは、第2アライメントマークセット362において上側に配置され、かつ、3層目集積回路203の下面に埋め込まれているので、上側3層目アライメントマークともいう。
2層目集積回路202は、埋め込み酸化膜322と、半導体素子としてのトランジスタ332と、配線342と、上側2層目アライメントマーク361Aと、遮光層352と、下側2層目アライメントマーク362Bと、埋め込み電極371Aと、埋め込み電極372Bと、絶縁層382と、を備えている。
3層目集積回路203は、第3基板303と、半導体素子としてのトランジスタ333と、配線343と、遮光層353と、上側3層目アライメントマーク362Aと、埋め込み電極372Aと、絶縁層383と、を備えている。
次に、積層型半導体集積回路1の製造方法について図2〜図4を参照(適宜、図1参照)して説明する。積層型半導体集積回路1の製造方法は、準備工程と、遮光層形成工程と、接合前アライメントマーク形成工程と、第1接合工程と、除去工程と、接合後アライメントマーク形成工程と、第2接合工程と、を含んでいる。
準備工程は、支持基板上に半導体素子が形成された複数の集積回路を準備する工程である。この工程では、一般的な半導体集積回路プロセスにより、SOI基板上にトランジスタや配線等からなる集積回路(1層目、2層目、3層目)を形成する。
1層目集積回路の一例として、図2(a)に、SOI基板からなる第1基板301上にトランジスタ331や配線341が形成された回路基板を模式的に示している。また、1層目集積回路の上に配置される2層目集積回路の一例として、図2(d)に、SOI基板からなる第2基板302上にトランジスタ332や配線342が形成された回路基板を模式的に示している。なお、図2(a)および図2(d)では、1層目と2層目の回路の断面を同じように描いているが、一般的にはこれらの回路レイアウトは異なる。また、2層目集積回路の上に配置される3層目集積回路も同様な構造なので、ここでは、図示していない。
遮光層形成工程は、2層目集積回路においてアライメントマーク361Aを形成する領域の下に遮光層352を形成する工程である。この工程では、平面視において、遮光層352の大きさが、1層目集積回路に形成されるアライメントマーク361Bよりも大きく、かつ、2層目集積回路に形成されるアライメントマーク361Aよりも大きくなるように遮光層352を形成する。遮光層352は、2層目集積回路に配線342を形成する工程と同時に、配線342と同じ材料で形成されることが好ましい。合計して3層の集積回路を積層する場合、2層目集積回路には遮光層が必要であるが、2層目以外の他の集積回路においては、遮光層は必ずしも必要はない。ただし、遮光層は、各層の集積回路においてアライメントマークを埋め込むためのホールのエッチングストップとしての下地層となるので、各層に形成しておくことが望ましい。ここでは、1層目集積回路に配線341を形成する工程と同時に、配線341と同じ材料で遮光層351を形成することとした。
接合前アライメントマーク形成工程は、図2(b)および図2(c)に示すように、1層目集積回路にアライメントマーク361Bを形成すると共に、図2(e)および図2(f)に示すように、2層目集積回路の遮光層352の上にアライメントマーク361Aを形成する工程である。なお、この接合前アライメントマーク形成工程では、3層目集積回路にもアライメントマークを同様に形成するが、ここでは、図示していない。
各層の集積回路において、埋め込み電極およびアライメントマークは、ダマシン法で形成することが一般的である。また、埋め込み電極を形成した基板の表面は、後続の工程で接合が行えるよう、平坦化しておくことが好ましい。平坦化の方法としては、化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)等を用いることができる。
第1接合工程は、第1アライメントマークセット361を用いて1層目集積回路と2層目集積回路とを接合する工程である。この工程では、図3(a)に示すように、1層目集積回路に形成されたアライメントマーク361Bと、2層目集積回路の遮光層352上に形成されたアライメントマーク361Aとを対向させて光学的に位置合わせして、1層目集積回路と2層目集積回路を直接接合する。このとき、アライメントマークの材質(例えばCu)と遮光層の材質(例えばAl)とが異なるので、色や反射率の差により、アライメントマークは容易に視認できる。また、本実施形態では、絶縁層381と絶縁層382との接合と、埋め込み電極371Bと埋め込み電極371Aとの接合と、を同時に実行するハイブリッドボンディングの手法で接合を行っている。
除去工程は、図3(b)に示すように、1層目集積回路に接合された2層目集積回路から支持基板312を除去するする工程である。支持基板312を除去する方法としては、一般的な除去方法、すなわち、研削や研磨による手法を用いることができる。
接合後アライメントマーク形成工程は、図4(a)に示すように、第1アライメントマークセット361に対して板厚方向の同軸上であって、遮光層352上にアライメントマーク362Bを形成する工程である。アライメントマーク362Bは、埋め込み電極372Bを形成する工程と同時に、埋め込み電極372Bと同じ材料で形成されることが好ましい。このときのアライメントマークの形成方法は、接合前アライメントマーク形成工程と同様なので、これ以上の説明を省略する。
第2接合工程は、第2アライメントマークセット362を用いて2層目集積回路と3層目集積回路とを接合する工程である。ここで用いる3層目集積回路は、別途、図4(b)に示すように、3層目の基板に対して、絶縁層383中に、埋め込み電極372Aおよびアライメントマーク362Aを形成しておいたものである。なお、ここでは、3層目集積回路に配線343を形成する工程と同時に、配線343と同じ材料で遮光層353を形成することとした。そして、第2接合工程では、図1に示すように、2層目集積回路に形成されたアライメントマーク362Bと、3層目集積回路に形成されたアライメントマーク362Aとを対向させて光学的に位置合わせして、2層目集積回路と3層目集積回路を直接接合する。これにより、図1に示す3層の積層型半導体集積回路1を製造することができる。
また、第1アライメントマークセット361と第2アライメントマークセット362とが、遮光層352を挟んで配置されているため、多層積層の位置合わせをする際に、下層の第1アライメントマークセット361の存在により視認性が阻害されることがない。また、遮光層とアライメントマークの材質が異なるため、アライメントマークは容易に視認できる。
例えば、アライメントマークセットを同軸上に配置するとは、アライメントマークセットの中心点がすべて一致している場合を含むほか、アライメントマークの中心点を本発明の同様の効果が得られる範囲でずらして配置した場合も含んでいる。
一例として、所定枚数をN、4以上N以下の整数をk(4≦k≦N)としたとき、N層の積層型半導体集積回路は、第(k−1)アライメントマークセットと、第(k−1)アライメントマークセットの下に配置された遮光層と、をさらに備える。ここで、第(k−1)アライメントマークセットは、(k−1)層目集積回路と、k層目集積回路と、の位置を合わせるアライメントマークから成る。そして、第(k−1)アライメントマークセットは、第(k−2)アライメントマークセットに対して板厚方向の同軸上に配置されている。なお、整数kは、4から順次Nまでのすべての整数をとることとする。
また、第(k−1)アライメントマークセットの下に配置された遮光層は、第(k−2)アライメントマークセットの外形よりも大きな外形状を有する。
また、第(k−1)アライメントマークセットは、(k−1)層目集積回路の上面に埋め込まれた下側(k−1)層目アライメントマークと、k層目集積回路の下面に埋め込まれた上側第k層目アライメントマークと、を備えることができる。
一例として、所定枚数をN、4以上N以下の整数をk(4≦k≦N)としたとき、N層の積層型半導体集積回路の製造法は、以下の工程を含むことができる。なお、整数kは、4から順次Nまでのすべての整数をとることとする。
遮光層形成工程では、(k−1)層目集積回路においてアライメントマークを形成する領域の下層に必ず遮光層を形成する。
接合前アライメントマーク形成工程では、(k−1)層目集積回路の遮光層の上にアライメントマークを形成すると共に、N層目集積回路に対してアライメントマークを形成する。なお、第(k−2)接合工程では、(k−2)層目集積回路に形成されたアライメントマークと、(k−1)層目集積回路の必須の遮光層上に形成されたアライメントマークと、を対向させて光学的に位置合わせする(k−2)アライメントマークセットとして用いて、(k−2)層目集積回路と(k−1)層目集積回路とを接合する。
除去工程では、(k−2)層目集積回路に接合された(k−1)層目集積回路から支持基板を除去する。
接合後アライメントマーク形成工程では、(k−2)アライメントマークセットに対して板厚方向の同軸上であって、支持基板が除去された(k−1)層目集積回路の遮光層上にアライメントマークを形成する。
第(k−1)接合工程では、直前に行われた接合後アライメントマーク形成工程で形成されたアライメントマークと、k層目集積回路に形成されたアライメントマークと、を対向させて光学的に位置合わせする第(k−1)アライメントマークセットとして用いて、(k−1)層目集積回路とk層目集積回路とを接合する。
201 1層目集積回路
202 2層目集積回路
203 3層目集積回路
301 第1基板
302 第2基板
303 第3基板
311〜313 支持基板
321〜323 埋め込み酸化膜
331〜333 トランジスタ(半導体素子)
341〜343 配線
351〜353 遮光層
361 第1アライメントマークセット
361A アライメントマーク(上側2層目アライメントマーク)
361B アライメントマーク(下側1層目アライメントマーク)
362 第2アライメントマークセット
362A アライメントマーク(上側3層目アライメントマーク)
362B アライメントマーク(下側2層目アライメントマーク)
371、371A、371B 埋め込み電極
372、372A、372B 埋め込み電極
381〜383 絶縁層
Claims (9)
- 支持基板上の所定領域に半導体素子および配線が形成されると共に前記支持基板上の所定領域外にアライメントマークが形成された3以上の所定枚数の集積回路を板厚方向に接合して成る積層型半導体集積回路であって、
前記所定領域外において、1層目集積回路と、前記1層目集積回路の上に積層された2層目集積回路と、の位置を合わせるアライメントマークから成る第1アライメントマークセットと、
前記所定領域外において、前記2層目集積回路と、前記2層目集積回路の上に積層された3層目集積回路と、の位置を合わせるアライメントマークから成る第2アライメントマークセットと、
前記所定領域外において、前記第2アライメントマークセットの下に配置された遮光層と、を備え、
前記第2アライメントマークセットは、前記第1アライメントマークセットに対して板厚方向の同軸上に配置されている、積層型半導体集積回路。 - 前記遮光層は、前記第1アライメントマークセットの外形よりも大きな外形状を有する、請求項1に記載の積層型半導体集積回路。
- 前記第1アライメントマークセットは、
前記1層目集積回路の上面に埋め込まれた下側1層目アライメントマークと、
前記2層目集積回路の下面に前記下側1層目アライメントマークと対向するように埋め込まれた上側2層目アライメントマークと、を備え、
前記第2アライメントマークセットは、
前記2層目集積回路の上面に埋め込まれた下側2層目アライメントマークと、
前記3層目集積回路の下面に前記下側2層目アライメントマークと対向するように埋め込まれた上側3層目アライメントマークと、を備え、
前記下側2層目アライメントマークの下面は、前記遮光層に接合している、請求項1または請求項2に記載の積層型半導体集積回路。 - 前記アライメントマークの材質は、前記集積回路同士を接合して前記配線同士を電気的に接続する埋め込み電極の材質と同じである、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の積層型半導体集積回路。
- 前記遮光層の材質は、前記配線と同じ材料である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の積層型半導体集積回路。
- 支持基板上の所定領域に半導体素子および配線が形成されると共に前記支持基板上の所定領域外にアライメントマークが形成された3以上の所定枚数の集積回路を板厚方向に接合して成る積層型半導体集積回路の製造方法であって、
支持基板上に半導体素子が形成された複数の集積回路を準備する準備工程と、
1層目集積回路の上に配置される2層目集積回路において前記アライメントマークを形成する領域の下に遮光層を形成する遮光層形成工程と、
前記1層目集積回路と、前記2層目集積回路の上に配置される3層目集積回路と、に対して前記アライメントマークをそれぞれ形成すると共に、前記2層目集積回路の前記遮光層の上に前記アライメントマークを形成する接合前アライメントマーク形成工程と、
前記1層目集積回路に形成されたアライメントマークと、前記2層目集積回路の遮光層上に形成されたアライメントマークと、を対向させて光学的に位置合わせする第1アライメントマークセットとして用いて、前記1層目集積回路と前記2層目集積回路とを接合する第1接合工程と、
前記1層目集積回路に接合された2層目集積回路から前記支持基板を除去する除去工程と、
前記第1アライメントマークセットに対して板厚方向の同軸上であって、前記支持基板が除去された2層目集積回路の前記遮光層上にアライメントマークを形成する接合後アライメントマーク形成工程と、
前記接合後アライメントマーク形成工程で形成されたアライメントマークと、前記3層目集積回路に形成されたアライメントマークと、を対向させて光学的に位置合わせする第2アライメントマークセットとして用いて、前記2層目集積回路と前記3層目集積回路とを接合する第2接合工程と、を含む、積層型半導体集積回路の製造方法。 - 前記2層目集積回路に形成された遮光層は、前記第1アライメントマークセットの外形よりも大きな外形状を有する、請求項6に記載の積層型半導体集積回路の製造方法。
- 前記アライメントマークが、前記集積回路同士を接合して前記配線同士を電気的に接続する埋め込み電極を形成する工程と同時に、前記埋め込み電極と同じ材料で形成される、請求項6または請求項7に記載の積層型半導体集積回路の製造方法。
- 前記遮光層が、前記2層目集積回路に配線を形成する工程と同時に、前記配線と同じ材料で形成される、請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の積層型半導体集積回路の製造方法。
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