JP2020134921A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020134921A JP2020134921A JP2019184963A JP2019184963A JP2020134921A JP 2020134921 A JP2020134921 A JP 2020134921A JP 2019184963 A JP2019184963 A JP 2019184963A JP 2019184963 A JP2019184963 A JP 2019184963A JP 2020134921 A JP2020134921 A JP 2020134921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting element
- electrode
- wiring
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 55
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 66
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 74
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/075—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H10H20/00
- H01L25/0753—Assemblies consisting of a plurality of semiconductor or other solid state devices all the devices being of a type provided for in a single subclass of subclasses H10B, H10F, H10H, H10K or H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H10H20/00 the devices being arranged next to each other
-
- H01L33/005—
-
- H01L33/54—
-
- H01L33/62—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1、図2A及び図2Bに示すように、本実施形態に係る表示装置1においては、基板20が設けられている。基板20においては、絶縁性の母材中に配線が設けられている。また、基板20上には、アクティブ・マトリクス・トランジスタが形成されている。アクティブ・マトリクス・トランジスタは、サブピクセル11毎に、発光素子30に電力を供給するか否かを切り替えるスイッチング素子である。
図3A及び図3B、図4A及び図4B、図5A及び図5Bに示すように、発光素子30においては、半導体部材31、光反射層32、第2電極33、絶縁層34、第1電極35、保護層36、第1導電層37及び第2導電層38が設けられている。上方から見て、発光素子30の形状は、例えば矩形である。なお、図3A及び図3Bは概略図であり、半導体部材31、第1電極35、第2電極33及び光反射層32のみを単純化して示し、他の構成要素は省略している。後述する図10及び図11においても同様である。図4A〜図5Bは発光素子30の構成を詳細に示す図である。図を見やすくするために、図5Aにおいては、第2電極33にハッチングを付しており、図5Bにおいては、第1電極35にハッチングを付している。また、図4A、図5A、図5Bにおいては、半導体部材31を省略している。
図6A〜図7Cは、本実施形態に係る表示装置の製造方法を示す端面図である。
先ず、図6Aに示すように、基板20及び発光素子30を準備する。基板20には、ピクセル10がマトリクス状に配列されており、各ピクセル10には1以上のサブピクセル11が含まれている。基板20の上面20aには、サブピクセル11毎に第1配線21が設けられており、サブピクセル11間に電極22が設けられている。第1配線21上には導電性ペースト層102が設けられている。
次に、図6Bに示すように、発光素子30が接着された支持基板100の下面100aを基板20の上面20aに対向させて、発光素子30の第1電極35を導電性ペースト層102に当接させる。次に、導電性ペースト層102を焼結させる。これにより、発光素子30の第1電極35が第1配線21に電気的に接続されると共に、発光素子30が基板20に搭載される。以後、導電性ペースト層102は第1配線21の一部として示す。
次に、図7Aに示すように、基板20上に発光素子30を覆う樹脂部材23を形成する。例えば、基板20の上面20aに感光性樹脂を塗布し、現像して硬化させる。又は、感光性樹脂からなるドライフィルムを基板20の上面20aに貼付する。このようにして、樹脂部材23が形成される。この時点では、樹脂部材23は複数のサブピクセル11に搭載された複数の発光素子30を全て覆う。
次に、図7Bに示すように、樹脂部材23の上面23aに対してエッチング、例えば、酸素ガス(O2)を用いたRIE(Reactive Ion Etching:反応性イオンエッチング)を施すことにより、樹脂部材23の上部を除去する。これにより、第2電極33の上部を含む発光素子30の上部が、樹脂部材23の上面23aから露出する。また、このとき、樹脂部材23をサブピクセル11毎に区画して、電極22を露出させる。これにより、樹脂部材23の形状は、例えば、略直方体又は四角錘台形となる。
次に、図1及び図7Cに示すように、樹脂部材23上に網目状の第2配線24を形成する。例えば、スピンコート法により導電性ペーストを全面に塗布し、焼結させた後、フォトリソグラフィ法により、網目状に加工する。これにより、樹脂部材23の上面23a及び側面23bに、第1方向に延びる第1直線部分24a及び第2方向に延びる第2直線部分24bを含む第2配線24が形成される。
次に、図1に示すように、各発光素子30を検査し、欠陥を有する発光素子30xを検出したら、この発光素子30xに接続された第2配線24の第1直線部分24a及び第2直線部分24bを例えばレーザー加工によって切断し、発光素子30xを第2配線24から分離する。その後、電極22及び第2配線24の表面に対して粗化処理を施して、表面をマット状にしたり、黒化処理等を施して黒色被膜を形成することにより、電極22及び第2配線24における光の反射率を低下させる。これにより、画面のコントラストが向上する。このようにして、本実施形態に係る表示装置1が製造される。
本実施形態に係る表示装置1においては、各発光素子30において、半導体部材31の相互に交差する少なくとも2つの側面31bに第2電極33が設けられている。また、第2配線24の形状は上面視において網目状である。このため、発光素子30の位置及び角度が設計から多少ずれたとしても、各発光素子30の第2電極33は、いずれかの部分で第2配線24に接触する。したがって、発光素子30を基板20に搭載するときの位置精度を過度に精密にしなくても、発光素子30の第1電極35が第1配線21に当接する程度に精密であれば、発光素子30を第1配線21と第2配線24に電気的に接続することができる。このため、発光素子30を基板20に搭載する際の位置及び角度のマージンが大きい。この結果、表示装置1は製造が容易であり、製造コストが低い。
次に、第2の実施形態について説明する。
図8は、本実施形態に係る表示装置の発光素子を示す端面図である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図9は、本実施形態に係る表示装置の発光素子を示す端面図である。
次に、第4の実施形態について説明する。
図10は、本実施形態に係る表示装置の発光素子を示す上面図である。
次に、第5の実施形態について説明する。
図11は、本実施形態に係る表示装置の発光素子を示す上面図である。
10:ピクセル
11、11B、11G、11R:サブピクセル
20:基板
20a:上面
21:第1配線
22:電極
23:樹脂部材
23a:上面
23b:側面
24:第2配線
24a:第1直線部分
24b:第2直線部分
24c:断線部
30、30a、30b、30c、30d、30x:発光素子
31:半導体部材
31a:下面
31b:側面
31c:上面
31n:第2半導体層
31t:発光層
31p:第1半導体層
32:光反射層
32a、32b:開口部
33:第2電極
33a:開口部
33b:第1部分
33c:第2部分
34:絶縁層
34a:開口部
35:第1電極
36:保護層
37:第1導電層
38:第2導電層
39:金属めっき層
100:支持基板
100a:下面
101:接着シート
102:導電性ペースト層
Claims (12)
- サブピクセルが設定され、前記サブピクセル毎に第1配線が設けられた基板、及び、下面に第1電極が設けられ相互に交差する少なくとも2つの側面に第2電極が設けられた発光素子を準備する工程と、
前記基板上に、前記発光素子を搭載し、前記第1電極を前記第1配線に電気的に接続する工程と、
前記基板上に、前記発光素子を覆う樹脂部材を形成する工程と、
前記樹脂部材の上部を除去することにより、前記第2電極の一部を前記樹脂部材の上面から露出させる工程と、
前記樹脂部材上に、一部が前記発光素子上に配置されるように網目状の第2配線を形成し、前記第2配線を前記第2電極に電気的に接続する工程と、
を備えた表示装置の製造方法。 - 前記発光素子は半導体部材を含み、上方から見て、前記第2電極は前記半導体部材の周囲に設けられている請求項1記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光素子は半導体部材を含み、前記第2電極は前記半導体部材の上面の一部にも設けられている請求項1記載の表示装置の製造方法。
- 上方から見たときに、前記発光素子の形状は矩形である請求項1〜3のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。
- 前記第2配線は、
第1方向に延びる第1直線部分と、
前記第1方向と交差する第2方向に延び、前記第1直線部分と連結された第2直線部分と、
を有する請求項1〜4のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。 - 少なくとも1つの前記サブピクセルに2つ以上の前記発光素子を搭載する請求項1〜5のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。
- 欠陥を有する1つの前記発光素子を前記第2配線から分離する工程をさらに備えた請求項6記載の表示装置の製造方法。
- 前記樹脂部材を形成する工程において、前記樹脂部材は複数の前記サブピクセルに搭載された複数の前記発光素子を覆い、
前記露出させる工程において、前記樹脂部材を前記サブピクセル毎に区画する請求項1〜7のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。 - サブピクセルが設定された基板と、
前記基板上に前記サブピクセル毎に設けられた第1配線と、
前記基板に前記サブピクセル毎に搭載された発光素子と、
前記発光素子の下部及び前記第1配線を覆う樹脂部材と、
前記樹脂部材上に設けられ、一部が前記発光素子上に配置された網目状の第2配線と、
を備え、
前記発光素子は、
半導体部材と、
前記半導体部材の下面に設けられ、前記第1配線に電気的に接続された第1電極と、
前記半導体部材の相互に交差する少なくとも2つの側面に設けられ、一部が前記樹脂部材の上面から露出した第2電極と、
有し、
前記第2配線は、前記第2電極における前記樹脂部材上に露出した部分に電気的に接続されている表示装置。 - 前記発光素子は、前記半導体部材の側面と前記第2電極との間に設けられた絶縁性の光反射層をさらに有し、
上方から見て、前記第2電極は前記半導体部材の周囲に設けられており、
前記第2電極は前記半導体部材の下面に電気的に接続されている請求項9記載の表示装置。 - 少なくとも1つの前記サブピクセルに2つ以上の前記発光素子が設けられた請求項9または10に記載の表示装置。
- 欠陥を有する1つの前記発光素子が前記第2配線から分離されている請求項11記載の表示装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200020080A KR20200101866A (ko) | 2019-02-20 | 2020-02-19 | 표시 장치 및 그 제조방법 |
CN202010103392.XA CN111599831B (zh) | 2019-02-20 | 2020-02-19 | 显示装置以及其制造方法 |
US16/796,083 US11410975B2 (en) | 2019-02-20 | 2020-02-20 | Display device and method of manufacturing display device |
TW109105477A TWI845618B (zh) | 2019-02-20 | 2020-02-20 | 顯示裝置及其製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019028728 | 2019-02-20 | ||
JP2019028728 | 2019-02-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020134921A true JP2020134921A (ja) | 2020-08-31 |
JP7029624B2 JP7029624B2 (ja) | 2022-03-04 |
Family
ID=72263026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019184963A Active JP7029624B2 (ja) | 2019-02-20 | 2019-10-08 | 表示装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7029624B2 (ja) |
KR (1) | KR20200101866A (ja) |
TW (1) | TWI845618B (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013157496A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Sony Corp | 発光素子およびその製造方法、並びに発光装置 |
JP2018010309A (ja) * | 2013-03-15 | 2018-01-18 | アップル インコーポレイテッド | 冗長性スキームを備えた発光ダイオードディスプレイ、及び統合欠陥検出検査を備えた発光ダイオードディスプレイを製造する方法 |
WO2018082101A1 (en) * | 2016-11-07 | 2018-05-11 | Goertek. Inc | Micro-led with vertical structure, display device, electronics apparatus and manufacturing method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4737502B2 (ja) | 2004-11-11 | 2011-08-03 | ソニー株式会社 | 配線接続方法、ならびに表示装置の製造方法 |
KR101976459B1 (ko) * | 2012-11-02 | 2019-05-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자, 발광소자 패키지 및 라이트 유닛 |
EP3321982B1 (en) * | 2013-03-28 | 2022-10-26 | Nichia Corporation | Light-emitting device, production method therefor, and device using light-emitting device |
US8987765B2 (en) * | 2013-06-17 | 2015-03-24 | LuxVue Technology Corporation | Reflective bank structure and method for integrating a light emitting device |
KR102374268B1 (ko) * | 2015-09-04 | 2022-03-17 | 삼성전자주식회사 | 발광소자 패키지 |
-
2019
- 2019-10-08 JP JP2019184963A patent/JP7029624B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-19 KR KR1020200020080A patent/KR20200101866A/ko active Search and Examination
- 2020-02-20 TW TW109105477A patent/TWI845618B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013157496A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Sony Corp | 発光素子およびその製造方法、並びに発光装置 |
JP2018010309A (ja) * | 2013-03-15 | 2018-01-18 | アップル インコーポレイテッド | 冗長性スキームを備えた発光ダイオードディスプレイ、及び統合欠陥検出検査を備えた発光ダイオードディスプレイを製造する方法 |
WO2018082101A1 (en) * | 2016-11-07 | 2018-05-11 | Goertek. Inc | Micro-led with vertical structure, display device, electronics apparatus and manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202044437A (zh) | 2020-12-01 |
KR20200101866A (ko) | 2020-08-28 |
JP7029624B2 (ja) | 2022-03-04 |
TWI845618B (zh) | 2024-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107408606B (zh) | 发光元件、发光单元、发光面板装置及驱动发光面板装置的方法 | |
US11164918B2 (en) | Organic light emitting diode display panel having connection portion connecting organic light emitting diode to peripheral circuit and manufacturing method thereof | |
US9252396B2 (en) | Organic electro-luminescence display device | |
CN111916480A (zh) | 显示装置和电子设备 | |
KR102566090B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 | |
CN112331708B (zh) | 显示面板 | |
CN106133930B (zh) | 半导体单元、半导体器件、发光装置、显示装置和半导体器件制造方法 | |
CN111599831B (zh) | 显示装置以及其制造方法 | |
JP7329740B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
CN114725157A (zh) | 透光显示面板、显示面板、制备方法及显示装置 | |
US11362246B2 (en) | Method of manufacturing display device with lateral wiring | |
CN108321305B (zh) | 一种oled显示面板及显示装置 | |
JP7029624B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
WO2022174443A1 (zh) | 一种显示面板、显示装置和显示面板的制作方法 | |
CN111834396A (zh) | 透光显示面板、显示面板及显示装置 | |
WO2021138929A1 (zh) | 一种显示面板及其制备方法 | |
CN111129094B (zh) | 显示面板 | |
CN114361188A (zh) | 显示基板及其制备方法、显示装置 | |
US6846687B2 (en) | Process of packaging organic electroluminescent panel | |
CN111384123A (zh) | 电致发光照明装置 | |
WO2023201657A1 (zh) | 发光面板及其制备方法、发光装置 | |
US20240315091A1 (en) | Light Emitting Substrate and Preparation Method Therefor, and Light Emitting Apparatus | |
KR100773937B1 (ko) | 오엘이디 디스플레이 패널 | |
KR100615250B1 (ko) | 유기 전계 발광 디스플레이 장치 | |
JP2021170559A (ja) | 発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7029624 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |