JP2020132765A - シラノール組成物、硬化物、及び接着剤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】式(1)で表される環状シラノール(A1):
(式(1)中、R1〜R4は、各々独立して、フッ素原子、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基である。)を含有し、環状シラノール(A1)が、ケイ素上の有機基RnとSiH基の立体配置に由来する4種の異性体である環状シラノール(B1)〜(B4)を含有する、シラノール組成物。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明は、以下のとおりである。
下記式(1)で表される環状シラノール(A1):
前記環状シラノール(A1)が、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4):
前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B1)、(B3)、及び(B4)の各割合(モル%)をそれぞれa、c、及びdとするとき、下記条件(x)、(y)及び(z):
(x)75≦a+c<100
(y)75≦c+d<100且つ25<d<100
(z)60≦c<100
からなる群より選択される少なくとも一つを満たす、シラノール組成物。
[2]
前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B2)の割合(モル%)をbとするとき、下記条件(w):
(w)0<b≦20
を満たす、
[1]に記載のシラノール組成物。
[3]
3μmの厚みにおけるヘイズが、10%以下である、
[1]又は[2]に記載のシラノール組成物。
[4]
遷移金属を含有しない、
[1]〜[3]のいずれかに記載のシラノール組成物。
[5]
環状シラノール(A1)の脱水縮合物(A2)を含み、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定において、前記脱水縮合物(A2)の面積が、前記環状シラノール(A1)及び前記脱水縮合物(A2)の総面積に対して、0%超過50%以下である、
[1]〜[4]のいずれかに記載のシラノール組成物。
[6]
3μmの厚みにおける波長265nmの光透過率が、80%以上である、
[1]〜[5]のいずれかに記載のシラノール組成物。
[7]
溶媒を含む、
[1]〜[6]のいずれかに記載のシラノール組成物。
[8]
[1]〜[7]のいずれかに記載のシラノール組成物の硬化物。
[9]
[1]〜[7]のいずれかに記載のシラノール組成物を含む、接着剤。
本実施形態のシラノール組成物は、下記式(1)で表される環状シラノール(A1)を含有する。
(x)75≦a+c<100
(y)75≦c+d<100且つ25<d<100
(z)60≦c<100
からなる群より選択される少なくとも一つを満たす。
本実施形態における条件(y)は、接着性及び透明性に一層優れる観点から、75≦c+d≦95且つ25<d≦95であることが好ましく、75≦c+d≦90且つ25<d≦90であることがより好ましい。
本実施形態における条件(z)は、接着性及び透明性に一層優れる観点から、60≦c≦95であることが好ましく、60≦c≦90であることがより好ましい。
CF3−,
CF3CF2−,
CF3CF2CF2−,
(CF3)2CF−,
CF3CF2CF2CF2−,
HCF2CF2CF2CF2−,
(CF3)2CFCF2−
本実施形態のシラノール組成物は、例えば、式(1)で表される環状シラノールに対して、水の存在下、酸を作用させることによって調製することができる。(1)に示される環状シラノールに酸を作用させると、異性化反応が進行して、環状シロキサン骨格のケイ素上の有機基Rとヒドロキシ基との位置関係が変化する。
本実施形態の硬化物は、本実施形態のシラノール組成物を硬化することにより得られる。すなわち、本実施形態の一つは、本実施形態のシラノール組成物の硬化物である。
本実施形態のシラノール組成物を硬化させるとき、加熱してもよい。硬化物を硬化させるときの温度は、特に制限はないが、硬化物としての形態を維持するため、好ましくは60〜250℃であり、より好ましくは80〜200℃である。本実施形態の一つは、本実施形態のシラノール組成物を加熱硬化させる方法であって、硬化温度が、60〜250℃である、方法である。
本実施形態のシラノール組成物は、接着剤として使用することができる。したがって、本実施形態の一つは、本実施形態の組成物を含む接着剤である。本実施形態のシラノール組成物を基材に塗布し、接着層を形成させ、シラノール組成物を含む接着層を硬化させることにより接着する。基材としては、ガラス、シリコンウエハー、SiO2ウエハー、SiNウエハー、化合物半導体等が挙げられる。
日本電子株式会社製ECZ400S、プローブはTFHプローブを用いて、以下のようにしてNMR測定を行うことによって、溶媒を含むシラノール組成物における環状シラノール及びその脱水縮合物の質量パーセント濃度を算出できる。
シラノール組成物が、例えば、テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその脱水縮合物のイソプロパノール溶液の場合は、テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその脱水縮合物のイソプロパノール溶液0.1gに重アセトン1gを添加したサンプルを用いて、1H−NMRを測定した。なお、重溶媒の基準ピークを2.05ppmとし、積算回数は64回で測定を行った。
テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその脱水縮合物の質量パーセント濃度は近似的に以下式にて算出できる。
テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその脱水縮合物の質量パーセント濃度(%)=(−0.1−0.3ppmの領域のSiに結合するメチル基のピーク積分比/12×304.51)/{(−0.1−0.3ppmの領域のSiに結合するメチル基のピーク積分比/12×304.51)+(3.7−4.1ppmの領域のイソプロパノールの炭素に結合する水素のピーク積分値/1×60.1)}
なお、前記式中、304.51はテトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサンの分子量、60.1はイソプロパノールの分子量を意味する。
ヘイズは濁度計NDH5000W(日本電色工業製)を用い、JISK7136に基づき測定を行った。以下に具体的操作を示す。
シラノール組成物のヘイズは素ガラス基板5cm×5cm×0.7mm厚(テクノプリント社製)にシラノール組成物42wt%イソプロパノール溶液をバーコーターNo.40(アズワン製)にて塗布後、60℃1時間にて減圧下で乾燥し、ヘイズを測定した。なお、ヘイズ測定のブランクは素ガラス基板5cm×5cm×0.7mm厚(テクノプリント社製)のみを用いた。
硬化物のヘイズはシラノール組成物のヘイズ測定で作製したサンプルを常圧にて100℃2時間加熱することにより得られたサンプルを用いて測定した。
膜厚はヘイズの測定用に作製したサンプルを表面形状測定機計(製造所名:(株)小坂研究所型式:ET4000AK31製)にて測定し、膜厚を算出した。
光透過率は分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ製)を用い、測定を行った。以下に具体的操作を示す。
シラノール組成物の265nmにおける光透過率は、シラノール組成物10wt%イソプロパノール溶液について、石英ガラスセル10×4×45H(東京硝子器械社製)を用いて測定した。なお、光透過率のブランクは石英ガラスセル10×4×45H(東京硝子器械社製)のみを用いた。
日本電子株式会社製ECZ400S、プローブはTFHプローブを用いて、以下のようにしてNMR測定を行った。
得られたシラノール組成物0.1gに重アセトン1gを添加し、1H−NMRを測定した。なお、重溶媒の基準ピークを2.05ppmとし、積算回数は64回で測定を行った。
ヒドロシラン化合物としてテトラメチルテトラシクロシロキサンを原料に用いて酸化させた場合、得られるテトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサンの1H−NMRでは、0.04−0.95ppmの領域に4種類の異性体に由来する6種類のSiに結合するメチル基のピークが観測された。
メチル基の水素は、高磁場側から、all−cis型(0.057ppm)、trans−trans−cis型(0.064ppm)、trans−trans−cis型(0.067ppm)、cis−trans−cis型(0.074ppm)、all−trans型(0.080ppm)、trans−trans−cis型(0.087ppm)の順に観測された。Delta5.2.1(日本電子製)を用いて前記6つのピークに関してローレンツ変換による波形分離を行い、これらの水素のピーク強度から、環状シラノールのそれぞれの立体異性体割合を算出した。
・all−cis体(環状シラノール(B1))
Inorganic Chemistry Volume 49, Issue 2, P572−577に記載の合成法に従って合成した。
・cis−trans−cis体(環状シラノール(B2))European Polymer Journal 2012, Vol.48, 1073−1081に記載の合成法に従って合成した。
・all−trans体(環状シラノール(B4))
比較例6にて作製したシラノール10wt%のテトラヒドロフラン及びジクロロメタン混合溶液をさらに濃縮し、シラノール20wt%となるまで濃縮した溶液を用いて、液体クロマトグラフィーを用いて立体異性体の分取を行った。
<液体クロマトグラフィーの条件>
装置 GLサイエンス製液体クロマトグラフィー
ポンプ :PU715
カラムオーブン :CO705
フラクションコレクター :FC204YMC−PackSIL−06 φ30mm×250mm
溶離液 :Cyclohexane/EtOAc =60/40
流速 :40mL/min
注入量 :5mL
温度 :40℃
検出 :得られたフラクションをELSD測定にて評価し、検出した。
得られたall−trans体の溶離液を静置することでall−trans体の結晶が得られたため、濾別により回収した。
・trans−trans−cis体(環状シラノール(B3))
all−trans体と同様の方法にて得られた溶離液を濃縮後イソプロパノールに置換することで得た。
シラノール組成物0.03gに対して、1.5mLの割合でテトラヒドロフランに溶解した溶液を測定試料とした。
この測定試料を用いて、東ソー社製HLC−8220GPCで測定した。
カラムは東ソー社製のTSKガードカラムSuperH−H、TSKgel SuperHM−H、TSKgel SuperHM−H、TSKgel SuperH2000、TSKgel SuperH1000を直列に連結して使用し、テトラヒドロフランを移動相として0.35ml/分の速度で分析した。
検出器はRIディテクターを使用し、American Polymer Standards Corporation製ポリメタクリル酸メチル標準試料(分子量:2100000、322000、87800、20850、2000、670000、130000、46300、11800、860)、及び1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(分子量240.5、東京化成製)を標準物質として、数平均分子量及び重量平均分子量を求め、p=0及び、p≧1のピークを特定し、環状シラノール(A1)及び脱水縮合物(A2)それぞれのピークの面積比を算出した。
シラノール組成物のヘイズ測定で作製したサンプルの上に、T−3000−FC3マニュアルダイボンダー(TRESKY製)を用いて直径2ミリの半球石英レンズを荷重400g3秒で乗せた。その後、常圧下、100℃2時間加熱した後に、得られた半球レンズが載ったガラスを横から押し、接着の有無を確認した。
シラノール組成物のヘイズ測定で作製したサンプルに対して、低圧水銀ランプを搭載したセン特殊光源社製UVオゾン照射装置を用いて6時間照射を行い、照射前後での変色の有無を確認した。
反応容器に、all−cis型の1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する)0.3g、テトラヒドロフラン(以下、THFと記載する。富士フイルム和光純薬製)8mLを入れて混合した。なお、all−cis型の1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサンは、Inorganic Chemistry Volume 49, Issue 2, P572−577に記載の方法に基づき調製した。前記反応容器に1mol/L酢酸水溶液2mL(富士フイルム和光純薬製)を添加し、室温で3.5時間攪拌した。反応液に飽和炭酸水素ナトリウム水溶液を添加して中和した後、分液漏斗を用いて有機層を回収し、回収した有機層を飽和食塩水で2回洗浄した。洗浄後の有機層に硫酸マグネシウムを用いて乾燥し、ひだ折りろ紙を用いて硫酸マグネシウムを濾別した。ろ液をエバポレーターで濃縮し、D4OH濃縮物2gを得た。
さらに、イソプロパノール(富士フイルム和光純薬製)を添加し、再度濃縮を行い、所定の濃度のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を作製した。
得られたシラノール組成物を用いて前記(ヘイズの測定)の方法にしたがってヘイズを測定し、GPCの微分分子量分布曲線におけるピーク面積の測定を行った。また、環状シラノールの立体異性体割合を1H−NMR測定により算出した。図1に1H−NMRスペクトルを示す。
all−cis型のD4OHの代わりに、trans−trans−cis型のD4OHを原料に用い、反応時間を1時間としたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を作製した。
all−cis型のD4OHの代わりに、all−trans型のD4OHを原料に用い、反応時間を2時間としたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を作製した。
反応容器に、all−cis型の1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する)0.3g、THF(富士フイルム和光純薬製)8mLを入れて混合した。前記反応容器に1mol/L酢酸水溶液2mL(富士フイルム和光純薬製)を添加し、室温で3.5時間攪拌した。反応液に飽和炭酸水素ナトリウム水溶液を添加して中和した後、分液漏斗を用いて有機層を回収し、回収した有機層を飽和食塩水で2回洗浄する。洗浄後の有機層に硫酸マグネシウムを添加し、ひだ折りろ紙を用いて硫酸マグネシウムを濾別した。ろ液をエバポレーターで濃縮し、D4OH濃縮物(THF溶液)2gを得た。
続いて、この濃縮物をTHF14mLとジクロロメタン1mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を減圧濾過して除いた。エバポレーターを用いて、ろ液をシラノール組成物10wt%のTHF溶液となるまで濃縮した。さらに、イソプロパノールを添加し、再度濃縮を行い、所定の濃度のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を作製した。
得られたシラノール組成物を用いてヘイズ等の物性を評価した。また、環状シラノールの立体異性体割合を1H−NMR測定により算出した。
all−cis型のD4OHの代わりに、European Polymer Journal 2012, Vol.48, 1073−1081.に記載の方法に倣って合成したcis−trans−cis型のD4OHを原料に用い、1mol/L酢酸を5mL使用し、反応時間を1時間としたこと以外は、実施例4と同様にしてシラノール組成物を作製した。
all−cis型のD4OHの代わりに、trans−trans−cis型のD4OHを原料に用い、反応時間を1時間としたこと以外は、実施例4と同様にしてシラノール組成物を作製した。
all−cis型のD4OHの代わりに、all−trans型のD4OHを原料に用い、反応時間を2時間としたこと以外は、実施例4と同様にしてシラノール組成物を作製した。
反応容器に、all−cis型の1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する)0.3g、THF(富士フイルム和光純薬製)8mLを入れて混合した。前記反応容器に1mol/L酢酸水溶液5mL(富士フイルム和光純薬製)を添加し、室温で1時間攪拌した。反応液に飽和炭酸水素ナトリウム水溶液を添加して中和した後、分液漏斗を用いて有機層を回収し、回収した有機層を飽和食塩水で2回洗浄する。洗浄後の有機層に硫酸マグネシウムを添加し、ひだ折りろ紙を用いて硫酸マグネシウムを濾別した。ろ液をエバポレーターで濃縮し、D4OH濃縮物(THF溶液)2gを得た。
続いて、この濃縮物をTHF14mLとジクロロメタン(富士フイルム和光純薬製)1mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を濾過して除いた。エバポレーターを用いて、ろ液をシラノール組成物10wt%のTHF溶液となるまで濃縮した。さらに、イソプロパノール(富士フイルム和光純薬製)を添加し、再度濃縮を行い、所定の濃度のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を作製した。
得られたシラノール組成物を用いてヘイズ等の物性を評価した。また、環状シラノールの立体異性体割合を1H−NMR測定により算出した。さらに、得られた硬化組成物に対して低圧水銀ランプを6時間照射し、変色の有無を確認した。
前記(各立体異性体の調製)にて調製したall−cis体(環状シラノール(B1))を用いて、濃度5%のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を調製し、シラノール組成物とした。
前記(各立体異性体の調製)にて調製したcis−trans−cis体(環状シラノール(B2))を用いて、濃度5%のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を調製し、シラノール組成物とした。
前記(各立体異性体の調製)にて調製したall−trans体(環状シラノール(B4))を用いて、濃度5%のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を調製し、シラノール組成物とした。
前記(各立体異性体の調製)にて調製したtrans−trans−cis体(環状シラノール(B3))を用いて、濃度5%のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を調製し、シラノール組成物とした。
D4OH含有THF溶液の濃縮物を、THFとジクロロメタンの混合溶媒中へ投じ、混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物をろ過して除くという再結晶操作を行わなかったこと以外は、実施例8と同様の実験を行った。
(シラノール組成物の調製)
D4OH含有THF溶液の濃縮物を、THFとジクロロメタンの混合溶媒中へ投じ、混合液を4℃で1時間冷却するという再結晶操作を行わなかったこと以外は、European Polymer Journal 2012, Vol.48, P1073−1081に記載の方法に従って合成した。得られたシラノール組成物を用いてヘイズ等の物性を評価した。また、得られた硬化組成物に対して低圧水銀ランプを6時間照射し、変色の有無を確認した。
Claims (9)
- 下記式(1)で表される環状シラノール(A1):
前記環状シラノール(A1)が、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4):
前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B1)、(B3)、及び(B4)の各割合(モル%)をそれぞれa、c、及びdとするとき、下記条件(x)、(y)及び(z):
(x)75≦a+c<100
(y)75≦c+d<100且つ25<d<100
(z)60≦c<100
からなる群より選択される少なくとも一つを満たす、シラノール組成物。 - 前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B2)の割合(モル%)をbとするとき、下記条件(w):
(w)0<b≦20
を満たす、
請求項1に記載のシラノール組成物。 - 3μmの厚みにおけるヘイズが、10%以下である、
請求項1又は2に記載のシラノール組成物。 - 遷移金属を含有しない、
請求項1〜3のいずれか一項に記載のシラノール組成物。 - 環状シラノール(A1)の脱水縮合物(A2)を含み、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定において、前記脱水縮合物(A2)の面積が、前記環状シラノール(A1)及び前記脱水縮合物(A2)の総面積に対して、0%超過50%以下である、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のシラノール組成物。 - 3μmの厚みにおける波長265nmの光透過率が、80%以上である、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のシラノール組成物。 - 溶媒を含む、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のシラノール組成物。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載のシラノール組成物の硬化物。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のシラノール組成物を含む、接着剤。
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