JP2020123645A - 薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、オン電流を増加させるためには、電界効果移動度(以下、単に移動度と称する場合がある。)が高いこと、チャネル長が短いこと等が要求される。
また、TFT構造としては、図6に示すように基板111上にゲート電極112、ゲート絶縁膜113、酸化物半導体膜114、酸化物半導体膜114を保護するエッチストップ層115、ソース/ドレイン電極部(116、117)をこの順序で形成するエッチストップ構造が用いられる(特許文献1、2を参照)。
しかしながら、エッチストップ構造の場合、チャネル長は、図6に示すようにソース電極116と酸化物半導体114が接触する位置から、ドレイン電極117と酸化物半導体114が接触する位置までの最短の距離(Lsd)であり、エッチストップ層115におけるソース電極116の領域のチャネル長さ方向のチャネル114A1の長さLsと、エッチストップ層115におけるドレイン電極領域のチャネル長さ方向のチャネル114A2の長さLdと、ソース電極116とドレイン電極117の間隔Lgの和で示される。
すなわち、図7に示す提案技術(特許文献3の図1に示される)では、エッチストップ層として、エッチストップ層1(215A)とエッチストップ層2(215B)の2層を設け、エッチストップ層1(215A)に水素が含まれるSiNxを多く含有するように設定する。熱処理を行うと、エッチストップ層1(215A)に含有されるSiNxから酸化物半導体膜214に水素が拡散され、この酸化物半導体膜214の水素拡散部分が導体化し、低抵抗領域214Bが形成される。このとき、エッチストップ層2(215B)の端部では中央部より水素の拡散量が少ないことから、これらエッチストップ層2(215B)の両端部に長さの小さいチャネル領域1(214A1)およびチャネル領域2(214A2)が半導体状態のまま残る。この構造では、総チャンネル長は、チャネル領域1(214A1)の長さとチャネル領域2(214A2)の長さの和となり、低抵抗領域214Bの長さ分だけチャネル長を短くすることができるが、これよりも、さらに高いドレイン電流を得たいという要求がある。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、エッチストップ構造のTFTにおいて、従来技術よりも、素子面積を大きくすることなく、チャネルの長さを短縮してオン電流の増加を図ることが可能な薄膜トランジスタを提供することを目的とするものである。
基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、酸化物半導体膜、該酸化物半導体膜を保護するエッチストップ層、およびソース電極とドレイン電極を有するソース/ドレイン電極部を、この順に積層してなる薄膜トランジスタであって、
前記エッチストップ層が構成材料としてSiNxを含み、
前記酸化物半導体膜は、前記ソース電極と前記ドレイン電極に接する電極部隣接領域を各々有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ソース電極側で前記電極部隣接領域に接する第1のチャネル領域と、前記ドレイン電極側で前記電極部隣接領域に接する第2のチャネル領域とを有し、
前記酸化物半導体膜はさらに、前記第1のチャネル領域と前記第2のチャネル領域の間に配され、これら2つのチャネル領域の各々の電気抵抗率よりも低い電気抵抗率を有する低抵抗領域を有し、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の一方と、前記酸化物半導体膜が、前記エッチストップ層の非形成部分において互いに当接する、多角形をなす接触領域を備え、この接触領域を構成する多角形の少なくとも1つの頂点を挟む2つの辺が前記エッチストップ層と接触するように構成されていることを特徴とするものである。
ここで、本願明細書において「含有量」とは、含有する重量を意味する。
ここで、「第1のエッチストップ層と第2のエッチストップ層」は、2つの層として明確に分離されていなくても良く、例えばSiNxの含有量が酸化物半導体膜側から徐々に増加するように構成されていても良く、その場合には所定の基準値を境として、SiNxの含有量が所定の基準値以上の部分を第1のエッチストップ層と称し、SiNxの含有量が所定の基準値未満の部分を第2のエッチストップ層と称するものとする。
ここで、「第1のエッチストップ層と第2のエッチストップ層」は、上記の場合と同様に2つの層として明確に分離されていなくても良く、例えば水素の含有量が酸化物半導体膜側から徐々に増加するように構成されていても良く、その場合には所定の基準値を境として、水素の含有量が所定の基準値以上の部分を第1のエッチストップ層と称し、水素の含有量が所定の基準値未満の部分を第2のエッチストップ層と称するものとする。
これにより、ソース電極側またはドレイン電極側の、一方のチャネル領域では、上記ショート領域を有していることで導体と同様に機能し、総チャネル長は、他方のチャネル長のみの長さとなる。したがって、従来よりもチャネルの長さを短縮してオン電流を倍増することができる。
また、図8を用いて説明した従来例3のように、電極をエッチストップ層と重ならない状態とする必要がないので、素子面積が大きくなることを防止することができる。
以下、実施形態に係る薄膜トランジスタについて図1を参照しながら詳しく説明する。なお、図1は図2(b)中のA-A線断面図を示すものである。
実施形態に係る薄膜トランジスタは、図1に示すように、基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13、酸化物半導体膜14、SiNxをより少なく含むエッチストップ層2(15B)、SiNxをより多く含むエッチストップ層1(15A)、ソース/ドレイン電極部(ソース電極16とドレイン電極17を含む)および保護膜(図示せず)をこの順に積層したものである。なお、酸化物半導体膜14においては、ソース/ドレイン電極部を構成する、ソース電極16とドレイン電極17に対して図中下方に隣接する電極部隣接領域14C1、14C2と、これら電極部隣接領域14C1、14C2の両領域間において、ソース電極16側の電極部隣接領域14C1に接するチャネル領域1(14A1)と、ドレイン電極17側の電極部隣接領域14C2に接するチャネル領域2(14A2)と、チャネル領域1(14A1)およびチャネル領域2(14A2)の間に配された、これら2つのチャネル領域1、2(14A1、14A2)の各々の抵抗率よりも低い抵抗率を有する低抵抗領域14Bが形成されている。また、ソース電極16側のチャネル領域1(14A1)の、図1紙面奥行き方向の両端部は低抵抗化されており、低抵抗領域14Bの抵抗率に相当する値とされている。
チャネル領域1(14A1)の一部の位置が、低抵抗化されたショート位置20とされている構成は本実施形態のポイントとされており、その詳しい構成および作用効果については後述する。
まず、基板11上にゲート電極12およびゲート絶縁膜13をこの順に形成する。これらの形成方法は種々の周知の手法を採用することができる。
上記ゲート電極12およびゲート絶縁膜13の構成材料として種々の周知の材料を用いることができる。ゲート電極12としては、例えば、電気抵抗率の低いAlやCuの金属、耐熱性の高いMo、Cr、Ti等の高融点金属、さらには、これら金属の合金を用いることができる。また、ゲート絶縁膜13としては、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、さらにはシリコン酸窒化膜等が代表的に例示される。
その他に、Al2O3やY2O3等の酸化物や、これらを積層したものを用いることもできる。
上記酸化物半導体膜14は、種々の組成のものを採用することが可能であるが、ここでは、金属元素としてIn、Ga、SnとOで構成される酸化物からなる場合を例に挙げる。すなわち、上記In、GaおよびSnの原子数の合計に対する各金属元素の原子数の比が下記式(1)〜(3)を全て満足するものであることが好ましい。なお、下記式(1)〜(3)において、In、Ga、Snは、各々、In、Ga、Snの原子数を表す。
0.30≦In/(In+Ga+Sn)≦0.50 ・・・(1)
0.20≦Ga/(In+Ga+Sn)≦0.30 ・・・(2)
0.25≦Sn/(In+Ga+Sn)≦0.45 ・・・(3)
酸化物半導体膜14は、スパッタリング法にてスパッタリングターゲットを用いて、例えばDCスパッタリング法またはRFスパッタリング法により、成膜することが好ましい。
成膜後の熱処理条件は、例えば、大気雰囲気下にて、250〜400℃で10分〜3時間行うことが好ましい。上記熱処理として、例えば、後述するプレアニール処理(酸化物半導体膜14をウェットエッチングした後のパターニング直後に行われる熱処理)が挙げられる。
エッチストップ層1、2(15A、15B)の形成方法は特に限定されず、従来より周知の手法を用いることができる。
また、本実施形態に係るTFTでは、特に、エッチストップ層1(15A)が構成材料としてSiNxを含むことが重要である。SiNxを含むエッチストップ層1(15A)を用いることによって、酸化物半導体膜14への水素拡散による低抵抗領域の形成を効率良く行うことができる。エッチストップ層1(15A)としては、SiNx膜を有する限り、SiNx膜以外の任意の膜を積層してもよい。例えば、SiNx膜のみを単層で用いてもよく、複数のSiNx膜を積層して用いてもよい。また、SiNx膜とSiOxNy膜、SiOx膜、Al2O3膜、Ta2O5などの膜の少なくとも一つの膜を積層してもよく、例えば、図1に示すように積層膜にして上層のエッチストップ層1(15A)をSiNx膜、下層のエッチストップ層2(15B)をSiOx膜とした積層膜を用いてもよい。
この後、ソース/ドレイン電極部(ソース電極16、ドレイン電極17)を形成する。このソース/ドレイン電極部の構成材料としては特に限定されず、従来より周知のものを用いることができる。例えば、ゲート電極12と同様にAl、MoあるいはCu等の金属または合金を用いてもよい。
ソース/ドレイン電極部の形成手法としては、例えばマグネトロンスパッタリング法によって金属薄膜を成膜した後、フォトリソグラフィによりパターニングし、ウェットエッチングを行って電極を形成する。また、図示されない保護膜(通常、ソース/ドレイン電極部上に積層膜の保護のために形成される)の形成前に、酸化物表面のダメージ回復のため、必要に応じて熱処理(200℃〜300℃)やN2Oプラズマ処理を施してもよい。
エッチストップ層1(15A)からの水素拡散は酸化物半導体膜14の直下方向だけでなく放射状になされるため、エッチストップ層1(15A)中央部下方の酸化物半導体膜14の領域からエッチストップ層1(15A)の両端部下方の酸化物半導体膜14の領域に向かって徐々に水素拡散量が減少する。この結果、エッチストップ層1(15A)の端部下方では中央部下方に比べて水素の拡散量が少なく低抵抗化されない領域(チャネル領域1、2(14A1、14A2))が存在する。
ところで、図2(b)に示すように、ソース電極16側の接触領域18は、前述したように、エッチストップ層1(15A)およびエッチストップ層2(15B)に穿設された透孔(または切欠き)を介してソース電極16が侵入し、酸化物半導体膜14に接触するようになっており、これにより矩形状の接触領域18の各辺(4辺)において、各々ES層(エッチストップ層1/エッチストップ層2)15A、Bと接触するES層当接領域19A1〜A4が形成されている。
前述したようにエッチストップ層1(15A)およびエッチストップ層2(15B)に形成された切欠き部分を介してドレイン電極17が酸化物半導体膜14に接触するようになっている。すなわち、矩形状の接触領域18の1辺においてのみ、エッチストップ層(ES層)15A、Bと接触するES層当接領域19Bが形成される。ES層当接領域19Bは接触領域18の1辺にしか形成されていないので、ショート位置20は形成されない。
これにより、本実施形態においては、チャネル領域1(14A1)のみを実質的に導体化することができ、総チャンネル長はチャネル領域2(14A2)の長さ分となり、チャネル領域の抵抗値を約1/2とすることができるので、素子の小型化を維持しつつドレイン電流を約2倍に増加することができる。
最適なポストアニール温度は酸化物半導体膜14、エッチストップ層1、2(15A、15B)、保護膜の膜厚や成膜条件に依存することから、これらの値を勘案して適宜設定することが肝要である。さらに上記ポストアニールでは、処理時間を、例えば、30〜90分の範囲内に制御することが好ましい。なお、雰囲気は特に限定されず、例えば、窒素雰囲気、大気雰囲気などが挙げられる。
ただし、低抵抗領域14Bの適切な抵抗率は、Ls、Lg、Ldの各長さ、酸化物半導体膜14の膜厚、ゲート絶縁膜13の膜厚と容量、TFTを駆動するために印加するドレイン電圧やゲート電圧等の各条件によって変化することから、これらの値を勘案して適宜設定することが肝要である。
なお、上記実施形態においては、ソース電極16側のチャネル領域1(14A1)のみに、ショート位置20を設けるようにしているが、これとは逆に、ドレイン電極17側のチャネル領域2(14A2)のみに、ショート位置20を設けるようにしてもよい。
(概要)
図1に示すような層構成を有するTFTをベースとし、各々下記手法を用いることにより、実施例のサンプルおよび比較例1、2のサンプルを作製した。
図1に示す層構成をなし、TFTを電極16、17側から見た場合に、各層の重なり合いが図2(a)、(b)に示すように構成された実施例のサンプルを作製した。
(比較例1サンプル)
実施例サンプルと同様の層構成をなし、TFTを電極416、417側から見た場合に、各層の重なり合いが図3(a)、(b)に示すように構成された比較例1のサンプルを作製した。
なお、図3(a)、(b)の符号は、図2(a)、(b)の対応する部分の符号に各々400を加えて示したものである。
(比較例2サンプル)
実施例サンプルと同様の層構成をなし、TFTを電極516、517側から見た場合に、各層の重なり合いが図4(a)、(b)に示すように構成された比較例2のサンプルを作製した。
なお、図4(a)、(b)の符号は、図2(a)、(b)の対応する部分の符号に各々500を加えて示したものである。
比較例1のサンプルにおいては、ソース電極416およびドレイン電極417が、チャネル領域1(414A1)とチャネル領域2(414A2)の各ショート位置20を介して低抵抗領域とショートすることから、図5の一点鎖線の曲線で示すように、スイッチング特性が得られなかった。
また、比較例2のサンプルにおいては、スイッチング特性は得られたが、図5の点線の曲線で示すようにドレイン電流は必ずしも大きくなく、改善が必要な結果となった。
一方、本実施例のサンプルにおいてはスイッチング特性が得られ、図5の実線の曲線で示すように、比較例2のサンプルに比して、ドレイン電流を大幅に増加させることができた。
例えば、上記実施形態における各層の間にその他の層を挟むように構成することも可能である。
また、上記実施形態においては、製造の容易性から、接触領域18が矩形をなすように構成しているが、矩形以外の4角形、6角形や8角形等の多角形とすることも可能であり、製造の容易性やコスト等の面を勘案して適宜設定することが可能である。
また、下方のエッチストップ層2(15B)は、上方のエッチストップ層1(15A)からの水素の拡散が放射状になされ、酸化物半導体膜14領域の中央部において多く、酸化物半導体膜14領域の両端部において少なくなる分布となるように、エッチストップ層1(15A)と酸化物半導体膜14領域の距離をある程度稼ぐために設けられている、と考えられる。したがって、このような観点からも、酸化物半導体膜14領域の厚みを調整するとよい。
12、112、212、312 ゲート電極
13、113、213、313 ゲート絶縁膜
14、114、214、314、414、514 酸化物半導体膜
14A1、14A2、114A1、114A2、214A1、214A2、314A、414A1、414A2、514A1、514A2 チャネル領域
14B、214B、314B 低抵抗領域
14C1、14C2、214C1、214C2、314C1、314C2 電極部隣接領域
15A、15B、115、215A、215B、315A、315B、415A、415B、515A、515B エッチストップ層
16、116、216、316、416、516 ソース電極
17、117、217、317、417、517 ドレイン電極
18、418、518 接触領域
19A1〜A4、19B、419A1〜A4、419B1〜B4、519A、519B ES層当接領域
20、420 ショート位置
Claims (5)
- 基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、酸化物半導体膜、該酸化物半導体膜を保護するエッチストップ層、およびソース電極とドレイン電極を有するソース/ドレイン電極部を、この順に積層してなる薄膜トランジスタであって、
前記エッチストップ層が構成材料としてSiNxを含み、
前記酸化物半導体膜は、前記ソース電極と前記ドレイン電極に接する電極部隣接領域を各々有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ソース電極側で前記電極部隣接領域に接する第1のチャネル領域と、前記ドレイン電極側で前記電極部隣接領域に接する第2のチャネル領域とを有し、
前記酸化物半導体膜はさらに、前記第1のチャネル領域と前記第2のチャネル領域の間に配され、これら2つのチャネル領域の各々の電気抵抗率よりも低い電気抵抗率を有する低抵抗領域を有し、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の一方と、前記酸化物半導体膜が、前記エッチストップ層の非形成部分において互いに当接する、多角形をなす接触領域を備え、この接触領域を構成する多角形の少なくとも1つの頂点を挟む2つの辺が前記エッチストップ層と接触するように構成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記多角形が矩形であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記エッチストップ層は、前記SiNxの含有量が所定の基準値以上である第1のエッチストップ層と、該SiNxの含有量が該所定の基準値未満である第2のエッチストップ層からなり、該第2のエッチストップ層および該第1のエッチストップ層の順に、前記酸化物半導体膜上に、積層されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記第1のエッチストップ層は、水素の含有量が特定の基準値以上であり、前記第2のエッチストップ層は、水素の含有量が該特定の基準値未満であることを特徴とする請求項3に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記基板の面と平行であって、前記ソース電極と前記ドレイン電極に挟まれた長さが、前記第1のエッチストップ層よりも前記第2のエッチストップ層の方が長く設定されていることを特徴とする請求項3または4に記載の薄膜トランジスタ。
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