JP2020123412A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理能力を向上する。【解決手段】実施形態によれば、半導体記憶装置は、各々が少なくとも第1及び第2データを保持可能な複数のメモリセルを含むメモリセルアレイ20を含む第1及び第2プレーンPBPと、制御回路16と、入出力回路10とを含む。第1データ(Lowerページ)は、第1読み出し動作BRにより確定される。第2データ(Upperページ)は、第2読み出し動作AR及び第3読み出し動作CRにより確定される。第1読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第1データを読み出し、第2プレーンから第2データを読み出す。第2読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第2データを読み出し、第2プレーンから第1データを読み出す。【選択図】図9
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置に関する。
半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリが知られている。
実施形態に係る半導体記憶装置は、各々が、少なくとも第1及び第2データを保持可能な複数のメモリセルを含むメモリセルアレイを含む、第1及び第2プレーンと、読み出し動作及び書き込み動作を制御するように構成された制御回路と、入出力回路とを含む。第1データは、第1読み出し電圧に対応する第1読み出し動作により確定される。第2データは、第2読み出し電圧に対応する第2読み出し動作及び第3読み出し電圧に対応する第3読み出し動作により確定される。外部コントローラから第1データの読み出しを指示する第1読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第1データを読み出し、第2プレーンから第2データを読み出し、入出力回路は、第1プレーンから読み出した第1データと第2プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。外部コントローラから第2データの読み出しを指示する第2読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第2データを読み出し、第2プレーンから第1データを読み出し、入出力回路は、第2プレーンから読み出した第1データと第1プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。
処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供できる。
以下、実施形態につき図面を参照して説明する。この説明に際し、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。また、以下に示す各実施形態は、この実施形態の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、実施形態の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。実施形態の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
1.第1実施形態
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上方に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上方に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
1.1 構成
1.1.1 メモリシステムの構成
まず、メモリシステム1の全体構成について、図1を用いて説明する。
1.1.1 メモリシステムの構成
まず、メモリシステム1の全体構成について、図1を用いて説明する。
図1に示すように、メモリシステム1は、複数の半導体記憶装置100(100a、100b、…)及びコントローラ200を含み、外部のホストデバイス2に接続される。以下、半導体記憶装置100a、100b、…のそれぞれを限定しない場合は、半導体記憶装置100と表記する。コントローラ200と半導体記憶装置100とは、例えばそれらの組み合わせにより一つの半導体記憶装置を構成してもよく、その例としてはSDTMカードのようなメモリカードや、SSD(solid state drive)等が挙げられる。
半導体記憶装置100は、データを不揮発に記憶することが可能な不揮発性メモリである。複数の半導体記憶装置100は、それぞれが独立して動作することができる。なお、メモリシステム1が備える半導体記憶装置100の個数は任意であり、1個以上あればよい。
コントローラ200は、ホストデバイス2からの要求(命令)に応答して、半導体記憶装置100に対してデータの読み出し動作、書き込み動作、及び消去動作等を命令する。なお、コントローラ200の各機能は、専用回路で実現されてもよいし、プロセッサがファームウェアを実行することにより実現されてもよい。本実施形態では、コントローラ200内に専用回路が設けられている場合について説明する。
コントローラ200は、ホストインターフェイス回路210、内蔵メモリ(RAM)220、プロセッサ(CPU;central processing unit)230、バッファメモリ240、NANDインターフェイス回路250、及びECC回路260を含む。
ホストインターフェイス回路210は、ホストバスによってホストデバイス2と接続され、ホストデバイス2との通信を司る。例えば、ホストインターフェイス回路210は、ホストデバイス2から受信した命令及びデータをそれぞれ、CPU230及びバッファメモリ240に転送する。またホストインターフェイス回路210は、CPU230の命令に応答して、バッファメモリ240内のデータ等をホストデバイス2に転送する。
RAM220は、例えば、DRAM等の半導体メモリであり、半導体記憶装置100を管理するためのファームウェアや、各種の管理テーブル等を保持する。また、RAM220は、CPU230の作業領域として使用される。
CPU230は、コントローラ200全体の動作を制御する。例えば、CPU230は、ホストデバイス2から受信した書き込み命令に応答して書き込みコマンドを発行し、発行した書き込みコマンドをNANDインターフェイス回路250に送信する。この動作は、読み出し命令及び消去命令の場合についても同様である。また、CPU230は、ウェアレベリング等、半導体記憶装置100のメモリ空間を管理するための様々な処理を実行する。
バッファメモリ240は、コントローラ200が半導体記憶装置100から受信した読み出しデータや、ホストデバイス2から受信した書き込みデータ等を一時的に保持する。
ECC回路260は、データのエラー訂正(ECC:error checking and correcting)処理を行う。具体的には、ECC回路260は、データの書き込み動作時に書き込みデータに基づいてパリティを生成する。そして、ECC回路260は、データの読み出し動作時にパリティからシンドロームを生成してエラーを検出し、検出したエラーを訂正する。
NANDインターフェイス回路250は、NANDバスによって半導体記憶装置100と接続され、半導体記憶装置100との通信を司る。例えば、NANDインターフェイス回路250は、CPU230から受信した命令に基づいて各種制御信号を半導体記憶装置100に送信する。NANDインターフェイス回路250は、半導体記憶装置100から受信したレディ/ビジー信号RBnをCPU230に送信する。また、NANDインターフェイス回路250は、信号I/Oを半導体記憶装置100との間で送受信する。
レディ/ビジー信号RBnは、コントローラ200に、半導体記憶装置100がコントローラ200からの命令を受信可能な状態であるか否かを通知する信号である。例えば、レディ/ビジー信号RBnは、半導体記憶装置100がコントローラ200からの命令を受信可能な状態(レディ状態)にある場合にHigh(“H”)レベルとされ、受信不可能な状態(ビジー状態)にある場合にLow(“L”)レベルとされる。
信号I/Oは、例えば8ビットの信号であり、コマンド、アドレス、及びデータ等を含む。より具体的には、例えば、書き込み動作時において、半導体記憶装置100に転送される信号I/Oは、CPU230が発行した書き込みコマンド、論理アドレス、及びバッファメモリ240内の書き込みデータを含む。論理アドレスは、ホストデバイス2からアクセス(読み出し動作、書き込み動作、及び消去動作等)を要求されたデータに付される。また、読み出し動作時において、半導体記憶装置100に転送される信号I/Oは、CPU230が発行した読み出しコマンド及び論理アドレスを含み、コントローラ200に転送される信号I/Oは、読み出しデータを含む。
1.1.2 半導体記憶装置の構成
次に、半導体記憶装置100の構成について、図2を用いて説明する。なお、図2の例では、半導体記憶装置100aが示されているが、他の半導体記憶装置100も同様である。また、各ブロック間の接続の一部を矢印線により示しているが、各ブロック間の接続はこれに限定されない。
次に、半導体記憶装置100の構成について、図2を用いて説明する。なお、図2の例では、半導体記憶装置100aが示されているが、他の半導体記憶装置100も同様である。また、各ブロック間の接続の一部を矢印線により示しているが、各ブロック間の接続はこれに限定されない。
図2に示すように、半導体記憶装置100は、例えば偶数個の複数の物理プレーンPBP(PBP0、PBP1、PBP2、PBP3、…)、入出力回路10、ロジック制御回路11、レジスタモジュール12、シーケンサモジュール16、電圧発生回路17、レディ/ビジー回路18、及びCGドライバモジュール19を含む。
物理プレーンPBPは、複数のメモリセルトランジスタ(図示せず)を含むブロック(図示せず)を単位として、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等を行う。例えば、各物理プレーンPBPは、同様の構成を有する。
本実施形態では、半導体記憶装置100は、2個以上の偶数個の物理プレーンPBPを含む。以下、偶数番目の物理プレーンPBP(PBP0、PBP2、…)を物理プレーンPBP(2N)とも表記し、奇数番目の物理プレーンPBP(PBP1、PBP3、…)を物理プレーンPBP(2N+1)とも表記する。変数Nは、0以上の整数であり、論理プレーンPBLの番号を示す。論理プレーンPBLは、ホストデバイス2及びコントローラ200において、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等を制御するユニットの単位である。半導体記憶装置100内では、N番目の論理プレーンPBL(N)に対応して、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)が設けられている。例えば、論理プレーンPBL(N)におけるメモリ容量は、物理プレーンPBP(2N)及び物理プレーンPBP(2N+1)のメモリ容量の和と等しい。
本実施形態では、半導体記憶装置100は、コントローラ200から1つの論理プレーンPBL(N)に対応する書き込み命令または読み出し命令を受信すると、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)を用いて、書き込み動作または読み出し動作を実行する。より具体的には、例えば、コントローラ200から論理プレーンPBL0(N=0)におけるデータ長2X(Xは任意の整数)の書き込みデータの書き込み命令を受信した場合、半導体記憶装置100は、データを2分割して、2つの物理プレーンPBP0及びPBP1に、データ長Xのデータをそれぞれ書き込む。同様に、例えば、コントローラ200から論理プレーンPBL1(N=1)における読み出し命令を受信した場合、半導体記憶装置100は、2つの物理プレーンPBP2及びPBP3からデータ長Xのデータをそれぞれ読み出し、合わせてデータ長2Xの読み出しデータをコントローラ200に送信する。
入出力回路10は、コントローラ200との間で、例えば8ビットの信号I/O0〜I/O7(以下、I/O[7:0]とも表記する)の入出力を制御する。入出力回路10は、論物変換モジュール10a及びデータ入出力回路10bを含む。
論物変換モジュール10aは、コントローラ200から、論理プレーンPBL(N)に対応する論理アドレスADD及び論理コマンドCMDを受信すると、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)に対応する物理アドレスADD及び物理コマンドCMDにそれぞれ変換して、レジスタモジュール12に送信する。
また、論物変換モジュール10aは、レジスタモジュール12から、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)に対応する物理ステータス情報STSを受信すると、論理プレーンPBL(N)に対応する論理ステータス情報STSに変換して、コントローラ200に送信する。ステータス情報STSは、例えば、コントローラ200に動作が正常に終了したか否かを通知するための情報を含む。
以下、論物変換回路31において、論理アドレスADDを物理アドレスADDに変換する動作、論理コマンドCMDを物理コマンドCMDに変換する動作、または物理ステータス情報STSを論理ステータス情報STSに変換する動作を、論物変換動作と表記する。
データ入出力回路10bは、書き込み動作において、コントローラ200から、論理プレーンPBL(N)に対応する書き込みデータDAT(データ長2X)を受信すると、データ長Xのデータに分割して、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)にそれぞれ送信する。また、データ入出力回路10bは、読み出し動作において、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPB(2N+1)で読み出されたデータ長Xの2つの読み出しデータDATを、1つのデータ長2Xのデータとして、連続してコントローラ200に送信する。
ロジック制御回路11は、コントローラ200から制御信号を受信する。制御信号には、例えばチップイネーブル信号CEn、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、及びリードイネーブル信号REnが含まれる。そしてロジック制御回路11は、受信した信号に応じて、入出力回路10及びシーケンサモジュール16を制御する。
チップイネーブル信号CEnは、半導体記憶装置100をイネーブルにするための信号であり、例えば“L”レベルでアサートされる。コマンドラッチイネーブル信号CLEは、信号I/OがコマンドCMDであることを示す信号であり、例えば“H”レベルでアサートされる。アドレスラッチイネーブル信号ALEは、信号I/OがアドレスADDであることを示す信号であり、例えば“H”レベルでアサートされる。ライトイネーブル信号WEnは、受信した信号を半導体記憶装置100内へ取り込むための信号であり、コントローラ200よりコマンドCMD、アドレスADD、及びデータDAT等を受信する度に、例えば“L”レベルでアサートされる。よって、WEnがトグルされる度に、信号I/Oが半導体記憶装置100に取り込まれる。リードイネーブル信号REnは、コントローラ200が、半導体記憶装置100からデータDATを読み出すための信号である。リードイネーブル信号REnは、例えば“L”レベルでアサートされる。
レジスタモジュール12は、第1ステータスレジスタ13a、第2ステータスレジスタ13b、第1アドレスレジスタ14a、第2アドレスレジスタ14b、第1コマンドレジスタ15a、及び第2コマンドレジスタ15bを含む。
第1ステータスレジスタ13aは、例えば、物理プレーンPBP(2N)におけるデータの書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等において、シーケンサモジュール16から受信した第1物理ステータス情報STSを一時的に保持する。そして、第1ステータスレジスタ13aは、保持している第1物理ステータス情報STSを入出力回路10に転送する。
第2ステータスレジスタ13bは、例えば、物理プレーンPBP(2N+1)におけるデータの書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等において、シーケンサモジュール16から受信した第2物理ステータス情報STSを一時的に保持する。そして、第2ステータスレジスタ13bは、保持している第2物理ステータス情報STSを入出力回路10に転送する。
第1アドレスレジスタ14aは、入出力回路10から受信した、例えば、物理プレーンPBP(2N)に対応する第1物理アドレスADDを一時的に保持する。第1物理アドレスADDは、例えば、プレーンアドレスPA、ブロックアドレスBA、及びカラムアドレスCAを含む。第1アドレスレジスタ14aは、例えば、プレーンアドレスPAをCGドライバモジュール19に送信し、ブロックアドレスBA及びカラムアドレスCAを対応する物理プレーンPBP(2N)に転送する。
第2アドレスレジスタ14bは、入出力回路10から受信した、例えば、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する第2物理アドレスADDを一時的に保持する。第2物理アドレスADDは、例えば、プレーンアドレスPA、ブロックアドレスBA、及びカラムアドレスCAを含む。第2アドレスレジスタ14bは、例えば、プレーンアドレスPAをCGドライバモジュール19に送信し、ブロックアドレスBA及びカラムアドレスCAを対応する物理プレーンPBP(2N+1)に転送する。
第1コマンドレジスタ15aは、入出力回路10から受信した、例えば、物理プレーンPBP(2N)に対応する第1物理コマンドCMDを一時的に保持する。第1コマンドレジスタ15aは、第1物理コマンドCMDをシーケンサモジュール16に転送する。
第2コマンドレジスタ15bは、入出力回路10から受信した、例えば、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する第2物理コマンドCMDを一時的に保持する。第2コマンドレジスタ15bは、第2物理コマンドCMDをシーケンサモジュール16に転送する。
シーケンサモジュール16は、コントローラ200から受信した書き込み命令、読み出し命令、及び消去命令等に応じて、半導体記憶装置100全体の動作を制御する。シーケンサモジュール16は、第1シーケンサ16a及び第2シーケンサ16bを含む。
第1シーケンサ16aは、第1コマンドレジスタ15aが保持する第1物理コマンドCMDに応じて、例えば、第1ステータスレジスタ13a、レディ/ビジー回路18、電圧発生回路17、CGドライバモジュール19、及び物理プレーンPBP(2N)等を制御し、物理プレーンPBP(2N)における書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等を実行する。
第2シーケンサ16bは、第2コマンドレジスタ15bが保持する第2物理コマンドCMDに応じて、例えば、第2ステータスレジスタ13b、レディ/ビジー回路18、電圧発生回路17、CGドライバモジュール19、及び物理プレーンPBP(2N+1)等を制御し、物理プレーンPBP(2N+1)における書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作等を実行する。
電圧発生回路17は、シーケンサモジュール16の制御に応じて、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作に必要な電圧を発生させ、この発生した電圧を、例えば、CGドライバモジュール19及び物理プレーンPBP等に供給する。
レディ/ビジー回路18は、シーケンサモジュール16の制御に応じて、レディ/ビジー信号RBnをコントローラ200に送信する。
CGドライバモジュールは、第1アドレスレジスタ14a及び第2アドレスレジスタ14bから受信したプレーンアドレスPAに基づいて、対応する物理プレーンPB(2N)及びPB(2N+1)に、電圧発生回路17から供給された電圧を印加する。
1.1.3 物理プレーンの構成
次に、物理プレーンPBの構成について、図3を用いて説明する。なお、図3の例では、物理プレーンPBP0が示されているが、他の物理プレーンPBPも同様の構成である。
次に、物理プレーンPBの構成について、図3を用いて説明する。なお、図3の例では、物理プレーンPBP0が示されているが、他の物理プレーンPBPも同様の構成である。
図3に示すように、物理プレーンPBPは、メモリセルアレイ20、ロウデコーダ21、センスアンプ22、データレジスタ23、カラムデコーダ24を含む。
メモリセルアレイ20は、ワード線及びビット線に関連付けられた複数の不揮発性のメモリセルトランジスタ(以下、メモリセルとも表記する)を含む複数のブロックBLK(BLK0、BLK1、…)を備えている。各ブロックBLKは、例えば、互いに識別可能なブロックアドレスBAによって区別される。
ブロックBLKは、例えばデータの消去単位となり、同一のブロックBLK内のデータは、一括して消去される。各ブロックBLKは、例えば4つのストリングユニットSU(SU0〜SU3)を備えている。各ストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを備えている。なお、メモリセルアレイ20内のブロックBLK数、1つのブロックBLK内のストリングユニットSU数、及び1つのストリングユニットSU内のNANDストリングNSの個数は、任意に設定できる。
ロウデコーダ21は、各ブロックBLKにおいて、ロウ方向に沿って配置された配線(例えば、ワード線及び選択ゲート線)に接続される。そして、ロウデコーダ21は、ブロックアドレスBAに基づいて選択したブロックBLKの配線に、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作に必要な電圧を印加する。
センスアンプ22は、読み出し動作のときには、メモリセルアレイ20から読み出されたデータをセンスする。そして、センスアンプ22は、読み出しデータをデータレジスタ23に送信する。また、センスアンプ22は、書き込み動作のときには、データレジスタから受信した書き込みデータをメモリセルアレイ20に送信する。
データレジスタ23は、複数のラッチ回路を備える。ラッチ回路は、書き込みデータ及び読み出しデータを保持する。例えば、書き込み動作において、データレジスタ23は、入出力回路10から受信した書き込みデータを一時的に保持し、センスアンプ22に送信する。また、例えば、読み出し動作において、データレジスタ23は、センスアンプ22から受信した読み出しデータを一時的に保持し、入出力回路10に送信する。
カラムデコーダ24は、例えば書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作の際、カラムアドレスCAをデコードし、デコード結果に応じてデータレジスタ23内のラッチ回路を選択する。
1.1.4 メモリセルアレイの回路構成
次に、メモリセルアレイ20の回路構成について、図4を用いて説明する。図4の例では、ブロックBLK0の回路図が示されるが、他のブロックBLKも同様の構成である。
次に、メモリセルアレイ20の回路構成について、図4を用いて説明する。図4の例では、ブロックBLK0の回路図が示されるが、他のブロックBLKも同様の構成である。
図4に示すように、ブロックBLK0は、例えば4つのストリングユニットSU(SU0〜SU3)を含む。そして、各々のストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含む。NANDストリングNSの各々は、例えば96個のメモリセルトランジスタMT0〜MT95、並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。以下、メモリセルトランジスタMT0〜MT95のそれぞれを限定しない場合は、メモリセルトランジスタMTと表記する。メモリセルトランジスタMTは、制御ゲートと電荷蓄積層とを備え、データを不揮発に保持する。
なお、メモリセルトランジスタMTは、電荷蓄積層に絶縁膜を用いたMONOS型であってもよいし、電荷蓄積層に導電層を用いたFG型であってもよい。また、メモリセルトランジスタMTの個数は96個に限られず、8個、16個、32個、48個、64個、または128個等であってもよく、その数は限定されるものではない。更に、選択トランジスタST1及びST2の個数は、任意であり、それぞれ1個以上あればよい。
1つのNANDストリングNS内のメモリセルトランジスタMTは、選択トランジスタST1のソースと選択トランジスタST2のドレインとの間に直列接続されている。より具体的には、メモリセルトランジスタMT0〜MT95は、その電流経路が直列に接続される。そしてメモリセルトランジスタMT95のドレインは、選択トランジスタST1のソースに接続され、メモリセルトランジスタMT0のソースは、選択トランジスタST2のドレインに接続されている。
ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST1のゲートは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3を介してロウデコーダ21に接続される。以下、選択ゲート線SGD0〜SGD3のそれぞれを限定しない場合は、選択ゲート線SGDと表記する。
ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGSを介してロウデコーダ21に接続される。なお、ストリングユニットSU0〜SU3の各々における選択トランジスタST2のゲートは、それぞれ選択ゲート線SGS0〜SGS3を介してロウデコーダ21に接続されてもよい。
ブロックBLK内にあるメモリセルトランジスタMT0〜MT95の制御ゲートは、それぞれワード線WL0〜WL95に接続される。ワード線WL0〜WL95はロウデコーダ21に接続される。以下、ワード線WL0〜WL95のそれぞれを限定しない場合は、ワード線WLと表記する。
ストリングユニットSU内にある各NANDストリングNSの選択トランジスタST1のドレインは、それぞれ異なるビット線BL0〜BL(L−1)(Lは2以上の整数)に接続される。以下、ビット線BL0〜BL(L−1)のそれぞれを限定しない場合は、ビット線BLと表記する。各ビット線BLは、センスアンプ22に接続される。各ビット線BLは、複数のブロックBLK間で各ストリングユニットSU内にある1つのNANDストリングNSに共通に接続される。
複数のブロックBLKの複数の選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通に接続される。
ストリングユニットSUは、異なるビット線BLに接続され且つ同一の選択ゲート線SGDに接続されたNANDストリングNSの集合体である。またブロックBLKは、ワード線WLを共通にする複数のストリングユニットSUの集合体である。そして、メモリセルアレイ20は、ビット線BLを共通にする複数のブロックBLKの集合体である。
書き込み動作及び読み出し動作は、いずれかのストリングユニットSUにおけるいずれかのワード線WLに接続されたメモリセルトランジスタMTに対して、一括して行われる。以下、書き込み動作及び読み出し動作の際、一括して選択されるメモリセルトランジスタMTの群を「メモリセルグループMCG」と表記する。そして、1つのメモリセルグループMCGにおいて、メモリセルトランジスタMTの各々に書き込まれる、または読み出される1ビットのデータの集まりを「ページ」と表記する。従って、1つのメモリセルトランジスタMTに2ビットデータを記憶させる場合、1本のワード線WLに接続されたメモリセルグループMCGには、2ページ分のデータが記憶される。以下の説明では、1つのメモリセルトランジスタMTが2ビットのデータを保持可能な場合について説明する。
本実施形態では、論理プレーンPBL(N)における1ページが、物理プレーンPBPにおける2ページ、すなわち、物理プレーンPBP(2N)における1ページと物理プレーンPBP(2N+1)における1ページとから構成される。以下では、説明を簡略化するため、論理プレーンPBLにおけるブロックBLK数、ストリングユニットSU数、及びワード線WLの本数が、物理プレーンPBPにおけるブロックBLK数、ストリングユニットSU数、及びワード線WLの本数と同じであり、論理プレーンPBLにおけるビット線BLの本数(すなわちデータ長)が、物理プレーンPBPにおけるビット線BLの本数の2倍である場合について説明する。
なお、メモリセルトランジスタMTが保持できるデータのビット数は2ビットに限定されない、複数ビット、すなわち、2ビット以上であれば、本実施形態を適用できる。
また、メモリセルアレイ20の構成は、他の構成であってもよい。メモリセルアレイ20の構成については、例えば、“三次元積層不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。また、“三次元積層不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法(NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME)”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号“半導体メモリ及びその製造方法(SEMICONDUCTOR MEMORY AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME)”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
1.1.5 論物変換モジュールの構成
次に、論物変換モジュール10aの構成について、図5を用いて説明する。
次に、論物変換モジュール10aの構成について、図5を用いて説明する。
図5に示すように、論物変換モジュール10aは、論理和(OR)回路30及び論物変換回路31を含む。
論理和回路30の第1入力端子は、第1ステータスレジスタ13aに接続され、第2入力端子は、第2ステータスレジスタ13bに接続されている。論理和回路30は、第1ステータスレジスタ13aから受信した物理プレーンPBP(2N)に対応する第1物理ステータス情報STSと物理プレーンPBP(2N+1)に対応する第2物理ステータス情報STSとの論理和演算を行い、その結果を、論理プレーンPBL(N)に対応する論理ステータス情報STSとして出力する。
より具体的には、例えば、1つの物理プレーンPBPにおいて動作が正常に終了した場合、物理ステータス情報が“L”レベルとされ、動作が正常に終了しなかった場合に、物理ステータス情報が“H”レベルとされるとする。すると、例えば、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)において動作が正常に終了した場合、第1及び第2物理ステータス情報STSは“L”レベルとされる。この場合、論理和回路30は、“L”レベルの論理ステータス情報STSを出力する。
また、例えば、物理プレーンPBP(2N)において動作が正常に終了し、物理プレーンPBP(2N+1)において動作が正常に終了しなかった場合、第1物理ステータス情報STSは“L”レベルとされ、第2物理ステータス情報STSは“H”レベルとされる。この場合、論理和回路30は、“H”レベルの論理ステータス情報STSを出力する。
また、例えば、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)において動作が正常に終了しなかった場合、第1及び第2物理ステータス情報STSは“H”レベルとされる。この場合、論理和回路30は、“H”レベルの論理ステータス情報STSを出力する。
また、例えば、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)において動作が正常に終了しなかった場合、第1及び第2物理ステータス情報STSは“H”レベルとされる。この場合、論理和回路30は、“H”レベルの論理ステータス情報STSを出力する。
論物変換回路31は、コントローラ200から受信した、論理プレーンPBL(N)に対応する論理アドレスADDを、物理プレーンPBP(2N)に対応する第1物理アドレスADD及び物理プレーンPBP(2N+1)に対応する第2物理アドレスADDに変換して、第1アドレスレジスタ14a及び第2アドレスレジスタ14bにそれぞれ送信する。また、論物変換回路31は、コントローラ200から受信した、論理プレーンPBL(N)に対応する論理コマンドCMDを、物理プレーンPBP(2N)に対応する第1物理コマンドCMD及び物理プレーンPBP(2N+1)に対応する第2物理コマンドCMDに変換して、第1コマンドレジスタ15a及び第2コマンドレジスタ15bにそれぞれ送信する。
1.1.6 データ入出力回路の構成
次に、データ入出力回路10bの構成について、図6を用いて説明する。
次に、データ入出力回路10bの構成について、図6を用いて説明する。
図6に示すように、データ入出力回路10bは、FIFO(first in first out)形式のバッファ回路(以下、「FIFO」と表記する)32、第0マルチプレクサ33、第1マルチプレクサ34、第2マルチプレクサ35、及びアドレスカウンタ36を含む。
FIFO32は、コントローラ200から受信した信号I/O[7:0]がデータDATである場合、第0マルチプレクサ33に、信号I/O[7:0]を順次送信する。また、FIFO32は、第0マルチプレクサ33から受信したデータDATを信号I/O[7:0]として順次出力する。
FIFO32は、例えば、信号I/O[7:0]に対応する8個のシフトレジスタユニット(不図示)を含む。例えば、各シフトレジスタユニットは、直列に接続された複数のフリップフロップを含み、内部クロック信号に応じて、入力データを順次出力する。
第0マルチプレクサ33は、8つの入出力端子T1、8つの入出力端子T2、及び8つの入出力端子T3を有する。第0マルチプレクサ33の8つの入出力端子T1は、8本の信号線を介して、FIFO32とそれぞれ接続される。第0マルチプレクサ33の8つの入出力端子T2は、8本の信号線を介して、第1マルチプレクサ34とそれぞれ接続される。また、第0マルチプレクサ33の8つの入出力端子T3は、8本の信号線を介して、第2マルチプレクサ35とそれぞれ接続される。ロジック制御回路11の制御信号に基づいて、第0マルチプレクサ33内において、入出力端子T1と、入出力端子T2または入出力端子T3とが電気的に接続される。
第1マルチプレクサ34は、アドレスカウンタ36の制御信号に基づいて、第0マルチプレクサ33と物理プレーンPBP(2N)内のデータレジスタ23とを接続する。なお、物理プレーンPBP(2N)内において、データレジスタ23は、複数の信号線を介して、センスアンプ22と接続される。
第1マルチプレクサ34は、8つの入出力端子T4及び複数の入出力端子T5を有する。第1マルチプレクサ34の8つの入出力端子T4は、第0マルチプレクサ33の8つの入出力端子T2とそれぞれ接続される。第1マルチプレクサ34の複数の入出力端子T5は、複数の信号線を介して、物理プレーンPBP(2N)内のデータレジスタ23にそれぞれ接続される。第1マルチプレクサ34内では、アドレスカウンタ36におけるカウント数(カウント信号)に基づいて複数の入出力端子T5から8つずつ入出力端子T5が順に選択され、選択された8つの入出力端子T5と8つの入出力端子T4とが電気的にそれぞれ接続される。
第2マルチプレクサ35は、アドレスカウンタ36の制御信号に基づいて、第0マルチプレクサ33と物理プレーンPBP(2N+1)内のデータレジスタ23とを接続する。また、物理プレーンPBP(2N+1)内のデータレジスタ23は、複数の信号線を介して、物理プレーンPBP(2N+1)内のセンスアンプ22に接続される。
第2マルチプレクサ35は、8つの入出力端子T6及び複数の入出力端子T7を有する。第2マルチプレクサ35の8つの入出力端子T6は、第0マルチプレクサ33の8つの入出力端子T3とそれぞれ接続される。第2マルチプレクサ35の複数の入出力端子T7は、複数の信号線を介して、物理プレーンPBP(2N+1)内のデータレジスタ23にそれぞれ接続される。第2マルチプレクサ35内では、アドレスカウンタ36におけるカウント数に基づいて複数の入出力端子T7から8つずつ入出力端子T7が順に選択され、選択された8つの入出力端子T7と8つの入出力端子T6とが電気的にそれぞれ接続される。
アドレスカウンタ36は、カラムアドレスCAに基づいて、カウントを行い、カウント数、すなわち、カウント信号を第1マルチプレクサ34及び第2マルチプレクサ35に出力する。
本実施形態では、例えば、偶数ワード線WLに対応するメモリセルグループMCGからデータを読み出す場合、データ入出力回路10bは、物理プレーンPBP(2N)のデータを出力してから、物理プレーンPBP(2N+1)のデータを出力する。より具体的には、第0マルチプレクサ33は、まず、入出力端子T1と入出力端子T2を電気的に接続する。この状態において、第1マルチプレクサ34では、入出力端子T4と、アドレスカウンタ36から受信したカウント数に基づいて順次選択された入出力端子T5とが電気的に接続される。これにより物理プレーンPBP(2N)のデータが出力される。次に、第0マルチプレクサ33は、入出力端子T1と入出力端子T3を電気的に接続する。この状態において、第2マルチプレクサ35では、入出力端子T6と、アドレスカウンタ36から受信したカウント数に基づいて順次選択された入出力端子T7とが電気的に接続される。これにより物理プレーンPBP(2N+1)のデータが出力される。
また、例えば、奇数ワード線WLに対応するメモリセルグループMCGからデータを読み出す場合、データ入出力回路10bは、物理プレーンPBP(2N+1)のデータを出力してから、物理プレーンPBP(2N)のデータを出力する。
1.2 メモリセルトランジスタMTの閾値分布
次に、メモリセルトランジスタMTの閾値分布について、図7を用いて説明する。図7は、各メモリセルトランジスタMTの取り得るデータ、閾値分布、及び読み出し動作時に用いる電圧を示している。
次に、メモリセルトランジスタMTの閾値分布について、図7を用いて説明する。図7は、各メモリセルトランジスタMTの取り得るデータ、閾値分布、及び読み出し動作時に用いる電圧を示している。
図7に示すように、メモリセルトランジスタMTが2ビットのデータを保持する場合、その閾値電圧の分布は4個に分けられる。この4個の閾値分布を、閾値電圧が低いものから順に“Er”レベル、“A”レベル、“B”レベル、及び“C”レベルと表記する。
また、図7に示す電圧VA、VB、及びVCはそれぞれ、書き込み動作時における“Er”レベル、“A”レベル、“B”レベル、及び“C”レベルのベリファイに用いられる。電圧VREADは、読み出し動作時において非選択ワード線WLに印加される電圧である。メモリセルトランジスタMTは、ゲート(ワード線WL)に電圧VREADが印加されると保持するデータによらずにオン状態になる。これらの電圧値の関係は、VA<VB<VC<VREADである。
上述した閾値分布のうち“Er”レベルは、メモリセルトランジスタMTの消去状態に相当する。“Er”レベルにおける閾値電圧は、電圧VA未満である。“A”レベルにおける閾値電圧は、電圧VA以上且つ電圧VB未満である。“B”レベルにおける閾値電圧は、電圧VB以上且つ電圧VC未満である。“C”レベルにおける閾値電圧は、電圧VC以上且つ電圧READ未満である。
本実施形態における読み出し動作では、説明を簡略化するため、ベリファイ電圧を読み出し電圧として使用した場合を一例として説明する。以下に、電圧VA、VB、及びVCを用いた読み出し動作のことをそれぞれ、読み出し動作AR、BR、及びCRと表記する。読み出し動作ARは、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧が電圧VA未満か否かを判定する。読み出し動作BRは、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧が電圧VB未満か否かを判定する。読み出し動作CRは、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧が電圧VC未満か否かを判定する。
また、上述した4個の閾値分布は、Lowerビット及びUpperからなる2ビット(2ページ)データを書き込むことで形成される。そして、4個の閾値分布が、それぞれ異なる2ビットのデータに対応する。本実施形態では、各レベルに含まれるメモリセルトランジスタMTに対して、“Lowerビット/Upperビット”に以下に示すようにデータを割り付ける。
“Er”レベルに含まれるメモリセルトランジスタMTは、“11”データを保持する。“A”レベルに含まれるメモリセルトランジスタMTは、“01”データを保持する。“B”レベルに含まれるメモリセルトランジスタMTは、“00”データを保持する。“C”レベルに含まれるメモリセルトランジスタMTは、“10”データを保持する。このように割り付けられたデータを読み出す場合、Upperビットは、読み出し動作AR及びCRによって確定する。Lowerビットは、読み出し動作BRによって確定する。よって、Upperビット及びLowerビットの値は、それぞれ2回及び1回の読み出し動作によって確定する。
1.3 論物変換回路における論物変換動作の一例
次に、論物変換回路31における論物変換動作の一例について、図8を用いて説明する。図8の例は、データ長2Xのデータの読み出し動作を命令するコマンドシーケンスに基づいて、論物変換動作が実行される場合を示している。
次に、論物変換回路31における論物変換動作の一例について、図8を用いて説明する。図8の例は、データ長2Xのデータの読み出し動作を命令するコマンドシーケンスに基づいて、論物変換動作が実行される場合を示している。
まず、読み出し動作のコマンドシーケンスについて説明する。
図8に示すように、まず、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、論理プレーンPBL(N)のLowerページを指定するコマンド“01h”またはUpperページを指定するコマンド“02h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、読み出し動作を実行することを通知するコマンド“00h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を順に送信する。なお、図8の例では、アドレスADDを6サイクルで示しているが、サイクル数は、半導体記憶装置100の個数、メモリセルアレイ20の構成及び1ページのデータ長等に応じて任意に設定可能である。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、読み出し動作の実行を命令するコマンド“30h”を送信する。半導体記憶装置100は、コマンド“30h”に応答して、読み出し動作を開始する。以下、読み出し動作に対応するコマンドの組み合わせを読み出し命令のコマンドセットとも表記する。
次に、論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”の構成について説明する。
1サイクルのアドレスADDには、信号I/O0〜I/O7に対応する8ビットの情報が含まれる。以下、アドレス“ADD1”における信号I/O0〜I/O7を信号A0〜A7とそれぞれ表記する。同様に、アドレス“ADD2”における信号I/O0〜I/O7を信号A8〜A15とそれぞれ表記する。アドレス“ADD3”における信号I/O0〜I/O7を信号A16〜A23とそれぞれ表記する。アドレス“ADD4”における信号I/O0〜I/O7を信号A24〜A31とそれぞれ表記する。アドレス“ADD5”における信号I/O0〜I/O7を信号A32〜A39とそれぞれ表記する。アドレス“ADD6”における信号I/O0〜I/O7を信号A40〜A47とそれぞれ表記する。
図8の例では、論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”における信号A0〜A12は、データ長2Xに対応するカラムアドレスCA、すなわちビット線BLを示している。信号A16及びA17は、対象となるストリングユニットSUを示している。信号A18〜A24は、対象となるワード線WLを示している。信号A25〜A28は、プレーンアドレスPA、すなわち対象となる論理プレーンPBL(N)を示している。信号A29〜A38は、対象となるブロックBLKを示している。信号A39〜A41は、対象となるチップ、すなわち半導体記憶装置100を示している。信号A13〜A15及びA42〜A47は、未使用である。なお、信号A0〜A47に割り付けられる情報は、半導体記憶装置100の個数、メモリセルアレイ20の構成、及び1ページのデータ長等に応じて任意に設定可能である。
次に、論物変換回路31における論物変換動作について、説明する。
論物変換回路31は、論理プレーンPBL(N)に対応する6サイクルの論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を受信すると、物理プレーンPBP(2N)に対応する6サイクルの物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”と、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する6サイクルの物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”とに変換する。
より具体的には、論理プレーンPBL(N)に対応する6サイクルの論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を、物理プレーンPBP(2N)に対応する6サイクルの物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”に変換する場合、論物変換回路31は、論理アドレスADDにおいてデータ長2XのカラムアドレスCAに対応する信号A0〜A12を、データ長XのカラムアドレスCAに対応する信号A0〜A11に変換する。論物変換回路31は、論理アドレスADDにおいて論理プレーンPBL(N)に対応する信号A25〜A28を、物理プレーンPBP(2N)に対応する信号A25〜A28に変換する。
物理アドレスADDにおける信号A16〜A24及び信号A29〜A41は、論理アドレスADDにおける信号A16〜A24及び信号A29〜A41と同じである。なお、例えば、論理プレーンPBLにおけるブロックBLK、ストリングユニットSU、及びワード線WLの構成が、物理プレーンPBPにおけるブロックBLK、ストリングユニットSU、及びワード線WLの構成と異なる場合、物理アドレスADDの信号A16〜A24及び信号A29〜A41は、論理アドレスADDの信号A16〜A24及び信号A29〜A41と異なっていてもよい。
論物変換回路31は、アドレス変換後、第1アドレスレジスタ14aに、物理プレーンPBP(2N)に対応する物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を送信する。
また、論物変換回路31は、第1コマンドレジスタ15aに、物理プレーンPBP(2N)に対応するコマンドCMDを送信する。このとき、論物変換回路31は、コマンド“01h”及び“02h”に基づく情報、すなわち、Lowerページ及びUpperページについての情報を反転しない。これにより、読み出し命令のコマンドセットに、論理プレーンPBL(N)のLowerページに対応するコマンド“01h”が含まれている場合、物理プレーンPBP(2N)においては、Lowerページの読み出し動作が実行される。同様に、読み出し命令のコマンドセットに、論理プレーンPBL(N)のUpperページに対応するコマンド“02h”が含まれている場合、物理プレーンPBP(2N)においては、Upperページの読み出し動作が実行される。
また、論理プレーンPBL(N)に対応する6サイクルの論理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する6サイクルの物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”に変換する場合、論物変換回路31は、論理アドレスADDにおいてデータ長2XのカラムアドレスCAに対応する信号A0〜A12を、データ長XのカラムアドレスCAに対応する信号A0〜A11に変換する。論物変換回路31は、論理アドレスADDにおいて論理プレーンPBL(N)に対応する信号A25〜A28を、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する信号A25〜A28に変換する。
また、物理プレーンPBP(2N)と同様に、物理アドレスADDにおける信号A16〜A24及び信号A29〜A41は、論理アドレスADDにおける信号A16〜A24及び信号A29〜A41と同じである。
論物変換回路31は、アドレス変換後、第2アドレスレジスタ14bに、物理プレーンPBP(2N+1)に対応する物理アドレス“ADD1”〜“ADD6”を送信する。
また、論物変換回路31は、第2コマンドレジスタ15bに、物理プレーンPBP(2N+1)に対応するコマンドCMDを送信する。このとき、論物変換回路31は、コマンド“01h”及び“02h”に基づく情報、すなわち、Lowerページ及びUpperページについての情報を反転する。これにより、読み出し命令のコマンドセットに、論理プレーンPBL(N)のLowerページに対応するコマンド“01h”が含まれている場合、物理プレーンPBP(2N+1)においては、Upperページの読み出し動作が実行される。同様に、読み出し命令のコマンドセットに、論理プレーンPBL(N)のUpperページに対応するコマンド“02h”が含まれている場合、物理プレーンPBP(2N+1)においては、Lowerページの読み出し動作が実行される。
1.4 読み出し動作
次に、読み出し動作について、説明する。
次に、読み出し動作について、説明する。
1.4.1 読み出しページとデータの読み出し順序との関係
まず、読み出しページとデータの読み出し順序との関係について、図9を用いて説明する。
まず、読み出しページとデータの読み出し順序との関係について、図9を用いて説明する。
図9に示すように、半導体記憶装置100は、読み出し動作において、一方の物理プレーンPBPではLowerページのデータを読み出し、他方の物理プレーンPBPには、Upperページのデータを読み出す。
例えば、論理プレーンPBL(N)においてLowerページが読み出し対象である場合、物理プレーンPBP(2N)では、Lowerページが読み出し対象として選択され、物理プレーンPBP(2N+1)では、Upperページが読み出し対象として選択される。そして、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)の各データレジスタ23に格納されている読み出しデータは、物理プレーンPBP(2N)、物理プレーン(2N+1)の順に出力される。
これに対し、例えば、論理プレーンPBL(N)においてUpperページが読み出し対象である場合、物理プレーンPBP(2N)では、Upperページが読み出し対象として選択され、物理プレーンPBP(2N+1)では、Lowerページが読み出し対象として選択される。そして、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)の各データレジスタ23に格納されている読み出しデータは、物理プレーンPBP(2N+1)、物理プレーン(2N)の順に出力される。
より具体的には、例えば、読み出し命令のコマンドセットにおいて論理プレーンPBL(N)のワード線WL0のLowerページが指定されている場合、物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)においてワード線WL0が選択される(以下、選択ワード線WLとも表記する)。物理プレーンPBP(2N)においては、ワード線WL0のLowerページの読み出し動作が実行され、読み出されたデータはデータレジスタ23に格納される。また、物理プレーンPBP(2N+1)においては、ワード線WL0のUpperページの読み出し動作が実行され、読み出されたデータはデータレジスタ23に格納される。データ入出力回路10bは、物理プレーンPBP(2N)のデータを出力した後、物理プレーンPBP(2N+1)のデータを出力する。
また、例えば、読み出し命令のコマンドセットにおいて論理プレーンPBL(N)のワード線WL0のUpperページが指定されている場合、物理プレーンPBP(2N)においては、選択ワード線WL0のUpperページの読み出し動作が実行され、読み出されたデータはデータレジスタ23に格納される。また、物理プレーンPBP(2N+1)においては、選択ワード線WL0のLowerページの読み出し動作が実行され、読み出されたデータはデータレジスタ23に格納される。データ入出力回路10bは、物理プレーンPBP(2N)のデータを出力した後、物理プレーンPBP(2N+1)のデータを出力する。
読み出し命令のコマンドセットにおいて論理プレーンPBL(N)のワード線WL1〜95のLowerページまたはUpperページが指定されている場合も、ワード線WL0のLowerページまたはUpperページが選択されている場合と同様である。
1.4.2 コマンドシーケンスと読み出し動作のタイミング
次に、コマンドシーケンスと読み出し動作のタイミングについて、図10を用いて説明する。なお、図10の例では、説明を簡略化するために、アドレスADDを1サイクルで表記する。
次に、コマンドシーケンスと読み出し動作のタイミングについて、図10を用いて説明する。なお、図10の例では、説明を簡略化するために、アドレスADDを1サイクルで表記する。
図10に示すように、シーケンサモジュール16は、読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”または“02h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“30h”)を受信すると、信号RBnを“L”レベルにして、Lowerページの読み出し動作とUpperページの読み出し動作を開始する。より具体的には、読み出し命令のコマンドセットがコマンド“01h”を含む場合、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)においてLowerページの読み出し動作を開始し、第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)においてUpperページの読み出し動作を開始する。また、読み出し命令のコマンドセットがコマンド“02h”を含む場合、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)においてUpperページの読み出し動作を開始し、第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)においてLowerページの読み出し動作を開始する。
Lowerページは、読み出し動作BRにより確定し、Upperページは、読み出し動作AR及びCRにより確定するため、Lowerページの読み出し動作が先に終了する。
シーケンサモジュール16は、Lowerページの読み出しデータがデータレジスタ23に格納され、読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。これにより、半導体記憶装置100は、コントローラ200にデータ出力可能な状態になる。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、半導体記憶装置100にデータの出力を命令する。より具体的には、コントローラ200は、まず、半導体記憶装置100に、Lowerページを指定するコマンド“01h”またはUpperページを指定するコマンド“02h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、データの出力動作を実行することを通知するコマンド“05h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、論理アドレスADDを送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、データの出力動作の実行を命令するコマンド“E0h”を送信する。以下、データの出力動作に対応するコマンドの組み合わせを出力命令のコマンドセットとも表記する。なお、論理アドレスADDの変更がない場合、出力命令のコマンドセットは、省略されてもよい。
データ入出力回路10bは、コントローラ200から受信した信号REnに応じてLowerページのデータ“Dout(L)”の出力を開始する。
シーケンサモジュール16は、データ“Dout(L)”を出力している間に、Upperページの読み出し動作を終了させる。
データ入出力回路10bは、データ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、連続してUpperページのデータ“Dout(U)”の出力を実行する。
より具体的には、論理プレーンPBL(N)のLowerページに対応する読み出し動作の場合、物理プレーンPBP(2N)のLowerページの読み出し動作が終了すると、データの出力動作が開始される。また、論理プレーンPBL(N)のUpperページに対応する読み出し動作の場合、物理プレーンPBP(2N+1)のLowerページの読み出し動作が終了すると、データの出力動作が開始される。すなわち、論理プレーンPBL(N)のLowerページまたはUpperページによらず、半導体記憶装置100は、いずれかの物理プレーンPBPのLowerページの読み出し動作が終了すると、データの出力動作を開始する。
物理プレーンPBPにおける1ページのデータ長は、論理プレーンPBLにおける1ページのデータ長の1/2であるため、半導体記憶装置100におけるLowerページの読み出し動作の期間は、例えば、論理プレーンPBLの1ページのデータを読み出す期間よりも短い。
1.5 書き込み動作
次に、書き込み動作について、説明する。以下では、LowerページとUpperページを一括して書き込む場合について説明する。
次に、書き込み動作について、説明する。以下では、LowerページとUpperページを一括して書き込む場合について説明する。
1.5.1 データの書き込み順序
まず、データの書き込み順序について、図11を用いて説明する。本実施形態では、上述の読み出し動作に対応するため、入力データ(書き込みデータ)を分割して物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)に書き込む際、偶数ワード線WLと奇数ワード線WLとで異なるページ(LowerページまたはUpperページ)にする。
まず、データの書き込み順序について、図11を用いて説明する。本実施形態では、上述の読み出し動作に対応するため、入力データ(書き込みデータ)を分割して物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)に書き込む際、偶数ワード線WLと奇数ワード線WLとで異なるページ(LowerページまたはUpperページ)にする。
図11に示すように、データ長2XのLowerページの入力データにおいて、データの前半部分(データ長X)をデータD1と表記し、データの後半部分(データ長X)をデータD2と表記する。同様に、データ長2XのUpperページの入力データにおいて、データの前半部分(データ長X)をデータD3と表記し、データの後半部分(データ長X)をデータD4と表記する。
例えば、入力データを偶数ワード線WLに書き込む場合、シーケンサモジュール16は、データ長2XのLowerページの入力データのうち、データD1を物理プレーンPBP(2N)のLowerページに書き込み、データD2を物理プレーンPBP(2N+1)のUpperページに書き込む。また、シーケンサモジュール16は、データ長2XのUpperページの入力データのうち、データD3を物理プレーンPBP(2N)のUpperページに書き込み、データD4を物理プレーンPBP(2N+1)のLowerページに書き込む。
また、例えば、入力データを奇数ワード線WLに書き込む場合、シーケンサモジュール16は、データ長2XのLowerページの入力データのうち、データD1を物理プレーンPBP(2N+1)のLowerページに書き込み、データD2を物理プレーンPBP(2N)のUpperページに書き込む。また、シーケンサモジュール16は、データ長2XのUpperページの入力データのうち、データD3を物理プレーンPBP(2N+1)のUpperページに書き込み、データD4を物理プレーンPBP(2N)のLowerページに書き込む。
すなわち、半導体記憶装置100は、論理プレーンPBLの1ページのデータを、一方の物理プレーンPBPにはLowerページのデータとして格納し、他方の物理プレーンPBPには、Upperページのデータとして格納する。
1.5.2 コマンドシーケンス
次に、コマンドシーケンスについて、図12を用いて説明する。なお、図12の例では、説明を簡略化するために、アドレスADDを1サイクルで表記する。
次に、コマンドシーケンスについて、図12を用いて説明する。なお、図12の例では、説明を簡略化するために、アドレスADDを1サイクルで表記する。
図12に示すように、まず、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、Lowerページを指定するコマンド“01h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、書き込み動作を実行することを通知するコマンド“80h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、論理アドレスADDを送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、データ長2XのLowerページのデータ、すなわち、データD1及びD2を送信する(図12の参照符号“Din(D1)”及び“Din(D2)”)。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、コマンド“1Ah”を送信する。シーケンサモジュール16は、コマンド“1Ah”を受信すると、レディビジー信号RBnを“L”レベルにする。物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)内では、各データレジスタ23に保持されたデータD1及びD2が、対応するセンスアンプ22にそれぞれ転送される。
シーケンサモジュール16は、センスアンプ22へのデータD1及びD2の転送が終了すると、レディビジー信号RBnを“H”レベルにする。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、Upperページを指定するコマンド“02h”を送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、コマンド“80h”及び論理アドレスADDを順次送信する。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、データ長2XのUpperページのデータ、すなわち、データD3及びD4を送信する(図12の参照符号“Din(D3)”及び“Din(D4)”)。
次に、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、書き込み動作の実行を命令するコマンド“10h”を送信する。シーケンサモジュール16は、コマンド“10h”を受信すると、信号RBnを“L”レベルにする。物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)内では、各データレジスタ23に保持されたデータD3及びD4が、対応するセンスアンプ22にそれぞれ転送された後、書き込み動作が実行される。
シーケンサモジュール16は、書き込み動作が終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。
1.6 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供できる。本効果につき詳述する。
本実施形態に係る構成であれば、処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供できる。本効果につき詳述する。
例えば、半導体記憶装置は、Lowerページのデータを読み出す場合、1回の読み出し動作BRによりデータを確定するが、Upperページのデータを読み出す場合、2回目の読み出し動作AR及びCRによりデータを確定する。このため、Lowerページの読み出し動作よりも、Upperページの読み出し動作の方が、処理時間は長くなる傾向がある。
これに対し、本実施形態に係る構成であれば、半導体記憶装置100は、1つの論理プレーンPBL(N)に対応する2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)を含み、論理プレーンPBL(N)の1ページのデータを分割して、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)に格納できる。また、半導体記憶装置100は、2つの物理プレーンPBP(2N)及びPBP(2N+1)にデータを格納する際に、一方の物理プレーンPBPにはLowerページのデータとして格納し、他方の物理プレーンPBPには、Upperページのデータとして格納できる。これにより、半導体記憶装置100は、論理プレーンPBLのLowerページまたはUpperページによらず、一方の物理プレーンPBPのLowerページの読み出し動作が終了すると、データの出力動作を開始でき、Lowerページのデータを出力している間に、他方の物理プレーンPBPにおけるUpperページの読み出し動作を終了させ、連続してUpperページのデータを出力できる。従って、論理プレーンPBLのUpperページに対応する読み出し動作において、読み出し動作の開始からデータの出力開始までの期間を短くできる。よって、半導体記憶装置100の処理能力を向上できる。
更に、本実施形態に係る構成であれば、1つの物理プレーンPBPにおける1ページのデータ長を、1つの論理プレーンPBLにおける1ページのデータ長の1/2にできる。このため、物理プレーンPBPにおけるLowerページの読み出し動作の期間を、論理プレーンPBLにおけるLowerページの読み出し動作の期間よりも短くできる。従って、論理プレーンPBLのLowerページに対応する読み出し動作において、読み出し動作の開始からデータの出力開始までの期間を短くできる。よって、半導体記憶装置100の処理能力を向上できる。
2.第2実施形態
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、複数の読み出し命令を連続して実行する場合について、2つの例を示す。以下、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、複数の読み出し命令を連続して実行する場合について、2つの例を示す。以下、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
2.1 第1例
まず、第1例について、図13を用いて説明する。図13の例は、3つの読み出し命令を受信する場合を示している。なお、図13の例では、説明を簡略化するため、データの出力命令のコマンドセットが省略されている。
まず、第1例について、図13を用いて説明する。図13の例は、3つの読み出し命令を受信する場合を示している。なお、図13の例では、説明を簡略化するため、データの出力命令のコマンドセットが省略されている。
図13に示すように、まず、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、第1読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“30h”)を送信する。
シーケンサモジュール16は、第1読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにし、第1読み出し命令に対応する読み出し動作を実行する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。
シーケンサモジュール16(第1シーケンサ16a)は、物理プレーンPBP(2N)において、読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、半導体記憶装置100に、第2読み出し命令のコマンドセット(コマンド“02h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“31h”)を送信する。コマンド“31h”は、実行中の読み出し命令(第1読み出し命令)が終了した後に、コマンド“31h”を含む読み出し命令のコマンドセットを実行するように予約するコマンドである。
なお、コマンド“31h”を含む読み出し命令のコマンドセットは、実行中の読み出し命令が、論理プレーンPBLのLowerページに対応する読み出し命令であるかUpperページに対応する読み出し命令であるかに関わらず、論理プレーンPBLのLowerページに対応する読み出し動作の予約であってもよく、論理プレーンPBLのUpperページに対応する読み出し動作の予約であってもよい。
シーケンサモジュール16は、第2読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにし、レジスタモジュール12に第2読み出し命令のコマンドセットを格納する。
シーケンサモジュール16は、レジスタモジュール12へのコマンドセットの格納が終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第1読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
データ入出力回路10bが第1読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”を出力している間に、第1読み出し命令に対応する読み出し動作CR(物理プレーンPBP(2N+1)におけるUpperページの読み出し動作)が終了すると、シーケンサモジュール16は、予約されていた第2読み出し命令に対応する読み出し動作を開始する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。
読み出し動作AR及びBRを実行している間に、第1読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、データ入出力回路10bは、引き続き第1読み出し命令に対応するUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
コントローラ200は、第1読み出し命令に対応するデータの出力動作が終了すると、半導体記憶装置100に、第3読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“31h”)を送信する。
シーケンサモジュール16は、第3読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにする。
シーケンサモジュール16(第2シーケンサ16b)は、第2読み出し命令に対応する読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを”H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第2読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
シーケンサモジュール16は、データ入出力回路10bが第2読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”を出力している間に、第2読み出し命令に対応する読み出し動作CRが終了すると、予約されていた第3読み出し命令に対応する読み出し動作を開始する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。
第3読み出し命令に対応する読み出し動作AR及びBRを実行している間に、第2読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、データ入出力回路10bは、引き続き第2読み出し命令に対応するUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
シーケンサモジュール16は、第2読み出し命令に対応するデータの出力動作が終了すると、信号RBnを“L”レベルにする。
シーケンサモジュール16(第1シーケンサ16a)は、第3読み出し命令に対応する読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを”H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第3読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
データ入出力回路10bが第3読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”を出力している間に、第3読み出し命令に対応する読み出し動作CRが終了する。
データ入出力回路10bは、第3読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、引き続き第3読み出し命令に対応するUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
2.2 第2例
まず、第2例について、図14を用いて説明する。図14の例は、3つの読み出し命令を受信する場合を示している。なお、図14の例では、説明を簡略化するため、データの出力命令のコマンドセットが省略されている
図14に示すように、まず、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、第1読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“30h”)を送信する。
まず、第2例について、図14を用いて説明する。図14の例は、3つの読み出し命令を受信する場合を示している。なお、図14の例では、説明を簡略化するため、データの出力命令のコマンドセットが省略されている
図14に示すように、まず、コントローラ200は、半導体記憶装置100に、第1読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“30h”)を送信する。
シーケンサモジュール16は、第1読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにし、第1読み出し命令に対応する読み出し動作を実行する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。
シーケンサモジュール16(第1シーケンサ16a)は、物理プレーンPBP(2N)において、読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、半導体記憶装置100に、第2読み出し命令のコマンドセット(コマンド“02h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“3Ch”)を送信する。コマンド“3Ch”は、いずれかの物理プレーンPBPにおいて、実行中の読み出し動作BRが終了した後に、コマンド“3Ch”を含む読み出し命令のコマンドセットに対応する読み出し動作を実行するように予約するコマンドである。
なお、コマンド“3Ch”を含む読み出し命令のコマンドセットを送信する場合、当該コマンドセットに対応する論理プレーンPBLのページ(LowerページまたはUpperページ)は、実行中の読み出し命令に対応する論理プレーンPBLのページと異なるように設定される。より具体的には、例えば、実行中の読み出し命令が、論理プレーンPBLのLowerページに対応する読み出し動作である場合、論理プレーンPBLのUpperページに対応する読み出し動作が予約される。また、例えば、実行中の読み出し命令が、論理プレーンPBLのUpperページに対応する読み出し動作である場合、論理プレーンPBLのLowerページに対応する読み出し動作が予約される。
シーケンサモジュール16は、第2読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにし、第2読み出し命令のコマンドセットをレジスタモジュール12に格納する。
シーケンサモジュール16は、レジスタモジュール12へのコマンドセットの格納が終了すると、信号RBnを“H”レベルにする。
シーケンサモジュール16(第1シーケンサ16a)は、第1読み出し命令に対応する読み出し動作BRが終了している物理プレーンPBP(2N)において、予約されていた第2読み出し命令に対応する読み出し動作を開始する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第1読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
シーケンサモジュール16(第2シーケンサ16b)は、データ入出力回路10bが第1読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”を出力している間に、第1読み出し命令に対応する読み出し動作CR(物理プレーンPBP(2N+1)におけるUpperページの読み出し動作)が終了すると、物理プレーンPBP(2N+1)において、予約されていた第2読み出し命令に対応する読み出し動作を開始する。より具体的には、第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。
このように、本例では、偶数番目の読み出し命令に対応する読み出し動作においては、Upperページに対応する読み出し動作が、Lowerページに対応する読み出し動作よりも先に開始される。なお、偶数番目の読み出し命令においては、Upperページに対応する読み出し動作の終了のタイミングと、Lowerページに対応する読み出し動作の終了のタイミングとを合わせるため、シーケンサモジュール16は、Upperページに対応する読み出し動作ARを開始した後、予め設定された期間が経過してからLowerページに対応する読み出し動作BRを開始してもよい。
データ入出力回路10bは、第1読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、引き続き第1読み出し命令に対応するUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
コントローラ200は、第1読み出し命令に対応するデータの出力動作が終了すると、半導体記憶装置100に、第3読み出し命令のコマンドセット(コマンド“01h”、コマンド“00h”、アドレスADD、コマンド“31h”)を送信する。
シーケンサモジュール16は、第3読み出し命令のコマンドセットを受信すると、信号RBnを“L”レベルにする。
シーケンサモジュール16(第2シーケンサ16b)は、第2読み出し命令に対応する読み出し動作BRが終了すると、信号RBnを”H”レベルにする。
シーケンサモジュール16は、予約されていた第3読み出し命令に対応する読み出し動作を開始する。より具体的には、第1シーケンサ16aは、物理プレーンPBP(2N)において、Lowerページに対応する読み出し動作BRを実行する。第2シーケンサ16bは、物理プレーンPBP(2N+1)において、Upperページに対応する読み出し動作AR及びCRを実行する。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第2読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
データ入出力回路10bは、第2読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”及びUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
シーケンサモジュール16は、第2読み出し命令に対応するデータの出力動作が終了すると、信号RBnを“L”レベルにする。
シーケンサモジュール16(第1シーケンサ16a)は、第3読み出し命令に対応する読み出し動作BRが終了しているのを確認すると、信号RBnを”H”レベルにする。
コントローラ200は、“H”レベルの信号RBnを受信すると、データ入出力回路10bに、第3読み出し命令に対応するデータの出力動作を開始させる。
データ入出力回路10bが第3読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”を出力している間に、第3読み出し命令に対応する読み出し動作CRが終了する。
データ入出力回路10bは、第3読み出し命令に対応するLowerページのデータ“Dout(L)”の出力動作が終了すると、引き続き第3読み出し命令に対応するUpperページのデータ“Dout(U)”の出力動作を実行する。
2.3 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
更に、本実施形態の第2例に係る構成であれば、奇数番目の読み出し命令に対応する読み出し動作CRと、偶数番目の読み出し命令に対応する読み出し動作ARとを並行して実行できるため、複数の読み出し命令を連続して実行する場合に、全体の処理時間を短くできる。
3.変形例等
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、各々が、少なくとも第1及び第2データを保持可能な複数のメモリセルを含むメモリセルアレイ(20)を含む、第1及び第2プレーン(PBP(2N)とPBP(2N+1)と、読み出し動作及び書き込み動作を制御するように構成された制御回路(16)と、入出力回路(10)とを含む。第1データ(Lowerページ)は、第1読み出し電圧(VB)に対応する第1読み出し動作(BR)により確定される。第2データ(Upperページ)は、第2読み出し電圧(VA)に対応する第2読み出し動作(AR)及び第3読み出し電圧(VC)に対応する第3読み出し動作(CR)により確定される。外部コントローラ(200)から第1データの読み出しを指示する第1読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第1データを読み出し、第2プレーンから第2データを読み出し、入出力回路は、第1プレーンから読み出した第1データと第2プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。外部コントローラ(200)から第2データの読み出しを指示する第2読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第2データを読み出し、第2プレーンから第1データを読み出し、入出力回路は、第2プレーンから読み出した第1データと第1プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、各々が、少なくとも第1及び第2データを保持可能な複数のメモリセルを含むメモリセルアレイ(20)を含む、第1及び第2プレーン(PBP(2N)とPBP(2N+1)と、読み出し動作及び書き込み動作を制御するように構成された制御回路(16)と、入出力回路(10)とを含む。第1データ(Lowerページ)は、第1読み出し電圧(VB)に対応する第1読み出し動作(BR)により確定される。第2データ(Upperページ)は、第2読み出し電圧(VA)に対応する第2読み出し動作(AR)及び第3読み出し電圧(VC)に対応する第3読み出し動作(CR)により確定される。外部コントローラ(200)から第1データの読み出しを指示する第1読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第1データを読み出し、第2プレーンから第2データを読み出し、入出力回路は、第1プレーンから読み出した第1データと第2プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。外部コントローラ(200)から第2データの読み出しを指示する第2読み出し命令を受信した場合、制御回路は、第1プレーンから第2データを読み出し、第2プレーンから第1データを読み出し、入出力回路は、第2プレーンから読み出した第1データと第1プレーンから読み出した第2データとを順次出力する。
上記実施形態を適用することにより、処理能力を向上できる半導体記憶装置を提供できる。
なお、実施形態は上記説明した形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
例えば、メモリセルトランジスタMTは、3ビット以上のデータを保持可能であってもよい。
更に、上記実施形態では、物理プレーンPBP(2N)及び物理プレーン(2N+1)がそれぞれ異なるロウデコーダ21を含む場合について説明したが、物理プレーンPBP(2N)及び物理プレーン(2N+1)が1つのロウデコーダ21を共有してもよい。
更に、上記実施形態では、1つの論理プレーンPBLのデータが、1つの半導体記憶装置100内の2つの物理プレーンPBP内に格納される場合について説明したが、2つの半導体記憶装置の物理プレーンPBP内に格納されてもよい。
更に、1つの論理プレーンPBLのデータが、1つの半導体記憶装置100内の3つ以上の物理プレーンPBP内に格納されてもよい。
更に、上記実施形態において、半導体記憶装置は三次元積層型NAND型フラッシュメモリに限定されない。平面NAND型フラッシュメモリであってもよく、2ビット以上のデータを保持可能なメモリセルを有する不揮発性メモリにも適用できる。
更に、上記実施形態における「接続」とは、間に例えばトランジスタあるいは抵抗等、他の何かを介在させて間接的に接続されている状態も含む。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…メモリシステム、2…ホストデバイス、10…入出力回路、10a…論物変換モジュール、10b…データ入出力回路、11…ロジック制御回路、12…レジスタモジュール、13a…第1ステータスレジスタ、13b…第2ステータスレジスタ、14a…第1アドレスレジスタ、14b…第2アドレスレジスタ、15a…第1コマンドレジスタ、15b…第2コマンドレジスタ、16…シーケンサモジュール、16a…第1シーケンサ、16b…第2シーケンサ、17…電圧発生回路、18…レディ/ビジー回路、19…CGドライバモジュール、20…メモリセルアレイ、21…ロウデコーダ、22…センスアンプ、23…データレジスタ、24…カラムデコーダ、30…論理和回路、31…論物変換回路、32…FIFO、33…第0マルチプレクサ、34…第1マルチプレクサ、35…第2マルチプレクサ、36…アドレスカウンタ、100…半導体記憶装置、200…コントローラ、210…ホストインターフェイス回路、220…内蔵メモリ、230…プロセッサ、240…バッファメモリ、250…NANDインターフェイス回路、260…ECC回路。
Claims (7)
- 各々が、少なくとも第1及び第2データを保持可能な複数のメモリセルを含むメモリセルアレイを含む、第1及び第2プレーンと、
読み出し動作及び書き込み動作を制御するように構成された制御回路と、
入出力回路と
を備え、
前記第1データは、第1読み出し電圧に対応する第1読み出し動作により確定され、
前記第2データは、第2読み出し電圧に対応する第2読み出し動作及び第3読み出し電圧に対応する第3読み出し動作により確定され、
外部コントローラから前記第1データの読み出しを指示する第1読み出し命令を受信した場合、前記制御回路は、前記第1プレーンから前記第1データを読み出し、前記第2プレーンから前記第2データを読み出し、前記入出力回路は、前記第1プレーンから読み出した前記第1データと前記第2プレーンから読み出した前記第2データとを順次出力し、
前記外部コントローラから前記第2データの読み出しを指示する第2読み出し命令を受信した場合、前記制御回路は、前記第1プレーンから前記第2データを読み出し、前記第2プレーンから前記第1データを読み出し、前記入出力回路は、前記第2プレーンから読み出した前記第1データと前記第1プレーンから読み出した前記第2データとを順次出力する、
半導体記憶装置。 - 前記入出力回路は、前記第1プレーン及び前記第2プレーンの一方における前記第1読み出し動作が終了した後、前記第1プレーン及び前記第2プレーンの他方における前記第3読み出し動作が終了する前に、前記第1プレーンから読み出した前記第1データの出力を開始する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記制御回路は、前記第1読み出し命令を実行中に、前記第2読み出し命令を受信した場合、前記第1読み出し命令に対応する前記第3読み出し動作が終了する前に、前記第2読み出し命令に対応する前記第1読み出し動作を開始する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記制御回路は、前記外部コントローラから書き込み命令を受信した場合、前記第1プレーン及び前記第2プレーンの一方に前記第1データを書き込み、前記第1プレーン及び前記第2プレーンの他方に前記第2データを書き込む、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1プレーンは、
前記複数のメモリセルのゲートに共通に接続されたワード線が接続されたロウデコーダと、
前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線がそれぞれ接続されたセンスアンプと、
前記センスアンプに接続されたデータレジスタと
を含む、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記入出力回路及び前記第1プレーンに接続された第1アドレスレジスタと、
前記入出力回路及び前記第2プレーンに接続された第2アドレスレジスタと
を更に備え、
前記入出力回路は、前記外部コントローラから第1アドレスが入力された場合、前記第1アドレスを前記第1プレーンに対応する第2アドレスと前記第2プレーンに対応する第3アドレスとに変換した後、前記第2アドレスを前記第1アドレスレジスタに送信し、前記第3アドレスを前記第2アドレスレジスタに送信する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。 - 前記入出力回路は、前記外部コントローラから書き込みデータが入力されると、前記書き込みデータの第1部分を前記第1プレーンに送信し、前記書き込みデータの第2部分を前記第2プレーンに送信する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。
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