JP2020122730A - 慣性センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
Description
基板と、
前記Y軸に沿う揺動軸まわりに揺動する可動体と、
前記可動体を支持し、前記基板に固定されている固定部と、
前記基板に固定され、前記可動体と接触することにより、前記可動体の前記Z軸まわりの回転変位を規制するストッパーと、を有し、
前記ストッパーと前記基板とが接合されているストッパー接合領域は、前記Z軸に沿う方向からの平面視で、前記可動体を前記Y軸に沿う方向に延長した第1領域内に位置し、
前記ストッパーの前記第1領域外に位置する部分は、前記基板から離間していることを特徴とする慣性センサー。
図1は、第1実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。図2は、図1中のA−A線断面図である。図3は、図1中のB−B線断面図である。図4は、センサー素子およびストッパーの基板との固定部を示す平面図である。図5は、従来構成の問題を説明するための断面図である。図6は、本実施形態の効果を説明するための断面図である。図7ないし図12は、それぞれ、図1に示す慣性センサーの変形例を示す平面図である。
図13は、第2実施形態に係る慣性センサーを示す平面図である。図14は、図13中のC−C線断面図である。
図15は、本発明の第3実施形態に係る電子機器としてのスマートフォンを示す平面図である。
図16は、本発明の第4実施形態に係る電子機器としての慣性計測装置を示す分解斜視図である。図17は、図16に示す慣性計測装置が有する基板の斜視図である。
図18は、本発明の第5実施形態に係る電子機器としての移動体測位装置の全体システムを示すブロック図である。図19は、図18に示す移動体測位装置の作用を示す図である。
図20は、本発明の第6実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
Claims (11)
- 互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸としたとき、
基板と、
前記Y軸に沿う揺動軸まわりに揺動する可動体と、
前記可動体を支持し、前記基板に固定されている固定部と、
前記基板に固定され、前記可動体と接触することにより、前記可動体の前記Z軸まわりの回転変位を規制するストッパーと、を有し、
前記ストッパーと前記基板とが接合されているストッパー接合領域は、前記Z軸に沿う方向からの平面視で、前記可動体を前記Y軸に沿う方向に延長した第1領域内に位置し、
前記ストッパーの前記第1領域外に位置する部分は、前記基板から離間していることを特徴とする慣性センサー。 - 前記ストッパー接合領域は、前記Z軸に沿う方向からの平面視で、前記固定部を前記Y軸に沿う方向に延長した第2領域内に位置し、
前記ストッパーの前記第2領域外に位置する部分は、前記基板から離間している請求項1に記載の慣性センサー。 - 前記ストッパー接合領域は、前記Z軸に沿う方向からの平面視で、前記揺動軸と重なっている請求項2に記載の慣性センサー。
- 前記可動体と前記固定部とを接続する梁を有し、
前記ストッパー接合領域は、前記Z軸に沿う方向からの平面視で、前記梁を前記Y軸に沿う方向に延長した第3領域内に位置し、
前記ストッパーの前記第3領域外に位置する部分は、前記基板から離間している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 前記ストッパーは、前記固定部と一体であり、
前記固定部と前記基板とが接合されている固定部接合領域は、前記ストッパー接合領域を兼ねている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 前記固定部は、前記可動体の外側に位置している請求項5に記載の慣性センサー。
- 前記ストッパーは、前記固定部と別体であり、
前記ストッパー接合領域は、前記固定部と前記基板とが接合されている固定部接合領域と異なる位置にある請求項1ないし4のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 前記固定部は、前記可動体の内側に位置している請求項7に記載の慣性センサー。
- 前記可動体は、前記揺動軸を挟んで配置されている第1可動部および前記揺動軸まわりの回転モーメントが前記第1可動部と異なる第2可動部を備え、
前記基板に配置され、前記第1可動部と対向している第1固定検出電極と、
前記基板に配置され、前記第2可動部と対向している第2固定検出電極と、を有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の慣性センサー。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の慣性センサーと、
慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の慣性センサーと、
慣性センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御回路と、を有することを特徴とする移動体。
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