JP3876615B2 - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体加速度センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体加速度センサとして、図11および図12に示すように、矩形枠状の支持部16に一対の薄肉の撓み部4を介して揺動自在に支持された重り部5を有し、各撓み部4にそれぞれ撓み部4の変形を検出するピエゾ抵抗よりなる2つのゲージ抵抗6が形成され、各ゲージ抵抗6から支持部16の所定部位にわたってp+拡散層よりなる配線11が形成されたセンシングエレメント1を備えたものが提案されている。なお、上述の撓み部4は、一般的に、ビームあるいはカンチレバーと称されている。
【0003】
ここにおいて、センシングエレメント1における重り部5と、撓み部4と、支持部16とはシリコン基板1aをエッチング加工することで一体に形成されている。すなわち、センシングエレメント1は、シリコン基板1aの裏面側において重り部5を全周にわたって囲む凹所10aが異方性エッチングなどを利用して形成され、シリコン基板1aの主表面側において凹所10aに連通するスリット101,102が撓み部4を残して重り部5を略全周にわたって囲むように形成されている。要するに、シリコン基板1aの主表面側において、支持部16の内周面と重り部5の外周面との間には、スリット10の幅だけの隙間があることになる。
【0004】
また、センシングエレメント1は、シリコン基板1aの主表面上にシリコン酸化膜8が形成され、シリコン酸化膜8上にシリコン窒化膜9が形成されている。また、シリコン基板1aにおける支持部16の主表面側には配線11にコンタクト部12を介して接続されたアルミニウムよりなる配線13および配線13に接続されたアルミニウムよりなるパッド14が設けられている。ここに、パッド14は、矩形枠状の支持部16において撓み部4を挟んで重り部5に対向する部位の主表面側に形成されており、別途に設けられた導電パターン20にボンディングワイヤ15を介して電気的に接続して使用される。なお、導電パターン20は、例えばセラミック基板に設けられた厚膜導体(例えば、Ag/Pd)や、プラスチック製またはセラミック製のパッケージに設けられたリードなどにより構成される。リードの材料としては銅合金や42アロイ(鉄とニッケルとの合金)などが用いられる。
【0005】
また、センシングエレメント1の主表面側にはアルミニウムよりなる接合用薄膜7を介してガラス製の上部キャップ2が接合され、裏面側にはガラス製の下部キャップ3が接合されている。
【0006】
上述の半導体加速度センサの製造方法の一例について例示すれば以下のようになる。
【0007】
まず、主表面の結晶面が(100)の単結晶シリコンのウェハの主表面および裏面それぞれの全面にシリコン酸化膜を形成し、その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの主表面のシリコン酸化膜のうち上記スリット101,102に対応した部位を開口し、その後、ウェハの主表面のシリコン酸化膜をマスクとして露出した部分を所定深さ(例えば、6〜30μm程度)までエッチングする。
【0008】
次に、ウェハの主表面において露出した部位に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、その後、配線11を形成するためにフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの主表面のシリコン酸化膜をパターニングし、その後、パターニングされたシリコン酸化膜をマスクとしてイオン注入によってウェハの主表面側にp形不純物のプレデポジションを行う。その後、ウェハの露出した主表面に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、続いてp形不純物のドライブを行うことによりp+拡散層よりなる配線11を形成する。
【0009】
次に、ゲージ抵抗6を形成するためにウェハの主表面のシリコン酸化膜をパターニングし、その後、パターニングされたシリコン酸化膜をマスクとしてイオン注入によってウェハの主表面側にp形不純物のプレデポジションを行う。その後、ウェハの露出した主表面に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、続いてp形不純物のドライブを行うことによりゲージ抵抗6を形成する。なお、ここまでの工程が終了した時点でウェハの主表面側に形成されているシリコン酸化膜が図11におけるシリコン酸化膜8となる。
【0010】
その後、ウェハの主表面側および裏面側それぞれにシリコン窒化膜を形成し、ウェハの主表面側のシリコン窒化膜9およびシリコン酸化膜8にコンタクトホールを設けてアルミニウムよりなる金属層をウェハの主表面側の全面に形成し、当該金属層をパターニングすることにより配線13およびパッド14および接合用薄膜7を形成する。
【0011】
さらにその後、ウェハの主表面側の全面にシリコン窒化膜よりなる保護膜を形成し、続いて上記凹所10aを形成するためにフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの裏面側のシリコン窒化膜およびシリコン酸化膜をパターニングし、パターニングされたシリコン窒化膜をマスクとしてアルカリ性の溶液を用いた異方性エッチングにより上記凹所10aおよびスリット101,102を形成する。その後、ウェハの主表面側の保護膜およびシリコン窒化膜9の不要な部分を除去することでセンシングエレメント1が多数形成されたウェハが得られる。
【0012】
その後、上部キャップ2が多数形成された第1のガラス基板および下部キャップ3が多数形成された第2のガラス基板を上記ウェハに陽極接合して得られたセンサウェハをスクライブ線に沿ってダイシングすることで図11に示す構成の半導体加速度センサ(センサチップ)が形成される。
【0013】
ところで、図11および図12に示す構成の半導体加速度センサでは、上述の4つのゲージ抵抗6がブリッジ接続されており、重り部5の質量をmとし、センシングエレメント1の厚み方向(図11における上下方向)に加速度αがかかると、その加速度αの大きさに応じて重り部5にはmαの力(慣性力)が働き重り部5が揺動することで撓み部4が撓み、その結果、撓み部4に歪みによる応力が生じ、ピエゾ抵抗効果によって各ゲージ抵抗6の抵抗値が変化するので、この抵抗値変化を電圧信号として取り出すことで、印加された加速度を検出できるようになっている。言い換えれば、加速度に比例した電圧信号を取り出すことができる。すなわち、図13に示すように、上述の4つのゲージ抵抗6をR1〜R4とし、上述の4つのパッド14をp1〜p4とすると、4つのピエゾ抵抗R1〜R4は図14に示すようにブリッジ接続されているから、例えばパッドp1,p4間に定電圧源を接続すれば、ピエゾ抵抗R1〜R4の抵抗値変化をパッドp2,p3間の電圧変化として検出することができるのである。
【0014】
また、上部キャップ2および下部キャップ3は、それぞれ重り部5との対向面に重り部5の揺動空間(重り部5との間のエアギャップ)を確保するための凹所2a,3aがサンドブラスト加工などにより形成されている。なお、サンドブラスト加工では、粒径が数10μmのアルミナなどの砥粒を噴射して物理的に凹所2a,3aを掘り込んでいる。
【0015】
しかして、上述の半導体加速度センサでは、エアダンピング効果によって重り部5の揺動範囲を抑制してセンシングエレメント1の撓み部4の破壊を防止している。ここに、センシングエレメント1は、エアダンピング効果によって減衰特性を持たせセンサ自体の周波数特性が最適になるように各凹所2a,3aの底面と重り部5と距離などを設定してある。つまり、共振を起こさないようにエアダンピング効果を利用して減衰特性を持たせることで、撓み部4の破壊を防止している。
【0016】
さらに、上部キャップ2および下部キャップ3は、それぞれ凹所2a,3aの底面において重り部5に対向する部位の適宜位置に、過大な加速度が印加された時に重り部5の変位範囲を規制する微小なストッパ2b,3bが突設されている。要するに、過大な加速度が印加された場合には、重り部5がストッパ2b,3bに当接することにより、それ以上変位することがないから、重り部5が過大に変位することによる撓み部4の破壊を防止することができるのである。
【0017】
上述の半導体加速度センサでは、一方の撓み部4に形成された一対のゲージ抵抗R1,R4の接続点とパッドp1とを接続する配線11および他方の撓み部4に形成された一対のゲージ抵抗R2,R3の接続点とパッドp3とを接続する配線11が、重り部5と支持部16とに跨るように引き回されているので、撓み部4が折れた場合には配線11が断線するから、撓み部4が折れてしまうような故障を外部で検知することができる(特開平9−166618号公報参照)。
【0018】
また、図15に示すようにゲージ抵抗6とは別に2つのパッド14,14’間に挿入される拡散抵抗よりなる検知用抵抗19を支持部16の主表面側に設け、検知用抵抗19におけるパッド14’側の配線11’を、支持部16と撓み部4と重り部5とに跨るように引き回すことで撓み部4の折れを検出するようにした構成のものも提案されている(特願平11−240444号)。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
半導体加速度センサは、自動車のエアバックやABS(アンチロックブレーキシステム)などにおいて加速度検出に使用されるので、高い信頼性が要求されており、センサの故障原因を判断できる故障診断機能を備えている必要がある。そこで、上述のように特開平9−166618号公報や特願平11−240444号に記載のものでは、支持部16と重り部5とに跨る配線11,11’を設け配線11,11’への通電の有無で撓み部4の折れや配線11の断線を検出可能としてある。要するに、配線11,11’への通電の有無によって故障を判断することができるので、センシングエレメント1へ上部キャップ2,3を接合したウェハ単位でのプロービング検査時や、回路基板へ組立実装しハウジング(パッケージ)へ組み込んだ後の最終特性検査時にも、配線11,11’への通電の有無によって撓み部4の折れを検出することができる。
【0020】
ところで、目視や光学顕微鏡などによる外観検査によって撓み部4の折れを検査する方法も考えられる。しかしながら、上部キャップ2の凹所2aはサンドブラスト加工によって形成されているので、凹所2aの底面に数μmの凹凸が形成され、凹所2aの底面がすりガラス状の粗面になっており、光学顕微鏡による外観検査では光が乱反射してピントがぼけてしまうから、十分な検査ができないという問題があった。しかして、ウェハ単位でのプロービング検査以降の工程で撓み部4が折れてしまうと、回路基板へ実装しハウジングへ組み込んだ後の最終検査時まで撓み部4が折れていることが分からないので、多くの工程が無駄になるとともに比較的高価な回路基板やパッケージが付加された上で廃棄されることになり、コストが高くなってしまうという不具合があった。
【0021】
また、上述の半導体加速度センサにおいて撓み部4の反りが大きなものでは、重り部5と凹所2a,3aとの間の距離の設計値からのずれが大きくなるので、周波数特性が悪くなって共振し、重り部がストッパ2b,3bに衝突するときの衝撃によって撓み部4が破損してしまう恐れがあるが、センシングエレメント1に上部キャップ2および下部キャップ3を接合した後には撓み部4の反りを測定する手段がなかったので、信頼性を高めるのが難しいという不具合があった。
【0022】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、低コストで信頼性が高い半導体加速度センサを提供することにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】
請求項1,3の発明は、上記目的を達成するために、半導体基板よりなる枠状の支持部の内側に薄肉の撓み部を介して揺動自在に支持され支持部から離間した重り部を有し、撓み部の変形を検出するゲージ抵抗が撓み部に形成されたセンシングエレメントと、センシングエレメントとの対向面に第1の凹所が設けられセンシングエレメントの主表面側に接合された第1のキャップと、センシングエレメントとの対向面に第2の凹所が設けられセンシングの裏面側に接合された第2のキャップとを備え、重り部において前記第1の凹所に臨む面に検査用マークを設け、前記検査用マークを視認可能とする検査窓を前記第1のキャップに設けてなることを特徴とするものであり、センシングエレメントに上部キャップおよび下部キャップを接合した後でも検査用マークを視認することができるので、光学顕微鏡などの光学式の測距装置を利用して非接触且つ非破壊で例えば支持部の主表面と一定の距離にある基準平面に対する検査用マークの距離を測定し測定距離が規定範囲内にある場合のみ良品と判定するような検査を行うことで撓み部が折れたり反り過ぎている不良品を抜き取ることが可能となり、コストを低減できるとともに信頼性を高めることができる。
【0024】
また、請求項1の発明では、前記検査用マークを前記重り部における前記撓み部側と反対側の先端部に設け、前記検査窓を前記検査用マークと前記支持部における前記重り部の先端部に対向する部分の主表面とに跨って視認可能とする長孔状の形状に形成してあるので、前記重り部の先端部に対向する部分の主表面自体を基準平面とすることができるから、検査精度を高めることができ、より信頼性が高くなる。
【0025】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記検査用マークと前記検査窓との組を複数組設けてあるので、例えば各検査用マークについて基準平面に対する検査用マークの距離を測定して比較することで撓み部の折れや反りの他に撓み部のねじれの有無を検査することが可能になる。
【0026】
また、請求項3の発明では、前記検査用マークを前記重り部と前記撓み部と前記支持部とを結ぶ直線に平行な直線に沿って前記重り部における前記撓み部側の基端部と前記撓み部側と反対側の先端部とに設けてあるので、例えば測距装置から各検査用マークまでの距離を比較することで重り部の傾きや撓み部の反り、折れなどを検査することが可能になる。
【0028】
【発明の実施の形態】
(参考例)
本参考例の半導体加速度センサの基本構成は図11および図12に示した従来構成と略同じであって、図1および図2に示すように、矩形枠状の支持部16に一対の薄肉の撓み部4を介して揺動自在に支持された重り部5を有し、各撓み部4にそれぞれ撓み部4の変形を検出するピエゾ抵抗よりなる2つのゲージ抵抗6が形成され、各ゲージ抵抗6から支持部16の所定部位にわたってp+拡散層よりなる配線11が形成されている。
【0029】
センシングエレメント1における重り部5と、撓み部4と、支持部16とはシリコン基板1aをエッチング加工することで一体に形成されている。すなわち、センシングエレメント1は、シリコン基板1aの裏面側において重り部5を全周にわたって囲む凹所10aが異方性エッチングなどを利用して形成され、シリコン基板1aの主表面側において凹所10aに連通するスリット101,102が撓み部4を残して重り部5を略全周にわたって囲むように形成されている。要するに、シリコン基板1aの主表面側において、支持部16の内周面と重り部5の外周面との間には、スリット101の幅だけの隙間があることになる。
【0030】
また、センシングエレメント1は、シリコン基板1aの主表面上にシリコン酸化膜8が形成され、シリコン酸化膜8上にシリコン窒化膜9が形成されている。また、シリコン基板1aにおける支持部16の主表面側には配線11にコンタクト部12を介して接続されたアルミニウムよりなる配線13および配線13に接続されたアルミニウムよりなるパッド14が設けられている。また、図15に示した従来構成と同様に、ゲージ抵抗6とは別にパッド14,14’間に挿入される拡散抵抗よりなる検知用抵抗19を支持部16の主表面側に設け、検知用抵抗16におけるパッド14’側の配線11’を、支持部16と撓み部4と重り部5とに跨るように引き回すことで撓み部4の折れを検出できるようにしてある。ここに、パッド14,14’は、矩形枠状の支持部16において撓み部4を挟んで重り部5に対向する部位の主表面側に形成されており、別途に設けられた導電パターン20にボンディングワイヤ15を介して電気的に接続して使用される。なお、導電パターン20は、例えばセラミック基板に設けられた厚膜導体(例えば、Ag/Pd)や、プラスチック製またはセラミック製のパッケージに設けられたリードなどにより構成される。リードの材料としては銅合金や42アロイ(鉄とニッケルとの合金)などが用いられる。
【0031】
また、センシングエレメント1の主表面側(図1における上面側)には、シリコンと略等しい熱膨張率を有する耐熱ガラスからなる上部キャップ2が陽極接合により接合されている。ここに、上部キャップ2は、センシングエレメント1の主表面側に設けられたアルミニウム薄膜よりなる接合用薄膜7を介してセンシングエレメント1に接合されている。
【0032】
さらに、センシングエレメント1の裏面側(図1における下面側)には、シリコンと略等しい熱膨張率を有する耐熱ガラスからなる下部キャップ3が陽極接合により接合されている。ここに、下部キャップ3は、周部が全周にわたって支持部16に接合されている。
【0033】
上部キャップ2および下部キャップ3は、それぞれ重り部5との対向面に重り部5の揺動空間(重り部5との間のエアギャップ)を確保するための凹所2a,3aがサンドブラスト加工などにより形成されている。なお、サンドブラスト加工では、粒径が数10μmのアルミナなどの砥粒を噴射して物理的に凹所2a,3aを掘り込んでいる。なお、本参考例では、上部キャップ2が第1のキャップを、下部キャップ3が第2のキャップを、凹所2aが第1の凹所を、凹所3aが第2の凹所を、それぞれ構成している。
【0034】
ところで、本参考例の半導体加速度センサは、重り部5において凹所2aに望む面の中央部に平面形状が十字状の検査用マーク18を設け、検査用マーク18を視認可能とする円形状の検査窓29を上部キャップ2に貫設している点に特徴がある。
【0035】
なお、本参考例の半導体加速度センサにおいても、エアダンピング効果によって重り部5の揺動範囲を抑制してセンシングエレメント1の撓み部4の破壊を防止している。ここに、センシングエレメント1は、エアダンピング効果によって減衰特性を持たせセンサ自体の周波数特性が最適になるように各凹所2a,3aの底面と重り部5と距離などを設定してある。つまり、共振を起こさないようにエアダンピング効果を利用して減衰特性を持たせることで、撓み部4の破壊を防止している。また、上部キャップ2および下部キャップ3は、それぞれ凹所2a,3aの底面において重り部5に対向する部位の適宜位置に、過大な加速度が印加された時に重り部5の変位範囲を規制する微小なストッパ2b,3bが突設されている。要するに、過大な加速度が印加された場合には、重り部5がストッパ2b,3bに当接することにより、それ以上変位することがないから、重り部5が過大に変位することによる撓み部4の破壊を防止することができるのである。
【0036】
本参考例の半導体加速度センサの製造方法の一例について例示すれば以下のようになる。
【0037】
まず、主表面の結晶面が(100)の単結晶シリコンのウェハの主表面および裏面それぞれの全面にシリコン酸化膜を形成し、その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの主表面のシリコン酸化膜のうち上記スリット101,102に対応した部位を開口し、その後、ウェハの主表面のシリコン酸化膜をマスクとして露出した部分を所定深さ(例えば、6〜30μm程度)までエッチングする。
【0038】
次に、ウェハの主表面において露出した部位に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、その後、配線11を形成するためにフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの主表面のシリコン酸化膜をパターニングし、その後、パターニングされたシリコン酸化膜をマスクとしてイオン注入によってウェハの主表面側にp形不純物のプレデポジションを行う。その後、ウェハの露出した主表面に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、続いてp形不純物のドライブを行うことによりp+拡散層よりなる配線11を形成する。
【0039】
次に、ゲージ抵抗6を形成するためにウェハの主表面のシリコン酸化膜をパターニングし、その後、パターニングされたシリコン酸化膜をマスクとしてイオン注入によってウェハの主表面側にp形不純物のプレデポジションを行う。その後、ウェハの露出した主表面に熱酸化膜よりなるシリコン酸化膜を形成し、続いてp形不純物のドライブを行うことによりゲージ抵抗6を形成する。なお、ここまでの工程が終了した時点でウェハの主表面側に形成されているシリコン酸化膜が図1におけるシリコン酸化膜8となる。
【0040】
その後、ウェハの主表面側および裏面側それぞれにシリコン窒化膜を形成し、ウェハの主表面側のシリコン窒化膜9およびシリコン酸化膜8にコンタクトホールを設けてアルミニウムをスパッタリングした後に、パターニングし、続いて、熱処理(いわゆるシンターリング)を行うことでそれぞれアルミニウムよりなる配線13、パッド14,14’、接合用薄膜7、検査用マーク18を形成する(なお、この際の熱処理により配線13がコンタクト部12にて配線11と接続される)。
【0041】
さらにその後、ウェハの主表面側の全面にレジスト層若しくは窒化膜よりなるマスク層を形成し、続いて上記凹所10aを形成するためにフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してウェハの裏面側のシリコン窒化膜およびシリコン酸化膜をパターニングし、パターニングされたシリコン窒化膜をマスクとしてアルカリ性の溶液を用いた異方性エッチングにより上記凹所10aおよびスリット101,102を形成する。その後、ウェハの主表面側のマスク層およびシリコン窒化膜9の不要な部分を除去することでセンシングエレメント1が多数形成されたウェハが得られる。なお、上記マスク層がレジスト層の場合には、例えばアッシング装置により灰化してから有機溶剤により除去すればよく、マスク層がシリコン窒化膜の場合には、バッファフッ酸などにより除去すればよい。
【0042】
その後、上部キャップ2が多数形成された第1のガラス基板および下部キャップ3が多数形成された第2のガラス基板を上記ウェハに陽極接合して得られたセンサウェハをスクライブ線に沿ってダイシングすることで図1に示す構成の半導体加速度センサ(センサチップ)が形成される。
【0043】
本参考例の半導体加速度センサにおいても、図11および図12に示した従来構成と同様に、上述の4つのゲージ抵抗6がブリッジ接続されており、重り部5の質量をmとし、センシングエレメント1の厚み方向(図1における上下方向)に加速度αがかかると、その加速度αの大きさに応じて重り部5にはmαの力(慣性力)が働き重り部5が揺動することで撓み部4が撓み、その結果、撓み部4に歪みによる応力が生じ、ピエゾ抵抗効果によって各ゲージ抵抗6の抵抗値が変化するので、この抵抗値変化を電圧信号として取り出すことで、印加された加速度を検出できるようになっている。言い換えれば、加速度に比例した電圧信号を取り出すことができる。
【0044】
ところで、本参考例の半導体加速度センサでは、上述のように、重り部5において凹所2aに望む面の中央部に平面形状が十字状の検査用マーク18を設け、検査用マーク18を視認可能とする円形状の検査窓29を上部キャップ2に貫設してあるので、センシングエレメント1に上部キャップ2を接合した後であっても、例えば図3に示すように光学顕微鏡23を用いて検査用マーク18を視認することができる。要するに、光学顕微鏡23からレンズ22を通して出射された光が検査用マーク18で反射されるから、検査窓29を通して検査用マーク18を視認することができる。したがって、例えば支持部16の主表面と一定の距離にある基準平面に対する検査用マーク18の距離を測定し測定距離が規定範囲内にある場合のみ良品と判定するような検査を行うことで撓み部4が折れていたり反りが大き過ぎるような不良品を抜き取ることが可能となり、コストを低減できるとともに信頼性を高めることができる。
【0045】
図4は上述のセンサウェハWの撓み部4の折れや反りを検査する検査システムの概略構成例を示し、センサウェハはXYθテーブル24上にセットされ、重り部5の主表面上の検査マーク18の位置はデジタル位置表示装置(例えば、ソニー製のマグネスケールなど)に表示される。また、例えば支持部16の主表面と一定の距離にある基準平面に対する検査用マーク18の距離は、光学顕微鏡23のピント調整ねじ27を調整することで検査用マーク18、XYθテーブル24それぞれにピントが合うときの距離の測定データが処理装置(例えば、株式会社ミツトヨ製のデジマチックミニプロセッサ)25の表示装置に表示される。したがって、例えば、処理装置25において、XYθテーブル24の上面を基準平面として、基準平面に対する検査用マーク18の距離を演算し、演算結果を当該表示装置に表示させるようにし、演算結果が所定範囲内にあれば撓み部4が折れておらず且つ撓み部4が反り過ぎていない良品と判定するようにすればよい。言い換えれば、演算結果が所定範囲内になければ撓み部4が折れているが若しくは反り過ぎている不良品と判断することができる。要するに、センシングエレメント1に上部キャップ2および下部キャップ3を接合した後のセンサウェハWの状態でも、基準平面に対する検査用マーク18の距離を光学式の測距装置などで測定することができるので、撓み部4の折れや反りなどを非接触、非破壊で検査することができ、低コストで信頼性の高い半導体加速度センサを提供することができる。
【0046】
なお、単一波長のレーザ光を用いたナイフエッジ法により支持部16の主表面と一定の距離にある基準平面に対する検査用マーク18の距離を測定して撓み部4の反りを判断するようにしてもよく、この場合には例えば日本デジテック製の超高精度無接触3次元測定器などを用いればよい。
【0047】
(実施形態1)
本実施形態の半導体加速度センサの基本構成は参考例と略同じであって、図5および図6に示すように、検査用マーク18を重り部5における撓み部4側と反対側の先端部に設け、検査窓29を検査用マーク18と支持部16における重り部5の先端部に対向する部分の主表面とに跨って視認可能とする長孔状の形状に形成してある点に特徴がある。なお、参考例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0048】
しかして、本実施形態の半導体加速度センサでは、センシングエレメント1に上部キャップ2および下部キャップ3を接合した後のセンサウェハWの状態でも検査用マーク18と支持部16における重り部5の先端部に対向する部分の主表面とを視認することができるので、光学式の測距装置から支持部16および検査用マーク18それぞれまでの距離を測距することで、支持部16の主表面を含む基準平面に対する検査用マーク18の距離を演算することができるから、撓み部4の反りを参考例1での検査方法に比べてより検査精度が向上する。また、重り部5の先端側におけるスリット101から検査用マーク18までの距離を測定し、測定距離が所定距離内にない場合や検査用マーク18が見つからない場合に撓み部4が折れていると判断するようにしてもよい。
【0049】
(実施形態2)
本実施形態の半導体加速度センサの基本構成は実施形態1と略同じであって、図7および図8に示すように、検査用マーク18と検査窓29との組を2組設けている点に特徴がある。ここに、検査用マーク18は重り部5の主表面において撓み部4の延長方向に直交する方向に並設されている(図8における上下方向に並設されている)。なお、参考例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0050】
しかして、本実施形態の半導体加速度センサでは、実施形態1と同様に、センサウェハWの状態で撓み部4の反りや折れを検知することができ、その上さらに、例えば各検査用マーク18について基準平面に対する検査用マーク18の距離を測定して比較することで撓み部4の折れや反りの他に撓み部4のねじれの有無を検査することが可能になり、ねじれが大きい(つまり、両検査用マーク18で基準平面に対する距離の差が規定範囲にない)場合には、撓み部4のねじれが大きい不良品とすればよい。
【0051】
(実施形態3)
本実施形態の半導体加速度センサの基本構成は参考例と略同じであって、図9および図10に示すように、検査用マーク18と検査窓29との組を2組設けている点に特徴がある。ここに、検査用マーク18は重り部5の主表面において撓み部4の延長方向に平行する方向に沿って並設されている(図10における左右方向に並設されている)。すなわち、本実施形態の半導体加速度センサでは、重り部5における撓み部4側の基端部と撓み部4側とは反対側の先端部とに検査用マーク18を設けてある。なお、参考例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0052】
しかして、本実施形態の半導体加速度センサでは、各検査用マーク18それぞれについてピントが合うときの測距装置からの距離の差を求めることで支持部16の主表面に対する重り部5の傾きを求めることができ、撓み部4の折れや反りなどを検査することが可能になる。
【0053】
なお、上記参考例および上記各実施形態では、重り部5の主表面上に検査用マーク18を設け、上部キャップ2に検査窓29を設けているが、凹所2a,3aの深さを適宜設定することで従来構成と同様にエアダンピング効果を得ることができる。また、センサチップはクリーンルーム内でパッケージに収納された状態でシーリング用接着剤を用いて蓋が被着される。
【0054】
【発明の効果】
請求項1,3の発明は、半導体基板よりなる枠状の支持部の内側に薄肉の撓み部を介して揺動自在に支持され支持部から離間した重り部を有し、撓み部の変形を検出するゲージ抵抗が撓み部に形成されたセンシングエレメントと、センシングエレメントとの対向面に第1の凹所が設けられセンシングエレメントの主表面側に接合された第1のキャップと、センシングエレメントとの対向面に第2の凹所が設けられセンシングの裏面側に接合された第2のキャップとを備え、重り部において前記第1の凹所に臨む面に検査用マークを設け、前記検査用マークを視認可能とする検査窓を前記第1のキャップに設けてなるものであり、センシングエレメントに上部キャップおよび下部キャップを接合した後でも検査用マークを視認することができるので、光学顕微鏡などの光学式の測距装置を利用して非接触且つ非破壊で例えば支持部の主表面と一定の距離にある基準平面に対する検査用マークの距離を測定し測定距離が規定範囲内にある場合のみ良品と判定するような検査を行うことで撓み部が折れたり反り過ぎている不良品を抜き取ることが可能となり、コストを低減できるとともに信頼性を高めることができるという効果がある。
【0055】
また、請求項1の発明では、前記検査用マークを前記重り部における前記撓み部側と反対側の先端部に設け、前記検査窓を前記検査用マークと前記支持部における前記重り部の先端部に対向する部分の主表面とに跨って視認可能とする長孔状の形状に形成してあるので、前記重り部の先端部に対向する部分の主表面自体を基準平面とすることができるから、検査精度を高めることができ、より信頼性が高くなるという効果がある。
【0056】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記検査用マークと前記検査窓との組を複数組設けてあるので、例えば各検査用マークについて基準平面に対する検査用マークの距離を測定して比較することで撓み部の折れや反りの他に撓み部のねじれの有無を検査することが可能になるという効果がある。
【0057】
また、請求項3の発明では、前記検査用マークを前記重り部と前記撓み部と前記支持部とを結ぶ直線に平行な直線に沿って前記重り部における前記撓み部側の基端部と前記撓み部側と反対側の先端部とに設けてあるので、例えば測距装置から各検査用マークまでの距離を比較することで重り部の傾きや撓み部の反り、折れなどを検査することが可能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 参考例を示す概略断面図である。
【図2】 同上において上部キャップを取り外した状態の概略平面図であるである。
【図3】 同上における検査方法の説明図である。
【図4】 同上における検査システムの概略構成図である。
【図5】 実施形態1を示す概略断面図である。
【図6】 同上において上部キャップを取り外した状態の概略平面図である。
【図7】 実施形態2を示す概略断面図である。
【図8】 同上において上部キャップを取り外した状態の概略平面図である。
【図9】 実施形態3を示す概略断面図である。
【図10】 同上において上部キャップを取り外した状態の概略平面図である。
【図11】 従来例を示す概略断面図である。
【図12】 同上において上部キャップを取り外した状態の概略平面図である。
【図13】 同上の要部説明図である。
【図14】 同上の要部説明図である。
【図15】 他の従来例を示し上部キャップを取り外した状態の平面図である。
【符号の説明】
1 センシングエレメント
1a シリコン基板
2 上部キャップ
2a 凹所
3 下部キャップ
3a 凹所
4 撓み部
5 重り部
16 支持部
18 検査用マーク
29 検査窓
Claims (3)
- 半導体基板よりなる枠状の支持部の内側に薄肉の撓み部を介して揺動自在に支持され支持部から離間した重り部を有し、撓み部の変形を検出するゲージ抵抗が撓み部に形成されたセンシングエレメントと、センシングエレメントとの対向面に第1の凹所が設けられセンシングエレメントの主表面側に接合された第1のキャップと、センシングエレメントとの対向面に第2の凹所が設けられセンシングの裏面側に接合された第2のキャップとを備え、重り部において前記第1の凹所に臨む面に検査用マークを設け、前記検査用マークを視認可能とする検査窓を前記第1のキャップに設けたものであり、前記検査用マークを前記重り部における前記撓み部側と反対側の先端部に設け、前記検査窓を前記検査用マークと前記支持部における前記重り部の先端部に対向する部分の主表面とに跨って視認可能とする長孔状の形状に形成してなることを特徴とする半導体加速度センサ。
- 前記検査用マークと前記検査窓との組を複数組設けてなることを特徴とする請求項1記載の半導体加速度センサ。
- 半導体基板よりなる枠状の支持部の内側に薄肉の撓み部を介して揺動自在に支持され支持部から離間した重り部を有し、撓み部の変形を検出するゲージ抵抗が撓み部に形成されたセンシングエレメントと、センシングエレメントとの対向面に第1の凹所が設けられセンシングエレメントの主表面側に接合された第1のキャップと、センシングエレメントとの対向面に第2の凹所が設けられセンシングの裏面側に接合された第2のキャップとを備え、重り部において前記第1の凹所に臨む面に検査用マークを設け、前記検査用マークを視認可能とする検査窓を前記第1のキャップに設けたものであり、前記検査用マークを前記重り部と前記撓み部と前記支持部とを結ぶ直線に平行な直線に沿って前記重り部における前記撓み部側の基端部と前記撓み部側と反対側の先端部とに設けてなることを特徴とする半導体加速度センサ。
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