JP2020119922A - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図4から図26を参照し、電界緩和層10内において高濃度領域が分離している(p型不純物ピークが分離して出現している)形態を幾つか説明する。なお、図4から図26は、図1の領域40の拡大平面図、あるいは、領域40の拡大断面図に相当する。また、以下に説明する形態は、高濃度領域が分離している形態の一例であり、電界緩和層10内においてp型不純物ピークが分離して出現していれば、高濃度領域は種々の形態を取り得る。
図4に示すように、電界緩和層10aは、素子領域8の中心から端部に向かう方向(D1方向)において、高濃度領域(p型不純物濃度が高い領域)9と低濃度領域(p型不純物濃度が低い領域)11が交互に出現している。すなわち、複数の高濃度領域9が、電界緩和層10a内に分離して出現している。なお、電界緩和層10aでは、各高濃度領域9は、半導体基板4の厚み方向(D3方向)に直交する面内(D1-D2面内)において、素子領域8の端部を一巡している。換言すると、各高濃度領域9は、素子領域8を囲う周方向(D2方向)に連続して伸びている。また、図5に示すように、高濃度領域9は、半導体基板4の表面から半導体基板4の深部に向けて、D3方向に連続して伸びている。各高濃度領域9の側面及び底面(半導体基板4の表層以外の部分)は、低濃度領域11によって囲われている。電界緩和層10aは、高濃度領域9がD2方向に一巡しているので、電界緩和層10aにおける高濃度領域9の体積(合計体積)を大きく確保することができ、良好な電界緩和効果が得られる。
図6に示すように、電界緩和層10bは、D2方向において高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。また、図6及び図7に示すように、高濃度領域9は、D1方向及びD3方向に連続して伸びている。なお、図7及び図8から明らかなように、各高濃度領域9の側面及び底面は、低濃度領域11によって囲われている。電界緩和層10bは、隣り合う高濃度領域9の間隔を調整することにより、電界緩和層10bにおける高濃度領域9の体積(合計体積)を容易に調整することができる。また、電界緩和層10bは、高濃度領域9がD2方向に一巡していない(高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している)ので、各高濃度領域9の体積が大きくなることを抑制することができる。電界緩和層10bは、良好な電界緩和効果を得ながら、半導体基板4にイオン注入欠陥に起因する二次欠陥の発生を抑制することもできる。
図9に示すように、電界緩和層10cは、D1方向及びD2方向の双方において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。各高濃度領域9は長方形であり、長辺がD1方向に沿って伸びている。また、図10及び図11から明らかなように、高濃度領域9は、半導体基板4の表面から深部に向けて、D3方向に連続して伸びている。各高濃度領域9の側面及び底面は、低濃度領域11によって囲われている。なお、各高濃度領域9の形状(D1-D2面に現れる形状)は、正方形であってよく、その場合、対角線がD1方向に沿って伸びていてよい。電界緩和層10cは、高濃度領域9がD1方向とD2方向の双方において分離している。そのため、各高濃度領域9の体積が小さくなり、電界緩和層10c内においてイオン注入欠陥が生じている領域の体積を小さく抑制することができる。そのため、イオン注入欠陥に起因する二次欠陥の発生を抑制することができる。また、D3方向において、高濃度領域9は半導体基板4の表層から深部まで連続している。そのため、電界緩和層10c内における高濃度領域9の合計体積も十分に確保することができる。
図12に示すように、電界緩和層10dは、電界緩和層10c(図9も参照)と同様に、D1方向及びD2方向の双方において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。D1-D2面において、各高濃度領域9は正方形である。なお、電界緩和層10dでは、各高濃度領域9の辺が、D1方向及びD2方向に沿っていない。具体的には、各高濃度領域9の頂点が、D1方向に沿った直線上に位置している。また、図13及び図14から明らかなように、各高濃度領域9の側面及び底面は、低濃度領域11によって囲われている。電界緩和層10dは、電界緩和層10cと同様に、各高濃度領域9の体積を小さくすることができ、電界緩和層10d内のイオン注入欠陥に起因する二次欠陥の発生を抑制することができる。また、D3方向において、高濃度領域9は半導体基板4の表層から深部まで連続している。そのため、高濃度領域9の合計体積も十分に確保することができる。さらに、図12から明らかなように、D1方向において、高濃度領域9が存在しない範囲を小さくすることができる。
図15及び図16に示すように、電界緩和層10eは、D3方向において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。なお、各高濃度領域9は、D1方向及びD2方向の双方に連続して伸びている。すなわち、電界緩和層10eでは、D1-D2面内に、1個の高濃度領域9が設けられている。なお、電界緩和層10eでは、半導体基板4の表層に露出する高濃度領域9を除き、高濃度領域9の全体が低濃度領域11に囲われている。電界緩和層10eは、D3方向において隣り合う高濃度領域9の間隔を調整することにより、電界緩和層10eおける高濃度領域9の合計体積を容易に調整することができる。また、D1-D2面内における高濃度領域9が1個なので、高濃度領域9を形成する(p型不純物を半導体基板4にイオン注入する)ためのマスク層を簡単にすることができる。電界緩和層10eは、高濃度領域9が厚み方向(D3方向)においてのみ分離している形態の一例である。
図17及び図18に示すように、電界緩和層10fは、D1方向及びD3方向において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。各高濃度領域9は、D2方向に連続して伸びている。電界緩和層10fは、電界緩和層10a及び10eの変形例であり、両者の特徴を備えている(図4〜5、図15〜16を参照)。電界緩和層10fは、2方向(D1,D3方向)において、高濃度領域9が分離している。そのため、電界緩和層10fは、高濃度領域9がD2方向に一巡しているにも関わらず、各高濃度領域9の体積が大きくなることを抑制することができる。また、電界緩和層10fでは、各高濃度領域9間の距離を調整することにより、電界緩和層10f内における高濃度領域9の合計体積を容易に調整することができる。すなわち、電界緩和層10fは、イオン注入欠陥の体積と、電界緩和層10fの機能(電界緩和効果)を容易に調整することができる。
図19及び図20に示すように、電界緩和層10gは、電界緩和層10fと同様に、D1方向及びD3方向において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。但し、図20に示すように、電界緩和層10gは、D3方向において、D3方向で隣り合う高濃度領域9が異なる位置に出現するように形成されている。電界緩和層10gは、深さの異なる複数の高濃度領域9が形成されているにも関わらず、同じ位置に繰り返しイオン注入を行うことが抑制され、半導体基板4内に結晶欠陥が生じることを抑制することができる。なお、電界緩和層10gは、電界緩和層10fと同様に、イオン注入欠陥の体積と、電界緩和層10gの機能を容易に調整することができる。
図21から図23に示すように、電界緩和層10hは、D1,D2,D3方向の3方向において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している。そのため、電界緩和層10hは、各高濃度領域9の体積を小さくすることができる。なお、電界緩和層10hは、電界緩和層10gと同様に、D3方向において、D3方向で隣り合う高濃度領域9が異なる位置に出現するように形成されている。電界緩和層10hは、各高濃度領域9の体積が小さく、さらに、D3方向で隣り合う高濃度領域9が異なる位置に出現するように形成されているので、結晶欠陥(二次欠陥)の発生をさらに抑制することができる。
図24から図26に示すように、電界緩和層10iは、電界緩和層10hと同様に、D1,D2,D3方向の3方向において、高濃度領域9と低濃度領域11が交互に出現している(図21〜23も参照)。また、電界緩和層10iは、電界緩和層10dと同様に、各高濃度領域9の辺がD1方向及びD2方向に沿っておらず、各高濃度領域9の頂点がD1方向に沿った直線上に位置している(図12も参照)。すなわち、電界緩和層10iは、電界緩和層10hと電界緩和層10dの特徴を併せ持っている。電界緩和層10iも、電界緩和効果を維持しながら、結晶欠陥(二次欠陥)の発生を抑制することができる。
図27は、上記した第1〜第9形態について、半導体基板4内における結晶欠陥(二次欠陥)発生の抑制効果、及び、電界緩和効果の得られやすさについてのまとめを示す。図27では、従来の電界緩和層(電界緩和層内の不純物濃度が均一)のものに対し、良好な改善効果が得られる形態に「〇」、特に顕著な改善効果が得られる形態に「◎」、改善効果が僅かな形態に「△」を記している。
図28から図30を参照し、電界緩和層10の第1製造方法を説明する。図28〜31は、半導体基板4のうち、電界緩和層10が形成される領域についてのみ示し、素子領域8及びガードリング2が形成される領域(図1を参照)については図示を省略している。なお、本製造方法では、上記した第8形態(図21〜図23)の電界緩和層10hの製造方法について説明する。
図31から図33を参照し、電界緩和層10の第2製造方法を説明する。なお、本製造方法においても、図面には電界緩和層10が形成される領域についてのみ示し、他の領域については図示を省略している。また、本製造方法においても、上記した第8形態の電界緩和層10hの製造方法について説明する。
8:素子領域
9:高濃度領域(不純物濃度のピーク)
10:電界緩和層
11:低濃度領域
50:半導体装置
D1:厚み方向
D2:周方向(厚み方向に直交する面内)
D3:横方向(厚み方向に直交する面内)
Claims (1)
- 半導体基板内に設けられている素子領域と、
前記半導体基板内にイオン注入された不純物により構成されており、前記素子領域を一巡している電界緩和層と、を備え、
前記電界緩和層は、前記半導体基板の厚み方向と前記厚み方向に直交する面内の少なくとも一方において、不純物濃度のピーク位置が分離して出現している半導体装置。
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Family Applications (1)
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