JP2020111822A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020111822A5 JP2020111822A5 JP2019189549A JP2019189549A JP2020111822A5 JP 2020111822 A5 JP2020111822 A5 JP 2020111822A5 JP 2019189549 A JP2019189549 A JP 2019189549A JP 2019189549 A JP2019189549 A JP 2019189549A JP 2020111822 A5 JP2020111822 A5 JP 2020111822A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- substrate
- forming apparatus
- support unit
- mask support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190004235A KR102257008B1 (ko) | 2019-01-11 | 2019-01-11 | 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스 제조방법 |
| KR10-2019-0004235 | 2019-01-11 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020111822A JP2020111822A (ja) | 2020-07-27 |
| JP2020111822A5 true JP2020111822A5 (https=) | 2022-01-31 |
| JP7271389B2 JP7271389B2 (ja) | 2023-05-11 |
Family
ID=71581089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019189549A Active JP7271389B2 (ja) | 2019-01-11 | 2019-10-16 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7271389B2 (https=) |
| KR (2) | KR102257008B1 (https=) |
| CN (1) | CN111434798B (https=) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7585088B2 (ja) * | 2021-02-26 | 2024-11-18 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置 |
| JP7723531B2 (ja) * | 2021-08-23 | 2025-08-14 | キヤノントッキ株式会社 | 真空装置、電子デバイスの製造装置 |
| KR102889256B1 (ko) | 2021-08-25 | 2025-11-20 | 세메스 주식회사 | 공정 처리 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
| JP7771621B2 (ja) * | 2021-10-19 | 2025-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
| JP7535990B2 (ja) * | 2021-11-26 | 2024-08-19 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、膜厚測定方法及び電子デバイスの製造方法 |
| JP7814945B2 (ja) * | 2022-01-13 | 2026-02-17 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2024167232A1 (ko) * | 2023-02-08 | 2024-08-15 | 주식회사 선익시스템 | 기판의 위치 측정의 정밀도를 개선하는 증착 장치 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4609754B2 (ja) * | 2005-02-23 | 2011-01-12 | 三井造船株式会社 | マスククランプの移動機構および成膜装置 |
| JP4609755B2 (ja) * | 2005-02-23 | 2011-01-12 | 三井造船株式会社 | マスク保持機構および成膜装置 |
| JP5783811B2 (ja) * | 2010-07-06 | 2015-09-24 | キヤノン株式会社 | 成膜装置 |
| KR101783457B1 (ko) * | 2012-06-22 | 2017-10-10 | 주식회사 원익아이피에스 | 마스크 홀더장치 및 이를 포함하는 증착장치 |
| KR20140010303A (ko) | 2012-07-16 | 2014-01-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
| KR20150071534A (ko) * | 2013-12-18 | 2015-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법 |
| CN107896512A (zh) * | 2015-04-01 | 2018-04-10 | Vni斯陆深株式会社 | 对准器结构和对准方法 |
| WO2017032395A1 (en) | 2015-08-21 | 2017-03-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for transportation of a substrate, apparatus for vacuum processing of a substrate, and method for maintenance of a magnetic levitation system |
| KR101965370B1 (ko) * | 2016-05-18 | 2019-04-03 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 캐리어 또는 기판의 운송을 위한 장치 및 방법 |
| JP6591657B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2019-10-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空システムで使用するためのキャリア、真空処理のためのシステム、及び基板の真空処理のための方法 |
-
2019
- 2019-01-11 KR KR1020190004235A patent/KR102257008B1/ko active Active
- 2019-10-16 JP JP2019189549A patent/JP7271389B2/ja active Active
- 2019-11-25 CN CN201911161956.9A patent/CN111434798B/zh active Active
-
2021
- 2021-05-20 KR KR1020210064739A patent/KR102594630B1/ko active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2020111822A5 (https=) | ||
| TWI575643B (zh) | 基板轉移裝置 | |
| TWI742080B (zh) | 被加工物的保持機構及加工裝置 | |
| JP2014072510A (ja) | チャックテーブル | |
| TWI657901B (zh) | 膜吸附機構 | |
| CN104108590A (zh) | 非接触式基板传送旋转器 | |
| CN101270473A (zh) | 用于在真空室内移动托架的结构 | |
| JP4904722B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP6092349B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| CN105609447A (zh) | 整齐排列装置及整齐排列方法 | |
| WO2017163887A1 (ja) | 基板浮上搬送装置 | |
| JP6442994B2 (ja) | マスク吸着装置 | |
| CN108682636A (zh) | 一种晶圆刻蚀装置 | |
| JP2011178531A (ja) | 合紙移載方法および合紙移載装置 | |
| JP2009070868A (ja) | 基板収納用容器 | |
| CN107429387B (zh) | 薄膜形成装置 | |
| KR102252738B1 (ko) | 다이 픽업 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
| JP2013086232A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
| JP6331656B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 | |
| KR101252974B1 (ko) | 상온 접합 장치 | |
| JP2009040569A (ja) | 板状部材の反転装置 | |
| JP6482902B2 (ja) | 素材分離装置 | |
| JP2011148576A (ja) | 枚葉シート搬送装置およびフィルムインサート成形品製造装置 | |
| JPH0536816A (ja) | 半導体基板吸着装置 | |
| JP6842948B2 (ja) | 位置決め装置および位置決め方法 |