JP2020104456A - 液滴吐出装置および液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】吐出検査を高精度に行うことができる液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置は、ノズルと、第１圧力室、前記ノズルと前記第１圧力室とを連通させる連通路、および前記連通路を介して前記第１圧力室に連通する第２圧力室を有する流路部と、第１圧電素子と、第２圧電素子と、前記第１圧電素子を駆動させる第１駆動信号を生成する第１信号生成部と、前記第２圧電素子を駆動させる第２駆動信号を生成する第２信号生成部と、前記第１圧電素子の駆動に伴って前記流路部で発生する残留振動により前記第１圧電素子で発生する起電力に基づいて、前記ノズルの吐出検査を行う検査部とを備え、前記第１駆動信号は、第１検査用波形を含み、前記第２駆動信号は、前記第１検査用波形の第１発生期間と重複する期間において前記第１検査用波形とは逆極性で発生する第２検査用波形を含む。【選択図】図２

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。

インクを吐出するためのノズルを複数有する液滴吐出ヘッドを備えるインクジェットプリンターが知られている。特許文献１に記載のインクジェットプリンターは、インクが充填されたキャビティ内に連通するノズルからインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備える。当該液滴吐出ヘッドでは、アクチュエーターの駆動によりキャビティ内の圧力を変化させることにより、ノズルからインクを吐出させる。

また、インクジェットプリンターでは、インクの増粘、気泡の混入、および紙粉の付着等によってノズルが目詰まりして、液滴吐出ヘッドに吐出異常が発生することがある。特許文献１には、吐出異常を検出するためのヘッド異常検出手段が開示される。当該ヘッド異常検出手段は、インクを吐出させない程度にアクチュエーターを駆動し、キャビティの残留振動に基づいて液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する。

特開２００４−２８４１８９号公報

特許文献１に記載のヘッド異常検出手段において、インクを吐出させない程度にアクチュエーターを駆動するには、インク吐出時よりもアクチュエーターの変位量を小さくする必要がある。そのため、当該ヘッド異常検出手段を、インクの循環流路の途中にノズルを設ける循環型の液滴吐出ヘッドに適用すると、ノズルと圧力室との間の距離が長くなることに起因して、残留振動の減衰が大きくなってしまう。それゆえ、循環型の液滴吐出ヘッドにおいて従来のヘッド異常検出手段を適用しても、吐出異常を高精度に検出することが難しいという問題があった。

本発明の液滴吐出装置の一態様は、液体を吐出するノズルと、第１圧力室、前記ノズルと前記第１圧力室とを連通させる連通路、および前記連通路を介して前記第１圧力室に連通する第２圧力室を有する流路部と、前記第１圧力室の圧力を変化させる第１圧電素子と、前記第２圧力室の圧力を変化させる第２圧電素子と、前記第１圧電素子を駆動させる第１駆動信号を生成する第１信号生成部と、前記第２圧電素子を駆動させる第２駆動信号を生成する第２信号生成部と、前記第１圧電素子の駆動に伴って前記流路部で発生する残留振動により前記第１圧電素子で発生する起電力に基づいて、前記ノズルの吐出検査を行う検査部と、を備え、前記第１駆動信号は、第１検査用波形を含み、前記第２駆動信号は、前記第１検査用波形の第１発生期間と重複する期間において前記第１検査用波形とは逆極性で発生する第２検査用波形を含む。

本発明の液滴吐出装置の一態様は、液体を吐出するノズルと、第１圧力室、前記ノズルと前記第１圧力室とを連通させる連通路、および前記連通路を介して前記第１圧力室に連通する第２圧力室を有する流路部と、前記第１圧力室の圧力を変化させる第１圧電素子と、前記第２圧力室の圧力を変化させる第２圧電素子と、前記第１圧電素子を駆動させる第１駆動信号を生成する第１信号生成部と、前記第２圧電素子を駆動させる第２駆動信号を生成する第２信号生成部と、前記第１圧電素子の駆動に伴って前記流路部で発生する残留振動により前記第１圧電素子で発生する起電力に基づいて、前記ノズルの吐出検査を行う検査部と、を備え、前記第２駆動信号は、第２検査用波形を含み、前記第１駆動信号は、前記第２検査用波形の第２発生期間の終了から前記第２圧電素子の固有周期Ｔｃの１／２の期間内に前記第２検査用波形と同極性で発生する第１検査用波形を含む。

第１実施形態におけるプリンターの内部構造を示す斜視図である。 第１実施形態におけるプリンターの構成を示すブロック図である。 第１実施形態におけるヘッドユニットの構成を示す断面図である。 第１実施形態における印刷ヘッドの構成を示すブロック図である。 第１実施形態における第１駆動信号および第２駆動信号の各駆動波形を示す図である。 第１実施形態におけるインク吐出時のインクの流れを示す図である。 第１実施形態における吐出検査時のインクの流れを示す図である。 第２実施形態における第１駆動信号および第２駆動信号の各駆動波形を示す図である。 第２実施形態における第２圧電素子の固有周期を示す図である。 第３実施形態における第１駆動信号および第２駆動信号の各駆動波形を示す図である。 第１変形例における第１駆動信号および第２駆動信号の各駆動波形を示す図である。 第２変形例における第１駆動信号および第２駆動信号の各駆動波形を示す図である。 第３変形例におけるヘッドユニットの構成を示す断面図である。 第４変形例におけるヘッドユニットの構成を示す断面図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法や縮尺は実際のものと適宜異なり、理解を容易にするために模式的に示す部分もある。また、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。

１．第１実施形態
１−１．プリンター１の全体構成
図１は、第１実施形態におけるプリンター１の内部構造を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示す互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を適宜用いて説明する。以下では、ｚ軸のうち矢印の方向が＋ｚ方向でありこれを「上側」とし、ｚ軸のうち矢印とは反対方向が−ｚ方向でありこれを「下側」とする。

図１に示すプリンター１は、「液滴吐出装置」の一例であって、紙等の媒体Ｍに対してインク等の液体を吐出して、画像を形成するインクジェットプリンターである。なお、当該画像とは、文字情報のみを表示するものを含む。

プリンター１は、キャリッジ２１と、移動機構２２と、「液滴吐出ヘッド」の一例である印刷ヘッド３と、搬送機構２４と、制御ユニット１０と、を有する。

キャリッジ２１は、インクを収容する複数のカートリッジ９を載置可能なカートリッジホルダーである。キャリッジ２１は、移動機構２２によって移動可能である。図示では、キャリッジ２１には、例えばイエロー、シアン、マゼンタ、およびブラックの４色に対応する４個のカートリッジ９が載置される。

移動機構２２は、キャリッジ２１を＋ｙ方向および−ｙ方向に往復移動させる。移動機構２２は、ガイド軸２２１、第１プーリー２２２、第２プーリー２２３、タイミングベルト２２４およびキャリッジモーター２２５を有する。ガイド軸２２１は、ｙ方向に延在し、その両端がプリンター１の筐体の内部に配置された支持部材１９に固定される。第１プーリー２２２および第２プーリー２２３には、タイミングベルト２２４が架け渡される。タイミングベルト２２４は、ガイド軸２２１にほぼ平行に延在する。第１プーリー２２２は、駆動源であるキャリッジモーター２２５により回転駆動する。

キャリッジ２１は、ガイド軸２２１に往復移動可能に支持されるとともに、タイミングベルト２２４の一部に固定されている。このため、キャリッジモーター２２５によりタイミングベルト２２４を正逆走行させると、キャリッジ２１は、ガイド軸２２１に案内されて往復移動する。

また、キャリッジ２１の下方には、印刷ヘッド３が配置される。印刷ヘッド３は、キャリッジ２１に接続されており、キャリッジ２１に伴って移動する。印刷ヘッド３は、印刷ヘッド３の下方に位置する媒体Ｍに対してインクを吐出する。また、印刷ヘッド３は、各色に対応する４つのヘッドユニット３０を有する。各ヘッドユニット３０は、インクを吐出可能な複数のノズル３２０を有している。

媒体Ｍは、搬送機構２４によって搬送される。搬送機構２４は、制御ユニット１０の制御の下で、媒体Ｍを搬送する。搬送機構２４は、搬送ローラー２４１と、搬送用モーター２４２とを備える。搬送ローラー２４１は、駆動源である搬送用モーター２４２により回転駆動する。また、キャリッジ２１の下方には、プラテン２５が配置される。

媒体Ｍは、搬送ローラー２４１によってキャリッジ２１とプラテン２５との間を通って＋ｘ方向に搬送される。その際、媒体Ｍには、印刷ヘッド３によってインクが吐出される。

制御ユニット１０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（field-programmable gate array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置とを含んで構成される。制御ユニット１０は、記憶装置に記憶される各種プログラム等を制御装置が実行することで、プリンター１が有する各部を統括的に制御する。当該制御により、プリンター１は、媒体Ｍの搬送およびインクの付与を行って、媒体Ｍ上に画像を形成する。

１−２．制御ユニット１０
次に、制御ユニット１０について図２を参照しつつ説明する。図２は、第１実施形態におけるプリンター１の構成を示すブロック図である。

図２に示すように、制御ユニット１０は、制御部１１と、記憶部１２と、キャリッジモータードライバー１３と、搬送用モータードライバー１４と、駆動信号生成部１５と、検査部１６と、を有する。なお、前述のＣＰＵ等の制御装置が、制御部１１、駆動信号生成部１５および検査部１６として機能する。前述の半導体メモリー等の記憶装置が、記憶部１２として機能する。

制御部１１は、プリンター１が有する各部の動作を制御する。制御部１１には、ホストコンピューター等の外部装置９００から、印刷データＩｍｇが供給される。印刷データＩｍｇは、プリンター１が形成すべき画像を示すデータである。制御部１１は、印刷データＩｍｇに応じてプリンター１の各部の動作を制御するための各種信号を生成して出力する。当該各種信号としては、例えば、キャリッジ制御信号Ｃｒ１、搬送用制御信号Ｃｒ２、波形指定信号ｄＣｏｍおよび印刷信号ＳＩ等が挙げられる。

キャリッジ制御信号Ｃｒ１は、キャリッジモータードライバー１３の動作を制御するための信号である。なお、キャリッジモータードライバー１３は、キャリッジモーター２２５を駆動する。搬送用制御信号Ｃｒ２は、搬送用モータードライバー１４の動作を制御するための信号である。なお、搬送用モータードライバー１４は、搬送用モーター２４２を駆動する。波形指定信号ｄＣｏｍは、印刷ヘッド３を駆動するための第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢの波形を規定するデジタルの電圧信号である。印刷信号ＳＩは、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢを供給するか否か等を指定するデジタルの電圧信号である。また、制御部１１は、印刷信号ＳＩ以外の、クロック信号およびラッチ信号等の各種制御信号を取得または生成する。

駆動信号生成部１５は、ＤＡ変換回路を含んで構成される。駆動信号生成部１５は、第１信号生成部１５１と、第２信号生成部１５２とを含む。第１信号生成部１５１は、波形指定信号ｄＣｏｍを基にして第１駆動信号ＣｏｍＡを生成する。第２信号生成部１５２は、波形指定信号ｄＣｏｍを基にして第２駆動信号ＣｏｍＢを生成する。第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢは、それぞれ、印刷ヘッド３を駆動するためのアナログの電圧信号である。なお、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢについては後で説明する。

検査部１６は、インクの吐出検査を行う。検査部１６は、インクの増粘、気泡の混入、および紙粉の付着等の吐出異常の有無および異常原因を特定する。

検査部１６は、例えば比較器を有する。検査部１６は、印刷ヘッド３から出力される残留振動信号Ｖｄと、基準となる正常時の残留振動を示す信号とを比較して、比較の結果を示す比較信号Ｃｉを検査結果として出力する。残留振動信号Ｖｄは、印刷ヘッド３における後述の残留振動を示す信号である。例えば、検査部１６は、残留振動信号Ｖｄの波形と正常時の残留振動を示す信号の波形との周期または振幅等を比較して、その比較結果を比較信号Ｃｉとして出力する。なお、前述の制御部１１は、比較信号Ｃｉに基づいて、吐出異常がある場合には、捨て打ち等のフラッシングを適宜行う。

１−３．印刷ヘッド３
次に、印刷ヘッド３について説明する。図２に示すように、印刷ヘッド３は、ヘッドユニット３０と、スイッチ回路３０１と、検出回路３０２と、を備える。

ヘッドユニット３０は、インクを吐出する複数の吐出部３００を有する。各吐出部３００は、前述のノズル３２０を備える。また、吐出部３００は、第１圧電素子３２５ａと、第２圧電素子３２５ｂとを有する。第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂの一方または両方の駆動により、ノズル３２０からインクが吐出される。第１圧電素子３２５ａは、前述の第１駆動信号ＣｏｍＡにより駆動する。第２圧電素子３２５ｂは、前述の第２駆動信号ＣｏｍＢにより駆動する。

スイッチ回路３０１は、印刷信号ＳＩ等に基づいて、第１駆動信号ＣｏｍＡを第１圧電素子３２５ａに供給するか否かを切り替える。また、スイッチ回路３０１は、印刷信号ＳＩに基づいて、第２駆動信号ＣｏｍＢを第２圧電素子３２５ｂに供給するか否かを切り替える。また、スイッチ回路３０１は、印刷信号ＳＩに基づいて、検出電位信号Ｖoutを検出回路３０２に供給するか否かを切り替える。検出電位信号Ｖoutは、後述の残留振動により第１圧電素子３２５ａから発生する信号である。

検出回路３０２は、第１圧電素子３２５ａから発生する検出電位信号Ｖoutに基づいて、残留振動信号Ｖｄを生成する。なお、検出電位信号Ｖoutからノイズを除去して増幅した信号が、前述の残留振動信号Ｖｄである。

１−３ａ．ヘッドユニット３０の構成
次に、ヘッドユニット３０の構成について、図３を参照しつつ説明する。図３は、第１実施形態におけるヘッドユニット３０の構成を示す断面図である。図示しないが、ヘッドユニット３０が有する複数の吐出部３００は、ｙ方向沿って並んでいる。図３は、１つの吐出部３００に着目した断面図である。

図３に示すように、ヘッドユニット３０には、供給管８１および流出管８２が接続される。図示はしないが、供給管８１および流出管８２は、カートリッジ９から供給されるインクを収容しているインクタンクに接続される。当該インクタンク内のインクは、矢印Ａ１で示すように供給管８１からヘッドユニット３０に供給され、矢印Ａ２で示すようにヘッドユニット３０から流出管８２へと流出される。つまり、ヘッドユニット３０は、インクを循環させる循環流路を有する。循環流路を有することで、これを有さない場合に比べ、ヘッドユニット３０内におけるインクの増粘を抑制できる。以下、かかるヘッドユニット３０の構成を説明する。

ヘッドユニット３０は、ノズルプレート３２１と、連通板３２２と、流路基板３２３と、振動板３２４と、第１圧電素子３２５ａと、第２圧電素子３２５ｂと、保護基板３２６と、コンプライアンス基板３２７と、ケース３２８とを有する。また、ヘッドユニット３０は、循環流路の一部を構成する流路部３３と、第１マニホールド３３６と、第２マニホールド３３７とを有する。なお、第１圧電素子３２５ａ、第２圧電素子３２５ｂおよび流路部３３は、吐出部３００ごとに個別に設けられる。その他の各部は、複数の吐出部３００で共通である。

ノズルプレート３２１は、ｙ方向に延在する長尺なプレートであり、インク等の液体を吐出する複数のノズル３２０を有する。複数のノズル３２０は、ｙ方向に沿って並んで配置される。１つの吐出部３００に対して１つのノズル３２０が設けられる。ノズル３２０は、ノズルプレート３２１に形成された貫通孔である。

ノズルプレート３２１の＋ｚ軸側の面上には、連通板３２２が配置される。連通板３２２には、ノズル３２０と平面視で重なる貫通孔が形成される。当該貫通孔は、後述の連通路３３３を構成する。ノズルプレート３２１および連通板３２２のそれぞれの構成材料としては、例えば、シリコン、ガラス、セラミックス、金属および樹脂等が挙げられる。

連通板３２２の＋ｚ軸側の面上には、流路基板３２３が配置される。流路基板３２３は、ｙ方向に延在する長尺なシリコン単結晶基板で構成される。なお、流路基板３２３の構成材料は、ガラスまたは金属等であってもよい。流路基板３２３は、ｚ方向に開口する複数の貫通孔を有する。当該貫通孔は、後述の第１圧力室３３１、第２圧力室３３２、供給路３３４および流出路３３５を構成する。かかる流路基板３２３は、前述の連通板３２２とともに流路部３３を形成する。

流路部３３は、第１圧力室３３１と、第２圧力室３３２と、連通路３３３と、供給路３３４と、流出路３３５とを有する。第１圧力室３３１と第２圧力室３３２とは、連通路３３３を介して連通する。供給路３３４は、第１圧力室３３１に連通しており、第１圧力室３３１よりも狭い幅で形成される。流出路３３５は、第２圧力室３３２に連通しており、第２圧力室３３２よりも狭い幅で形成される。なお、流路部３３は、１つのノズル３２０に対して１つ形成される。複数の流路部３３は、ノズル３２０と同様に、ｙ方向に並ぶ。また、ノズル３２０は、＋ｚ方向からみて、第１圧力室３３１と第２圧力室３３２との間に位置する。

流路基板３２３の＋ｚ軸側の面上には、振動板３２４が配置される。振動板３２４は、例えば、二酸化シリコンを含む弾性膜と、酸化ジルコニウムを含む絶縁体膜との積層体を含んで構成される。

振動板３２４の＋ｚ軸側の面上には、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂが配置される。なお、本実施形態では、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂは、配置が異なること以外はほぼ同一構成である。

第１圧電素子３２５ａは、ｚ方向からみて第１圧力室３３１と重なり、第１圧力室３３１の圧力を変化させる。第２圧電素子３２５ｂは、ｚ方向からみて第２圧力室３３２と重なり、第２圧力室３３２の圧力を変化させる。第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂは、それぞれ、第１電極３２５１と、第２電極３２５２と、これらの間に配置される圧電体層３２５３とを有する。第１電極３２５１は、共通電極であり、振動板３２４上に配置される。第２電極３２５２は、個別電極である。なお、第１電極３２５１を個別電極とし、第２電極３２５２を共通電極としてもよい。

第１電極３２５１および第２電極３２５２は、フレキシブル配線等で構成される配線基板３２９にそれぞれ個別に接続される。なお、第２電極３２５２は、図示しないリード端子を介して配線基板３２９に接続される。配線基板３２９は、前述のスイッチ回路３０１および検出回路３０２に電気的に接続される。また、第１電極３２５１および第２電極３２５２は、チタンおよびイリジウムの積層体等で構成される。

また、振動板３２４の＋ｚ軸側の面上には、保護基板３２６が配置される。保護基板３２６は、矩形の平面視形状を有する板状の部材である。保護基板３２６は、第１圧電素子３２５ａを収容するための＋ｚ軸側に開口する凹部と、第２圧電素子３２５ｂを収容するための＋ｚ軸側に開口する凹部と、配線基板３２９を挿通させるための貫通孔とを有する。保護基板３２６の構成材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、金属および樹脂等が挙げられる。

保護基板３２６の＋ｚ軸側の面上には、コンプライアンス基板３２７が配置される。コンプライアンス基板３２７は、樹脂を含む可撓性の膜を有する基板である。コンプライアンス基板３２７は、第１圧力室３３１内および第２圧力室３３２内のインクの圧力変動を吸収する。なお、コンプライアンス基板３２７は、配線基板３２９を挿通させるための貫通孔を有する。

コンプライアンス基板３２７の＋ｚ軸側の面上には、ケース３２８が配置される。ケース３２８は、コンプライアンス基板３２７と連通板３２２との間に位置する各部を収容するようにして連通板３２２に接合される。また、ケース３２８とコンプライアンス基板３２７との間には、コンプライアンス基板３２７の変位を許容する２つの空間３２８１が形成される。

また、ケース３２８とコンプライアンス基板３２７と連通板３２２とで、第１マニホールド３３６および第２マニホールド３３７が形成される。第１マニホールド３３６および第２マニホールド３３７は、それぞれ、各吐出部３００が有する流路部３３全てと連通する。第１マニホールド３３６は、供給路３３４に連通する。第２マニホールド３３７は、流出路３３５に連通する。第１マニホールド３３６は、供給管８１から供給されたインクを各流路部３３に分離させる。また、第２マニホールド３３７は、各流路部３３から流入するインクを集合させて、流出管８２から流出させる。

かかる構成の吐出部３００では、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂのうちの一方または両方の各駆動に伴って振動板３２４が振動することにより、流路部３３０内のインクの各圧力が変化する。本実施形態では、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂの両方の駆動により振動板３２４が＋ｚ軸側に向かって撓むことで、インクがノズル３２０から吐出される。

また、吐出部３００では、インクは、供給管８１、第１マニホールド３３６、流路部３３、第２マニホールド３３７および流出管８２をこの順で循環する。例えば、第１圧電素子３２５ａの駆動と第２圧電素子３２５ｂの駆動のタイミングを所定期間ずらすことでインクを循環させることができる。また、例えば、ポンプ等の液体循環手段を流出管８２の途中に設けて、流路部３３内のインクを循環させてもよい。

また、本実施形態では、吐出部３００は、Ｙ−Ｚ平面に平行な仮想面に対してほぼ面対称である。かかる吐出部３００が有する流路部３３において、ノズル３２０のイナータンスＭ１と、供給路３３４のイナータンスＭ２と、流出路３３５のイナータンスＭ３とは、Ｍ１＜Ｍｓ３＜Ｍｓ２の関係を満たすことが好ましい。イナータンスＭ１、Ｍ２およびＭ３は、それぞれ、流体の流れやすさを示している。イナータンスＭ１、Ｍ２およびＭ３は、それぞれ、インクの密度、流路の長さ、流路の幅および流路の高さから求めることができる。上記関係を満たすよう、ノズル３２０、供給路３３４および流出路３３５を構成することで、インクを循環させ易くすることができる。

１−３ｂ．スイッチ回路３０１の構成
次に、スイッチ回路３０１の構成について、図４を参照しつつ説明する。図４は、第１実施形態における印刷ヘッド３の構成を示すブロック図である。なお、図４では、１つの吐出部３００に対応する部分に着目している。

スイッチ回路３０１は、指定回路３０１１と、複数のスイッチＲａ、ＲｂおよびＲｓとを有する。また、印刷ヘッド３には、配線Ｌａ、ＬｂおよびＬｓと、給電線Ｌｄとが設けられる。配線Ｌａは、前述の第１信号生成部１５１から第１駆動信号ＣｏｍＡが供給される配線である。配線Ｌｂは、前述の第２信号生成部１５２から第２駆動信号ＣｏｍＢが供給される配線である。配線Ｌｓは、検出電位信号Ｖoutを検出回路３０２に供給する配線である。給電線Ｌｄは、バイアス電位ＶＢＳが供給される配線である。

指定回路３０１１は、印刷信号ＳＩ等の各種制御信号を基づいて、スイッチＲａのオンオフを指定する指定信号Ｇａ、スイッチＲｂのオンオフを指定する指定信号Ｇｂ、およびスイッチＲｓのオンオフを指定する指定信号Ｇｓを出力する。つまり、指定回路３０１１は、スイッチＲａ、ＲｂおよびＲｓのオンオフを個別に制御する。なお、指定回路３０１１は、当該指定信号Ｇａ、ＧｂおよびＧｓを複数の吐出部３００に対して並列に出力する。

スイッチＲａは、指定信号Ｇａに基づいて、配線Ｌａと、第１圧電素子３２５ａの第２電極３２５２との導通および非導通を切り換える。スイッチＲｓは、指定信号Ｇｓに基づいて、配線Ｌｓと、第１圧電素子３２５ａの第２電極３２５２との導通および非導通を切り換える。なお、指定回路３０１１は、スイッチＲａをオンするときスイッチＲｓをオフし、スイッチＲｓをオンするときスイッチＲａをオフする。また、スイッチＲｂは、指定信号Ｇｂに基づいて、配線Ｌｂと、第２圧電素子３２５ｂの第２電極３２５２との導通および非導通を切り換える。また、給電線Ｌｄは、第１電極３２５１に接続される。

１−４．第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢ
次に、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢについて図５を参照しつつ説明する。図５は、第１実施形態における第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢの各駆動波形を示す図である。図５では、１周期ｔ分の駆動波形が示されている。図５に示す駆動波形は、周期ｔごとに繰り返される。周期ｔは、第１期間ｔ１と第２期間ｔ２とを含む。第１期間ｔ１は、インクの吐出に関わる期間である。第２期間ｔ２は、インクの吐出検査に関わる期間である。

第１駆動信号ＣｏｍＡの駆動波形は、基準電位ＶＭと、それに対する高位側電位ＶＨとの間で変化する。第１駆動信号ＣｏｍＡの駆動波形は、第１吐出用波形Ｐ１１と、第１検査用波形Ｐ１２とを連続させた波形である。第１吐出用波形Ｐ１１は、第１期間ｔ１に発生し、第１検査用波形Ｐ１２は、第２期間ｔ２に発生する。第２期間ｔ２のうち第１検査用波形Ｐ１２が発生する期間が、第１発生期間ｔａである。

第１吐出用波形Ｐ１１は、基準電位ＶＭよりも電位の高い正の波形である。すなわち、第１吐出用波形Ｐ１１は、基準電位ＶＭから高位側電位ＶＨに遷移するよう立ち上がり、高位側電位ＶＨで所定期間保たれ、高位側電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移するよう立ち下がる。また、第１検査用波形Ｐ１２は、基準電位ＶＭよりも電位の高い正の波形である。すなわち、第１検査用波形Ｐ１２は、基準電位ＶＭから高位側電位ＶＨに遷移するよう立ち上がり、高位側電位ＶＨで所定期間保たれ、高位側電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移するよう立ち下がる。

第２駆動信号ＣｏｍＢの駆動波形は、基準電位ＶＭと、それに対する高位側電位ＶＨおよび低位側電位ＶＬとの間で変化する。第２駆動信号ＣｏｍＢの駆動波形は、第２吐出用波形Ｐ２１と、第２検査用波形Ｐ２２とを連続させた波形である。第２吐出用波形Ｐ２１は、第１期間ｔ１に発生し、第２検査用波形Ｐ２２は、第２期間ｔ２に発生する。第２期間ｔ２のうち第２検査用波形Ｐ２２が発生する期間が、第２発生期間ｔｂである。本実施形態では、第２発生期間ｔｂは、第１発生期間ｔａと一致する。すなわち、第１吐出用波形Ｐ１１の発生時に、第２検査用波形Ｐ２２が発生する。

第２吐出用波形Ｐ２１は、基準電位ＶＭよりも電位の高い正の波形である。すなわち、第２吐出用波形Ｐ２１は、基準電位ＶＭから高位側電位ＶＨに遷移するよう立ち上がり、高位側電位ＶＨで所定期間保たれ、高位側電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移するよう立ち下がる。また、第２検査用波形Ｐ２２は、基準電位ＶＭよりも電位の低い負の波形である。すなわち、第２検査用波形Ｐ２２は、基準電位ＶＭから低位側電位ＶＬに遷移するよう立ち下がり、低位側電位ＶＬで所定期間保たれ、低位側電位ＶＬから基準電位ＶＭに遷移するよう立ち上がる。第２検査用波形Ｐ２２は、第１検査用波形Ｐ１２に対して逆極性である。第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢは周期ｔで繰り返されるので、第１検査用波形Ｐ１２と第２検査用波形Ｐ２２とは、逆位相である。

また、第２期間ｔ２は、第１発生期間ｔａおよび第２発生期間ｔｂの他、第１検査用波形Ｐ１２に伴って発生する流路部３３の残留振動を解析する解析期間ｔｓを含んでいる。解析期間ｔｓは、第１発生期間ｔａの後の期間である。解析期間ｔｓでは、検出回路３０２が、第１圧電素子３２５ａから発生する検出電位信号Ｖoutを検出する。

１−５．インク吐出時の印刷ヘッド３の駆動
次に、インク吐出時の印刷ヘッド３の駆動について、図４、図５および図６を参照しつつ説明する。図６は、第１実施形態におけるインク吐出時のインクの流れを示す図である。

インクを吐出する場合、印刷信号ＳＩに基づく指定回路３０１１の制御により、図４に示すスイッチＲａおよびＲｂが、図５に示す第１期間ｔ１に限りオンされる。スイッチＲａおよびＲｂがオンされることで、図５に示す第１吐出用波形Ｐ１１による信号が、第１圧電素子３２５ａに印加されるとともに、図５に示す第２吐出用波形Ｐ２１による信号が、第２圧電素子３２５ｂに印加される。高位側電位ＶＨが第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂに加わることで、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂとこれらに接する振動板３２４の部分が−ｚ軸側に撓む。これにより、図６に示すように、第１圧力室３３１のインクが連通路３３３に向かう矢印Ａ２１に示す流れと、第２圧力室３３２のインクが連通路３３３に向かう矢印Ａ２２に示す流れとが形成される。そのため、連通路３３３内のインクが、ノズル３２０に向かう矢印Ａ２０に示す方向に流れる。その結果、インクがノズル３２０から吐出される。

１−６．吐出検査時の印刷ヘッド３の駆動
次に、吐出検査時の印刷ヘッド３の駆動について、図４、図５および図７を参照しつつ説明する。図７は、第１実施形態における吐出検査時のインクの流れを示す図である。

吐出検査をする場合、まず、印刷信号ＳＩに基づく指定回路３０１１の制御により、図４に示すスイッチＲａおよびＲｂが、図５に示す第２期間ｔ２のうちの解析期間ｔｓを除く期間に限りオンされる。その後、印刷信号ＳＩに基づく指定回路３０１１の制御により、図５に示す解析期間ｔｓにおいて、図４に示すスイッチＲａおよびＲｂがオフされるとともに、スイッチＲｓがオンされる。

第２期間ｔ２のうちの解析期間ｔｓを除く期間では、図５に示す第１検査用波形Ｐ１２による信号が、第１圧電素子３２５ａに印加されるとともに、図５に示す第２検査用波形Ｐ２２による信号が、第２圧電素子３２５ｂに印加される。第１検査用波形Ｐ１２によって高位側電位ＶＨが第１圧電素子３２５ａに加わることで、第１圧電素子３２５ａとこれに接する振動板３２４の部分が−ｚ軸側に撓む。同時に、図５に示す第２検査用波形Ｐ２２によって低位側電位ＶＬが第２圧電素子３２５ｂに加わることで、第２圧電素子３２５ｂとこれに接する振動板３２４の部分が＋ｚ軸側に撓む。これにより、図７に示すように、第１圧力室３３１のインクが連通路３３３に向かう矢印Ａ３１に示す流れと、第２圧力室３３２のインクが連通路３３３とは反対側に向かう矢印Ａ３２に示す流れとが形成される。そのため、連通路３３３内のインクが、矢印Ａ３０に示す方向、すなわちノズル３２０に向かう方向とは異なる方向に沿って流れ易くなる。その結果、インクをノズル３２０から吐出させずに、インクを第１圧力室３３１から第２圧力室３３２へと流れ易くさせることができる。

また、解析期間ｔｓでは、第１発生期間ｔａにおける第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂの各変形に伴って流路部３３には残留振動が生じる。解析期間ｔｓでは、検出回路３０２が、流路部３３の残留振動により第１圧電素子３２５ａで発生する検出電位信号Ｖoutを検出する。また、検出回路３０２は、検出電位信号Ｖoutに基づく残留振動信号Ｖｄを検査部１６に出力する。そして、検査部１６は、残留振動信号Ｖｄを基にして吐出検査を行う。

以上説明したプリンター１は、前述のように、ノズル３２０と、流路部３３と、第１圧電素子３２５ａと、第２圧電素子３２５ｂと、第１信号生成部１５１と、第２信号生成部１５２と、検査部１６と、を有する。ノズル３２０は、インク等の液体を吐出する。流路部３３は、第１圧力室３３１、ノズル３２０と第１圧力室３３１とを連通させる連通路３３３、および連通路３３３を介して第１圧力室３３１に連通する第２圧力室３３２を有する。第１圧電素子３２５ａは、第１圧力室３３１の圧力を変化させる。第２圧電素子３２５ｂは、第２圧力室３３２の圧力を変化させる。第１信号生成部１５１は、第１圧電素子３２５ａを駆動させる第１駆動信号ＣｏｍＡを生成する。第２信号生成部１５２は、第２圧電素子３２５ｂを駆動させる第２駆動信号ＣｏｍＢを生成する。検査部１６は、第１圧電素子３２５ａの駆動に伴って流路部３３で発生する残留振動により第１圧電素子３２５ａから発生する「起電力」としての検出電位信号Ｖoutを基にして、ノズル３２０の吐出検査を行う。また、第１駆動信号ＣｏｍＡは、第１検査用波形Ｐ１２を含む。また、第２駆動信号ＣｏｍＢは、第１検査用波形Ｐ１２の第１発生期間ｔａと重複する期間である第２発生期間ｔｂにおいて第１検査用波形Ｐ１２とは逆極性で発生する第２検査用波形Ｐ２２を含む。第１検査用波形Ｐ１２および第２検査用波形Ｐ２２は、それぞれ吐出検査を行うために用いられる波形である。

第１検査用波形Ｐ１２と第２検査用波形Ｐ２２とが逆極性であるので、第１発生期間ｔａにおいて、第１圧電素子３２５ａと第２圧電素子３２５ｂとを逆方向に変形させることができる。そのため、図７に示すように、第１圧力室３３１ではノズル３２０に向かう矢印Ａ３１に示すインクの流れが形成されても、第２圧力室３３２ではノズル３２０に向かう方向とは反対の矢印Ａ３２に示すインクの流れが形成される。それゆえ、連通路３３３において、矢印Ａ３０に示すように、ノズル３２０から吐出され難いインクの流れが形成される。よって、吐出検査時にインク吐出時と同じ高位側電位ＶＨを第１圧電素子３２５ａに印加しても、インクを吐出させることなく、第１圧電素子３２５ａから発生する検出電位信号Ｖoutを基にして吐出検査を行うことができる。そのため、循環流路を有するプリンター１において、高精度なインクの吐出検査を行うことができる。

なお、第１発生期間ｔａと第２発生期間ｔｂとは、完全に一致していなくてもよく、重複していればよい。つまり、第１発生期間ｔａと第２発生期間ｔｂとは、互いに重なる部分を有すればよい。第１検査用波形Ｐ１２および第２検査用波形Ｐ２２の各立ち上がりタイミングは、互いに異なっていてもよい。同様に、第１検査用波形Ｐ１２および第２検査用波形Ｐ２２の各立ち下がりタイミングは、互いに異なっていてもよい。「逆極性」とは、基準電位ＶＭに対して、一方が高い電位にあり、他方が低い電位にあることをいう。

２．第２実施形態
図８は、第２実施形態における第１駆動信号ＣｏｍＡ１および第２駆動信号ＣｏｍＢ１の各駆動波形を示す図である。図９は、第２実施形態における第２圧電素子３２５ｂの固有周期Ｔｃを示す図である。本実施形態は、第１駆動信号ＣｏｍＡ１および第２駆動信号ＣｏｍＢ１の各駆動波形が第１実施形態と異なる。なお、第２実施形態において第１実施形態と同様の事項については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜省略する。

図８に示すように、第２駆動信号ＣｏｍＢ１は、第２検査用波形Ｐ２３を含む。第２検査用波形Ｐ２３は、基準電位ＶＭよりも電位の高い正の波形である。第２検査用波形Ｐ２３は、基準電位ＶＭから高位側電位ＶＨに遷移するよう立ち上がり、高位側電位ＶＨで所定期間保たれ、高位側電位ＶＨから基準電位ＶＭに遷移するよう立ち下がる。第２検査用波形Ｐ２３は、第１検査用波形Ｐ１３に対して同極性である。「同極性」とは、基準電位ＶＭに対して、ともに高いかまたは低い電位にあることをいう。

第１駆動信号ＣｏｍＡ１の駆動波形は、第１吐出用波形Ｐ１１と、第１検査用波形Ｐ１３とを含む。第１検査用波形Ｐ１３は、固有期間ｔ０内に発生する。固有期間ｔ０は、第２検査用波形Ｐ２３の第２発生期間ｔｂの終了Ｅ１から、第２圧電素子３２５ｂの固有周期Ｔｃの１／２の期間である。当該固有周期Ｔｃを図９に示す。図９中の横軸は時間Ｔを示し、縦軸は振幅Ａを示す。なお、本実施形態では、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂは同一構成であるため、当該固有周期Ｔｃは、第１圧電素子３２５ａの固有周期Ｔｃであるとも言える。

ここで、第２発生期間ｔｂでは、第２圧電素子３２５ｂは、連通路３３３側に向かって撓んだ状態なる。また、第２発生期間ｔｂ後には、第２圧電素子３２５ｂは、連通路３３３側に向かって撓んだ状態から、復元力によって振動する。つまり、第２発生期間ｔｂの終了Ｅ１後には、第２圧電素子３２５ｂは、連通路３３３側に向かって撓んだ状態から、連通路３３３とは反対側に向かって撓んだ状態になった後、再び連通路３３３側に向かって撓んだ状態に戻ることを初期状態に減衰するまで繰り返す。

前述の第２発生期間ｔｂの終了Ｅ１後の固有期間ｔ０では、第２圧電素子３２５ｂは、連通路３３３側に向かって撓んだ状態から連通路３３３とは反対側に向かって撓んだ状態になるよう変形する。そのため、固有期間ｔ０では、連通路３３３から第２圧力室３３２に向かう方向にインクの流れが形成される。

前述のように、第１駆動信号ＣｏｍＡ１は、固有期間ｔ０内に第２検査用波形Ｐ２３と同極性で発生する第１検査用波形Ｐ１３を含む。前述のように、固有期間ｔ０において、第２圧電素子３２５ｂは、連通路３３３とは反対側に向かって撓んだ状態となるよう変形する。これに対し、固有期間ｔ０において、第１検査用波形Ｐ１３による信号を第１圧電素子３２５ａに印加すると、第１圧電素子３２５ａは、連通路３３３側に向かって撓んだ状態になる。したがって、固有期間ｔ０において、第２圧電素子３２５ｂと第１圧電素子３２５ａとは、逆方向に変形する。そのため、固有期間ｔ０では、前述の第１実施形態と同様、図７に示すように、第１圧力室３３１では矢印Ａ３１に示すインクの流れが形成されるとともに、第２圧力室３３２では矢印Ａ３１とは反対の矢印Ａ３２に示すインクの流れが形成される。よって、本実施形態においても、インクを吐出させることなく、高精度なインクの吐出検査を行うことができる。

なお、第２発生期間ｔｂの終了Ｅ１は、ノズル３２０のメニスカスが連通路３３３側の後退し始める時であるとも言える。また、ノズル３２０のメニスカスの変位は、第２圧電素子３２５ｂに追随する。そのため、固有期間ｔ０では、ノズル３２０のメニスカスは、−ｚ軸側に突出する状態から−ｚ軸側に後退する状態となるよう変位する。よって、第２発生期間ｔｂの終了Ｅ１は、ノズル３２０のメニスカスが連通路３３３側に後退し始める時であるとも言える。

３．第３実施形態
図１０は、第３実施形態における第１駆動信号ＣｏｍＡ２および第２駆動信号ＣｏｍＢ２の各駆動波形を示す図である。本実施形態は、第１駆動信号ＣｏｍＡ２および第２駆動信号ＣｏｍＢ２の各駆動波形が第２実施形態と異なる。なお、第３実施形態において第２実施形態と同様の事項については、第２実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜省略する。

図１０に示すように、第２駆動信号ＣｏｍＢ２の駆動波形は、第２吐出用波形Ｐ２１を含み、第２実施形態における第２検査用波形Ｐ２３が省略されている。

第１駆動信号ＣｏｍＡ２の駆動波形は、第１吐出用波形Ｐ１１と、第１検査用波形Ｐ１４とを含む。第１検査用波形Ｐ１４は、固有期間ｔ０内に発生する。固有期間ｔ０は、第２吐出用波形Ｐ２１の第２発生期間ｔｂの終了Ｅ２から、第２圧電素子３２５ｂの固有周期Ｔｃの１／２の期間である。

本実施形態では、第２吐出用波形Ｐ２１は、「第２検査用波形」としての機能を有する。言い換えると、「第２検査用波形」は、ノズル３２０からインク等の液体を吐出させるための「吐出用波形」としての第２吐出用波形Ｐ２１である。本実施形態においても、第２実施形態と同様に、固有期間ｔ０において、第１検査用波形Ｐ１４による信号を印加することで、第２圧電素子３２５ｂと第１圧電素子３２５ａとを逆方向に変形させることができる。よって、本実施形態においても第２実施形態と同様に、固有期間ｔ０では、図７に示すように、第１圧力室３３１では矢印Ａ３１に示すインクの流れが形成されるとともに、第２圧力室３３２では矢印Ａ３１とは反対の矢印Ａ３２に示すインクの流れが形成される。それゆえ、インクを吐出させることなく、高精度なインクの吐出検査を行うことができる。

４．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

４−１．第１変形例
第２実施形態における第１検査用波形Ｐ１３および第２検査用波形Ｐ２３は、同じ形状の波形であるが、これらの波形は、振幅または周波数等が異なる形状であってもよい。

図１１は、第１変形例における第１駆動信号ＣｏｍＡ１および第２駆動信号ＣｏｍＢ３の各駆動波形を示す図である。図１１に示すように、第２駆動信号ＣｏｍＢ３は、第２検査用波形Ｐ２４を含む。第２検査用波形Ｐ２４は、正の波形である。第２検査用波形Ｐ２４の立ち上がり速度は、第２検査用波形Ｐ２４の立ち下がり速度よりも遅い。そのため、第２実施形態における第２検査用波形Ｐ２２に比べて、第２期間ｔ２におけるインクの吐出をより効果的に防ぐことができる。また、第２検査用波形Ｐ２４の立ち下がり速度は、その立ち上がり速度よりも速い。そのため、第２検査用波形Ｐ２４の立ち下がり速度が、その立ち上がり速度よりも遅い場合に比べて、固有期間ｔ０における第２圧電素子３２５ｂの変形量を大きくすることができる。そのため、例えば、第１圧電素子３２５ａに高位側電位ＶＨよりもさらに高い電位を印加しても、第２期間ｔ２におけるインクの吐出をより効果的に防ぐことができる。

４−２．第２変形例
図１２は、第２変形例における第１駆動信号ＣｏｍＡ３および第２駆動信号ＣｏｍＢ１の各駆動波形を示す図である。図１２に示すように、第１駆動信号ＣｏｍＡ３の第１検査用波形Ｐ１５は、高位側電位ＶＨよりも高い電位である第２高位側電位ＶＨ２を含む。そのため、第１検査用波形Ｐ１５の振幅は、第２検査用波形Ｐ２３の振幅よりも大きい。前述のように、第２検査用波形Ｐ２３によって、固有期間ｔ０では、第２圧力室３３２側に向かう流れが形成される。よって、第１検査用波形Ｐ１５の振幅が第２検査用波形Ｐ２３の振幅よりも大きくても、固有期間ｔ０において、インクが吐出するおそれを低減できる。よって、第１吐出用波形Ｐ１１の振幅よりも大きいな振幅を有する第１検査用波形Ｐ１５によって発生する検出電位信号Ｖoutを基にして吐出検査を行うことができる。それゆえ、より高精度なインクの吐出検査を行うことができる。また、第２検査用波形Ｐ２３の振幅の方が第１検査用波形Ｐ２５の振幅よりも小さいことで、第２検査用波形Ｐ２３に伴う第２圧電素子３２５ｂの駆動により、インクが吐出することを抑制できる。特に、ノズル３２０が＋ｚ方向からみて第２圧力室３３２と重なる位置に形成されても、インクが吐出することを抑制できる。

４−３．第３変形例
図１３は、第３変形例におけるヘッドユニット３０Ａの構成を示す断面図である。図１３に示すように、ヘッドユニット３０Ａが有するノズルプレート３２１Ａに形成されたノズル３２０Ａは、第１圧電素子３２５ａと第１圧力室３３１との並ぶ方向である＋ｚ方向からみて、第１圧力室３３１と重なる。そのため、＋ｚ方向からみてノズル３２０が第２圧力室３３２と重なる場合に比べ、ノズル３２０と第１圧力室３３１との距離を近くすることができる。それゆえ、ノズル３２０におけるインクの吐出検査をより高精度に行うことができる。

４−４．第４変形例
図１４は、第４変形例におけるヘッドユニット３０Ｂの構成を示す断面図である。図１４に示すように、ヘッドユニット３０Ｂが有するノズルプレート３２１Ｂに形成されたノズル３２０Ｂは、第２圧電素子３２５ｂと第２圧力室３３２との並ぶ方向である＋ｚ方向からみて、第２圧力室３３２と重なる。そのため、＋ｚ方向からみてノズル３２０が第１圧力室３３１と重なる場合に比べ、第１圧電素子３２５ａの駆動により吐出検査時にインクが吐出することを抑制できる。それゆえ、第１圧電素子３２５ａに高位側電位ＶＨよりもさらに高い電位を印加しても、第２期間ｔ２におけるインクの吐出を効果的に防ぐことができる。また、第４変形例において、流路部３３における残留振動により第２圧電素子３２５ｂで発生する検出電位信号Ｖoutを検出することが好ましい。これにより、ノズル３２０におけるインクの吐出検査をより高精度に行うことができる。
また、第１圧電素子３２５ａで発生する検出電位信号Ｖoutおよび第２圧電素子３２５ｂで発生する検出電位信号Ｖoutの双方を基にして吐出検査を行ってもよい。

４−５．第５変形例
第１実施形態における第１検査用波形Ｐ１２および第２検査用波形Ｐ２２は、互いに極性が異なるものの、波形の振幅等は同一であるが、第１検査用波形Ｐ１２および第２検査用波形Ｐ２２の各波形等は互いに異なっていてもよい。

４−６．第６変形例
各実施形態では、第１吐出用波形Ｐ１１および第２吐出用波形Ｐ２１は、同じ形状の波形であるが、これらの波形は、振幅または周波数等が異なる形状であってもよい。また、第１吐出用波形Ｐ１１および第２吐出用波形Ｐ２１は、立ち上がりの速度、立ち下がりの速度、電位の最大値、電位の最小値、波形の振幅、波形の周波数の少なくとも１つ以上を変えることによって、ノズル３２０から吐出されるインクの吐出量を変えることができる。また、１周期ｔに含まれる第１吐出用波形Ｐ１１または第２吐出用波形Ｐ２１の数を変えることによって、媒体Ｍに形成されるインクのドットサイズを変えることができる。

４−７．第７変形例
各実施形態では、第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂの双方を駆動させることで、インクを吐出可能であるが、プリンター１は、いずれか一方のみを駆動させることで、インクを吐出可能に構成してもよい。また、第７変形例において、駆動させない圧電素子により検出電位信号Ｖoutを検出しても構わない。これにより、高速印刷を行う場合など吐出信号間の時間間隔が短く１つの圧電素子では残留振動を検出できない場合にも流路部３３における残留振動による検出電位信号Ｖoutを検出することができる。

４−８．第８変形例
駆動信号生成部１５は、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢ以外の駆動信号を生成してもよい。また、第１駆動信号ＣｏｍＡは、少なくとも「第１検査用波形」を含み、第２駆動信号ＣｏｍＢは、少なくとも「第２検査用波形」を含んでいればよい。それゆえ、駆動信号生成部１５は、インクの吐出用の波形を含む駆動信号を、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢとは別に生成してもよい。また、第１駆動信号ＣｏｍＡおよび第２駆動信号ＣｏｍＢは、循環用の波形等の他の波形をさらに含んでいてもよい。なお、第１駆動信号ＣｏｍＡ１、ＣｏｍＡ２およびＣｏｍＡ３と、第２駆動信号ＣｏｍＢ１、ＣｏｍＢ２およびＣｏｍＢ３についても同様である。

４−９．第９変形例
ヘッドユニット３０は、インクを循環可能であるが、インクを循環可能でなくてもよい。第１圧電素子３２５ａおよび第２圧電素子３２５ｂは、高精度なインクの吐出検査を著しく阻害しない程度であれば、互いに異なる構成でもよい。第１圧力室３３１および第２圧力室３３２についても同様である。

以上、本発明について図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。また、本発明の各部の構成は、前述した実施形態の同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、本発明は、前述した各実施形態の任意の構成同士を組み合わせるようにしてもよい。

１…プリンター、３…印刷ヘッド、１０…制御ユニット、１１…制御部、１２…記憶部、１３…キャリッジモータードライバー、１４…搬送用モータードライバー、１５…駆動信号生成部、１６…検査部、２２…移動機構、２４…搬送機構、３０…ヘッドユニット、３０Ａ…ヘッドユニット、３０Ｂ…ヘッドユニット、３３…流路部、８１…供給管、８２…流出管、１５１…第１信号生成部、１５２…第２信号生成部、２２１…ガイド軸、２２２…第１プーリー、２２３…第２プーリー、２２４…タイミングベルト、２２５…キャリッジモーター、２４１…搬送ローラー、２４２…搬送用モーター、３００…吐出部、３０１…スイッチ回路、３０２…検出回路、３２０…ノズル、３２１…ノズルプレート、３２２…連通板、３２３…流路基板、３２４…振動板、３２５ａ…第１圧電素子、３２５ｂ…第２圧電素子、３２６…保護基板、３２７…コンプライアンス基板、３２８…ケース、３２９…配線基板、３３０…流路部、３３１…第１圧力室、３３２…第２圧力室、３３３…連通路、３３４…供給路、３３５…流出路、３３６…第１マニホールド、３３７…第２マニホールド、９００…外部装置、３０１１…指定回路、３２５１…第１電極、３２５２…第２電極、３２５３…圧電体層、Ｃｉ…比較信号、ＣｏｍＡ…第１駆動信号、ＣｏｍＢ…第２駆動信号、Ｃｒ１…キャリッジ制御信号、Ｃｒ２…搬送用制御信号、Ｉｍｇ…印刷データ、Ｌａ…配線、Ｌｂ…配線、Ｌｄ…給電線、Ｌｓ…配線、Ｍ…媒体、Ｐ１１…第１吐出用波形、Ｐ１２…第１検査用波形、Ｐ２１…第２吐出用波形、Ｐ２２…第２検査用波形、Ｒａ…スイッチ、Ｒｂ…スイッチ、Ｒｓ…スイッチ、ＳＩ…印刷信号、Ｔｃ…固有周期、ＶＢＳ…バイアス電位、ＶＨ…高位側電位、ＶＬ…低位側電位、ＶＭ…基準電位、Ｖｄ…残留振動信号、Ｖout…検出電位信号、ｄＣｏｍ…波形指定信号、ｔ…周期、ｔ０…固有期間、ｔ１…第１期間、ｔ２…第２期間、ｔａ…第１発生期間、ｔｂ…第２発生期間、ｔｓ…解析期間。

Claims (7)

1. 液体を吐出するノズルと、
   第１圧力室、前記ノズルと前記第１圧力室とを連通させる連通路、および前記連通路を介して前記第１圧力室に連通する第２圧力室を有する流路部と、
   前記第１圧力室の圧力を変化させる第１圧電素子と、
   前記第２圧力室の圧力を変化させる第２圧電素子と、
   前記第１圧電素子を駆動させる第１駆動信号を生成する第１信号生成部と、
   前記第２圧電素子を駆動させる第２駆動信号を生成する第２信号生成部と、
   前記第１圧電素子の駆動に伴って前記流路部で発生する残留振動により前記第１圧電素子または前記第２圧電素子で発生する起電力に基づいて、前記ノズルの吐出検査を行う検査部と、を備え、
   前記第１駆動信号は、第１検査用波形を含み、
   前記第２駆動信号は、前記第１検査用波形の第１発生期間と重複する期間において前記第１検査用波形とは逆極性で発生する第２検査用波形を含むことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 液体を吐出するノズルと、
   第１圧力室、前記ノズルと前記第１圧力室とを連通させる連通路、および前記連通路を介して前記第１圧力室に連通する第２圧力室を有する流路部と、
   前記第１圧力室の圧力を変化させる第１圧電素子と、
   前記第２圧力室の圧力を変化させる第２圧電素子と、
   前記第１圧電素子を駆動させる第１駆動信号を生成する第１信号生成部と、
   前記第２圧電素子を駆動させる第２駆動信号を生成する第２信号生成部と、
   前記第１圧電素子の駆動に伴って前記流路部で発生する残留振動により前記第１圧電素子または前記第２圧電素子で発生する起電力に基づいて、前記ノズルの吐出検査を行う検査部と、を備え、
   前記第２駆動信号は、第２検査用波形を含み、
   前記第１駆動信号は、前記第２検査用波形の第２発生期間の終了から前記第２圧電素子の固有周期Ｔｃの１／２の期間内に前記第２検査用波形と同極性で発生する第１検査用波形を含むことを特徴とする液滴吐出装置。
3. 前記第２検査用波形は、前記ノズルから前記液体を吐出させるための吐出用波形である請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記第２検査用波形の立ち上がり速度は、前記第２検査用波形の立ち下がり速度よりも遅い請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記第１検査用波形の振幅は、前記第２検査用波形の振幅よりも大きい請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
6. 前記ノズルは、前記第１圧電素子と前記第１圧力室との並ぶ方向からみて、前記第１圧力室と重なる請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
7. 前記ノズルは、前記第２圧電素子と前記第２圧力室との並ぶ方向からみて、前記第２圧力室と重なる請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。

Images