JP2020091222A - 荷重センサ - Google Patents

Abstract

【課題】小型化が可能な荷重センサを提供する。【解決手段】荷重センサ１は、第１乃至第４のコイル１１〜１４がブリッジ接続されたブリッジ回路１０と、検出対象の荷重が作用する検出軸部２１と荷重が作用しない基準軸部２２とを有する磁歪材２とを備える。ブリッジ回路１０は、第２のコイル１２が第１のコイル１１に直列に接続されると共に、第４のコイル１４が第３のコイル１３に直列に接続され、かつ第１及び第２のコイル１１，１２と第３及び第４のコイル１３，１４とが並列に接続され、検出軸部２１の外周に第２及び第３のコイル１２，１３が配置され、基準軸部２２の外周に第１及び第４のコイル１１，１４が配置されている。磁歪材２は、検出軸部２１と基準軸部２２とが、荷重が作用する方向に並んで設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は、荷重を検出する荷重センサに関する。

従来、外部から受ける荷重の大きさに応じて磁性体の透磁率が変化する磁歪効果を利用して、その荷重の大きさを検出するセンサが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１には、所定の検出方向の応力を受ける磁性体からなる応力受け部材と、検出方向における応力受け部材の変形量を検出するための一対の第１の検出部と、前記検出方向に直交する方向における応力受け部材の変形量を検出するための一対の第２の検出部とを備えたセンサ（応力センサ）が記載されている。第１の検出部及び第２の検出部は、応力受け部材の表面に交差する方向に磁界を発生させるコイルからなり、各コイルがフレキシブル基板の配線パターンにより形成されている。このフレキシブル基板は、円柱状の応力受け部材の外周面を囲うように取り付けられている。

第１の検出部としてのコイルは、検出方向に対して平行な方向の長さが検出方向に対して直交する方向の長さよりも長く、第２の検出部としてのコイルは、検出方向に対して直交する方向の長さが検出方向に対して平行な方向の長さよりも長い。また、一対の第１の検出部及び一対の第２の検出部は、ブリッジ回路を構成し、このブリッジ回路における第１の検出部と第２の検出部との間の２つの節点の電位差に基づいて応力受け部材に作用する応力が検出される。

特開２０１５−２１５２３３号公報（図４乃至図７参照）

このようなセンサは、用途や使用される部位によっては小型化が必要な場合がある。しかし、特許文献１に記載のものでは、円柱状の応力受け部材の外周面に沿って４つのコイルが並んで配置される構成上、小型化に制約があり、用途や使用される部位によっては、適用が難しい場合があった。

また、感度を確保し消費電流を抑制するためにはコイルのインダクタンスを大きくする必要がある。コイルのインダクタンスは、コイルの面積と巻き数の２乗に比例する。しかし、フレキシブル基板にコイルを形成して外周面に配置する方式では、コイルの面積と巻き数を増やすのには限界があり、高感度化が難しかった。

そこで、本発明は、小型化が可能で、高感度な荷重センサを提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決することを目的として、第１乃至第４のコイルがブリッジ接続されたブリッジ回路と、検出対象の荷重が作用する検出軸部と前記荷重が作用しない基準軸部とを有する磁歪材と、を備え、前記ブリッジ回路は、前記第２のコイルが前記第１のコイルに直列に接続されると共に、前記第４のコイルが前記第３のコイルに直列に接続され、かつ前記第１及び第２のコイルと前記第３及び第４のコイルとが並列に接続され、前記検出軸部の外周に前記第２及び第３のコイルが配置され、前記基準軸部の外周に前記第１及び第４のコイルが配置され、前記磁歪材は、前記検出軸部と前記基準軸部とが、前記荷重が作用する方向に並んで設けられている、荷重センサを提供する。

本発明によれば、荷重センサの小型化と、高感度化が可能となる。

（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る荷重センサを示す断面図である。（ｂ）は、荷重センサにおける第２及び第４のコイルを示す断面図である。（ｃ）は、荷重センサにおける第１及び第３のコイルを示す断面図である。（ｄ）は第１乃至第４のコイルによるブリッジ回路を示す回路図である。 荷重センサの分解斜視図である。 （ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係る荷重センサを示す断面図である。（ｂ）は、シールド部材を示す斜視図である。 （ａ）は、第１の実施の形態の変形例１に係る荷重センサを示す断面図である。（ｂ）は、第２のコイルを示す断面図である。（ｃ）は、第１のコイルを示す断面図である。（ｄ）は、ブリッジ回路を示す回路図である。 （ａ）は、第１の実施の形態の変形例２に係る荷重センサを示す断面図である。（ｂ）は、第２のコイルを示す断面図である。（ｃ）は、第４のコイルを示す断面図である。（ｄ）は、ブリッジ回路を示す回路図である。

［第１の実施の形態］
図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る荷重センサを示す断面図である。図１（ｂ）は、荷重センサにおける第２及び第４のコイルを示す断面図である。図１（ｃ）は、荷重センサにおける第１及び第３のコイルを示す断面図である。図１（ｄ）は第１乃至第４のコイルによるブリッジ回路を示す回路図である。図２は、荷重センサの分解斜視図である。

この荷重センサ１は、ブリッジ接続された第１乃至第４のコイル１１〜１４からなるブリッジ回路１０と、荷重が作用することにより透磁率が変化する磁歪材２と、鉄等の軟磁性体からなる第１及び第２の磁性リング３１，３２と、磁歪材２に取り付けられた有底筒状のキャップ４とを有している。第１乃至第４のコイル１１〜１４のそれぞれは、ブリッジ回路１０を構成するインピーダンス要素である。

磁歪材２は、例えばクロム鋼又はクロムモリブデン鋼からなる鋼材であり、より具体的にはＪＩＳ規格のＳＣｒ４２０Ｈ又はＳＣＭ４２０Ｈからなる。また、磁歪材２は、全体が浸炭焼入れ焼戻し処理されていると共に、少なくとも第１乃至第４のコイル１１〜１４が取り付けられる部分にショットピーニングが施されている。浸炭焼入れ焼戻し処理を施すことによって、磁歪材２の靱性を含む機械的強度を高めることができる。また、熱処理後にショットピーニングを施すことで、その表面にマルテンサイト変態（無拡散変態）を生じさせて非磁性のオーステナイトを減少させ、強磁性のマルテンサイトを増大させることができる。その結果、磁歪材２の表面における非磁性領域が減少して磁性領域が増大することにより、荷重が付与された際の透磁率の変化が大きくなる。

磁歪材２は、検出対象の荷重が作用する検出軸部２１と荷重が作用しない基準軸部２２と、検出軸部２１と基準軸部２２との間に設けられたフランジ部２３とを有している。本実施の形態では、検出軸部２１、基準軸部２２、及びフランジ部２３が一体に形成されている。検出軸部２１及び基準軸部２２は、共に円柱状であり、その軸方向長さ及び直径が共通である。

検出軸部２１と基準軸部２２とは、検出対象の荷重が作用する方向に並んで設けられている。フランジ部２３は、検出軸部２１及び基準軸部２２よりも大径の円盤状である。図１では、荷重が作用する方向を矢印で示している。荷重センサ１は、キャップ４が取付対象部材８に取り付けられており、検出軸部２１及び基準軸部２２の中心軸線Ｃ（図２に示す）と平行な方向の荷重を検出する。

荷重センサ１は、検出軸部２１に検出対象の荷重が作用すると共に、基準軸部２２には荷重が作用しないように構成されている。本実施の形態では、フランジ部２３から検出対象の荷重を受ける受け部材としてのキャップ４により、基準軸部２２に荷重が作用しないように構成されている。

キャップ４は、磁気シールド効果を有する金属からなり、フランジ部２３から軸方向の荷重を受ける円筒状の受け部４１と、受け部４１の軸方向一側を閉塞する底部４２とを一体に有している。この金属としては、例えばパーマロイ等の鉄系金属を好適に用いることができる。受け部４１は、底部４２側とは反対側の端部が磁歪材のフランジ部２３に当接し、フランジ部２３から検出対象の荷重を受ける。

キャップ４は、受け部４１がフランジ部２３の複数のボルト挿通孔２３０に挿通された複数のボルト６によって磁歪材２に固定されている。受け部４１は、フランジ部２３における基準軸部２２側の端面に当接しており、フランジ部２３と取付対象部材８との間に配置されている。これにより、検出軸部２１に付与された荷重がフランジ部２３からキャップ４の受け部４１に伝達され、基準軸部２２には作用しない。基準軸部２２とキャップ４の底部４２とは、隙間を介して軸方向に向かい合っている。

ブリッジ回路１０は、図１（ｄ）に示すように、第２のコイル１２が第１のコイル１１に直列に接続されると共に、第４のコイル１４が第３のコイル１３に直列に接続されている。また、第１及び第２のコイル１１，１２と第３及び第４のコイル１３，１４とが並列に接続されている。第２及び第３のコイル１２，１３は、樹脂等の非磁性体からなるボビン７１を介して検出軸部２１の外周に配置されている。第１及び第４のコイル１１，１４は、同じく樹脂等の非磁性体からなるボビン７２を介して検出軸部２１の外周に配置されている。

図１（ｂ）に示すように、第１及び第２のコイル１１，１２は、ボビン７１の外周にバイファイラ巻きされている。バイファイラ巻きとは、２つのコイルのそれぞれの巻線を巻き回す際の同一ターンが互いに沿うように巻く巻き方である。図１（ｂ）では、第１のコイル１１の巻線と第２のコイル１２の巻線とを、断面を示すハッチングの向きを変えて区別して示している。また、図１（ｃ）に示すように、第１及び第４のコイル１１，１４は、ボビン７２の外周にバイファイラ巻きされている。第１乃至第４のコイル１１〜１４の巻き数は共通である。

なお、これらのコイル巻線の巻き方は、バイファイラ巻きに限らず、レイヤ巻きであってもよい。レイヤ巻きとは、一方のコイルの巻線を１層目に巻き回し、他方のコイルの巻線をその外側の２層目に巻き回す巻き方である。その際、第１及び第３のコイル１１，１３のインピーダンス、ならびに第２及び第４のコイル１２，１４のインピーダンスが等しくなるように、それぞれを同じ層に巻くことが望ましい。また、ボビン７１，７２を用いることなく、第１乃至第４のコイル１１〜１４を検出軸部２１及び基準軸部２２の外周面に直接巻き回してもよい。

第１及び第２のコイル１１，１２ならびに第１及び第４のコイル１１，１４は、それぞれバイファイラ巻き又はレイヤ巻きすることにより、検出軸部２１及び基準軸部２２の外周面の全周にわたって直接、又はボビン７１，７２を介して巻き回されている。このため、検出軸部２１及び基準軸部２２の軸方向の位置によって荷重による応力分布のばらつきや局所的な不均一性があっても、その影響を受けて荷重の検出精度が低下してしまうことが抑制される。

ボビン７１，７２は、例えば接着により検出軸部２１及び基準軸部２２にそれぞれ固定されている。なお、ボビン７１，７２をボルトによって検出軸部２１及び基準軸部２２に固定してもよく、ボビン７１，７２を検出軸部２１及び基準軸部２２と一体にモールド成形してもよい。

第１及び第２の磁性リング３１，３２は、例えば接着によってボビン７１，７２の外周にそれぞれ固定されている。なお、ボビン７１，７２を第１及び第２の磁性リング３１，３２と一体にモールド成形してもよい。

キャップ４の受け部４１は、基準軸部２２ならびに第１及び第４のコイル１１，１４の外周に配置された筒状であり、第１及び第４のコイル１１，１４を収容している。これにより、例えば電動モータ等から発生する外部の磁界が第１及び第４のコイル１１，１４に影響を与えてしまうことが抑制される。また、受け部４１の軸方向一側が底部４２によって閉塞されているので、磁気シールド効果をより確実に得ることができる。

ブリッジ回路１０の両端部における電極１０１，１０２の間には、図略の交流電源から交流電圧が印加される。そして、この交流電圧によって第１乃至第４のコイル１１〜１４に流れる電流により、磁束が発生する。第２及び第３のコイル１２，１３に発生する磁束は、検出軸部２１及び第１の磁性リング３１に鎖交する。第１及び第４のコイル１１，１４に発生する磁束は、基準軸部２２及び第２の磁性リング３２に鎖交する。

ブリッジ回路１０の第１の出力端子１０３は、第１のコイル１１と第２のコイル１２との間に接続されている。また、ブリッジ回路１０の第２の出力端子１０４は、第３のコイル１３と第４のコイル１４との間に接続されている。

磁歪材２に検出対象の荷重が作用すると、検出軸部２１に応力が発生し、検出軸部２１の透磁率が変化する。一方、基準軸部２２には荷重が作用しないため、透磁率は変化しない。磁歪材２に荷重が作用すると、第２及び第３のコイル１２，１３のインピーダンスが変化し、第１及び第２の出力端子１０３，１０４間の電圧が変化する。

この電圧は、検出軸部２１における透磁率の変化、すなわち荷重の大きさに応じて変化するので、第１及び第２の出力端子１０３，１０４の間の電圧を測定することにより、検出対象の荷重の大きさを検出することができる。なお、実際には出力端子１０３，１０４の電圧は交流電圧であり、同相成分を除去して差動成分のみを検出するために、出力端子１０３，１０４の間の電圧は差動増幅回路で増幅し、さらに検波して利用する。

（第１の実施の形態の効果）
以上説明した第１の実施の形態によれば、検出軸部２１と基準軸部２２とが検出対象の荷重が作用する方向に並んで設けられ、検出軸部２１の外周に第２及び第３のコイル１２，１３が配置され、基準軸部２２の外周に第１及び第４のコイル１１，１４が配置されているので、荷重センサ１を小型に構成することができる。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について、図３を参照して説明する。図３（ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係る荷重センサ１Ａを示す断面図である。図３（ｂ）は、荷重センサ１Ａのシールド部材５を示す斜視図である。図３（ａ）において、第１の実施の形態に係る荷重センサ１の構成要素に対応する構成要素については、図１（ａ）等に付した符号と同一の符号を付して重複した説明を省略する。

荷重センサ１Ａは、検出軸部２１ならびに第２及び第３のコイル１２，１３の外周に配置され、磁気シールド効果を有するシールド部材５を備えている。シールド部材５は、第２及び第３のコイル１２，１３を収容する円筒部５１と、円筒部５１における基準軸部２２及びフランジ部２３側とは反対側の端部の一部を閉塞する底部５２とを一体に有している。この底部５２には、検出軸部２１の一部を外部に導出させる貫通孔５２０が形成されている。本実施の形態では、検出軸部２１が基準軸部２２よりも軸方向長さが長く形成されている。

シールド部材５の材料としては、キャップ４と同様に、例えばパーマロイ等の鉄系金属を好適に用いることができる。円筒部５１は、磁歪材２のフランジ部２３に螺合して固定されている。また、本実施の形態では、キャップ４の受け部４１も同様に、磁歪材２のフランジ部２３に螺合して固定されている。

この第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果に加え、検出軸部２１に作用する荷重に影響を与えることなく、第２及び第３のコイル１２，１３に外部の磁界が影響することを抑制することができる。

［第１の実施の形態の変形例］
次に、第１の実施の形態の変形例について説明する。第１の実施の形態では、ブリッジ回路１０を構成する４つのインピーダンス要素として、第１乃至第４のコイル１１〜１４を用いた場合について説明したが、以下に述べる変形例では、このうち２つのインピーダンス要素を直流抵抗器に置き換えたものである。

＜変形例１＞
図４を参照して第１の実施の形態の変形例１について説明する。図４中、第１の実施の形態について説明したものに対応する構成要素については、図１に付したものと同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図４（ａ）は、変形例１に係る荷重センサ１Ａを示す断面図である。図４（ｂ）は、荷重センサ１Ａの第２のコイル１２を示す断面図である。図４（ｃ）は、荷重センサ１Ａの第１のコイル１１を示す断面図である。（ｄ）は、ブリッジ回路１０Ａを示す回路図である。

この荷重センサ１Ａは、検出軸部２１の外周に第２のコイル１２が巻き回され、基準軸部２２の外周に第１のコイル１１が巻き回されている。また、第２のコイル１２が第１のコイル１１に直列に接続されると共に、第１及び第２の抵抗器１５，１６に直列に接続され、かつ第１及び第２のコイル１１，１２と第１及び第２の抵抗器１５，１６とが並列に接続されている。第１の出力端子１０３は、第１のコイル１１と第２のコイル１２との間に接続され、第２の出力端子１０４は、第１の抵抗器１５と第２の抵抗器１６との間に接続されている。第１の抵抗器１５の抵抗値と第２の抵抗器１６の抵抗値とは同じである。

このような変形例１によっても、第１の実施の形態と同様の作用及び効果が得られる。

＜変形例２＞
次に、図５を参照して第１の実施の形態の変形例２について説明する。図５中、第１の実施の形態について説明したものに対応する構成要素については、図１に付したものと同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図４（ａ）は、変形例２に係る荷重センサ１Ｂを示す断面図である。図４（ｂ）は、荷重センサ１Ｂの第２のコイル１２を示す断面図である。図４（ｃ）は、荷重センサ１Ｂの第４のコイル１４を示す断面図である。（ｄ）は、ブリッジ回路１０Ｂを示す回路図である。

この荷重センサ１Ｂは、検出軸部２１の外周に第２のコイル１２が巻き回され、基準軸部２２の外周に第４のコイル１４が巻き回されている。また、第２のコイル１２が第１の抵抗器１７に直列に接続されると共に、第４のコイル１４が第２の抵抗器１８に直列に接続され、かつ第１の抵抗器１７及び第２のコイル１２の直列回路と第２の抵抗器１８及び第４のコイル１４の直列回路とが並列に接続されている。第１の出力端子１０３は、第１の抵抗器１７と第２のコイル１２との間に接続され、第２の出力端子１０４は、第２の抵抗器１８と第４の抵抗器１４との間に接続されている。第１の抵抗器１７の抵抗値と第２の抵抗器１８の抵抗値とは同じである。

このような変形例２によっても、第１の実施の形態と同様の作用及び効果が得られる。

（実施の形態のまとめ）
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。ただし、以下の記載における各符号は、特許請求の範囲における構成要素を実施の形態に具体的に示した部材等に限定するものではない。

［１］第１乃至第４のコイル（１１〜１４）がブリッジ接続されたブリッジ回路（１０）と、検出対象の荷重が作用する検出軸部（２１）と前記荷重が作用しない基準軸部（２２）とを有する磁歪材（２）と、を備え、前記ブリッジ回路（１０）は、前記第２のコイル（１２）が前記第１のコイル（１１）に直列に接続されると共に、前記第４のコイル（１４）が前記第３のコイル（１３）に直列に接続され、かつ前記第１及び第２のコイル（１１，１２）と前記第３及び第４のコイル（１３，１４）とが並列に接続され、前記検出軸部（２１）の外周に前記第２及び第３のコイル（１２，１３）が配置され、前記基準軸部（２２）の外周に前記第１及び第４のコイル（１１，１４）が配置され、前記磁歪材（２）は、前記検出軸部（２１）と前記基準軸部（２２）とが、前記荷重が作用する方向に並んで設けられている、荷重センサ（１，１Ａ）。

［２］前記基準軸部（２２）ならびに前記第１及び第４のコイル（１１，１４）の外周に配置された受け部（４１）を有する受け部材（４）をさらに備え、前記磁歪材（２）は、前記検出軸部（２１）と前記基準軸部（２２）との間に、前記基準軸部（２２）よりも大径のフランジ部（２３）を有し、前記受け部（４１）が前記フランジ部（２３）に当接して前記荷重を受ける、上記［１］に記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［３］前記受け部材（４）は、磁気シールド効果を有する金属からなり、前記受け部（４１）が前記第１及び第４のコイル（１１，１４）を収容する筒状に形成されている、上記［２］に記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［４］前記受け部材（４）は、前記受け部（４１）における前記フランジ部（２３）とは反対側の端部が閉塞された有底筒状である、上記［３］に記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［５］前記磁歪材（２）は、ＪＩＳ規格ＳＣｒ４２０Ｈ又はＳＣＭ４２０Ｈからなり、前記検出軸部（２１）と前記基準軸部（２２）とを一体に有する、上記［１］乃至［４］の何れか１つに記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［６］前記検出軸部（２１）ならびに前記第２及び第３のコイル（１２，１３）の外周に配置され、磁気シールド効果を有するシールド部材（５）をさらに備えた、上記［１］乃至［５］の何れか１つに記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［７］前記シールド部材（５）は、前記第２及び第３のコイル（１２，１３）を収容する円筒部（５１）と、前記円筒部（５１）における前記基準軸部（２２）側とは反対側の端部の一部を閉塞する底部（５２）とを有し、前記底部（５２）に前記検出軸部（２１）の一部を外部に導出させる貫通孔（５２０）が形成されている、上記［６］に記載の荷重センサ（１，１Ａ）。

［８］第１乃至第４のインピーダンス要素がブリッジ接続されたブリッジ回路と、検出対象の荷重が作用する検出軸部と前記荷重が作用しない基準軸部とを有する磁歪材と、を備え、前記ブリッジ回路は、前記第１乃至第４のインピーダンス要素のうち２つのインピーダンス要素が直列に接続された第１の直列回路と、前記第１乃至第４のインピーダンス要素のうち他の２つのインピーダンス要素が直列に接続された第２の直列回路とが並列に接続され、前記第１乃至第４のインピーダンス要素は、前記検出軸部の外周に配置された少なくとも一つのコイルと、前記基準軸部の外周に配置された少なくとも一つのコイルとを含み、前記磁歪材は、前記検出軸部と前記基準軸部とが、前記荷重が作用する方向に並んで設けられている、荷重センサ。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。

１，１Ａ…荷重センサ
１０…ブリッジ回路
１１〜１４…第１乃至第４のコイル
２…磁歪材
２１…検出軸部
２２…基準軸部
２３…フランジ部
４…キャップ
４１…受け部
４２…底部
５…シールド部材
５１…円筒部
５２…底部
５２０…貫通孔

Claims (7)

1. 第１乃至第４のコイルがブリッジ接続されたブリッジ回路と、
   検出対象の荷重が作用する検出軸部と前記荷重が作用しない基準軸部とを有する磁歪材と、を備え、
   前記ブリッジ回路は、前記第２のコイルが前記第１のコイルに直列に接続されると共に、前記第４のコイルが前記第３のコイルに直列に接続され、かつ前記第１及び第２のコイルと前記第３及び第４のコイルとが並列に接続され、
   前記検出軸部の外周に前記第２及び第３のコイルが配置され、
   前記基準軸部の外周に前記第１及び第４のコイルが配置され、
   前記磁歪材は、前記検出軸部と前記基準軸部とが、前記荷重が作用する方向に並んで設けられている、
   荷重センサ。
2. 前記基準軸部ならびに前記第１及び第４のコイルの外周に配置された受け部を有する受け部材をさらに備え、
   前記磁歪材は、前記検出軸部と前記基準軸部との間に、前記基準軸部よりも大径のフランジ部を有し、
   前記受け部が前記フランジ部に当接して前記荷重を受ける、
   請求項１に記載の荷重センサ。
3. 前記受け部材は、磁気シールド効果を有する金属からなり、前記受け部が前記第１及び第４のコイルを収容する筒状に形成されている、
   請求項２に記載の荷重センサ。
4. 前記受け部材は、前記受け部における前記フランジ部とは反対側の端部が閉塞された有底筒状である、
   請求項３に記載の荷重センサ。
5. 前記磁歪材は、ＪＩＳ規格ＳＣｒ４２０Ｈ又はＳＣＭ４２０Ｈからなり、前記検出軸部と前記基準軸部とを一体に有する、
   請求項１乃至４の何れか１項に記載の荷重センサ。
6. 前記検出軸部ならびに前記第２及び第３のコイルの外周に配置され、磁気シールド効果を有するシールド部材をさらに備えた、
   請求項１乃至５の何れか１項に記載の荷重センサ。
7. 前記シールド部材は、前記第２及び第３のコイルを収容する円筒部と、前記円筒部における前記基準軸部側とは反対側の端部の一部を閉塞する底部とを有し、
   前記底部に前記検出軸部の一部を外部に導出させる貫通孔が形成されている、
   請求項６に記載の荷重センサ。