JP2020088054A - パワー半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面の電界強度を緩和し、狭領域で高耐圧を実現可能で、周辺環境の影響を受け難く、高信頼性のパワー半導体装置を提供する。【解決手段】パワー半導体装置1は、主半導体デバイス領域120と、平面視において、主半導体デバイス領域120の周囲に配置された電界緩和領域160とを備え、電界緩和領域160は、第1導電型の高抵抗半導体層18と、高抵抗半導体層18上に配置されたエピタキシャル層28Eと、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの間に埋め込まれて配置された複数本の第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnとを備える。埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnは、電気的にフローティングであると共に、隣接する埋め込みフィールドリミッティングリング領域間の間隔を変更する。【選択図】図3
Description
本実施の形態は、パワー半導体装置に関する。
静電誘導型半導体デバイスには、静電誘導トランジスタ(SIT Static Induction Transistor:以下、SITと記す)や、静電誘導サイリスタ(Static Induction Thyristor:以下、SIThyと記す)がある。
静電誘導型半導体デバイスは、チャネルを導通する電流を静電誘導電界効果により制御可能であることから、高速スイッチングが可能である。また、マルチチャンネル化することで、大電流化が可能である。また、埋め込みpn接合ゲート構造の静電誘導サイリスタでは、数kV程度の高耐圧化も実現されている。
一般に、サイリスタやトランジスタ等のパワーデバイスは、オフ動作時の耐圧を向上させるために、p型のゲート領域の周りにフィールドリミッティングリング(Field Limiting Ring: 以下、FLRと記す)を形成している。FLRは、通常、n型半導体領域にp型半導体領域をリング状に形成することで構成される例が多い。
本実施の形態は、表面の電界強度を緩和し、狭領域で高耐圧を実現可能で、周辺環境の影響を受け難く、高信頼性のパワー半導体装置を提供する。
本実施の形態の一態様によれば、主半導体デバイス領域と、平面視において、前記主半導体デバイス領域の周囲に配置された電界緩和領域とを備え、前記電界緩和領域は、第1導電型の高抵抗半導体層と、前記高抵抗半導体層上に配置されたエピタキシャル層と、前記高抵抗半導体層と前記エピタキシャル層との間に埋め込まれて配置された複数本の第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域とを備え、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域は、電気的にフローティングであると共に、隣接する前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域間の間隔を変更する、パワー半導体装置が提供される。
本実施の形態によれば、表面の電界強度を緩和し、狭領域で高耐圧を実現可能で、周辺環境の影響を受け難く、高信頼性のパワー半導体装置を提供することができる。
次に、図面を参照して、本実施の形態について説明する。以下に説明する図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各構成部品の厚みと平面寸法との関係等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
また、以下に示す実施の形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、各構成部品の材質、形状、構造、配置等を特定するものではない。この実施の形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
(パワー半導体装置の平面パターン構成)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1は、図1に示すように、上面から見た外形がほぼトラック形状で、中央部分に、ほぼ矩形状の主半導体デバイス領域120が配置され、最外周の部分にチャネルストップリング(CSR)140が配置される。また、主半導体デバイス領域120の周囲、すなわち、主半導体デバイス領域120とCSR140の間に、電界集中を緩和するための電界緩和領域160が配置される。図1では、電界緩和領域160に、1本以上のF−FLR(埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn)を備える例を示す。なお、電界緩和領域160には、例えば、素子耐圧に比例して5本〜20本のF−FLRが配置される。尚、図1では、主半導体デバイス領域120の周囲を詳細に説明するために、主半導体デバイス領域120に比べて電界緩和領域160の幅が大きく描かれている。実際上は、例えば、約6(kV)耐圧デバイスで電界緩和領域160の幅は約1.25mm程度である。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1は、図1に示すように、上面から見た外形がほぼトラック形状で、中央部分に、ほぼ矩形状の主半導体デバイス領域120が配置され、最外周の部分にチャネルストップリング(CSR)140が配置される。また、主半導体デバイス領域120の周囲、すなわち、主半導体デバイス領域120とCSR140の間に、電界集中を緩和するための電界緩和領域160が配置される。図1では、電界緩和領域160に、1本以上のF−FLR(埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn)を備える例を示す。なお、電界緩和領域160には、例えば、素子耐圧に比例して5本〜20本のF−FLRが配置される。尚、図1では、主半導体デバイス領域120の周囲を詳細に説明するために、主半導体デバイス領域120に比べて電界緩和領域160の幅が大きく描かれている。実際上は、例えば、約6(kV)耐圧デバイスで電界緩和領域160の幅は約1.25mm程度である。
(主半導体デバイス領域)
本実施の形態に係るパワー半導体装置1は、主半導体デバイス領域120として、埋め込みpn接合ゲート構造のSIThyやSITを適用可能であり、デバイス周辺部分において、F−FLR(埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn)を備える。埋め込みpn接合ゲート構造の静電誘導サイリスタでは、約6(kV)程度の高耐圧化も幅の狭いF−FLR構造で実現可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置1は、主半導体デバイス領域120として、埋め込みpn接合ゲート構造のSIThyやSITを適用可能であり、デバイス周辺部分において、F−FLR(埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn)を備える。埋め込みpn接合ゲート構造の静電誘導サイリスタでは、約6(kV)程度の高耐圧化も幅の狭いF−FLR構造で実現可能である。
以下の説明においては、主半導体デバイス領域120として、埋め込みpn接合ゲート構造のSIThyを適用し、電界緩和領域160において、F−FLR構造を備える例を説明する。
本実施の形態に係るパワー半導体装置1は、図2(a)及び図2(b)に示すように、シングルゲート(SG:Single Gate)構造の静電誘導サイリスタ構造を備える。
本実施の形態に係るパワー半導体装置1は、図2(a)及び図2(b)に示すように、カソード領域12と、カソード領域12から注入された第1導電型キャリアが導通可能なチャネル領域13と、チャネル領域13の電位を静電誘導電界効果により制御可能な埋め込みゲート領域16と、カソード領域12と埋め込みゲート領域16との間に配置され、カソード領域12から注入された第1導電型キャリアを、カソード領域12からチャネル領域13に向けて、効率よく拡散可能なカソードエミッタ領域14とを備えていても良い。カソードエミッタ領域14はエピタキシャル層により形成可能である。
また、パワー半導体装置1は、図2(a)及び図2(b)に示すように、カソード領域12と導電型が反対導電型のアノード領域22と、アノード領域22から注入された第1導電型と反対導電型の第2導電型キャリアを制御するバッファ領域20と、バッファ領域20と埋め込みゲート領域16及びチャネル領域13との間に配置された高抵抗半導体層18とを備える。
カソード領域12は、n型半導体で形成され、SG構造のSIThyのカソードとして機能する。
第1導電型キャリアは、電子に対応する。
埋め込みゲート領域16はp型半導体で形成され、主電流の制御領域として機能する。
チャネル領域13は、図2(a)及び図2(b)に示すように、隣接する埋め込みゲート領域16間に挟まれ、主電流の導通を制御可能な領域として機能する。
カソードエミッタ領域14は、カソード領域12と埋め込みゲート領域16との間に配置され、カソード領域12から注入された第1導電型キャリアを、カソード領域12からチャネル領域13に向けて、効率良く電導及び拡散可能な領域として機能する。
アノード領域22は、p型半導体で形成され、SG構造のSIThyのアノードとして機能する。
第2導電型キャリアは、正孔に対応する。
バッファ領域20は、n型半導体で形成され、アノード領域22からの第2導電型キャリアの注入を制御すると共に、カソード領域12から注入され、チャネル領域13を導通してきた第1導電型キャリアの蓄積領域として機能する。
高抵抗半導体層18は、実質的にアノード・カソード間及びゲート・アノード間の高耐圧を確保可能な高抵抗なn型半導体、i型半導体若しくはp型半導体で形成される。
更に、図2(a)及び図2(b)に示すように、カソード領域12上に配置されたカソード電極10と、べベルエッチングなどで表面の露出された埋め込みゲート領域16上に配置されたゲート電極26と、22上に配置されたアノード電極24とを備える。
図2(a)及び図2(b)に示すパワー半導体装置1は、セグメント単位に分割された複数のカソード電極10(カソード領域12)を備える。各々のセグメント単位内は、隣接する埋め込みゲート領域16間に挟まれ、主電流の導通を制御可能なチャネル領域13を複数備えるマルチチャネル構造が形成されている。
埋め込みゲート領域16は、pn接合ゲート構造を備える例が示されているが、他のゲート構造を備えていても良い。例えば、ショットキーゲート構造、絶縁ゲート構造、若しくはヘテロ接合ゲート構造などを備えていても良い。
また、図2(a)及び図2(b)に示すパワー半導体装置1では、SG構造のSIThyの例が示されているが、アノード側からの注入キャリアの制御機能を備えたダブルゲート(DG: Double Gate)構造のSIThyを適用しても良い。
更に、順方向特性は、ノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、若しくはノーマリオン特性のいずれかを備えていても良い。
ノーマリオフ特性とは、ゲート・カソード間電圧はゼロボルトにおいて、アノード・カソード間耐圧が確保可能な特性をいう。
ノーマリオン特性とは、ゲート・カソード間電圧はゼロボルトにおいて、アノード・カソードに導通電流が流れ、オン状態が形成されると共に、ゲート・カソード間電圧に十分な逆バイアス(例えば、約−1Vから−20V程度)を印加することで、アノード・カソードに非導通状態となり、オフ状態が形成され、アノード・カソード間耐圧が確保可能な特性をいう。
セミノーマリオフ特性とは、ノーマリオフ特性と、ノーマリオン特性との中間的な特性であり、ゲート・カソード間電圧はゼロボルトにおいて、アノード・カソード間耐圧が確保可能でかつアノード・カソード間耐圧とアノード・ゲート間耐圧が等しい特性をいう。
本実施の形態に係るパワー半導体装置1は、埋め込みゲート構造を有するため、ゲート・カソード間に十分な耐圧を確保可能であり、かつノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、若しくはノーマリオン特性の群から選ばれる少なくともいずれかの特性を得ることができる。
更に、図2(a)及び図2(b)に示すように、カソード電極10・ゲート電極26の各々のセグメントの周囲には、べベル領域34を備え、ゲート端子G・カソード端子K間に十分な耐圧を確保可能である。
ここで、ゲート・カソード間に確保可能十分な耐圧とは、順方向特性は、ノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、若しくはノーマリオン特性のいずれかを採用可能でかつ主電流のゲートターンオフ可能な耐圧レベルを云う。
更に、カソードエミッタ領域14において、カソード領域12からチャネル領域13への不純物濃度分布は、カソード領域12から注入された第1導電型キャリアを、カソード領域12からチャネル領域13に向けて、効率良く電導及び拡散可能な不純物濃度分布を備えていても良い。例えば、カソードエミッタ領域14は、少なくとも2層のエピタキシャル層を備えていても良い。
本技術を適用したSG構造のパワー半導体装置は、デバイス周辺部のF−FLR構造により狭領域で高耐圧を実現可能である。
また、本技術を適用したSG構造のパワー半導体装置は、カソード領域からのキャリア高注入により、高速ターンオン性能を得ることができる。また、導通状態におけるオン抵抗を低減化し、十分にゲート耐圧を確保しつつ、高耐圧、高速スイッチング性能を実現可能である。また、順方向特性において、ノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、及びノーマリオン特性の各特性を備えるパワー半導体装置を容易に実現可能である。
(電界緩和領域)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1の電界緩和領域160は、図3(a)に示すように、第1導電型の高抵抗半導体層18と、高抵抗半導体層18上に配置されたエピタキシャル層28Eと、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの間に埋め込まれて配置された複数本の第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1、FL2、FL3、…、FLn(以下、FL1〜FLnと記す)を備える。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1の電界緩和領域160は、図3(a)に示すように、第1導電型の高抵抗半導体層18と、高抵抗半導体層18上に配置されたエピタキシャル層28Eと、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの間に埋め込まれて配置された複数本の第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1、FL2、FL3、…、FLn(以下、FL1〜FLnと記す)を備える。
埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnは、主半導体デバイス領域120の埋め込みゲート領域16とは、電気的に接続されていない。すなわち、電気的にフローティングである。
また、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnの隣接する間隔は互いに変更されていても良い。図3(a)の例では、隣接するF−FLR間隔WLiとして、WL1、WL2、WL3が図示されており、隣接する間隔は互いに異なる値を有する。その結果、電界集中を緩和することができ、絶縁破壊電圧を高めることができる。尚、F−FLR間隔WLiとは、隣接するF−FLR間の距離を表す。
本実施の形態に係るパワー半導体装置1においては、オフ動作時の耐圧を向上させるために、主半導体デバイス領域120の埋め込みゲート領域16の周りに埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnが配置され、最外周の部分には、CSR140が配置される。ここで、CSR140は、エピタキシャル層28Eの表面に形成されたn型半導体層を備える。結果として、破線で示すように、空乏層領域54が形成されて電界緩和が実現可能である。
高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eの接合面40を境に、高抵抗半導体層18に埋め込みゲート領域16の下部と埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnの下部が形成され、接合面40を境に、エピタキシャル層28E側に埋め込みゲート領域16の上部と埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnの上部が形成される。
従って、埋め込みゲート領域16並びに埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnとその周りの高抵抗半導体層18とでそれぞれpn接合ができることから、パワー半導体装置1のオフ動作によって、pn接合に逆バイアスが加わると、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn下にも空乏層領域54ができ、埋め込みゲート領域16下の空乏層領域54とつながる。これにより、埋め込みゲート領域16下の空乏層領域54が横方向にも延びることになり、その結果、電界集中を緩和することができ、絶縁破壊電圧を高めることができる。
エピタキシャル層28Eは、図3(a)に示すように、第1導電型と同一導電型を備える。
また、エピタキシャル層28Eは、高抵抗半導体層18よりも高い不純物濃度を備えていても良い。
尚、エピタキシャル層28Eは、第2導電型と同一導電型を備え、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnよりも低い不純物濃度を備えていても良い。
また、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnは、平面視において、主半導体デバイス領域120から電界緩和領域160の周辺方向に、次第に増大するF−FLR間隔WLiを備えていても良い。
また、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnは、平面視において、主半導体デバイス領域120から電界緩和領域160の周辺方向に、次第に増大すると共に、途中でピークレベルを備え、このピークレベルを越えると次第に減少するF−FLR間隔WLiを備えていても良い。
また、図3(a)に示すように、エピタキシャル層28E上に絶縁層44を更に備えていても良い。
ここで、絶縁層44は、シリコン熱酸化膜(SiO2)を備え、更に、シリコン熱酸化膜(SiO2)上に、シリコン酸化膜(SiOX)、シリコン窒化膜(SiNX)、ポリシリコン膜、若しくはポリイミド膜の群から選択されるいずれか1つ若しくは複数の層の組み合わせからなる層を備えていても良い。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1としては、主としてシリコン半導体デバイスを対象としている。この場合のF−FLR構造上の絶縁層44としては、シリコン熱酸化膜(SiO2)を適用可能である。更に、シリコン熱酸化膜(SiO2)上にスパッタリング技術やCVD技術を用いて形成したシリコン酸化膜(SiOX)やシリコン窒化膜(SiNX)を配置しても良い。また、シリコン熱酸化膜(SiO2)上に、SIPOS(半絶縁性ポリシリコン)膜やポリイミド膜を配置しても良い。すなわち、F−FLR構造上の絶縁層44としては、シリコン側から順にシリコン熱酸化膜(SiO2)/シリコン酸化膜(SiOX)/シリコン窒化膜(SiNX)/SIPOS膜/ポリイミド膜の構成を備えていても良い。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置としては、化合物半導体デバイスも対象とすることもできる。この場合もF−FLR構造を備えるため、F−FLR内の電界集中の抑制と、クリープ現象の発生の抑制を図ることができ、デバイス特性の劣化を抑えることができる。化合物半導体デバイス用材料としては、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、酸化ガリウム、などを適用可能である。 この場合のF−FLR構造上の表面の絶縁層44としては、スパッタリング技術やCVD技術を用いて形成したシリコン酸化膜(SiOX)やシリコン窒化膜(SiNX)を配置しても良い。また、シリコン酸化膜(SiOX)上に、SIPOS(半絶縁性ポリシリコン)膜やポリイミド膜を配置しても良い。すなわち、F−FLR構造上の表面絶縁層としては、基板側から順にシリコン酸化膜(SiOX)/シリコン窒化膜(SiNX)/SIPOS膜/ポリイミド膜等の構成を備えていても良い。
電界緩和領域160は、図3(b)に示すように、複数の埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn上のエピタキシャル層28E上に、FLR金属電極46を更に備えていても良い。このFLR金属電極46は、図3(b)に示すように、エピタキシャル層28E上に配置された絶縁層44に対してコンタクトホールを形成し、そのコンタクトホールを埋め込みように形成しても良い。
電界緩和領域160は、図4(a)に示すように、エピタキシャル層28Eの表面に配置され、平面視において、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnと略同じ位置に配置された表面フィールドリミッティングリング領域SFL、SFL1、SFL2、SFL3、…、SFLn(以下、SFL1〜SFLnと記す)を更に備えていても良い。
ここで、図4(a)に示すように、表面フィールドリミッティングリング領域SFL1〜SFLnは、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnと同一導電型の半導体領域を備えていても良い。この場合、表面フィールドリミッティングリング領域SFL1〜SFLnは、例えば、図4(a)に示すように、エピタキシャル層28Eの表面に形成されたp型拡散層により形成可能である。
また、表面フィールドリミッティングリング領域SFL1〜SFLnと、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLn間のエピタキシャル層28Eは実質的に空乏化されていても良い。
また、埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnの隣接する間隔は互いに変更されていても良い。また、表面フィールドリミッティングリング領域SFL1〜SFLnの隣接する間隔も互いに変更されていても良い。図4(a)の例では、隣接するF−FLR間隔WLiとして、WL1、WL2、WL3が図示されており、隣接する間隔は互いに異なる値を有する。その結果、電界集中を緩和することができ、絶縁破壊電圧を高めることができる。
また、図4(a)に示すように、エピタキシャル層28E上に配置された絶縁層44を備えていても良い。図3(a)に示す構成と同様に、絶縁層44は、シリコン熱酸化膜(SiO2)を備え、更に、シリコン熱酸化膜(SiO2)上に、シリコン酸化膜(SiOX)、シリコン窒化膜(SiNX)、ポリシリコン膜、若しくはポリイミド膜の群から選択されるいずれか1つ若しくは複数の層の組み合わせからなる層を備えていても良い。
パワー半導体装置1の電界緩和領域160は、図4(b)に示すように、表面フィールドリミッティングリング領域SFL1〜SFLn上に配置されたFLR金属電極46を更に備えていても良い。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1の主半導体デバイス領域120は、図1(a)及び図1(b)、図2及び図3〜図4に示すように、高抵抗半導体層18と、高抵抗半導体層18上に配置され、エピタキシャル層28Eと同時に形成可能なエピタキシャル層により形成されるカソードエミッタ領域14と、高抵抗半導体層18とカソードエミッタ領域14との間に埋め込まれた第2導電型の埋め込みゲート領域16とを備える。
主半導体デバイス領域120は、カソード領域12と、カソード領域12から注入されたキャリアが導通可能なチャネル領域13とを備え、埋め込みゲート領域16の電位により、チャネル領域13の電位は、静電誘導電界効果により制御可能である。
また、カソード領域12と埋め込みゲート領域16との間に配置され、カソード領域12から注入されたキャリアを、カソード領域12からチャネル領域13に向けて、効率良く拡散可能なカソードエミッタ領域14を更に備えていても良い。カソードエミッタ領域14は、エピタキシャル層28Eと同時に形成可能なエピタキシャル層により形成可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置の製造方法においては、高抵抗半導体層18に対する埋め込みゲート領域16の形成後、高抵抗半導体層18及び埋め込みゲート領域16上に、埋め込みゲート領域16を埋め込むようにエピタキシャル層を形成している。埋め込みゲート領域16を埋め込む製造工程においては、ゲート拡散不純物とエピタキシャル成長の不純物制御方法を用いる。更に、エピタキシャル層の形成後、エピタキシャル層に対してカソード領域12を形成する。エピタキシャル層は、最終的にはカソードエミッタ領域14となる領域である。
(比較例)
比較例に係るFLRは、図5に示すように、n型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面にp型不純物を拡散させて形成される。このため、電界が集中する部分はn型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面に現れる。図5に示すように、n型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面に絶縁層44Tを形成しているため、p型のFLRと高抵抗半導体層18と絶縁層44Tとの三重点CPOに電界が集中する。n型半導体領域の表面において電界が集中する部分が存在すると、パワー半導体装置でのスイッチング動作により、半導体領域の表面に電荷が蓄積し、電圧が時間的に変動する、いわゆるクリープ現象が生じ、デバイス特性の劣化を引き起こす場合がある。
比較例に係るFLRは、図5に示すように、n型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面にp型不純物を拡散させて形成される。このため、電界が集中する部分はn型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面に現れる。図5に示すように、n型半導体からなる高抵抗半導体層18の表面に絶縁層44Tを形成しているため、p型のFLRと高抵抗半導体層18と絶縁層44Tとの三重点CPOに電界が集中する。n型半導体領域の表面において電界が集中する部分が存在すると、パワー半導体装置でのスイッチング動作により、半導体領域の表面に電荷が蓄積し、電圧が時間的に変動する、いわゆるクリープ現象が生じ、デバイス特性の劣化を引き起こす場合がある。
(n型エピタキシャル層を用いる電界集中緩和)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1において、n型のエピタキシャル層28Eを用いる周辺F−FLR部分の拡大された模式的断面構造は、図6(a)に示すように表される。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1において、n型のエピタキシャル層28Eを用いる周辺F−FLR部分の拡大された模式的断面構造は、図6(a)に示すように表される。
エピタキシャル層28Eは、第1導電型の高抵抗半導体層18と同一導電型を備えていても良い。エピタキシャル層28Eが第1導電型の高抵抗半導体層18と同一導電型を備える場合には、図6(a)に示すように、矢印ΔENで示す方向に電界が緩和される。すなわち、エピタキシャル層28Eが第1導電型の高抵抗半導体層18と同一導電型を備えることによって、F−FLR側壁部の電界集中点CPNにおける電界が緩和される。電界集中点CPNにおける電界が矢印ΔENで示す方向に分散されて緩和される。
(p型エピタキシャル層を用いる電界集中緩和)
一方、本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1において、p型のエピタキシャル層28Eを用いる周辺F−FLR部分の拡大された模式的断面構造は、図6(b)に示すように表される。
一方、本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置1において、p型のエピタキシャル層28Eを用いる周辺F−FLR部分の拡大された模式的断面構造は、図6(b)に示すように表される。
エピタキシャル層28Eは、第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnと同一導電型を備えていても良い。エピタキシャル層28Eが埋め込みフィールドリミッティングリング領域FL1〜FLnと同一導電型の第2導電型を備える場合には、図6(b)に示すように、矢印ΔEPで示す方向に電界が緩和される。すなわち、エピタキシャル層28Eが第2導電型を備えることによって、F−FLR側壁部の電界集中点CPPにおける電界が緩和される。電界集中点CPPにおける電界が矢印ΔEPで示す方向に分散されて緩和される。
尚、エピタキシャル層28Eは、イントリンシック半導体層(i層)で形成されていても良い。
(エピタキシャル層内の不純物濃度分布例)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布例は、模式的に図7に示すように模式的に表される。縦軸XEは、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの接合界面をゼロとして、エピタキシャル層28Eの厚さ方向を表す。横軸は、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの接合界面からエピタキシャル層28Eの厚さ方向に図ったエピタキシャル層28E内の不純物濃度分布を表す。エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布例は、1012(cm-3)をイントリンシックレベルとして、第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域のドーピングレベルを反映して、フィールドリミッティングリング領域F−FLRからエピタキシャル層28Eの厚さ方向に、図7に示すように、分布している。図7に示すように、エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布は、極低不純物濃度レベルであって、かつ傾斜分布するp不純物濃度分布を備える構造が、電界集中を緩和するF−FLR構造上、有効である。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布例は、模式的に図7に示すように模式的に表される。縦軸XEは、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの接合界面をゼロとして、エピタキシャル層28Eの厚さ方向を表す。横軸は、高抵抗半導体層18とエピタキシャル層28Eとの接合界面からエピタキシャル層28Eの厚さ方向に図ったエピタキシャル層28E内の不純物濃度分布を表す。エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布例は、1012(cm-3)をイントリンシックレベルとして、第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域のドーピングレベルを反映して、フィールドリミッティングリング領域F−FLRからエピタキシャル層28Eの厚さ方向に、図7に示すように、分布している。図7に示すように、エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布は、極低不純物濃度レベルであって、かつ傾斜分布するp不純物濃度分布を備える構造が、電界集中を緩和するF−FLR構造上、有効である。
尚、エピタキシャル層28E内の不純物濃度分布は、主半導体デバイス領域120のエピタキシャル層と同時に形成する場合には、エピタキシャル層の不純物濃度分布を反映していても良い。例えば、エピタキシャル層28Eは、少なくとも2層のエピタキシャル層を備えていても良い。
(電界緩和領域の空乏層の広がりのシミュレーション結果)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、順方向電圧(VAG)6kV印加時の電界緩和領域160の空乏層の広がりのシミュレーション結果の一例は、図8に示すように表される。図8において、空乏層の広がりの様子は、破線で示されている。図8に示すように、左端はCSR140を示し、右端は主半導体デバイス領域120を示す。図8において、縦方向は、パワー半導体装置1の電界緩和領域160のデバイス深さ方向を示す。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、順方向電圧(VAG)6kV印加時の電界緩和領域160の空乏層の広がりのシミュレーション結果の一例は、図8に示すように表される。図8において、空乏層の広がりの様子は、破線で示されている。図8に示すように、左端はCSR140を示し、右端は主半導体デバイス領域120を示す。図8において、縦方向は、パワー半導体装置1の電界緩和領域160のデバイス深さ方向を示す。
図8において、F−FLRの番号iは、F−FLRの位置iを表す。すなわち、主半導体デバイス領域120とCSR140間に配置されるF−FLRの番号を主半導体デバイス領域120から順にF−FLRi=1、2、3、…、21で表している。図8の例では、F−FLRの本数は21本である。
図8に示すように、降伏時電界は、外周側のF−FLRの方が低い。すなわち、電界緩和領域160の周辺F−FLR部分では、主半導体デバイス領域120に近い内側F−FLRよりも、CSR140に近い外周側で電界緩和効果がある。
(負担電圧BViとF−FLRiとの関係)
図8に示された空乏層の広がりを有するパワー半導体装置において、負担電圧BVi(V)とF−FLRi(i=1〜21)との関係は、図9に示すように表される。また、図9のF−FLRi(i=1〜21)と負担電圧BVi(V)の値との関係は、図10に示すように表される。
図8に示された空乏層の広がりを有するパワー半導体装置において、負担電圧BVi(V)とF−FLRi(i=1〜21)との関係は、図9に示すように表される。また、図9のF−FLRi(i=1〜21)と負担電圧BVi(V)の値との関係は、図10に示すように表される。
F−FLR間隔WLi(μm)は、図8に示すように、主半導体デバイス領域120からCSR140方向に向かって、次第に増加する。また、F−FLR間隔WLi(μm)の増加と共に、負担電圧BVi(V)の値は、図9に示すように、次第に減少する。
F−FLRi=1、2、3、…、21に対応するF−FLR間隔WLi(μm)の総和が、電界緩和領域160の周辺F−FLR部分の幅に略対応する。また、F−FLRi=1、2、3、…、21に対応する負担電圧BVi(V)の総和が、図10に示すように、本実施の形態に係るパワー半導体装置の降伏電圧に略対応する。
図8〜図10に示された結果より、電界緩和領域160の周辺F−FLR部分の幅の値は約1.25(mm)、負担電圧BVi(V)の総和の値は約6(kV)が得られた。すなわち、本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、約6(kV)の降伏電圧を約1.25(mm)の電界緩和領域の幅で保持可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、狭領域で高耐圧を実現可能で、デバイス面積を有効活用することができる。
図8に示すように、F−FLR間隔WLi(μm)は、主半導体デバイス領域120からCSR140方向に向かって次第に増加し、F−FLR間隔WLi(μm)の増加と共に、負担電圧BVi(V)は、減少する。この傾向を反映して、電界緩和領域160のF−FLRの降伏時電界分布は、外周側のF−FLRの方が低くなる。F−FLRでは、主半導体デバイス領域120に近い内側のF−FLRよりも、CSR140側に近い外周側で電界緩和効果が得られる。
(エピタキシャル層の抵抗率と降伏電圧の関係)
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、n型のエピタキシャル層28Eの抵抗率と降伏電圧との関係は、n型のエピタキシャル層28Eの抵抗率の変化に対し、大きな降伏電圧の変化はない。したがって、本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、ロバストなデバイス設計が可能である。
本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置において、n型のエピタキシャル層28Eの抵抗率と降伏電圧との関係は、n型のエピタキシャル層28Eの抵抗率の変化に対し、大きな降伏電圧の変化はない。したがって、本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、ロバストなデバイス設計が可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置において、F−FLR間隔WLi(μm)は、平面視において、主半導体デバイス領域120から電界緩和領域160の周辺方向に、次第に増大する間隔を備えていても良い。
本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、F−FLR構造を埋め込んだエピタキシャル層を用いるため、表面の電界強度を緩和することができる。
本形態に係るパワー半導体装置においては、狭領域で高耐圧を実現可能である。すなわち、F−FLR構造では、エピタキシャル層を用いるため、平面視におけるFLR全体の幅を小さくすることができる。F−FLR構造では、各F−FLRの電界が小さいので、F−FLR間の負担電圧を低く抑制可能である。この結果、各F−FLRの電界を緩和しつつ、高耐圧を狭い幅の電界緩和領域で保持可能である。したがって、高信頼性表面絶縁構造を実現可能である。
また、本実施の形態に係るパワー半導体装置においては、電界集中領域がエピタキシャル層中に埋め込まれるため、電磁障害などの周辺環境の影響を受け難く、高信頼性を実現可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置のF−FLRを備える電界緩和構造は、サイリスタやトランジスタ等のパワーデバイス全般に用いられる絶縁構造である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置としては、化合物半導体デバイスも対象とすることができる。この場合もF−FLR構造を備えるため、FLR内の電界集中の抑制と、クリープ現象の発生の抑制を図ることができ、デバイス特性の劣化を抑えることができる。
化合物半導体デバイス用材料としては、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、酸化ガリウム、などを適用可能である。
化合物半導体デバイス用材料としては、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、酸化ガリウム、などを適用可能である。
本技術を適用したパワー半導体装置は、導通状態におけるオン抵抗を低減化し、十分にゲート耐圧を確保しつつ、高耐圧、高速スイッチング性能を実現可能である。また、本技術を適用したパワー半導体装置は、順方向特性において、ノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、及びノーマリオン特性の各特性を備えるパワー半導体装置を容易に実現可能である。
本実施の形態に係るパワー半導体装置は、SG構造のSIThy、DG構造のSIThyに限定されるものではなく、SITにおいても同様に適用可能である。この場合、nチャネルSITやpチャネルSITにおいても同様に適用可能である。
また、本実施の形態に係るパワー半導体装置は、IV族元素半導体、III―V族化合物半導体、及びII−VI族化合物半導体の群から選ばれる少なくとも1種類もしくは複数種類の材料を用いて形成されていても良い。
また、本実施の形態に係るパワー半導体装置は、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、シリコン、窒化アルミニウム、及び酸化ガリウムの群から選ばれる少なくとも1種類もしくは複数種類の材料を用いて形成されていても良い。
また、本実施の形態に係るパワー半導体装置は、SiC系、Si系、GaN系、AlN系、酸化ガリウム系の群から選ばれる少なくとも1種類もしくは複数種類のトランジスタ、サイリスタ、IGBT等の構成を備えていても良い。
また、本実施の形態に係るパワー半導体装置は、pn接合ゲート構造、ショットキーゲート構造、絶縁ゲート構造、及びヘテロ接合ゲート構造の群から選ばれる少なくとも1種類を備えていても良い。
また、本技術を適用した一実施の形態に係るパワー半導体装置は、パルスパワー電源用のモジュール構成を備えていても良い。
[その他の実施の形態]
上記のように、実施の形態について記載したが、開示の一部をなす論述及び図面は例示的なものであり、限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
上記のように、実施の形態について記載したが、開示の一部をなす論述及び図面は例示的なものであり、限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
このように、本実施の形態は、ここでは記載していない様々な実施の形態等を含む。
本実施の形態のパワー半導体装置は、Si、SiC、GaN、AlN、酸化ガリウム等の各種のパワー半導体装置に利用することができ、パルスパワー電源、インバータ回路等幅広い応用分野に適用可能である。
1…パワー半導体装置
10…カソード電極
12…カソード領域
13…チャネル領域
14…カソードエミッタ領域
16…埋め込みゲート領域
18…高抵抗半導体層
20…バッファ領域
22…アノード領域
24…アノード電極
26…ゲート電極
28E…エピタキシャル層
34…べベル領域
40…接合面
44、44T…絶縁層
46…FLR金属電極
54…空乏層領域
120…主半導体デバイス領域
140…チャネルストップリング(CSR)
160…電界緩和領域
FL、FL1、FL2、FL3、…、FLn…埋め込みフィールドリミッティングリング領域
SFL、SFL1、SFL2、SFL3、…、SFLn…表面フィールドリミッティングリング領域(p型拡散層)
WLi…F−FLR間隔
BVi…負担電圧
G…ゲート端子
A…アノード端子
K…カソード端子
10…カソード電極
12…カソード領域
13…チャネル領域
14…カソードエミッタ領域
16…埋め込みゲート領域
18…高抵抗半導体層
20…バッファ領域
22…アノード領域
24…アノード電極
26…ゲート電極
28E…エピタキシャル層
34…べベル領域
40…接合面
44、44T…絶縁層
46…FLR金属電極
54…空乏層領域
120…主半導体デバイス領域
140…チャネルストップリング(CSR)
160…電界緩和領域
FL、FL1、FL2、FL3、…、FLn…埋め込みフィールドリミッティングリング領域
SFL、SFL1、SFL2、SFL3、…、SFLn…表面フィールドリミッティングリング領域(p型拡散層)
WLi…F−FLR間隔
BVi…負担電圧
G…ゲート端子
A…アノード端子
K…カソード端子
Claims (15)
- 主半導体デバイス領域と、平面視において、前記主半導体デバイス領域の周囲に配置された電界緩和領域とを備え、
前記電界緩和領域は、
第1導電型の高抵抗半導体層と、
前記高抵抗半導体層上に配置されたエピタキシャル層と、
前記高抵抗半導体層と前記エピタキシャル層との間に埋め込まれて配置された複数本の第2導電型の埋め込みフィールドリミッティングリング領域と
を備え、
前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域は、電気的にフローティングであると共に、隣接する前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域間の間隔を変更する、パワー半導体装置。 - 前記エピタキシャル層は、前記第1導電型と同一導電型を備える、請求項1に記載のパワー半導体装置。
- 前記エピタキシャル層は、前記第2導電型と同一導電型を備える、請求項1に記載のパワー半導体装置。
- 前記エピタキシャル層は、前記高抵抗半導体層よりも高い不純物濃度を備える、請求項2に記載のパワー半導体装置。
- 前記エピタキシャル層は、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域よりも低い不純物濃度を備える、請求項3に記載のパワー半導体装置。
- 前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域は、平面視において、主半導体デバイス領域から前記電界緩和領域の周辺方向に、次第に増大する間隔を備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパワー半導体装置。
- 前記エピタキシャル層の表面に配置され、平面視において、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域と略同じ位置に配置された表面フィールドリミッティングリング領域を更に備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載のパワー半導体装置。
- 前記表面フィールドリミッティングリング領域は、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域と同一導電型を備える、請求項7に記載のパワー半導体装置。
- 前記表面フィールドリミッティングリング領域と、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域間の前記エピタキシャル層は空乏化されている、請求項8に記載のパワー半導体装置。
- 前記エピタキシャル層上に配置された絶縁層を更に備える、請求項1〜9のいずれか1項に記載のパワー半導体装置。
- 前記絶縁層は、シリコン熱酸化膜(SiO2)を備え、更に、前記シリコン熱酸化膜(SiO2)上に、シリコン酸化膜(SiOX)、シリコン窒化膜(SiNX)、ポリシリコン膜、若しくはポリイミド膜の群から選択されるいずれか1つ若しくは複数の層の組み合わせからなる層を備える、請求項10に記載のパワー半導体装置。
- 平面視において、前記埋め込みフィールドリミッティングリング領域上の前記エピタキシャル層上に配置された金属電極を更に備える、請求項10に記載のパワー半導体装置。
- 平面視において、前記表面フィールドリミッティングリング領域上に配置された金属電極を更に備える、請求項10に記載のパワー半導体装置。
- 順方向特性は、ノーマリオフ特性、セミノーマリオフ特性、ノーマリオン特性の群から選ばれる少なくとも1種類を備える、請求項1〜13のいずれか1項に記載のパワー半導体装置。
- シリコン、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、及び酸化ガリウムの群から選ばれる少なくとも1種類もしくは複数種類の材料を備える、請求項1〜14のいずれか1項に記載のパワー半導体装置。
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JP2018217274A JP2020088054A (ja) | 2018-11-20 | 2018-11-20 | パワー半導体装置 |
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CN113809072A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-12-17 | 浙江芯国半导体有限公司 | 一种包含肖特基二极管的电路及相关应用 |
-
2018
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Cited By (2)
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CN113809072A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-12-17 | 浙江芯国半导体有限公司 | 一种包含肖特基二极管的电路及相关应用 |
CN113809072B (zh) * | 2021-07-26 | 2024-04-02 | 浙江芯国半导体有限公司 | 一种包含肖特基二极管的电路及相关应用 |
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