JP2020086002A - 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 - Google Patents
偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020086002A JP2020086002A JP2018216638A JP2018216638A JP2020086002A JP 2020086002 A JP2020086002 A JP 2020086002A JP 2018216638 A JP2018216638 A JP 2018216638A JP 2018216638 A JP2018216638 A JP 2018216638A JP 2020086002 A JP2020086002 A JP 2020086002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing element
- conductive layer
- light
- transparent substrate
- element according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 50
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 37
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 35
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 25
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 11
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 6
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- -1 MgF 2 Chemical compound 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- QTRSWYWKHYAKEO-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-henicosafluorodecyl-tris(1,1,2,2,2-pentafluoroethoxy)silane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)O[Si](OC(F)(F)C(F)(F)F)(OC(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F QTRSWYWKHYAKEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 2-iodoquinoline Chemical compound C1=CC=CC2=NC(I)=CC=C21 FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016066 BaSi Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019974 CrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005347 FeSi Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017639 MgSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N beryllium oxide Inorganic materials O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910006585 β-FeSi Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/18—Coatings for keeping optical surfaces clean, e.g. hydrophobic or photo-catalytic films
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133528—Polarisers
- G02F1/133548—Wire-grid polarisers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態の偏光板(偏光素子)10の平面図である。図1に示すように、偏光板10は、透明基板20と、複数の凸部40と、を備える。凸部40は、透明基板20の主面(表面)22に沿う第1方向に延びている。以下、複数の凸部40が主面22に沿って配列する方向をX方向とする。凸部40の延びる方向をY方向(第1方向)とする。X方向及びY方向に直交する方向であって、凸部40が主面22から突出する方向をZ方向(第2方向)とする。
透明基板20の材質は、少なくとも使用帯域の光に対して透光性を有している。使用帯域における透明基板20の全光透過率は、少なくとも80%以上であり、85%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。透明基板20の使用帯域の波長における屈折率は、1.1以上2.2以下であることが好ましい。透明基板20の材料としては、ガラスが好ましく、特に、基準波長550nmにおける屈折率1.46を有する石英ガラス、同基準波長における屈折率1.51を有するソーダ石灰が好ましい。また、透明基板20の材料は、光学ガラスとして広く用いられるケイ酸塩ガラス等であってもよい。
誘電層52,58の基準波長の屈折率は、1.0より大きく、2.5以下であることが好ましい。高さh52及び誘電層58の高さや幅、及び誘電層52,58の屈折率を適宜調整することにより、凸部40側から入射して第2導電層56で反射したTE波の一部を、第1導電層55を透過する際に反射させて第1導電層55に戻すことができる。このことによって、第1導電層55を通過した光を干渉によって減衰させることができる。このようにして、凸部40側から入射した光のうち、TE波の選択的減衰を行うことにより、所望の偏光特性を得ることができる。
導電層54は、ワイヤグリッド型の偏光板10としての機能を発揮し、TE波を減衰させ、TM波を透過する。導電層54の光学特性は、周囲の誘電層52,58の屈折率によっても影響を受ける。そのため、誘電層52,58の材料を適宜選択することで、導電層54に起因する偏光板10の特性を制御できる。
図1及び図2には、本発明の好適な一実施形態の偏光板10を例示し、上述のように説明した。上述の実施形態の他に本発明の作用効果を発揮する構成について、以下説明する。
次いで、本発明の一実施形態の偏光素子の製造方法を説明する。本実施形態の偏光素子の製造方法は、偏光板10の製造方法であって、次に説明する第1工程から第4工程を備えている。
先ず、図6に示すように、主面(透明基板上)22に、誘電層52と導電層54が交互に積層された積層体51を形成する。具体的には、主面22に、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第2導電層56、誘電層52、第1導電層55を順次形成する。これらの各層の形成方法としては、スパッタ法、蒸着法、CVD法やALD法、SOG法等が挙げられる。
次に、積層体51を選択的にエッチングすることによって、ピッチp40で積層体50を形成する。具体的には、フォトリソグラフィ法、ナノインプリント法等を用いて、図6に示すように、積層体51において主面22側とは反対側の上面にレジスト69を形成する。その後、レジスト69をパターニングし、図7に示すようにピッチp40で幅w50を有するレジスト70を形成する。レジスト70は、積層体50と同じピッチ、幅、長さで形成する。すなわち、レジスト70は、ピッチp40で設けられ、幅w50を有し、Y方向に延びている。
次に、図9に示すように、積層体50を誘電層58と同じ材料の誘電体59で埋没させる。積層体50を誘電体59で埋没させる方法としては、スパッタ法や蒸着法、CVD法、ALD法、SOG法等が挙げられる。
次に、誘電体59を選択的にエッチングすることによってピッチp40で凸部40を形成する。具体的には、フォトリソグラフィ法、ナノインプリント法等を用いて、図10に示すように、誘電体59において主面22側とは反対側の上面にレジスト71を塗布する。その後、レジスト71をパターニングし、図11に示すようにピッチp40で幅w40のレジスト72を形成する。レジスト72は、凸部40の形状に合わせて形成され、Y方向に延びている。
次いで、本発明の光学機器について説明する。図示していないが、本発明の光学機器は、偏光板10をはじめとする本発明の偏光素子を備えている。本発明の偏光素子は、種々の用途で使用可能である。本発明の偏光素子を適用可能な光学機器としては、例えば、液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルカメラ等が挙げられる。すなわち、本発明の光学機器は、本発明の偏光素子を備えた液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルカメラ等である。特に、本発明の偏光素子は耐熱性に優れているので、有機材料からなる有機偏光板に比べて高い耐熱性が要求される液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ等で好適に用いられる。
上述の構成によれば、凸部40側から偏光板10に入射したTE波の少なくとも一部を第1導電層55で吸収させ、第1導電層55を通過した残部を第2導電層56で反射させて第1導電層55に戻すことができる。導電層54は第1導電層55及び第2導電層56の2種類を有するので、透過、反射、干渉、及び光学異方性による偏光の選択的光吸収の4つの作用を活用し、特に光の干渉効果を強めることができる。このことによって、吸収軸31に沿う偏光が偏光板10に入射した際に、この偏光を良好に減衰させることができる。その結果、ピッチp40、幅w50、高さh40を調節しなくても、透過軸32の偏光の透過率を高く、かつ吸収軸31の偏光の反射率を低くすることができる。
上述の偏光素子の製造方法によれば、グリッド幅の狭い従来の偏光板に比べて幅w40を広く確保しつつ、透過軸32の偏光の透過率が高く、かつ吸収軸31の偏光の反射率が低い偏光板10を製造できる。
*実施例1〜4及び比較例共通
透明基板20の屈折率 :1.5
ピッチp40 :141nm
高さh40 :315nm
幅w50 :35nm
誘電層52の屈折率 :1.46
高さh55 :25nm
第1導電層55の屈折率 :4.03
第2導電層56の屈折率 :0.74
誘電層52の高さh52−1 :5nm
*実施例1〜4共通
誘電層52の高さh52−2 :20nm
先端面61上の誘電層58の高さ :15nm
側面62の側方の誘電層58の幅 :2.5nm
誘電層58の屈折率 :1.46
*実施例1(図2参照)
高さh56 :25nm
*実施例2(図3参照)
高さh56 :47.5nm
*実施例3(図4参照)
高さh56 :115nm
*実施例4(図5参照)
高さh56 :250nm
*比較例(図12参照)
高さh56 :285nm
20 透明基板
22 主面(表面)
40 凸部
52 誘電層(第1誘電層)
54 導電層
55 第1導電層
56 第2導電層
Y 方向(第1方向)
Z 方向(第2方向)
Claims (14)
- ワイヤグリッド構造を有する偏光素子であって、
透明基板と、
使用帯域の光の波長より短いピッチで前記透明基板の表面に配列され、前記表面に沿う第1方向に延びる凸部と、
を備え、
前記凸部は第1誘電層と導電層とが前記表面に直交する第2方向に沿って交互に複数組で積層された積層体を有し、
前記導電層は前記光に対して吸収性を有する第1導電層と前記光に対して反射性を有する第2導電層を含み、
前記光の入射側に最も近い前記導電層として前記第1導電層が設けられている、
偏光素子。 - 前記凸部は前記積層体の先端面及び側面を覆う第2誘電層を有する、
請求項1に記載の偏光素子。 - 前記凸部における前記導電層の層数は7以上である、
請求項1又は2に記載の偏光素子。 - 前記凸部は前記第1方向から見たとき略矩形である、
請求項1から3の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記第1誘電層及び前記導電層は前記第1方向から見たとき略矩形である、
請求項1から4の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記第2導電層の材料は金属である、
請求項1から5の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記金属はアルミニウム又はアルミニウム合金である、
請求項6に記載の偏光素子。 - 前記透明基板の材料はガラス、水晶又はサファイアの何れかである、
請求項1から7の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記第1誘電層の材料はシリコン酸化物である、
請求項1から8の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記第2誘電層の材料はシリコン酸化物である、
請求項2に記載の偏光素子。 - 前記第1導電層は鉄又はタンタルを含むと共にシリコンを含む、
請求項1から10の何れか一項に記載の偏光素子。 - 前記透明基板の表面及び前記凸部の先端面及び側面は有機系撥水膜によって覆われている、
請求項1から請求項11の何れか一項に記載の偏光素子。 - ワイヤグリッド構造を有する偏光素子の製造方法であって、
透明基板上に、誘電層と導電層が交互に積層された積層体を形成する工程と、
前記積層体を選択的にエッチングすることによって使用帯域の光の波長より短いピッチで前記透明基板上に配列される凸状積層体を形成する工程と、
前記凸状積層体を誘電体で埋没させる工程と、
前記誘電体を選択的にエッチングすることによって使用帯域の光の波長より短いピッチで前記透明基板上に配列される凸部を形成する工程と、
を有する、
偏光素子の製造方法。 - 請求項1から12に記載の偏光素子を備える光学機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018216638A JP7333168B2 (ja) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 |
CN201911066507.6A CN111198412B (zh) | 2018-11-19 | 2019-11-04 | 偏振光元件、偏振光元件的制造方法以及光学设备 |
US16/686,897 US11644605B2 (en) | 2018-11-19 | 2019-11-18 | Polarizing element having alternately laminated dielectric layers and conductive layers and method for manufacturing polarizing element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018216638A JP7333168B2 (ja) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020086002A true JP2020086002A (ja) | 2020-06-04 |
JP7333168B2 JP7333168B2 (ja) | 2023-08-24 |
Family
ID=70726526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018216638A Active JP7333168B2 (ja) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11644605B2 (ja) |
JP (1) | JP7333168B2 (ja) |
CN (1) | CN111198412B (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004280050A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-10-07 | Eastman Kodak Co | 埋込み式ワイヤグリッド偏光子 |
JP2008216957A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2010066571A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Sony Corp | 偏光素子及びその製造方法、並びに液晶プロジェクタ |
JP2015034985A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-02-19 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板、及び偏光板の製造方法、バンドル構造の製造方法 |
JP2018511816A (ja) * | 2015-04-03 | 2018-04-26 | モックステック・インコーポレーテッド | ワイヤグリッドポラライザ用の酸化バリア層および吸湿バリア層 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5743421A (en) | 1980-08-28 | 1982-03-11 | Jeol Ltd | Adjusting method for correction circuit of electron beam exposure device |
US6532111B2 (en) | 2001-03-05 | 2003-03-11 | Eastman Kodak Company | Wire grid polarizer |
EP1840603A4 (en) * | 2004-12-16 | 2010-01-13 | Toray Industries | POLARIZATION PLATE, METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE POLARIZATION PLATE AND THE POLARIZATION PLATE USING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE |
US7957062B2 (en) * | 2007-02-06 | 2011-06-07 | Sony Corporation | Polarizing element and liquid crystal projector |
US8177358B2 (en) | 2008-10-09 | 2012-05-15 | SOL-Grid, LLC. | Polarized eyewear |
WO2010099261A1 (en) | 2009-02-25 | 2010-09-02 | Research Foundation Of The City University Of New York | Optical device with array of apertures and methods of making and using the optical device |
KR20120040869A (ko) * | 2010-10-20 | 2012-04-30 | 엘지이노텍 주식회사 | 와이어 그리드 편광자 및 이를 포함하는 액정표시장치 |
US9857633B2 (en) * | 2013-05-16 | 2018-01-02 | Zeon Corporation | Display device with a capacitive touch panel |
US9632223B2 (en) * | 2013-10-24 | 2017-04-25 | Moxtek, Inc. | Wire grid polarizer with side region |
JP5960319B1 (ja) | 2015-04-30 | 2016-08-02 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光素子 |
US10698148B2 (en) | 2015-10-28 | 2020-06-30 | Dexerials Corporation | Polarizing element and method of producing same |
JP6230689B1 (ja) | 2016-12-28 | 2017-11-15 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
-
2018
- 2018-11-19 JP JP2018216638A patent/JP7333168B2/ja active Active
-
2019
- 2019-11-04 CN CN201911066507.6A patent/CN111198412B/zh active Active
- 2019-11-18 US US16/686,897 patent/US11644605B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004280050A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-10-07 | Eastman Kodak Co | 埋込み式ワイヤグリッド偏光子 |
JP2008216957A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2010066571A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Sony Corp | 偏光素子及びその製造方法、並びに液晶プロジェクタ |
JP2015034985A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-02-19 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板、及び偏光板の製造方法、バンドル構造の製造方法 |
JP2018511816A (ja) * | 2015-04-03 | 2018-04-26 | モックステック・インコーポレーテッド | ワイヤグリッドポラライザ用の酸化バリア層および吸湿バリア層 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7333168B2 (ja) | 2023-08-24 |
US20200158933A1 (en) | 2020-05-21 |
CN111198412B (zh) | 2023-03-24 |
US11644605B2 (en) | 2023-05-09 |
CN111198412A (zh) | 2020-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6410906B1 (ja) | 偏光素子及び光学機器 | |
JP2018106129A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP6577641B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP2019144334A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
CN110998383B (zh) | 偏振片和光学设备 | |
JP6484373B1 (ja) | 偏光板及びこれを備える光学機器 | |
WO2020017455A1 (ja) | 偏光板 | |
US11630254B2 (en) | Wire grid polarizing plate having trapezoidal absorption layer | |
JP7333168B2 (ja) | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 | |
JP7075372B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7219735B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7320461B2 (ja) | 偏光板、光学機器及び偏光板の製造方法 | |
US11543573B2 (en) | Polarizing plate and optical apparatus containing same | |
US11543702B2 (en) | Polarizer and optical apparatus | |
JP2018109754A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP6826073B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7263037B2 (ja) | 偏光板の製造方法 | |
JP7101028B2 (ja) | 偏光素子及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP2020086426A (ja) | 偏光板及びそれを備えた光学機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181220 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7333168 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |