JP2020075852A - 基板分断装置及び基板分断方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板分断装置において、スクライブラインの近傍のみを加熱することで基板を分断する。【解決手段】基板分断装置100は、レーザ加工装置1と、プラズマ装置2とを備えている。レーザ加工装置1は、ガラス基板GにスクライブラインSを形成する。プラズマ装置2は、ガラス基板GのスクライブラインSにプラズマPを照射することで、熱応力によってスクライブラインSに沿ってガラス基板Gを分断する。【選択図】図2
Description
本発明は、基板分断装置及び基板分断方法、特に、スクライブラインに沿って基板を分断する装置及び方法に関する。
従来、基板の分断は、基板の両面にスクライブラインを形成した後、形成されたスクライブラインに沿って、基板の上面と下面に所定の力を付加してブレイクすることにより行われている(例えば、特許文献1を参照)。
基板分断方法としては、上記以外に、CO2レーザによる熱応力分断がある。
しかし、CO2レーザによる熱応力分断では、分断面に金属や誘電体膜などがあると反射され分断できなくなる。また高額なミラーやレンズが必要で、かつ光学設計が必要になるという問題がある。
しかし、CO2レーザによる熱応力分断では、分断面に金属や誘電体膜などがあると反射され分断できなくなる。また高額なミラーやレンズが必要で、かつ光学設計が必要になるという問題がある。
本発明の目的は、基板分断装置において、スクライブラインの近傍を容易かつ確実に加熱することで基板を分断することにある。
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明の一見地に係る基板分断装置は、スクライブ装置と、プラズマ装置とを備えている。
スクライブ装置は、基板にスクライブラインを形成する。スクライブラインとは、基板の表面上にライン状に延び、かつ、ブレイクを行うのに十分な程度に基板の厚さ方向に進行したクラックのことをいう。
プラズマ装置は、基板のスクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によってスクライブラインに沿って基板を分断する。
この装置では、プラズマに起因する熱応力によって、基板がスクライブラインに沿って分断される。プラズマは局所的に基板を加熱できるので、例えばスクライブライン近傍のみを加熱できる。
スクライブ装置は、基板にスクライブラインを形成する。スクライブラインとは、基板の表面上にライン状に延び、かつ、ブレイクを行うのに十分な程度に基板の厚さ方向に進行したクラックのことをいう。
プラズマ装置は、基板のスクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によってスクライブラインに沿って基板を分断する。
この装置では、プラズマに起因する熱応力によって、基板がスクライブラインに沿って分断される。プラズマは局所的に基板を加熱できるので、例えばスクライブライン近傍のみを加熱できる。
基板は脆性材料からなっていてもよい。
基板はガラスからなっていてもよい。
プラズマ装置は、プラズマを基板のスクライブラインにポイント照射してもよい。ポイント照射とは、スクライブラインに沿って複数の箇所にプラズマを照射することである。
プラズマ装置は、プラズマを基板のスクライブラインにライン照射してもよい。ライン照射とは、スクライブラインに沿って線状にプラズマを照射することである。
プラズマ装置は、基板にプラズマを照射することで、基板の表面を洗浄してもよい。
この装置では、スクライブラインの分断と基板の表面洗浄との両方を、同時に実行できる。
この装置では、スクライブラインの分断と基板の表面洗浄との両方を、同時に実行できる。
本発明の他の見地に係る基板分断方法は、下記の工程を備えている。
◎基板にスクライブラインを形成するスクライブ工程
◎基板のスクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によってスクライブラインに沿って基板を分断するプラズマ工程
この方法では、プラズマに起因する熱応力によって、基板がスクライブラインに沿って分断される。プラズマは局所的に基板を加熱できるので、例えばスクライブライン近傍のみを加熱できる。
プラズマ工程において、プラズマの周波数が20kHz以上であってもよい。
プラズマ工程において、プラズマの電極に印加される電力が80w以上700w以下であってもよい。
プラズマ工程において、プラズマ生成用ガスの導入量が10L/min〜50L/minであってもよい。
◎基板にスクライブラインを形成するスクライブ工程
◎基板のスクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によってスクライブラインに沿って基板を分断するプラズマ工程
この方法では、プラズマに起因する熱応力によって、基板がスクライブラインに沿って分断される。プラズマは局所的に基板を加熱できるので、例えばスクライブライン近傍のみを加熱できる。
プラズマ工程において、プラズマの周波数が20kHz以上であってもよい。
プラズマ工程において、プラズマの電極に印加される電力が80w以上700w以下であってもよい。
プラズマ工程において、プラズマ生成用ガスの導入量が10L/min〜50L/minであってもよい。
本発明に係る基板分断装置及び基板分断方法では、スクライブラインの近傍のみを加熱することで基板を分断できる。
1.第1実施形態
本発明の第1実施形態に係る基板分断装置100は、図1に示すレーザ加工装置1(スクライブ装置の一例)と、図2及び図3に示すプラズマ装置2(プラズマ装置の一例)とを備えている。レーザ加工装置1とプラズマ装置2は一体に形成された装置であってもよいし、別体に形成された装置であってもよい。
レーザ加工装置1はガラス基板GにスクライブラインSを形成し、次にプラズマ装置2はスクライブラインSに沿ってガラス基板Gを分断する。レーザ加工装置1とプラズマ装置2が別体の場合は、ガラス基板Gはレーザ加工装置1からプラズマ装置2に搬送される。
本発明の第1実施形態に係る基板分断装置100は、図1に示すレーザ加工装置1(スクライブ装置の一例)と、図2及び図3に示すプラズマ装置2(プラズマ装置の一例)とを備えている。レーザ加工装置1とプラズマ装置2は一体に形成された装置であってもよいし、別体に形成された装置であってもよい。
レーザ加工装置1はガラス基板GにスクライブラインSを形成し、次にプラズマ装置2はスクライブラインSに沿ってガラス基板Gを分断する。レーザ加工装置1とプラズマ装置2が別体の場合は、ガラス基板Gはレーザ加工装置1からプラズマ装置2に搬送される。
(1)レーザ加工装置
(1−1)全体構成
図1を用いて、第1実施形態に係るスクライブライン形成用のレーザ加工装置1を説明する。図1は、本発明の第1実施形態のレーザ加工装置の模式図である。
(1−1)全体構成
図1を用いて、第1実施形態に係るスクライブライン形成用のレーザ加工装置1を説明する。図1は、本発明の第1実施形態のレーザ加工装置の模式図である。
レーザ加工装置1は、レーザ装置3を備えている。レーザ装置3は、ガラス基板Gにレーザ光を照射するためのレーザ発振器15と、レーザ制御部17とを有している。レーザ制御部17はレーザ発振器15の駆動及びレーザパワーを制御できる。なお、ガラス基板Gの種類や厚み、レーザ発振器の種類や波長は特に限定されない。
レーザ加工装置1は、レーザ光を後述する機械駆動系に伝送する伝送光学系5を有している。伝送光学系5は、例えば、集光レンズ19、複数のミラー(図示せず)、プリズム(図示せず)等を有する。
レーザ加工装置1は、集光レンズ19の位置を光軸方向に移動させることによって、レーザ光の集光角を変更する駆動機構11を有している。
レーザ加工装置1は、集光レンズ19の位置を光軸方向に移動させることによって、レーザ光の集光角を変更する駆動機構11を有している。
レーザ加工装置1は、ガラス基板Gが載置される加工テーブル7を有している。加工テーブル7は、テーブル駆動部13によって移動される。テーブル駆動部13は、加工テーブル7をベッド(図示せず)に対して水平方向に移動させる移動装置(図示せず)を有している。移動装置は、ガイドレール、モータ等を有する公知の機構である。
レーザ加工装置1は、制御部9を備えている。制御部9は、プロセッサ(例えば、CPU)と、記憶装置(例えば、ROM、RAM、HDD、SSDなど)と、各種インターフェース(例えば、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、通信インターフェースなど)を有するコンピュータシステムである。制御部9は、記憶部(記憶装置の記憶領域の一部又は全部に対応)に保存されたプログラムを実行することで、各種制御動作を行う。
制御部9は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
制御部9は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
制御部9は、レーザ制御部17を制御できる。制御部9は、駆動機構11を制御できる。制御部9は、テーブル駆動部13を制御できる。
制御部9には、図示しないが、ガラス基板Gの大きさ、形状及び位置を検出するセンサ、各装置の状態を検出するためのセンサ及びスイッチ、並びに情報入力装置が接続されている。
制御部9には、図示しないが、ガラス基板Gの大きさ、形状及び位置を検出するセンサ、各装置の状態を検出するためのセンサ及びスイッチ、並びに情報入力装置が接続されている。
(1−2)スクライブ加工方法
レーザ加工装置1は、レーザ光を照射することでガラス基板GにスクライブラインSを形成する。具体的には、レーザ光の照射中に、テーブル駆動部13によって加工テーブル7を移動させ、それによりガラス基板GにスクライブラインSを形成する。
レーザ加工装置1は、レーザ光を照射することでガラス基板GにスクライブラインSを形成する。具体的には、レーザ光の照射中に、テーブル駆動部13によって加工テーブル7を移動させ、それによりガラス基板GにスクライブラインSを形成する。
(2)プラズマ装置
(2−1)全体構成
図2〜図3を用いて、プラズマ装置2を説明する。図2は、プラズマ分断装置の模式図である。図3は、プラズマ分断装置によるスクライブラインに沿った基板分断動作を示す模式図である。
プラズマ装置2は、プラズマPを発生する装置であって、対向する電極間に電力を印加し、大気圧近傍下で電極間にグロー放電プラズマを発生させる。具体的には、プラズマ装置2は、放電空間から活性種を吹き出して照射対象に照射するリモート方式を採用している。
大気圧近傍とは、1.013×104〜50.663×104Paの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡易化の観点からは、1.333×104〜10.664×104Paが好ましく、9.331×104〜10.397×104Paがより好ましい。
(2−1)全体構成
図2〜図3を用いて、プラズマ装置2を説明する。図2は、プラズマ分断装置の模式図である。図3は、プラズマ分断装置によるスクライブラインに沿った基板分断動作を示す模式図である。
プラズマ装置2は、プラズマPを発生する装置であって、対向する電極間に電力を印加し、大気圧近傍下で電極間にグロー放電プラズマを発生させる。具体的には、プラズマ装置2は、放電空間から活性種を吹き出して照射対象に照射するリモート方式を採用している。
大気圧近傍とは、1.013×104〜50.663×104Paの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡易化の観点からは、1.333×104〜10.664×104Paが好ましく、9.331×104〜10.397×104Paがより好ましい。
プラズマ装置2は、図2に示すように、プラズマ電源21を備えている。プラズマ電源21は、プラズマ装置2において、プラズマPを実際に発生する装置である。
プラズマ装置2は、図2〜図3に示すように、プラズマヘッド23を有している。プラズマヘッド23はプラズマを発生及び照射するための装置である。
プラズマ装置2は、図2〜図3に示すように、プラズマヘッド23を有している。プラズマヘッド23はプラズマを発生及び照射するための装置である。
プラズマ電源21は、図2に示すように、ガス供給装置25を有している。ガス供給装置25は、プラズマPの照射量を制御する照射量制御機能を実現しており、例えば、プロセスガス(プラズマ生成用ガス)の導入量を制御する機器である。ガス供給装置25は、例えば、プロセスガスのボンベ(図示せず)と、そこから配管を介してプラズマヘッド23に導入されるプロセスガスの流量を制御するマスフローコントローラ等(図示せず)を有している。
プラズマ電源21は、図2に示すように、電力供給装置27を有している。電力供給装置27は、プラズマヘッド23に設けられたプラズマ電極(図示せず)に電力を印加する。以上に述べたガス供給装置25と電力供給装置27とによって、プラズマ電源制御部が構成されている。
以上の構成により、プラズマ電源21からプラズマヘッド23に対して、プロセスガス及び電力が供給され、さらに、プラズマのON/OFF動作が行われる。
プラズマ電源21は、図2に示すように、電力供給装置27を有している。電力供給装置27は、プラズマヘッド23に設けられたプラズマ電極(図示せず)に電力を印加する。以上に述べたガス供給装置25と電力供給装置27とによって、プラズマ電源制御部が構成されている。
以上の構成により、プラズマ電源21からプラズマヘッド23に対して、プロセスガス及び電力が供給され、さらに、プラズマのON/OFF動作が行われる。
加工テーブル7、テーブル駆動部13及び制御部9は、レーザ加工装置1と共通であってもよい。
制御部9は、プラズマ電源21を制御できる。
制御部9は、プラズマ電源21を制御できる。
(2−2)プラズマ装置による基板分断動作
プラズマ装置2は、図3に示すように、プラズマPをガラス基板GのスクライブラインSの一部又は全体に沿って複数回ポイント照射することで、ガラス基板GをスクライブラインSに沿って分断する。具体的には、プラズマPのポイント照射ごとに、テーブル駆動部13によって加工テーブル7を移動させ、それによりガラス基板GをスクライブラインSに沿って分断する。
ポイント照射によって、スクライブラインSが非直線形状であっても、熱プラズマによる分断を効率よく実行できる。
プラズマ装置2は、図3に示すように、プラズマPをガラス基板GのスクライブラインSの一部又は全体に沿って複数回ポイント照射することで、ガラス基板GをスクライブラインSに沿って分断する。具体的には、プラズマPのポイント照射ごとに、テーブル駆動部13によって加工テーブル7を移動させ、それによりガラス基板GをスクライブラインSに沿って分断する。
ポイント照射によって、スクライブラインSが非直線形状であっても、熱プラズマによる分断を効率よく実行できる。
上記のように、プラズマ装置2は、ガラス基板GにプラズマPを照射することで、熱応力によってスクライブラインSに沿ってガラス基板Gを分断する。プラズマPは局所的にガラス基板Gを加熱できるので、例えばスクライブラインS近傍のみを加熱できる。
プラズマ装置2は、ガラス基板GにプラズマPを照射することで、ガラス基板Gの表面を洗浄できる。具体的には洗浄対象は、スクライブライン形成のためのレーザ加工の際に発生した飛散物及び他の工程や搬送中にガラス基板Gに付着した異物である。
以上の実施例では、スクライブラインSの分断とガラス基板Gの表面洗浄の両方を同時に実行できる。
以上の実施例では、スクライブラインSの分断とガラス基板Gの表面洗浄の両方を同時に実行できる。
プラズマ装置は構成が簡単であるので、安価になる。さらに、取り扱いが容易になる。
(2−3)実験結果
図4〜図5を用いて、周波数と印加電力の組み合わせによって、プラズマ温度がどのように変化するか確認し、プラズマを用いてガラス基板を分断するとともに、レーザを用いたガラス基板の分断と比較した実験について説明する。図4は、周波数・印加電力とプラズマ温度の相関を示したグラフである。図5は、実験の評価結果を示す表である。
図5の評価結果では、全てのサンプルにおいて良好な結果が得られた。なお、図5において、◎は最も優れた値が得られたことを意味し、○は次に優れた値が得られたことを意味し、△は普通に優れた値が得られたことを意味する。
図4に示すように、周波数が20KHzの場合は印加電力の大きさによっては、プラズマ温度がレーザを用いてガラス基板を分断する際のガラス基板の温度の範囲であるレーザ装置温度域(200〜400℃)より低いことがあった。言い換えると、周波数が20KHzを超えていれば、プラズマ温度がレーザ装置温度域に入っていることが分かる。
図4〜図5を用いて、周波数と印加電力の組み合わせによって、プラズマ温度がどのように変化するか確認し、プラズマを用いてガラス基板を分断するとともに、レーザを用いたガラス基板の分断と比較した実験について説明する。図4は、周波数・印加電力とプラズマ温度の相関を示したグラフである。図5は、実験の評価結果を示す表である。
図5の評価結果では、全てのサンプルにおいて良好な結果が得られた。なお、図5において、◎は最も優れた値が得られたことを意味し、○は次に優れた値が得られたことを意味し、△は普通に優れた値が得られたことを意味する。
図4に示すように、周波数が20KHzの場合は印加電力の大きさによっては、プラズマ温度がレーザを用いてガラス基板を分断する際のガラス基板の温度の範囲であるレーザ装置温度域(200〜400℃)より低いことがあった。言い換えると、周波数が20KHzを超えていれば、プラズマ温度がレーザ装置温度域に入っていることが分かる。
図5に示すように、サンプル1は、周波数が20KHzであって、レーザとの比較において十分なプラズマ温度が得られていなかった。ただし、サンプル2〜6は印加電力を比較的大きくすることで、十分に優れた効果が得られた。また、サンプル5〜20は、周波数が20KHzを超えているので、レーザとの比較、ガラス切断、総合判断において十分に優れた結果が得られた。特に、サンプル5〜20では、印加電力が最も小さい200Wであっても、十分に優れた効果が得られた。
(2−4)各種条件
電極に印加される電力は、例えば、80w〜700wの範囲である。
プラズマヘッドに印加される電力の周波数は、例えば、20KHzを超えていることが好ましく、380KHz以上であることがより好ましい。
プラズマ生成用ガスの種類は、例えば、N2、Ar、He、CO2、O2、CDA(クリーンドライエアー)のいずれかである。
電極に印加される電力は、例えば、80w〜700wの範囲である。
プラズマヘッドに印加される電力の周波数は、例えば、20KHzを超えていることが好ましく、380KHz以上であることがより好ましい。
プラズマ生成用ガスの種類は、例えば、N2、Ar、He、CO2、O2、CDA(クリーンドライエアー)のいずれかである。
プラズマヘッド23へのプラズマ生成用ガスの導入量は、例えば、10L/min〜50L/minの範囲である。
プラズマPの温度は、例えば、200℃以上であることが好ましい。
プラズマPの照射口の面積は、3mm2〜80mm2の範囲である。
プラズマPの温度は、例えば、200℃以上であることが好ましい。
プラズマPの照射口の面積は、3mm2〜80mm2の範囲である。
2.他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
基板はガラス以外の脆性材料であってもよい。
スクライブライン形成のレーザ加工方法は特に限定されず、熱応力による方式、深さ方向に複数の焦点を形成する方式でもよい。
スクライブライン形成はレーザ加工以外の方法でもよい。例えば、カッタホイールによってスクライブラインを形成してもよい。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
基板はガラス以外の脆性材料であってもよい。
スクライブライン形成のレーザ加工方法は特に限定されず、熱応力による方式、深さ方向に複数の焦点を形成する方式でもよい。
スクライブライン形成はレーザ加工以外の方法でもよい。例えば、カッタホイールによってスクライブラインを形成してもよい。
プラズマ装置2は、プラズマをライン照射することでガラス基板GをスクライブラインSに沿って分断してもよい。具体的には、プラズマPをスクライブラインSの全体又は一部に対して同時に照射させる。
なお、ライン照射のパワー条件は、ポイント照射と同等である。
なお、ライン照射のパワー条件は、ポイント照射と同等である。
本発明は、基板分断装置に広く適用できる。
1 :レーザ加工装置
2 :プラズマ装置
3 :レーザ装置
5 :伝送光学系
7 :加工テーブル
9 :制御部
11 :駆動機構
13 :テーブル駆動部
15 :レーザ発振器
17 :レーザ制御部
19 :集光レンズ
21 :プラズマ電源
25 :ガス供給装置
27 :電力供給装置
100 :基板分断装置
G :ガラス基板
P :プラズマ
S :スクライブライン
2 :プラズマ装置
3 :レーザ装置
5 :伝送光学系
7 :加工テーブル
9 :制御部
11 :駆動機構
13 :テーブル駆動部
15 :レーザ発振器
17 :レーザ制御部
19 :集光レンズ
21 :プラズマ電源
25 :ガス供給装置
27 :電力供給装置
100 :基板分断装置
G :ガラス基板
P :プラズマ
S :スクライブライン
Claims (10)
- 基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置と、
前記基板の前記スクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によって前記スクライブラインに沿って前記基板を分断するプラズマ装置と、
を備えた基板分断装置。 - 前記基板は脆性材料からなる、請求項1に記載の基板分断装置。
- 前記基板はガラスからなる、請求項2に記載の基板分断装置。
- 前記プラズマ装置は、プラズマを前記基板の前記スクライブラインにポイント照射する、請求項1〜3のいずれかに記載の基板分断装置。
- 前記プラズマ装置は、プラズマを前記基板の前記スクライブラインにライン照射する、請求項1〜3のいずれかに記載の基板分断装置。
- 前記プラズマ装置は、前記基板にプラズマを照射することで、前記基板の表面を洗浄する、請求項1〜5のいずれかに記載の基板分断装置。
- 基板にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、前記基板の前記スクライブラインにプラズマを照射することで、熱応力によって前記スクライブラインに沿って前記基板を分断するプラズマ工程とを備えた基板分断方法。
- 前記プラズマ工程において、プラズマの周波数が20kHz以上である、請求項7に記載の基板分断方法。
- 前記プラズマ工程において、プラズマの電極に印加される電力が80w以上700w以下である、請求項7又は8に記載の基板分断方法。
- 前記プラズマ工程において、プラズマ生成用ガスの導入量が10L/min〜50L/minである、請求項7〜9のいずれかに記載の基板分断方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018203663 | 2018-10-30 | ||
JP2018203663 | 2018-10-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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