JP2007076930A - ガラス切断方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザビームの照射で形成されたクラックによってガラス板を切断する場合、レーザビームがガラス板の内側から端部付近に近づくと、照射したレーザビームが消滅するか、あるいはレーザビームのエネルギーが減衰し、設定された切断行路を進行するクラックがガラス板の端部手前で消滅したり、あるいは切断行程から逸れた方向に形成されることになる。
【解決手段】切断するガラス板の両端部側から設定された切断行程に沿ってレーザビームを走査してスクライブラインを形成し、その後工程のブレークライン形成工程において、同様にガラス板の両端部側から前工程で形成されたスクライブラインに沿ってレーザビームを走査してブレークラインを形成し、これらの工程をガラス板全面に設定された切断行程に適用することによってガラス板を個々のガラス片に分割するようにした。
【選択図】 図10
【解決手段】切断するガラス板の両端部側から設定された切断行程に沿ってレーザビームを走査してスクライブラインを形成し、その後工程のブレークライン形成工程において、同様にガラス板の両端部側から前工程で形成されたスクライブラインに沿ってレーザビームを走査してブレークラインを形成し、これらの工程をガラス板全面に設定された切断行程に適用することによってガラス板を個々のガラス片に分割するようにした。
【選択図】 図10
Description
本発明は、ガラス切断方法に関するものであり、詳しくはレーザビーム照射工程を有するガラス切断方法に関する。
従来、ガラス板を切断する手段の一つとして、レーザビーム照射工程を有する切断方法が提案されている。それは、例えば図11に示すように、設定されたレーザビームの走査行程に沿って切断用クラックが伝搬するように、レーザビーム照射に先立ってガラス板50の端部のクラック開始点51から内側に向けて約8mm、深さ約0.1mmの切り込み目を入れる。
そして、ガラス板50の端部のクラック開始点51をレーザビーム52照射の開始点とし、そこから照射を開始したレーザビーム52を切り込み目を経て設定した切断行程に沿って走査させ、最終的にガラス板50を縦断するレーザビーム52照射を行なう。このとき、レーザビーム52照射領域の近傍に水ジェット53を吹き付けて、レーザビーム52照射で加熱した部分を冷却しながらレーザビーム52走査を進行させる。
このとき、切り込み目の領域にレーザビーム52が照射されると、レーザビーム52照射熱によって膨張応力が生じ、その直後に水ジェット53の吹き付けによる冷却によって引張り圧縮応力が生じる。このように、膨張応力が生じた領域に近接して圧縮応力が生じるために、両領域間に夫々の応力に基づく応力勾配が生じ、切り込み目よりもガラス板50の厚み方向に対して深いクラック54が発生することになる。
そして、レーザビーム52照射による加熱と水ジェット53の吹き付けによる冷却とが切断行程に沿って進行することによって、連続するクラック54が切断行程に沿って形成される。その後、ガラス板50のレーザビーム52照射面の反対面側からクラック54部に曲げモーメントを付与するために手動あるいは自動によって圧力を加え、切断行程に沿ってガラス板50を分割するというものである(例えば、特許文献1または2参照。)。
特開平9−150286号公報
特開平9−012327号公報
ところで、レーザビームの照射によって形成されたクラックによってガラス板を切断する場合、レーザビームがガラス板の内側から端部付近に近づくと、照射したレーザビームが直線偏光あるいは円偏光であってもそこでレーザビームが消滅するか、あるいはレーザビームのエネルギーが減衰し、切断行路を形成するクラックがガラス板の端部手前で消滅したり、あるいは湾曲することが分かっている。
この現象は、ガラス板をレーザビームによって形成されたクラックを基に切断する際には避けられない現象である。
この現象は、ガラス板をレーザビームによって形成されたクラックを基に切断する際には避けられない現象である。
そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、設定されたガラス板の切断行程の全行程に亘って連続する切断用クラックを形成することが可能なガラス切断工程を有するガラス切断方法を提供するものである。
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された発明は、レーザ発振器から出射されたレーザビームをガラス板に照射してスクライブラインを形成する工程を有するガラス切断方法であって、前記ガラス板の端部のレーザビーム照射始点から切断行程に沿って前記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点に向かって形成されるスクライブラインを前記レーザビーム照射終点に至る手前までとし、残りの前記レーザビーム照射終点までは、前記レーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点として該レーザビーム照射始点から前記切断行程に沿ってスクライブラインを形成することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載された発明は、請求項1において、前記ガラス板の前記各端部から前記切断行程に沿って形成されるスクライブライン同士が繋がる位置は、前記各端部から最短距離で3mm以上離れた距離にあることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載された発明は、請求項1または2のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、遠赤外線波長領域を有するレーザビームを出射する二酸化炭素レーザ発振器および紫外線波長領域を有するレーザビームを出射するレーザ発振器のうちのいずれか一方であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載された発明は、請求項1〜3のいずれか1項において、前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをガラス板に照射してブレークラインを形成する工程を有するガラス切断方法であって、前記ガラス板の端部のレーザビーム照射始点から前記スクライブラインに沿って前記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点に向かって形成されるブレークラインを前記レーザビーム照射終点に至る手前までとし、残りの前記レーザビーム照射終点までは、前記レーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点として該レーザビーム照射始点から前記スクライブラインに沿ってブレークラインを形成することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載された発明は、請求項4において、前記ガラス板の前記各端部から前記スクライブラインに沿って形成されるブレークライン同士が繋がる位置は、前記各端部から最短距離で3mm以上離れた距離にあることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項6に記載された発明は、請求項4または5のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、遠赤外線波長領域を有するレーザビームを出射する二酸化炭素レーザ発振器であることを特徴とするものである。
本発明のガラス切断方法は、スクライブライン形成工程において、切断するガラス板の両端部から設定された切断行程に沿ってレーザビームを走査してスクライブラインを形成し、その後工程のブレークライン形成工程において、同様にガラス板の両端部から前工程で形成されたスクライブラインに沿ってレーザビームを走査してブレークラインを形成し、これらの工程をガラス板全面に設定された切断行程に適用することによってガラス板を個々のガラス片に分割するようにした。
そのため、ガラス板の一方の端部から他方の端部に向けて走査されるレーザビームによって形成されるスクライブライン及びブレークラインが他方の端部付近で消滅したり、あるいは切断行程から逸れた方向に形成されることがなくなった。その結果、設定された切断行程に沿ってガラス板を正確に切断することができるようになり、所望するガラス片を確実に得ることが可能となった。
以下、この発明の実施形態を図1から図10を参照しながら、詳細に説明する(同一部分については同じ符号を付し、説明は省略する)。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
本発明のガラス切断方法の概略手順は、まず、ガラス板に設定された切断行程に沿ってレーザビームを照射しながら走査し、スクライブライン(けがき線)を形成する。次いで、前記スクライブラインに沿って再度レーザビームを照射しながら走査してブレークライン(分断線)を形成する。そして、ガラス板に設定された全切断行程に亘ってブレークラインを形成することによってガラス板を個々のガラス片に分割するようにしたものである。
図1〜図9は本発明のガラス切断方法に係わるスクライブラインの形成工程において、ガラス板にレーザビームを照射したときのガラス板の状態を示すものであり、そのうち、図1は平面図、図2は図1のA−A断面図であり、図3は平面図、図4は図3のA−A断面図であり、図5は平面図、図6は図5のA−A断面図であり、図7は平面図、図8は図7のA−A断面図である。図9はスクライブライン形成後のブレークライン形成工程において、前記スクライブラインに沿って再度レーザビームを照射したときのガラス板の状態を示したものである。図10はガラス板に設定された全切断行程に亘って形成するスクライブライン及びブレークラインの形成方向を示したものである。
以下、ガラス板にスクライブライン及びブレークラインを形成する方法について上記図1〜図10を参照しながら詳細に説明する。
まず、切断するガラス板の一方の面に、設定された切断行程に沿ってスクライブライン(けがき線)を形成する行程を説明する。最初に、レーザ発振器(図示せず)を作動させて連続発振のレーザビームをレーザ発振器から出射させる。ここで使用するレーザ発振器は、遠赤外線波長領域を有するレーザビームを出射する二酸化炭素レーザ発振器あるいは紫外線波長領域を有するレーザビームを出射するレーザ発振器である。
そして、切断するガラス板に上記レーザビームを近づけ、ガラス板の端部のレーザビーム照射始点から内側に向かって設定された切断行路に沿って所定の速度で照射しながら走査する。
図1及び図2はガラス板の端部のレーザビーム照射始点付近の状態を示したものである。横方向に偏光したレーザビーム3が照射されたガラス板1にはレーザビーム3による照射エネルギー6が与えられ、該照射エネルギー6による熱応力によって設定された切断行程に沿ってガラス板1の端部7のレーザビーム照射始点8からレーザビーム3照射位置まで連続して伸びる微細なクラックからなるスクライブライン5が形成される。
スクライブライン5は断続的に形成された微細なクラックが連続的に線状に形成されたものであり、ガラス板の厚み方向に対する深さは、レーザビームのエネルギー密度、レーザビームの照射時間等の条件によって異なるが、約100〜200μmの範囲内が一般的である。
そして、図3及び図4に示すように、レーザビーム3がガラス板1のレーザビーム照射始点8から切断行程に沿って走査されてガラス板1の端部7のレーザビーム照射終点9に接近した位置に到達すると、そこまでレーザビーム3の照射によって与えられた照射エネルギーのエネルギー分布が変化し、ガラス板内でエネルギーが消滅するか減衰した状態となる。
そのため、ガラス板1の端部7のレーザビーム照射終点9付近はクラックが形成されないか、あるいは切断行程から逸れた方向にクラックが形成されることになり、設定された切断行程通りにスクライブライン5が形成されないことになる。
そこで、本発明のガラス切断方法では、レーザビームが切断行程を走査されてレーザビーム照射終点付近に到達した時点で一旦レーザ発振器の作動を停止させ、レーザビームの照射を中断する。
そして、図5及び図6に示すように、再度レーザ発振器を作動させてレーザビーム3を出射させ、上記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点8としてガラス板1に対するレーザビーム3の照射を再開する。
最後に、図7及び図8に示すように、レーザビーム3をレーザビーム照射始点8から上記レーザビーム3の走査方向とは反対方向に切断行程に沿ってスクライブライン5が途切れた位置まで走査する。すると、ガラス板1のスクライブライン5が繋がって全切断行程に亘って切断行程に沿ったスクライブライン5が形成されることになり、一本分のスクライブライン5の形成が完了する。
この一本分のスクライブライン形成工程をガラス板全面に設定された切断行程に対して実施することによってスクライブライン形成の全工程が完了する。
次に、ブレークライン形成工程に移る。ブレークライン形成工程は、スクライブライン形成工程においてガラス板に形成されたスクライブライン5に沿って図9に示すような要領でブレークラインを形成するものである。
それは、ガラス板1の微細クラックによるスクライブライン5にレーザビーム3が照射されると、レーザビーム照射熱(エネルギー)によって膨張応力が生じ、その直後に冷却ノズル4から放出される水蒸気、ドライエアーあるいは窒素ガス等の吹き付けによる冷却によって引張り圧縮応力が生じる。このように、膨張応力が生じた領域に近接して引張り圧縮応力が生じるために、両領域間に夫々の応力に基づく応力勾配が生じ、ガラス板1の裏面11まで達するクラックが発生してブレークライン2となる。
この場合もスクライブライン形成工程と同様に、ガラス板のレーザビーム照射始点からスクライブラインに沿って走査されてガラス板の端部のレーザビーム照射終点付近の位置に到達すると、一旦レーザ発振器の作動を停止させ、レーザビームの照射を中断する。
そして、再度レーザ発振器を作動させてレーザビームを出射させ、上記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点としてガラス板に対するレーザビームの照射を再開する。
更に、レーザビームをレーザビーム照射始点から上記レーザビームの走査方向とは反対方向にスクライブラインに沿って上記ブレークラインが途切れた位置まで走査する。すると、ブレークラインが繋がってガラス板の全切断行程に亘ってスクライブラインに沿ったブレークラインが形成されることになり、一本分のブレークラインの形成が完了する。
この一本分のスクライブライン形成工程をガラス板全面に設定された切断行程に対して実施することによってスクライブライン形成の全工程が完了する。すると、その時点でガラス板は個々のガラス片に分割された状態となる。
ガラス板全面に亘って形成されるスクライブライン及びブレークラインの形成方向を図10に示している。ガラス板1の対向する端部7の一方から他方に向けて切断行程に沿って該切断行程の途中までスクライブライン5a及びブレークライン2aが形成され、残りの部分は反対方向から切断行程に沿ってスクライブライン5b及びブレークライン2bが形成され、切断行程の途中で両側から形成されたスクライブライン5a、5b同士及びブレークライン2a、2b同士がスクライブライン連繋部10及びブレークライン連繋部12で繋がることによって全切断行程に亘ってスクライブライン5及びブレークライン2が形成される。
なお、ガラス板1の両端部から夫々切断行程に沿って形成されたスクライブライン5a、5b同士及びブレークライン2a、2b同士が繋がる位置(スクライブライン連繋部10及びブレークライン連繋部12)はガラス板1の端部7から最短距離で3mm以上離れた距離にあることが望ましい。
1 ガラス板
2、2a、2b ブレークライン
3 レーザビーム
4 冷却ノズル
5、5a、5b スクライブライン
6 照射エネルギー
7 端部
8 レーザビーム照射始点
9 レーザビーム照射終点
10 スクライブライン連繋部
11 裏面
12 ブレークライン連繋部
2、2a、2b ブレークライン
3 レーザビーム
4 冷却ノズル
5、5a、5b スクライブライン
6 照射エネルギー
7 端部
8 レーザビーム照射始点
9 レーザビーム照射終点
10 スクライブライン連繋部
11 裏面
12 ブレークライン連繋部
Claims (6)
- レーザ発振器から出射されたレーザビームをガラス板に照射してスクライブラインを形成する工程を有するガラス切断方法であって、前記ガラス板の端部のレーザビーム照射始点から切断行程に沿って前記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点に向かって形成されるスクライブラインを前記レーザビーム照射終点に至る手前までとし、残りの前記レーザビーム照射終点までは、前記レーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点として該レーザビーム照射始点から前記切断行程に沿ってスクライブラインを形成することを特徴とするガラス切断方法。
- 前記ガラス板の前記各端部から前記切断行程に沿って形成されるスクライブライン同士が繋がる位置は、前記各端部から最短距離で3mm以上離れた距離にあることを特徴とする請求項1に記載のガラス切断方法。
- 前記レーザ発振器は、遠赤外線波長領域を有するレーザビームを出射する二酸化炭素レーザ発振器および紫外線波長領域を有するレーザビームを出射するレーザ発振器のうちのいずれか一方であることを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載のガラス切断方法。
- 前記レーザ発振器から出射されたレーザビームをガラス板に照射してブレークラインを形成する工程を有するガラス切断方法であって、前記ガラス板の端部のレーザビーム照射始点から前記スクライブラインに沿って前記ガラス板の端部のレーザビーム照射終点に向かって形成されるブレークラインを前記レーザビーム照射終点に至る手前までとし、残りの前記レーザビーム照射終点までは、前記レーザビーム照射終点をレーザビーム照射始点として該レーザビーム照射始点から前記スクライブラインに沿ってブレークラインを形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス切断方法。
- 前記ガラス板の前記各端部から前記スクライブラインに沿って形成されるブレークライン同士が繋がる位置は、前記各端部から最短距離で3mm以上離れた距離にあることを特徴とする請求項4に記載のガラス切断方法。
- 前記レーザ発振器は、遠赤外線波長領域を有するレーザビームを出射する二酸化炭素レーザ発振器であることを特徴とする請求項4または5のいずれか1項に記載のガラス切断方法。
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