JP2020052284A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
20 基板供給・巻取装置
22 供給リール
32 巻取リール
40 露光部
50 基板折り返し機構
W 長尺基板
Claims (9)
- 長尺基板を保持する露光ステージと、
前記長尺基板を送り出す供給リールと、
前記露光ステージに対して前記供給リールとは反対側に配置され、前記長尺基板の搬送方向反転と表裏反転とを行い、表裏反転前と表裏反転後の前記長尺基板を並列に配置する長尺基板反転機構と、
前記露光ステージに対して前記供給リールと同じ側に配置され、前記長尺基板を巻き取る巻取リールと
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記長尺基板反転機構が、前記長尺基板の前記供給リールから前記巻取リールまでの基板搬送長さを調整可能な搬送長さ調整ローラを含むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記長尺基板反転機構が、
前記露光ステージに対して前記供給リールの反対側の位置にあり、前記長尺基板の搬送方向を搬送方向に直交する方向へ変える第1の搬送向き変更ローラと、
前記露光ステージに対して前記巻取リールと反対側の位置にあり、前記長尺基板の搬送方向を、搬送方向に直交する方向から搬送方向に変える第2の搬送向き変更ローラとを含むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 前記搬送長さ調整ローラが、前記第1の搬送向き変更ローラから前記第2の搬送向き変更ローラまでの基板搬送経路の間で前記長尺基板を巻き回し、搬送方向と直交する方向に沿ってその位置を移動可能であることを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記第1の搬送向き変更ローラが、上下に並ぶ2つのローラから構成され、
一方のローラが前記第2の搬送向き変更ローラと向かい合い、他方のローラが前記搬送長さ調整ローラと向かい合うことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記露光ステージが、基板搬送方向に沿って往復移動可能であり、
前記供給リールおよび前記巻取リールが、前記露光ステージとともに、搬送方向に沿って往復移動可能であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。 - 前記長尺基板反転機構が、前記露光ステージとともに、搬送方向に沿って往復移動可能であることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記露光ステージ上に配置される露光部をさらに備え、
前記露光部が、前記露光ステージに対して相対移動する間、前記長尺基板の表側を露光対象面とした部分と、裏側を露光対象面とした部分の両方を露光することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。 - RtoR搬送系を備えた露光装置において、
長尺基板反転機構によって、供給リールから送り出される長尺基板の搬送向きを、露光ステージの反対側で露光ステージ側へ向けて逆向きに変えるとともに、表裏を反転させ、
前記露光ステージを露光部に対して相対移動させる間、前記露光部によって、表面を露光対象面とした部分と裏面を露光対象面とした部分の両方を露光することを特徴とする露光方法。
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