JP2020047713A - 異物除去装置、ダイボンダ、及び異物除去方法 - Google Patents
異物除去装置、ダイボンダ、及び異物除去方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
2、20 ステージ
3、21 固定手段
4、14 振動手段
5、30 排除手段
8、41 本体部
50 異物
Claims (11)
- ワーク上の異物を除去する異物除去装置において、
ワークを載置するステージと、
前記ステージにワークを固定する固定手段と、
前記ステージに振動を付与することにより、ワーク上の異物をワークから浮上させる振動手段と、
浮上した異物を排除する排除手段とを備えたことを特徴とする異物除去装置。 - 前記固定手段は、ステージにワークを吸着する吸着機構であることを特徴とする請求項1に記載の異物除去装置。
- 前記固定手段は、ステージにワークを押圧する押圧機構であることを特徴とする請求項1に記載の異物除去装置。
- 前記振動手段は、ワークの裏面から振動を付与するものであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記振動手段は、ワークの上面から振動を付与するものであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記振動手段は、超音波発振機構又は打撃機構のいずれかであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記排除手段は、異物を吸引する吸引機構であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の異物除去装置。
- 前記排除手段は、さらにエアブロー機構を備えたことを特徴とする請求項7に記載の異物除去装置。
- 前記排除手段は、異物を吸引する吸引口を有する本体部を備え、前記本体部は、ワーク上を移動するものであることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の異物除去装置。
- 前記請求項1〜請求項9に記載の異物除去装置を備えたことを特徴とするダイボンダ。
- ワーク上の異物を除去する異物除去方法において、
ワークをステージに固定し、
ワークをステージに固定した状態で、前記ステージに振動を付与することにより、ワーク上の異物を基板から浮上させ、
浮上した異物を排除することを特徴とする異物除去方法。
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