JP2020038943A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】アンダーフィル樹脂により半導体チップに形成された接続端子の保護と補強ができると共に、小型化が可能な半導体装置およびその製造方法を提供すること。【解決手段】一つの実施形態によれば、半導体装置は、半導体装置は、複数の接続端子が表面に形成された複数の半導体チップを有する。前記複数の半導体チップが前記複数の接続端子によって第1の表面に実装された実装基板を有する。前記実装基板の前記第1の表面に連続して形成され、前記複数の半導体チップの周囲を囲む枠部を有する。前記枠部内に充填された充填剤を有する。前記第1の表面に対向する前記実装基板の第2の表面に形成された複数の接続端子を有する。【選択図】図1
Description
本実施形態は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。
従来、半導体チップが実装された基板に枠部を設け、アンダーフィル樹脂をその枠部に充填して半導体チップに形成された接続端子の保護及び補強を行う技術が開示されている。近年、半導体装置の多機能化の為、複数の半導体チップを一体化したマルチチップモジュール(MCM)の開発が行われている。MCMは複数の半導体チップを搭載する為、小型化が課題となる。アンダーフィル樹脂による保護及び補強ができると共に小型化を図ることができる半導体装置が望まれる。
一つの実施形態は、アンダーフィル樹脂により半導体チップに形成された接続端子の保護と補強ができると共に、小型化が可能な半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
一つの実施形態によれば、半導体装置は、複数の接続端子が表面に形成された複数の半導体チップを有する。前記複数の半導体チップが前記複数の接続端子によって第1の表面に実装された実装基板を有する。前記実装基板の前記第1の表面に連続して形成され、前記複数の半導体チップの周囲を囲む枠部を有する。前記枠部内に充填された充填剤を有する。前記第1の表面に対向する前記実装基板の第2の表面に形成された複数の接続端子を有する。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる半導体装置およびその製造方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の半導体装置の構成を示す図である。図1(A)は、図1(B)の一点鎖線I―Iにおける断面構造を模式的に示す。また図1(C)は、図1(B)の一点鎖線II―IIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態の半導体装置は、複数の半導体チップ1〜5を有する。例えば、半導体チップ2は、演算処理機能を備え、半導体チップ1、3〜5は、メモリ機能を有する。半導体チップ1〜5により、所謂、マルチチップモジュールを構成する。
図1は、第1の実施形態の半導体装置の構成を示す図である。図1(A)は、図1(B)の一点鎖線I―Iにおける断面構造を模式的に示す。また図1(C)は、図1(B)の一点鎖線II―IIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態の半導体装置は、複数の半導体チップ1〜5を有する。例えば、半導体チップ2は、演算処理機能を備え、半導体チップ1、3〜5は、メモリ機能を有する。半導体チップ1〜5により、所謂、マルチチップモジュールを構成する。
各々の半導体チップ1〜5は、表面に複数の接続端子を有する。図1においては、半導体チップ1〜4の接続端子1B〜4Bを示す。接続端子1B〜4Bは、例えば、はんだバンプやCuピラーで構成される。半導体チップ1〜5は、接続端子によって実装基板10に、所謂、フリップチップボンディングによって実装される。
実装基板10は、例えば、ガラス布基材エポキシ樹脂積層板、所謂、エポキシガラスで構成される。実装基板10の表面に枠部11を有する。枠部11は、例えば、実装基板10の成型の際に同時に形成される。尚、枠部11は、実装基板10の表面に形成されるソルダーレジストで形成しても良い。
枠部11で囲まれた領域に、充填剤12が充填される。充填剤12として、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂が用いられる。充填剤12は、実装基板10と接続された半導体チップ1〜5の裏面接続端子の保護と補強を行う。
実装基板10の裏面には、例えば、はんだボールで構成された複数の接続端子10Bが格子状に形成される。半導体チップ1〜5に形成された接続端子と実装基板10に形成された接続端子10Bは、実装基板10に形成された配線(図示せず)によって、接続される。裏面接続端子10Bによって、半導体装置と、例えば、プリント基板(図示せず)との接続が行われる。
本実施形態においては、半導体チップ1〜5が、一つの枠部11によって囲まれる。枠部11内に充填された充填剤12によって、半導体チップ1〜5に形成された接続端子が保護され、補強される。半導体チップと半導体チップ、及び半導体チップと枠部の、間隔を狭めることによって、実装基板10の面積を小さくすることができる。すなわち、複数の半導体チップを搭載した半導体装置の小型化を図ることができる。半導体チップ間の距離を短くすることにより、例えば、実装基板10に形成される配線(図示せず)の距離を短くすることができる。これにより、半導体チップ間の信号の伝達時間を短縮することができ、半導体装置の処理速度を向上させることができる。
充填剤12は、半導体チップを枠部11によって囲まれた領域に実装した後に、半導体チップと枠部11との隙間から充填することができる。
(第2の実施形態)
図2は、第2の実施形態の半導体装置を示す図である。既述した実施形態に対応する構成には同一の符号を付し、重複する記載は必要な場合にのみ行う。以降、同様である。本実施形態の半導体装置は、実装基板20を有する。実装基板20は、表面に枠部21を有する。枠部21は、例えば、図2(B)に示す様に、右辺側と左辺側において実装基板10の外周に一致し、上辺側、及び下辺側において隙間d7が生じる様に延在する形状を有する。すなわち、枠部21は、右辺側と左辺側において、実装基板10の裏面に接する。枠部21は、実装基板20の成型の際に同時に形成される。尚、枠部21は、実装基板20の表面に形成されるソルダーレジストで形成しても良い。尚、ここで言う「一致」とは、ほぼ一致する場合を含む概念である。以下同様である。
図2は、第2の実施形態の半導体装置を示す図である。既述した実施形態に対応する構成には同一の符号を付し、重複する記載は必要な場合にのみ行う。以降、同様である。本実施形態の半導体装置は、実装基板20を有する。実装基板20は、表面に枠部21を有する。枠部21は、例えば、図2(B)に示す様に、右辺側と左辺側において実装基板10の外周に一致し、上辺側、及び下辺側において隙間d7が生じる様に延在する形状を有する。すなわち、枠部21は、右辺側と左辺側において、実装基板10の裏面に接する。枠部21は、実装基板20の成型の際に同時に形成される。尚、枠部21は、実装基板20の表面に形成されるソルダーレジストで形成しても良い。尚、ここで言う「一致」とは、ほぼ一致する場合を含む概念である。以下同様である。
実装基板20の線膨張係数は、例えば、実装基板10の線膨張係数よりも大きい値に調整される。例えば、線膨張係数は、実装基板10では約10ppm/℃に調整され、実装基板20では約20ppm/℃に調整される。半導体チップ1〜5の線膨張係数は、例えば、約3ppm/℃である。従って、線膨張係数を、半導体チップ側から実装基板20側に向けて大きい値に設定することで、半導体装置が搭載される機器(図示せず)における温度上昇による半導体チップへの応力の影響を緩和させることができる。
実装基板20の厚みt2は、実装基板10の厚みt1よりも厚くすることができる。例えば、実装基板20の厚みt2を0.6mm、実装基板10の厚みt1を0.4mmとする。実装基板20の厚みt2を厚くすることにより強度を高めることができるため、半導体装置を実装する際の応力に対する耐性が向上し、半導体装置の信頼性を高めることができる。
充填剤22は、枠部21が実装基板10の外周よりも延在することで形成される隙間d7から充填することができる。
半導体チップに形成された接続端子は、枠部11に充填された充填剤12によって保護と補強が行われ、接続端子10Bは、枠部21に充填された充填剤22によって保護と補強が行われる。
本実施形態によれば、実装基板10と20の線膨張係数を調整することにより、半導体装置が搭載された機器における温度上昇による半導体チップへの応力の影響を緩和させることができる。尚、実装基板20の線膨張係数は、実装基板10と同等の線膨張係数であってもよい。実装基板10と20を備えた多層構造とすることで、温度上昇による半導体チップ1〜5への応力の影響を緩和させることができる。
(第3の実施形態)
図3は、第3の実施形態の半導体装置を示す図である。図3(A)は、図3(B)の一点鎖線V―Vにおける断面構造を模式的に示す。また図3(C)は、図3(B)の一点鎖線VI―VIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態は、実装基板10の表面に、半導体チップ1、5に対応して設けられた枠部11A、半導体チップ2に対応して設けられた枠部11B、及び、半導体チップ3、4に対応して設けられた枠部11Cを有する。すなわち、図3(B)に示す様に、枠部11Aは、半導体チップ1、5の左辺側と右辺側の外形と一致し、半導体チップ1の上辺側に隙間d8が生じる様に延在し、半導体チップ5の下辺側に隙間d9が生じる様に延在する。枠部11Aは、半導体チップ1、5の左辺側、右辺側において半導体チップ1、5の裏面に接する。半導体チップ1と5の間には隙間d5を設け、半導体チップ3と4の間には隙間d6を設ける。
図3は、第3の実施形態の半導体装置を示す図である。図3(A)は、図3(B)の一点鎖線V―Vにおける断面構造を模式的に示す。また図3(C)は、図3(B)の一点鎖線VI―VIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態は、実装基板10の表面に、半導体チップ1、5に対応して設けられた枠部11A、半導体チップ2に対応して設けられた枠部11B、及び、半導体チップ3、4に対応して設けられた枠部11Cを有する。すなわち、図3(B)に示す様に、枠部11Aは、半導体チップ1、5の左辺側と右辺側の外形と一致し、半導体チップ1の上辺側に隙間d8が生じる様に延在し、半導体チップ5の下辺側に隙間d9が生じる様に延在する。枠部11Aは、半導体チップ1、5の左辺側、右辺側において半導体チップ1、5の裏面に接する。半導体チップ1と5の間には隙間d5を設け、半導体チップ3と4の間には隙間d6を設ける。
同様に、枠部11Bは、半導体チップ2において、左辺側と右辺側の外形と一致し、上辺側に隙間d8が生じる様に延在し、下辺側に隙間d9が生じる様に延在する。枠部11Bは、半導体チップ2の左辺側、右辺側において半導体チップ2の裏面に接する。
枠部11Cは、半導体チップ3、4の左辺側と右辺側の外形と一致し、半導体チップ3の上辺側に隙間d8が生じる様に延在し、半導体チップ4の下辺側に隙間d9が生じる様に延在する。枠部11Cは、半導体チップ3、4の左辺側、右辺側において半導体チップ3、4の裏面に接する。夫々の枠部11A〜11C内に充填剤12が充填され、半導体チップ1〜5に形成された接続端子を保護し、補強する。
実装基板20は、表面に枠部21を有する。枠部21は、例えば、図3(B)に示す様に、実装基板10の外形に応じ、右辺側と左辺側において実装基板10の外形と一致し、上辺側、及び下辺側において隙間d10が生じる様に延在する形状を有する。枠部21は、左辺側、右辺側において実装基板10の裏面に接する。枠部21は、実装基板20の形成の際に同時に形成される。尚、枠部21は、実装基板20の表面に形成されるソルダーレジストで形成しても良い。
半導体チップに形成された接続端子は、充填剤に12によって保護、補強されると共に、半導体チップの裏面の一部裏面が枠部11A〜11Cに接して保持される為、安定的した状態で実装基板10に実装される。また、半導体チップの裏面が枠部11A〜11Cに接する為、充填剤12が枠部11A〜11Cの外側へ流れ出ることを抑制することができる。
充填剤12は、実装基板10に各半導体チップを実装した後に、半導体チップと枠部11A〜11Cとの隙間から充填することができる。あるいは、充填剤12を充填した後に、半導体チップ1〜5を実装基板10の表面に実装してもよい。充填剤22は、隙間d10から充填することができる。
本実施形態においては、半導体チップに形成された接続端子は、実装基板10に形成された枠部11A〜11C内に充填された充填剤に12によって保護、補強される。また、半導体チップの裏面の一部が枠部11A〜11Cに接して保持されることにより安定した状態で実装基板10に実装される。半導体チップの裏面の一部が夫々の枠部11A〜11Cに接する為、充填剤12が枠部11A〜11Cの外側へ流れ出ることを抑制することができる。また、接続端子10Bは、充填剤22によって保護され、補強される。また、実施形態2と同様、実装基板10と20の線膨張係数を調整することにより、半導体装置が搭載された機器における温度上昇による半導体チップへの応力の影響を緩和させることができる。
(第4の実施形態)
図4−1及び図4−2は、第3の実施形態の半導体装置の製造方法の一つの実施形態を断面的に示す図であり、図5−1及び図5−2は、図4−1及び図4−2に対応する製造方法を平面的に示す図である。以降、図4−1、図4−2と図5−1及び図5−2を対応付けながら説明する。
図4−1及び図4−2は、第3の実施形態の半導体装置の製造方法の一つの実施形態を断面的に示す図であり、図5−1及び図5−2は、図4−1及び図4−2に対応する製造方法を平面的に示す図である。以降、図4−1、図4−2と図5−1及び図5−2を対応付けながら説明する。
枠部11A〜11Cが形成された実装基板10を用意する(図4−1(A)、図5−1(A))。枠部11A〜11Cは、実装される半導体チップに対応して設けられている。実装基板10の表面には、各半導体チップの接続端子が接続される導電性の接続パッド1P〜5Pが形成されている。
半導体チップ1〜5が用意され、夫々、対応する実装基板10の表面に実装される(図4−1(B)、図5−1(B))。例えば、はんだボールで構成される接続端子と、接続パッド1P〜5Pを、過熱処理により接合することで、半導体チップ1〜5が実装基板10の表面に実装される。半導体チップ1〜3の上辺側と下辺側において枠部11A〜11Cとの間に隙間d8、d9、半導体チップ1と5の間に隙間d5、及び半導体チップ3と4の間に隙間d6が生じる様に実装される。
枠部11A〜11C内に、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂で構成される充填剤12を、供給装置100を用いて充填する(図4−1(C)、図5−1(C))。充填剤12は、隙間d5、d6、d8及びd9から充填することができる。充填の後、熱処理により充填剤12を硬化させる。
実装基板10の裏面に、例えば、はんだボールで構成される接続端子10Bを格子状に形成する(図4−1(D)、図5−2(D))。
枠部21が形成された実装基板20に、上下辺側に隙間d10を形成するように実装基板10を実装する(図4−1(E)、図5−2(E))。例えば、接続端子10Bと実装基板20の表面に形成された接続パッド(図示せず)とを加熱処理により接合して実装する。
枠部21内に充填剤22を充填する(図4−2(F)、図5−3(F))。例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂で構成される充填剤22を、供給装置100を用いて充填する。充填剤22は、隙間d10から充填される。充填剤22の充填の後、熱処理により充填剤22を硬化させる。
実装基板20の裏面に、例えば、はんだボールで構成される接続端子20Bを格子状に形成する(図4−2(G)、図5−3(G))。これにより、複数の半導体チップ1〜5が一体に形成された半導体装置が完成する。例えば、エポキシ樹脂の硬化温度は、はんだボールの溶融温度よりも低い。従って、充填剤12、22の硬化の為の温度処理によって接続端子1B〜5Bと実装基板10、及び接続端子10Bと実装基板20との間の接続状態に影響を与えることなく、充填剤12、22を硬化させることができる。
(第5の実施形態)
図6は、第5の実施形態の半導体装置を示す図である。図6(A)は、図6(B)の一点鎖線VII―VIIにおける断面構造を模式的に示す図である。また図6(C)は、図6(B)の一点鎖線VIII―VIIIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態は、実装基板10の表面に、各半導体チップ1〜5の外形に一致する形状を有する枠部11D〜11Hを有する。すなわち、枠部11Dの外形は、半導体チップ1の外形に一致する形状を有する。同様に、枠部11E〜11Hは、夫々、半導体チップ2〜5の外形に一致する形状を有する。枠部11D〜11Hは夫々、接続端子が形成された半導体チップ1〜5の外周形状に応じて形成され、半導体チップ1〜5の裏面に連続的に接触する。
図6は、第5の実施形態の半導体装置を示す図である。図6(A)は、図6(B)の一点鎖線VII―VIIにおける断面構造を模式的に示す図である。また図6(C)は、図6(B)の一点鎖線VIII―VIIIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態は、実装基板10の表面に、各半導体チップ1〜5の外形に一致する形状を有する枠部11D〜11Hを有する。すなわち、枠部11Dの外形は、半導体チップ1の外形に一致する形状を有する。同様に、枠部11E〜11Hは、夫々、半導体チップ2〜5の外形に一致する形状を有する。枠部11D〜11Hは夫々、接続端子が形成された半導体チップ1〜5の外周形状に応じて形成され、半導体チップ1〜5の裏面に連続的に接触する。
実装基板20の表面に形成された枠部210は、実装基板10の外周形状に応じて連続的に形成された形状を有する。すなわち、枠部210は、実装基板10の外周部に、連続的に接触する。
枠部11D〜11H内及び枠部210内に充填される充填剤13、23は、例えば、熱可塑性のアクリル系樹脂が用いられる。熱可塑性の充填剤13、23を用いた製造方法は、後述する。
本実施形態によれば、半導体チップ1〜5に形成された接続端子は、枠部11D〜11H内に充填された充填剤13によって保護、補強される。夫々の枠部11D〜11Hは、半導体チップの裏面に連続的に接触して半導体チップ1〜5を安定的に保持する為、半導体チップ1〜5が安定した状態で実装基板10に実装される。また、各半導体チップ1〜5の裏面が、夫々枠部11D〜11Hに連続的に接する為、充填剤13が枠部11A〜11Cの外側へ流れ出ることを抑制することができる。
また、各枠部11D〜11Hは、各半導体チップ1〜5の外周形状に一致し、また、枠部21の形状は、実装基板10の外周形状に一致する。すなわち、隙間を設けない為、実装基板10と20の外周間の距離d11、及び、例えば、半導体チップ3と実装基板10の外周間の距離d12を短くすることができる。この為、実装基板10、20の面積を小さくすることができ、半導体装置を小型化することができる。また、枠部210は、実装基板10の裏面に連続的に接触して実装基板10を保持する。この為、接続端子10Bが充填剤23によって保護、補強されると共に、実装基板10が枠部210によって支持され安定した状態で実装基板20に実装される。
(第6の実施形態)
図7−1、図7−2は、第5の実施形態の半導体装置の製造方法の一つの実施形態を断面的に示す図であり、図8−1〜図8−3は、図7−1、図7−2に対応する製造方法を平面的に示す図である。以降、図7−1、図7−2と図8−1〜図8−3を対応付けながら説明する。
図7−1、図7−2は、第5の実施形態の半導体装置の製造方法の一つの実施形態を断面的に示す図であり、図8−1〜図8−3は、図7−1、図7−2に対応する製造方法を平面的に示す図である。以降、図7−1、図7−2と図8−1〜図8−3を対応付けながら説明する。
枠部11D〜11Hが形成された実装基板10を用意する(図7−1(A)、図8−1(A))。枠部11D〜11Hは、実装される半導体チップに対応して設けられている。実装基板10の表面には、各半導体チップ1〜5の接続端子が接続される接続パッド1P〜5Pが形成されている。
枠部11E内に、例えば、熱可塑性のアクリル系樹脂で構成される充填剤13を、供給装置101を用いて充填する(図7−1(B)、図8−1(B))。充填剤13で満たされた枠部11Eに、半導体チップ2を実装する(図7−1(C)、図8−1(C))。例えば、はんだボールで構成される接続端子2Bと実装基板10の表面に形成された接続パッド2Pとを加熱処理により接合することにより実装する。
接続端子2Bの溶融温度は、熱可塑性のアクリル樹脂の溶融温度よりも高い。従って、接続端子2Bを接続パッド2Pに接続する熱処理において充填剤13は溶融する為、接続端子2Bと接続パッド2Pを接触させて接合させることができる。
次に、枠部11D、11F、11G、11H内に充填剤13を供給装置101により充填する。充填剤13で満たされた枠部11D、11F、11G、11Hに、半導体チップ1、3、4、5を実装する(図7−1(D)、図8−2(D))。例えば、接続端子1B、3B、4B、5Bと接続パッド1P、3P、4P、5Pとを熱処理により接合して実装する。
実装基板10の裏面に、例えば、はんだボールで構成される接続端子10Bを格子状に形成する(図7−1(E)、図8−2(E))。
実装基板20に形成された枠部210内に、例えば、熱可塑性のアクリル系樹脂で構成される充填剤23を、供給装置101を用いて充填する(図7−2(F)、図8−2(F))。
充填剤23で満たされた枠部210が形成された実装基板20に、半導体チップ1〜5が実装された実装基板10を実装する(図7−2(G)、図8−3(G))。例えば、接続端子10Bと実装基板20の表面に形成された接続パッド(図示せず)とを加熱処理により接合することにより実装する。
実装基板20の裏面に、例えば、はんだボールで構成される接続端子20Bを格子状に形成する(図7−2(H)、図8−3(H))。これにより、複数の半導体チップ1〜5が一体に形成された半導体装置が完成する。
本実施形態の製造方法により、半導体チップ1〜5及び実装基板10に形成された接続端子を、枠部11D〜11H、210に充填された充填剤13、23によって保護、補強する構成の半導体装置を提供することができる。枠部11D〜11Hは、対応する半導体チップの外周部に連続的に接触して支える構造で有る為、半導体チップを安定した状態で実装基板10に実装することができる。また、半導体チップ1〜5の裏面が夫々枠部11D〜11Hに連続的に接した状態で実装することで、充填剤13が枠部1DA〜1HCの外側へ流れ出ることを抑制して製造することができる。
(第7の実施形態)
図9は、第7の実施形態の半導体装置を示す図である。図9(A)は、図9(B)の一点鎖線IX―IXにおける断面構造を模式的に示す。また図9(C)は、図9(B)の一点鎖線X―Xにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態においては、図9(C)に示す様に、実装基板10に設けられる枠部110Cと半導体チップ4の裏面との間に隙間S1が設けられる。同様に、実装基板20に設けられる枠部211の上部と実装基板10のとの間に隙間S2が設けられる。この為、枠部110C、211に充填された充填剤12、22がはみ出して、隙間S1、S2を埋める。半導体チップ1、2、3、5と対応して設けられた枠部110A、110B、110Cとの間にも同様の隙間が設けられる。
図9は、第7の実施形態の半導体装置を示す図である。図9(A)は、図9(B)の一点鎖線IX―IXにおける断面構造を模式的に示す。また図9(C)は、図9(B)の一点鎖線X―Xにおける断面構造を拡大して模式的に示す。本実施形態においては、図9(C)に示す様に、実装基板10に設けられる枠部110Cと半導体チップ4の裏面との間に隙間S1が設けられる。同様に、実装基板20に設けられる枠部211の上部と実装基板10のとの間に隙間S2が設けられる。この為、枠部110C、211に充填された充填剤12、22がはみ出して、隙間S1、S2を埋める。半導体チップ1、2、3、5と対応して設けられた枠部110A、110B、110Cとの間にも同様の隙間が設けられる。
本実施形態によれば、充填剤12により半導体チップに形成された接続端子の保護と補強が行われる。半導体チップ1〜5は、隙間S1を埋める充填剤12によって保持される。従って、半導体チップ1〜5を安定した状態で実装基板10に実装することができる。
また、実装基板10は、隙間S2を埋める充填剤22によって保持される。従って、実装基板10を安定した状態で実装基板20に実装することができる。枠部110A〜110Cと半導体チップ1〜5との隙間S1、及び枠部211と実装基板10との隙間S2は夫々、充填剤12、22によって埋められる為、枠部110A〜110C、及び枠部211の高さの制御は比較的にラフであっても良く、製造が容易である。
(第8の実施形態)
図10は、第8の実施形態の半導体装置を示す図である。図10(A)は、図10(B)の一点鎖線XI―XIにおける断面構造を模式的に示す。また図10(C)は、図10(B)の一点鎖線XII―XIIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。
図10は、第8の実施形態の半導体装置を示す図である。図10(A)は、図10(B)の一点鎖線XI―XIにおける断面構造を模式的に示す。また図10(C)は、図10(B)の一点鎖線XII―XIIにおける断面構造を拡大して模式的に示す。
本実施形態は、図10(B)に示す様に、実装基板10の表面に、各半導体チップ1〜5の外形に一致する形状を有する枠部110D〜110Hを有する。すなわち、枠部110Dの外形は、半導体チップ1の外形に一致する形状を有する。同様に、枠部110E〜110Hは、夫々、半導体チップ2〜5の外形に一致する形状を有する。実装基板20に形成された枠部212は、実装基板10の外周形状に応じて連続的に形成された形状を有する。
図10(C)に示す様に、枠部110Gと半導体チップ4との間に隙間S3が設けられる。同様に、枠部110D〜11Hと半導体チップ1〜5との間に隙間が設けられる。枠部212と実装基板10との間に隙間S4が設けられる。枠部110D〜110H、212内に充填された充填剤13、23がはみ出して、夫々の隙間S3、S4を埋める。
本実施形態によれば、充填剤13により接続端子の保護と補強が行われる。半導体チップ1〜5は、隙間S3を埋める充填剤13によって保持される。従って、半導体チップ1〜5を安定した状態で実装基板10に実装することができる。
また、実装基板10は、隙間S4を埋める充填剤23によって保持される。従って、実装基板10を安定した状態で実装基板20に実装することができる。隙間S3、S4は夫々、充填剤13、23によって埋められる為、枠部110D〜110H、及び枠部212の高さの制御は比較的にラフであっても良く、製造が容易である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1〜5 半導体チップ、1B〜4B 接続端子、10 実装基板、11 枠部、12、13 充填剤、20 実装基板、21 枠部、22、23 充填剤、10B、20B 接続端子。
Claims (5)
- 複数の接続端子が表面に形成された複数の半導体チップと、
前記複数の半導体チップが前記複数の接続端子によって第1の表面に実装された実装基板と、
前記実装基板の前記第1の表面に連続して形成され、前記複数の半導体チップの周囲を囲む枠部と、
前記枠部内に充填された充填剤と、
前記第1の表面に対向する前記実装基板の第2の表面に形成された複数の接続端子と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 複数の接続端子が表面に形成された半導体チップと、
前記半導体チップが前記複数の接続端子によって第1の表面に実装され、第2の表面に複数の接続端子が形成された第1の実装基板と、
前記第1の実装基板の前記第1の表面に、前記半導体チップの外周に沿って連続して形成され、前記半導体チップに形成された前記複数の接続端子を囲む第1の枠部と、
前記第1の枠部内に充填された第1の充填剤と、
前記第1の実装基板に形成された前記複数の接続端子によって第1の表面に前記第1の実装基板が実装された第2の実装基板と、
前記第2の実装基板の前記第1の表面に、前記第1の実装基板の外周に沿って連続して形成され、前記第1の実装基板に形成された前記複数の接続端子を囲む第2の枠部と、
前記第2の枠部内に充填された第2の充填剤と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の実装基板の厚みは、前記第1の実装基板の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 複数の接続端子が表面に形成された半導体チップを、第1の表面に第1の枠部が形成された第1の実装基板に実装する工程と、
前記第1の枠部内に熱硬化性の第1の充填剤を注入する工程と、
前記第1の充填剤を硬化させる工程と、
前記第1の表面と対向する前記第1の実装基板の第2の表面に複数の接続端子を形成する工程と、
前記第1の実装基板に形成された前記複数の接続端子によって、前記第1の実装基板を第2の枠部が形成された第2の実装基板の表面に実装する工程と、
前記第2の枠部内に熱硬化性の第2の充填剤を注入する工程と、
前記第2の充填剤を硬化させる工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の実装基板の第1の表面に形成された第1の枠部内に熱可塑性の第1の充填剤を注入する工程と、
前記第1の充填剤が注入された領域に、複数の接続端子が表面に形成された半導体チップを実装する工程と、
前記第1の実装基板の第2の表面に複数の接続端子を形成する工程と、
第2の実装基板に形成された第2の枠部内に熱可塑性の第2の充填剤を注入する工程と、
前記第2の充填剤が注入された領域に、前記第1の実装基板の第2の表面に形成された複数の接続端子によって前記第1の実装基板を実装する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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- 2018-09-05 JP JP2018166347A patent/JP2020038943A/ja not_active Abandoned
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