JP2020035886A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、本実施形態における静電チャック100のXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図であり、図4は、本実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図4には、図2のIV−IVの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。また、以下では、Z軸方向に直交する方向を「面方向」という。Z軸方向は、特許請求の範囲における第1の方向に相当する。
本実施形態の静電チャック100は、板状部材10とウェハWとの間の伝熱性を高めてウェハWの温度分布の制御性をさらに高めるため、板状部材10の吸着面S11とウェハWの表面(下面)との間に存在する空間に不活性ガスを供給するための構成を備えている。なお、本実施形態では、このような不活性ガスとして、ヘリウムガス(Heガス)が用いられる。以下、ヘリウムガスを供給するための構成について説明する。図5は、図2のX1部のXZ断面構成を拡大して示す説明図である。
本実施形態の静電チャック100の製造方法は、例えば以下の通りである。はじめに、板状部材10とベース部材20とを準備する。板状部材10およびベース部材20は、公知の製造方法によって製造可能である。例えば、板状部材10は以下の方法で製造される。すなわち、複数のセラミックスグリーンシート(例えばアルミナグリーンシート)を準備し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、チャック電極40やヒータ電極50等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各ビアの形成のための孔開けおよびメタライズペーストの充填、各ガス流路の形成のための孔開け等が挙げられる。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を得る。得られたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することによりセラミックス焼成体を作製し、研磨加工や、壁状凸部12および柱状凸部14を形成するためのショットブラスト加工等の所定の加工を行うことにより、板状部材10が製造される。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、板状部材10と、ベース部材20と、接合部30とを備える。板状部材10は、セラミックスにより形成され、Z軸方向に略直交する吸着面S11と吸着面S11とは反対側の下面S2とを有している。板状部材10の内部には、吸着面S11に開口するガス噴出流路130が形成されている。また、板状部材10の内部には、抵抗発熱体により形成されたヒータ電極50が配置されている。ベース部材20は、上面S3を有し、ベース部材20の上面S3が板状部材10の下面S2側に位置するように配置される。ベース部材20の内部には、冷媒流路21とガス供給流路22とが形成されている。接合部30は、板状部材10の下面S2とベース部材20の上面S3との間に配置されて板状部材10とベース部材20とを接合する。接合部30には、板状部材10に形成されたガス噴出流路130とベース部材20に形成されたガス供給流路22とを連通する貫通孔31が形成されている。また、本実施形態の静電チャック100では、板状部材10の下面S2に、ガス噴出流路130が連通する凹部18が形成されている。この凹部18内には、絶縁材料により形成され、板状部材10より気孔率が高い通気性プラグ160が配置されている。また、通気性プラグ160における内部孔の一部には、絶縁材料により形成され、接合部30と接続された充填材162が充填されている。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (4)
- セラミックスにより形成され、第1の方向に略直交する第1の表面と前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、前記第1の表面に開口するガス噴出流路が内部に形成された板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、抵抗発熱体により形成されたヒータ電極と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置され、冷媒流路とガス供給流路とが内部に形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部であって、前記板状部材に形成された前記ガス噴出流路と前記ベース部材に形成された前記ガス供給流路とを連通する貫通孔が形成された接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との少なくとも一方には、前記ガス噴出流路または前記ガス供給流路が連通する凹部が形成されており、
前記凹部内には、第1の絶縁材料により形成され、前記板状部材より気孔率が高い多孔質部が配置されており、
前記多孔質部における内部孔の一部には、第2の絶縁材料により形成され、前記接合部と接続された充填材が充填されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記第2の絶縁材料は、前記接合部の形成材料と同一である、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項2に記載の保持装置において、
前記第2の絶縁材料は、樹脂材料と、前記樹脂材料より熱伝導率の高いセラミックス材料とを含む、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の保持装置において、
前記凹部は、前記板状部材の前記第2の表面に形成されており、
前記第1の方向において、前記充填材は、前記ヒータ電極に対して、前記ベース部材に近い側にのみ位置している、
ことを特徴とする保持装置。
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