JP2020026373A - SiC単結晶の加工方法、SiCインゴットの製造方法及びSiC単結晶 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
本実施形態にかかるSiC単結晶の加工方法は、測定工程と、加工工程と、貼付工程とを有する。測定工程では、SiC単結晶の原子配列面の形状を、少なくとも平面視中央を通る第1の方向と、第1の方向と直交する第2の方向とに沿って測定する。また加工工程では、測定結果を基に、SiC単結晶の少なくとも第1面を原子配列面に沿って加工する。さらに貼付工程では、SiC単結晶の第1面を貼り付け面として、SiC単結晶を設置面に貼りつける。以下、各工程について具体的に説明する。
図1は、SiC単結晶1を平面視中心を通る第1の方向に延在する直線に沿って切断した切断面の模式図である。第1の方向は、任意の方向を設定できる。図1では、第1の方向を[1−100]としている。図1において上側は[000−1]方向、すなわち<0001>方向に垂直に切断をした時にカーボン面(C面、(000−1)面)が現れる方向である。以下、第1の方向を[1−100]とした場合を例に説明する。
SiC単結晶をスライスした試料(以下、ウェハ20と言う)の外周端部分のXRDの測定値から原子配列面の湾曲方向及び湾曲量を測定する方法について具体的に説明する。一例としてウェハ20を用いて測定方法を説明するが、スライスする前のインゴット状のSiC単結晶においても同様の方法を用いて測定できる。
原子配列面の形状は、別の方法で求めてもよい。図9に平面視中心を通り原子配列面の測定の方向、例えば[1−100]方向に沿って切断した切断面を模式的に示す。図9では、原子配列面22の形状が凹状に湾曲している場合を例に説明する。
この方法は、それぞれの測定箇所で原子配列面における原子の相対位置が求められる。そのため、局所的な原子配列面の湾曲量を求めることができる。また、ウェハ20全体における原子配列面22の相対的な原子位置をグラフとして示すことができ、原子配列面22のならびを感覚的に把握するために有益である。
加工工程では、測定工程の測定結果を基に、SiC単結晶1の貼付面(第1面)を原子配列面2に沿って加工する。加工方法については特に限定するものではないが、例えば以下の3つの方法を用いることができる。
第1の加工方法は、SiC単結晶を原子配列面の湾曲方向と反対方向に湾曲する湾曲面を有するスペーサに貼りつけ、原子配列面2を平坦化する平坦化工程と、平坦化した原子配列面2に沿ってSiC単結晶を切断又は研削する面出し工程と、を有する。第1の加工方法を用いる場合は、SiC単結晶の厚みは弾性変形可能な5mm以下とすることが好ましい。
第2の加工方法は、SiC単結晶1を原子配列面2の湾曲量に応じて吸着力の異なる吸着面に真空吸着し、原子配列面2を平坦化する真空吸着工程と、平坦化した原子配列面2に沿ってSiC単結晶を切断又は研削する面出し工程と、を有する。第2の加工方法は、スペーサ30を用いずに、吸着力の強度差によって原子配列面2を平坦化している点が、第1の加工方法と異なる。その他の加工手順は同じであり、説明を省く。第2の加工方法を用いる場合においても、SiC単結晶の厚みは弾性変形可能な5mm以下とすることが好ましい。
第3の加工方法は、SiC単結晶1を原子配列面2に対応する形状の電極に近づけ、放電によりSiC単結晶1の第1面1Aを加工する放電加工工程を有する。第3の加工方法を用いる場合は、第1の加工方法及び第2の加工方法と異なり、SiC単結晶1の厚みは問わない。
図14は、貼付工程を説明するための模式図である。図14(a)に示すように、貼付工程では、加工により得られたSiC単結晶10の第1面10Aを貼り付け面として、SiC単結晶10を設置台60の設置面60Aに貼りつける。設置台60は、例えば、坩堝の単結晶設置部に対応する。
上述の貼付工程の前段階まで加工されたSiC単結晶は、第1面が原子配列面の湾曲に沿う形状に加工されている。その結果、図14(a)に示すように、SiC単結晶10の第1面10Aの反り形状と、原子配列面2の湾曲形状が略平行になる。換言すると、SiC単結晶10の反り量と原子配列面2の湾曲量との差分の絶対値が10μm以下となる。ここで「反り量」とは、SiC単結晶を平坦面上に載置した際に、載置面と載置面側のSiC単結晶の第1面との距離の最大値を意味する。SiC単結晶10の原子配列面2の湾曲量の最大値が20μm以上の場合において上述のような加工を施さずに、SiC単結晶10の第1面10Aの反り形状と原子配列面2の湾曲形状が略平行にはなることは考えにくい。つまり、原子配列面の湾曲量の最大値が20μm以上であり、SiC単結晶10の反り量と原子配列面2の湾曲量との差分の絶対値が10μm以下であるSiC単結晶10は、上記の工程を経て実現できるものである。
本実施形態にかかるSiCインゴットの製造方法は、上述のSiC単結晶の加工方法において、設置面60Aに貼り付けられたSiC単結晶10を種結晶として結晶成長を行う。SiCインゴットは、例えば昇華法を用いて製造できる。昇華法は、原料を加熱することによって生じた原料ガスを単結晶(種結晶)上で再結晶化し、大きな単結晶(インゴット)を得る方法である。
10A 第1面
2,22 原子配列面
20 ウェハ
30 スペーサ
30A 第1面
30B 第2面
31 支持台
40 吸着面
41 吸着穴
50 電極
50A 第1面
60 設置台
60A 設置面
100 坩堝
101 コイル
102 テーパーガイド
A 原子
I SiCインゴット
G 原料
Claims (9)
- SiC単結晶の原子配列面の形状を少なくとも平面視中央を通る第1の方向と前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って測定する測定工程と、
測定結果を基に、前記SiC単結晶の少なくとも第1面を前記原子配列面に沿って加工する加工工程と、
前記第1面を貼り付け面として、前記SiC単結晶を設置面に貼りつける貼付工程と、を有する、SiC単結晶の加工方法。 - 前記加工工程は、
前記SiC単結晶を前記原子配列面の湾曲方向と反対方向に湾曲する湾曲面を有するスペーサに貼りつけ、前記原子配列面を平坦化する平坦化工程と、
平坦化した前記原子配列面に沿って前記SiC単結晶を切断又は研削する面出し工程と、
を有する、請求項1に記載のSiC単結晶の加工方法。 - 前記加工工程は、
前記SiC単結晶を前記原子配列面の湾曲量に応じて吸着力の異なる吸着面に真空吸着し、前記原子配列面を平坦化する真空吸着工程と、
平坦化した前記原子配列面に沿って前記SiC単結晶を切断又は研削する面出し工程と、
を有する、請求項1に記載のSiC単結晶の加工方法。 - 前記加工工程は、
前記SiC単結晶を前記原子配列面に対応する形状の電極に近づけ、放電により前記SiC単結晶の前記第1面を加工する放電加工工程を有する、請求項1に記載のSiC単結晶の加工方法。 - 前記貼付工程を行う際の前記SiC単結晶の厚みが5mm以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のSiC単結晶の加工方法。
- 前記貼付工程において、前記第1面が前記設置面に向って凸に湾曲する場合は、前記SiC単結晶の外周側の荷重を内側より強くし、前記第1面が前記設置面に向って凹に湾曲する場合は、前記SiC単結晶の内側の荷重を外周側より強くする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のSiC単結晶の加工方法。
- 前記貼付工程中に前記SiC単結晶の周囲を減圧する減圧工程をさらに有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のSiC単結晶の加工方法。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のSiC単結晶の加工方法において、前記設置面に貼り付けられた前記SiC単結晶を種結晶として結晶成長を行う、SiCインゴットの製造方法。
- 原子配列面の湾曲量の最大値が20μm以上のSiC単結晶であり、
前記SiC単結晶の反り量と前記原子配列面の湾曲量との差分の絶対値が、10μm以下である、SiC単結晶。
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